JPH10288586A - リードフレームの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄液を用いてリードフレームを洗浄しなく
ても、リードフレームに生じることがある打痕やバリ等
の異常を正確に検出することができるリードフレームの
検査装置を提供する。 【解決手段】 帯状に連続するリードフレーム３を搬送
するための搬送ローラ６ａと、リードフレーム３の検査
面３ａ側の画像をＣＣＤカメラ６ｃで入力し、入力画像
の輝度を解析することでリードフレーム３の異常を検出
する制御部８とを有する。さらに、ＣＣＤカメラ６ｃに
対してリードフレーム３の搬送経路の上流側に設けら
れ、リードフレーム３の検査面３ａに向けて搬送経路の
下流側から上流側へ斜めにエア１８を吹き付けるエアー
ブロワ１７を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は打ち抜き加工後のリ
ードフレームの表面に生ずる打痕や傷や変色等の異常を
検出することが可能なリードフレームの検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、リードフレーム材をプレス装置で
打ち抜いてリードフレームを形成した際に、プレス工程
でリードフレームに生じることがある打痕やバリ等の異
常は、画像処理を用いた検査装置を用い、リードフレー
ムの検査面側の画像を撮像カメラで入力し、入力画像の
輝度を解析することで自動検査を行っている。ところ
が、プレス工程を終了した直後のリードフレームの表面
にはプレス工程の際に加工油が付着していることがあ
り、検査装置では実際には異物ではない加工油を異物と
して検出し、リードフレームに異常が有ると判断してし
まう場合がある。このため、この誤検出を防止すべく、
従来はプレス装置と検査装置との間に洗浄槽を用いた洗
浄装置を配置し、プレス加工の終了後にリードフレーム
を洗浄液で洗浄して付着した加工油を除去し、その後に
検査装置にかけてリードフレームの打痕やバリ等の異常
を検出するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プレス
工程後にリードフレームの洗浄を行う洗浄装置を検査装
置の一部として若しくはリードフレーム製造装置の一部
として設置すると、検査装置、リードフレーム製造装置
のいずれの場合にも装置システム全体が大規模化して設
置場所確保が困難になる。また、洗浄液は管理が難し
い。また、洗浄液の交換等にコストがかかるという課題
がある。

【０００４】従って、本発明は上記課題を解決すべくな
され、その目的とするところは、洗浄液を用いてリード
フレームを洗浄しなくても、リードフレームに生じるこ
とがある打痕やバリ等の異常を正確に検出することがで
きるリードフレームの検査装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、帯状に連続する
リードフレームを搬送するための搬送手段と、前記リー
ドフレームの検査面側の画像を撮像カメラで入力し、入
力画像の輝度を解析することで該リードフレームの異常
を検出する検査手段とを有するリードフレームの検査装
置において、前記撮像カメラに対して前記リードフレー
ムの搬送経路の上流側に設けられ、該リードフレームの
前記検査面に向けて前記搬送経路の下流側から上流側へ
斜めにエアを吹き付けるエアーブロワを具備することを
特徴とする。この構成により、洗浄液を用いてリードフ
レームを洗浄しなくても、プレス加工工程等においてリ
ードフレームに付着した加工油等の異物をエアで吹き飛
ばすことが可能となり、撮像カメラを用いてリードフレ
ームに生じることがある打痕やバリ等の異常を正確に検
出することができる。

【０００６】具体的には、前記エアーブロワには、前記
検査面に向けて複数のエアノズルがＶ字状に配列される
と共に、Ｖ字の頂点部分が前記搬送経路の上流側に位置
する第１エアノズル群を設けると、リードフレームに付
着した加工油等の異物をリードフレームの中央部分から
幅方向の両端部へかき分けるようにして効率よく吹き飛
ばすことが可能となる。

【０００７】また、他の具体例として、前記エアーブロ
ワに、前記検査面に向けて複数のエアノズルを前記リー
ドフレームの幅方向に沿って直線的に配列された第２エ
アノズル群を設けるようにしても良い。

【０００８】さらに、前記第１エアノズル群が設けられ
た前記エアーブロワに、前記第１エアノズル群に対して
前記搬送経路の下流側に位置し、前記検査面に向けて複
数のエアノズルが前記リードフレームの幅方向に沿って
直線的に配列された第２エアノズル群を併せて設けるよ
うにしても良い。この構成によれば、第１エアノズル群
で吹き飛ばされなかった異物を第２エアノズル群により
吹き飛ばすことも可能となり、リードフレームに付着し
た異物の除去が一層確実に行える。

【０００９】また、前記第１エアノズル群若しくは前記
第２エアノズル群を構成する各エアノズルの向きを、第
１エアノズル群の前記頂点部分若しくは第２エアノズル
群の中央部分を中心に前記リードフレームの幅方向の両
端側に向かうように振り分けられていることを特徴とす
る。この構成によれば、リードフレームの中央部分を中
心として距離の短い幅方向へ異物を吹き飛ばすため、加
工油等の粘着性のある異物でも移動距離が短いためにリ
ードフレームから吹き払い易い。また、吹き払った異物
がリードフレームの上流側に付着することを抑制でき
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るリードフレー
ムの検査装置の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細
に説明する。 （第１の実施の形態）まず、図１を用いてリードフレー
ムの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成
について説明する。１，２は帯状に連続するリードフレ
ーム３を繰り出し，巻き取り用のリールである。本実施
例では図面左側の繰り出し用リール１よりリードフレー
ム３を繰り出し、図面右側に配置された巻き取り用リー
ル２に巻き取るように構成されている。なお、リードフ
レーム３はＸ方向に搬送される（以下同様）。４はレベ
ラーであり、繰り出し用リール１より繰り出されたリー
ドフレーム３を一定の高さを保って搬送するものであ
る。５は上型５ａ，下型５ｂを装備してプレスによりリ
ードを形成するプレス装置である。

【００１１】６はリードフレームの検査装置であり、プ
レス装置５に対してリードフレーム３の搬送経路の下流
側に設けられ、プレス装置５により打ち抜かれたリード
フレーム３の表面状態に打痕，傷，変色等の異常がない
かどうかを検査するものである。上記検査装置６には、
搬送手段の一部を構成する搬送ローラ６ａ、照明手段と
してのリング状照明６ｂ、撮像カメラの一例としてのＣ
ＣＤ（電荷結合素子）カメラ６ｃ、リング状照明６ｂや
ＣＣＤカメラ６ｃが位置決めされた状態で一体に搭載さ
れたテーブル６ｄ、リードフレーム３の検査面３ａにエ
アを吹き付けるエアーブロワ１７等を装備している。撮
像カメラは撮像管を用いたカメラでも良い。７は層間紙
であり、巻き取り用リール２に巻き取られるリードフレ
ーム３間に介在させて巻き取らせ、リードフレーム相互
間の摺擦より保護をしている。

【００１２】次に、リードフレームの検査装置６の全体
構成について図２を参照して説明する。エアーブロワ１
７は、ＣＣＤカメラ６ｃに対してリードフレーム３の搬
送経路の上流側に設けられ、リードフレーム３の検査面
３ａに向けて搬送経路の下流側から上流側へ斜めにエア
１８を吹き付け、検査面３ａに付着した加工油やゴミ等
の異物を除去するものである。エアーブロワ１７の作動
／停止は、エアーブロワ１７に独立したスイッチを設け
て行うようにしても良いし、後述する制御部で制御する
ようにしても良い。

【００１３】検査手段の一部を構成するリング状照明６
ｂは、エアーブロワ１７に対してリードフレーム３の搬
送経路の下流側に設けられ、リードフレーム３の検査面
３ａの所定領域に光照射する機能を有している。本実施
の形態では、一例としてリング状照明６ｂは１段である
が、多段に設ける場合もある。リング状照明６ｂには、
一例として光ファイバ（不図示）等を介して光源９から
光が導かれている。なお、リードフレーム３の検査面３
ａに均等に光が照射されるものであれば、照明はリング
状照明に限定されない。本実施の形態では、リードフレ
ーム３の表面に生ずる打痕等を検出するため、リング状
照明６ｂはリードフレーム３に対してＣＣＤカメラ６ｃ
と同じ側に配され、ＣＣＤカメラ６ｃにはリードフレー
ム３の散乱光（反射光）が取り込まれる構成となってい
るが、リードフレーム３のエッジ部分のバリ等を検査す
る場合にはリング状照明６ｂをリードフレーム３に対し
てＣＣＤカメラ６ｃと反対側に配し、透過光を用いたＣ
ＣＤカメラ６ｃの画像処理が行われる場合もある。検査
手段の一部を構成するＣＣＤカメラ６ｃは、リング状照
明６ｂを挟んでリードフレーム３と反対側に設けられ、
リング状照明６ｂにより照明されたリードフレーム３の
検査面３ａの所定領域の画像を入力する。

【００１４】検査手段の一部を構成する制御部８は、図
２に示すように制御プログラムにしたがって検査装置全
体の動作を制御するＣＰＵ８ａ、外部より入力されたデ
ータの一時保存を行ったり、ＣＰＵ８ａのワーキングエ
リアとして使用されるＲＡＭやＣＰＵ８ａの制御プログ
ラムを記憶したＲＯＭ等を備えた記憶部８ｂ、データの
入出力を行う入出力部（Ｉ／Ｏ部）８ｃ、光源９の照度
を制御する照度コントローラ８ｄ、ＣＣＤカメラ６ｃに
より撮影した画像にマスク処理を施す画像処理ボード８
ｅ等を装備している。ＣＰＵ８ａは、照度コントローラ
８ｄにより光源９の照度を制御してリング状照明６ｂに
よりＣＣＤカメラ６ｃにより撮影されるリードフレーム
３の所定の領域内をほぼ同一明度となるように光照射す
る。そして、ほぼ同一明度となる領域内の画像をＣＣＤ
カメラ６ｃにより撮影して画像処理ボード８ｅを介して
輝度データとして取り込み、取り込んだ輝度データを解
析し、得られた解析値と記憶部８ｂに記憶させた記憶値
と比較する。なお、比較の基準となる記憶値を記憶部８
ｂに記憶させる場合には、検査面側に、打痕や傷、変色
等の異常のない標準のリードフレームの画像をＣＣＤカ
メラ６ｃにより撮影して画像処理ボード８ｅを介して輝
度データとして取り込むようにする（ティーチィン
グ）。

【００１５】搬送手段の一部を構成するコントローラ１
０は、リードフレーム３を搬送する搬送ローラ６ａを駆
動させる駆動モータ（図示せず）を作動／停止させるド
ライバー回路を有する。コントローラ１０は、Ｉ／Ｏ部
８ｃを介してＣＰＵ８ａにより制御される。具体的に
は、ＣＰＵ８ａにはＩ／Ｏ部８ｃを介してリードフレー
ム３の搬送量を検出するためのフレーム搬送センサ１１
からの検出信号が入力され、ＣＰＵ８ａはこの検出信号
に基づいてＩ／Ｏ部８ｃを介してコントローラ１０を制
御し、搬送ローラ６ａを作動させて搬送動作を行った
り、また搬送ローラ６ａを停止させて搬送動作を停止さ
せる。また、エアーブロワ１７やプレス装置５を作動／
停止させる制御信号も出力される。

【００１６】次に図３を参照してリードフレームの検査
装置６の具体的な装置構成について説明する。以下、プ
レス後のリードフレーム３の搬送経路にしたがって説明
する。リードフレーム３は図面左側より下方にＵ字状に
垂れ下がって検査装置６に進入し、搬送手段の一部を構
成するフレームガイド１２に沿って鉛直上方に向かって
搬送される。リードフレーム３は搬送中はＡの位置にあ
り、搬送動作を停止すると慣性により若干移動してＢ或
いはＣの位置に垂れ下がって停止する。なお、本実施の
形態ではエアーブロワ１７から搬送ローラ６ａにかけて
の搬送経路は上記のように鉛直方向に延びる構造となっ
ているため、前述したＣＣＤカメラ６ｃに対してリード
フレーム３の搬送経路の上流側とは、ＣＣＤカメラ６ｃ
の下方側にあたり、同じく下流側とはＣＣＤカメラ６ｃ
の上方側にあたる。

【００１７】また、リードフレーム３がＵ字状に垂れ下
がった後に鉛直上方に向けて搬送される位置には、エア
ーブロワ１７が設けられている。エアーブロワ１７から
は上述したようにリードフレーム３の検査面３ａに向け
て搬送経路の下流側から上流側へ斜めにエア１８が吹き
出されている。これにより、プレス加工時にリードフレ
ーム３の検査面３ａに付着した加工油をリードフレーム
３上から下方へ吹き飛ばすか若しくは少なくとも検査面
３ａの背面側に移動させることができ、搬送経路の下流
側に設けられたＣＣＤカメラ６ｃにおいて加工油やゴミ
等の異物が付着しないリードフレーム３の検査面３ａの
綺麗な画像が取り込めるようになる。また、エア１８が
当たってリードフレーム３が揺れないように、エア１８
が当たる箇所のリードフレーム３の検査面３ａの背面側
には支持ローラ１９が設けられている。また、エアーブ
ロワ１７はリードフレーム３が上方に向けて搬送される
位置に設置されているが、これはリードフレーム３の表
面に付着した加工油が重力で下方に垂れることを利用
し、よりエア１８で加工油を吹き飛ばしやすくするため
である。

【００１８】さらに鉛直上方に搬送されるリードフレー
ム３は、エアーブロワ１７の搬送経路の下流側に設けら
れたフレームガイド１２により幅方向の両端部分がスラ
イド自在に保持されて幅方向及び厚さ方向の位置決めを
なされる。一例として、フレームガイド１２のユニット
のリードフレーム３の幅方向の両端には、断面コ字状の
ガイド溝（不図示）が開口部分が向き合うようにリード
フレーム３の幅に合わせて配されており、ガイド溝間で
リードフレーム３の両端を保持する構成となっている。
このフレームガイド１２の側方には、光軸がリードフレ
ーム３の検査面３ａに対して直交するようにリードフレ
ーム３を挟んでフレームガイド１２のユニットと反対側
にＣＣＤカメラ６ｃがテーブル６ｄに取り付けて配され
ている。また、リードフレーム３とＣＣＤカメラ６ｃと
の間にリング状照明６ｂが同じくテーブル６ｄに取り付
けられて配されている。これにより、リードフレーム３
の検査面３ａに対して直角方向から検査面３ａの所定の
領域に光が照射され、この検査面３ａの画像はＣＣＤカ
メラ６ｃにより取り込まれる。

【００１９】さらにリードフレーム３の搬送経路の下流
側には、搬送ローラ６ａが配され、図示しない駆動モー
タにより回転駆動されてリードフレーム３をその円弧面
の一部に巻きつけて搬送する。搬送ローラ６ａの回転
は、フレームガイド１２と搬送ローラ６ａとの間に配さ
れたフレーム搬送センサ１１の検出信号に基づいてＣＰ
Ｕ８ａが制御し、リードフレーム３の搬送・停止が行わ
れる。リードフレーム３は搬送ローラ６ａに巻付けられ
て逆Ｕ字状に曲げられ、斜め下方へ搬送される。そして
搬送ローラ６ａの搬送経路の下流側には搬送手段の一部
を構成する搬送ガイド１３が配され、リードフレーム３
の搬送は引き続きこの搬送ガイド１３によりガイドされ
る。搬送ガイド１３の搬送路には、リードフレーム３の
上下一方或いは双方に当接して従動回転する複数の補助
ローラ１４が設けられている。上記搬送ガイド１３を経
たリードフレーム３は装置外へ導かれ、巻き取り側に搬
送される。

【００２０】なお、装置下部には、制御部８や電源部等
を配置した制御パネル１５が配置されている。また、装
置上部には制御データコントロール用の制御用モニター
１６ａ、ＣＣＤカメラ６ｃより取り込んだ画像をリアル
タイムで表示するための表示用モニター１６ｂが装備さ
れている。

【００２１】続いて、本発明の特徴点であるエアーブロ
ワ１７の詳細な構成について図４〜図７を用いて説明す
る。エアーブロワ１７は、第１エアノズル群２０、第２
エアノズル群２１および各エアノズル群２０、２１に圧
縮したエアを送るコンプレッサ２２とから構成される。
第１エアノズル群２０は図５に示すように、リードフレ
ーム３の検査面３ａに向けて複数のエアノズル２０ａが
Ｖ字状に配列されると共に、Ｖ字の頂点部分が搬送経路
の上流側に位置する構成となっている。また、第２エア
ノズル群２１は図６に示すように、リードフレーム３の
検査面３ａに向けて複数のエアノズル２１ａがリードフ
レーム３の幅方向に沿って直線的に配列された構成とな
っている。また、第２エアノズル群２１は第１エアノズ
ル群２０に対して搬送経路の下流側に配置されている。
なお、第２エアノズル群２１と第１エアノズル群２０の
搬送経路に沿った配置を上下逆にすることも可能であ
る。

【００２２】また、本実施の形態では第１エアノズル群
２０を構成する各エアノズル２０ａの向き（エア１８の
吹き出し方向と同じ。以下同様）は、第１エアノズル群
２０の頂点部分を中心にリードフレーム３の幅方向の両
端側に向かうように振り分けられており、一方第２エア
ノズル群２１を構成する各エアノズル２１ａの向きは、
リードフレーム３の搬送方向Ｘと平行になるように設定
されているが、例えば第２エアノズル群２１を構成する
各エアノズル２１ａの向きも、第１エアノズル群２０の
エアノズル２０ａと同様に図７に示すごとく、第２エア
ノズル群２１の中央部分を中心にリードフレーム３の幅
方向の両端側に向かうように振り分ける構成としても良
い。上記のように、第１エアノズル群２０や第２エアノ
ズル群２１の各エアノズル２０ａ、２１ａの向きを、第
１エアノズル群２０の場合にはその頂点部分、また第２
エアノズル群２１の場合にはその中央部分を中心にリー
ドフレーム３の幅方向の両端側に向かうように振り分け
ておくと、リードフレーム３の中央部分を中心として距
離の短いリードフレーム３の幅方向へ異物を吹き飛ばす
ことができるため、加工油等の粘着性のある異物でも移
動距離が短くリードフレーム３から吹き払い易い。ま
た、吹き払った異物がリードフレーム３の上流側に付着
することを抑制することもできる。

【００２３】次に、上述した検査装置６の検査動作につ
いて説明する。プレス装置５を経て連続的に加工され搬
送されるリードフレーム３が検査装置６に進入すると、
まずエアーブロワ１７によりリードフレーム３の検査面
３ａ側の加工油等の異物が除去され、検査面３ａがクリ
ーニングされる。その後、クリーニングされたリードフ
レーム３の検査面３ａにリング状照明６ｂから光が略均
一に照射され、この検査面３ａが照明される。続いて、
ＣＣＤカメラ６ｃでは照明されたリードフレーム３の検
査面３ａの所定領域の画像を入力する。ＣＰＵ８ａで
は、ＣＣＤカメラ６ｃと画像処理ボード８ｅを介して画
像の取り込みを行い、取り込んだ画像を所定の解析手順
に従い解析し、そのデータ（解析値）と記憶部８ｂに記
憶されているティーチングデータ（記憶値）とを比較
し、リードフレーム３の検査面の異常の有無を判断す
る。

【００２４】本検査装置６では、ＣＣＤカメラ６ｃによ
るリードフレーム３の検査面３ａの画像入力の前に、エ
アーブロワ１７により予めプレス加工の際にリードフレ
ーム３に付着する加工油やゴミ等の異物を除去してある
ために、実際には異物ではない加工油を異物若しくは検
査面３ａに生じた打痕や傷と誤って検出することを有効
に防止できるため、リードフレーム３にある打痕や傷を
高い精度で検出することが可能となる。また、従来例の
ように洗浄液を用いてリードフレーム３を洗浄する方法
と比べると、洗浄液の交換等の作業がなく管理が簡単で
あり、また管理に必要な人手や洗浄液代が省け、製造コ
ストを低減できる。また、洗浄槽をプレス装置５と検査
装置６との間に設ける必要がなくなるために、検査装置
を含めたリードフレーム製造装置全体がコンパクトにす
ることが可能となる。

【００２５】（第２の実施の形態）上記実施の形態で説
明したリードフレームの検査装置６は、リードフレーム
３の片側の面を検査面３ａとし、この検査面３ａの画像
をＣＣＤカメラ６ｃで取り込んで検査するものであるた
め、エアーブロワ１７は検査面３ａのみにエアを吹きつ
ける構成としてあったが、リードフレーム３の両面を検
査面３ａとし、両面の画像を、リードフレーム３の両側
に配された２台のＣＣＤカメラ６ｃで取り込んで検査す
るリードフレームの検査装置の場合には、図８に示すよ
うにエアーブロワ１７をリードフレーム３の両側に配置
するようにする。この構成においては、エアーブロワ１
７の搬送経路の下流側と上流側の各々に、リードフレー
ム３を挟み付ける一対のローラ２３をそれぞれ設けてリ
ードフレーム３をピンと張った状態とし、エアが吹きつ
けられたリードフレーム３の揺れを防止する。

【００２６】なお、リードフレーム３の片側の面を検査
面３ａとするリードフレームの検査装置６の場合でも、
検査面３ａ側に付着した例えば加工油等の粘着性の高い
ものはリードフレーム３上から吹き飛ばされずに検査面
３ａの背面側に移動する。そして、ＣＣＤカメラ６ｃで
画像を取り込むまで背面側に隠れた状態を維持していれ
ば、エアーブロワ１７は検査面３ａ側のみでよいが、検
査面３ａのＣＣＤカメラ６ｃによる画像取り込みが終了
する前に、背面側で垂れてリードフレーム３のプレス加
工されたエッジ部分まで移動するような場合には、エア
ーブロワ１７を背面側にも設けるようにして、加工油を
リードフレーム３から下方へ落とすようにすることも可
能である。

【００２７】以上、本発明の好適な実施例について種々
述べてきたが、本発明はこの実施例に限定されるもので
はなく、エアノズル群の数、各エアノズル群のエアノズ
ルの数や配列、エアノズルのエア吹き出し方向等は、リ
ードフレームの幅や搬送速度に合わせて適宜変更しても
良い等、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの
改変を施し得るのはもちろんのことである。

【００２８】

【発明の効果】本発明に係るリードフレームの検査装置
では、エアーブロワが設けられているため、洗浄液を用
いてリードフレームを洗浄しなくても、プレス加工工程
等においてリードフレームの検査面に付着した加工油等
の異物をエアで吹き飛ばすことが可能となり、撮像カメ
ラを用いてリードフレームに生じることがある打痕やバ
リ等の異常を正確に検出することができる。これによっ
て、ユーザーに提供するリードフレームの信頼性，品質
向上を実現することができる。また、洗浄液を交換した
りする手間や洗浄液代が省け、生産コストの低減が図れ
る。また、洗浄槽を使用しないために、リードフレーム
製造装置全体をコンパクトにすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるリードフレームの検査装置を含
むリードフレーム製造装置の全体構成を示す説明図であ
る。

【図２】リードフレームの検査装置の構成を示すブロッ
ク説明図である。

【図３】リードフレームの検査装置の断面説明図であ
る。

【図４】エアーブロワの構成を示す説明図である。

【図５】図４の第１エアノズル群のエアノズル配置を示
すリードフレーム方向から見た説明図である。

【図６】図４の第２エアノズル群のエアノズル配置を示
すリードフレーム方向から見た説明図である。

【図７】図４の第２エアノズル群の他のエアノズル配置
を示すリードフレーム方向から見た説明図である。

【図８】エアーブロワの他の構成を示す説明図である。

【符号の説明】

３ リードフレーム ３ａ 検査面 ６ 検査装置 ６ａ 搬送ローラ ６ｂ リング状照明 ６ｃ ＣＣＤカメラ ９ 光源 １１ フレーム搬送センサ １２ フレームガイド １３ 搬送ガイド １４ 補助ローラ １５ 制御パネル １７ エアーブロワ １９ 支持ローラ ２０ 第１エアノズル群 ２１ 第２エアノズル群

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 帯状に連続するリードフレームを搬送す
   るための搬送手段と、 前記リードフレームの検査面側の画像を撮像カメラで入
   力し、入力画像の輝度を解析することで該リードフレー
   ムの異常を検出する検査手段とを有するリードフレーム
   の検査装置において、 前記撮像カメラに対して前記リードフレームの搬送経路
   の上流側に設けられ、該リードフレームの前記検査面に
   向けて前記搬送経路の下流側から上流側へ斜めにエアを
   吹き付けるエアーブロワを具備することを特徴とするリ
   ードフレームの検査装置。
2. 【請求項２】 前記エアーブロワには、前記検査面に向
   けて複数のエアノズルがＶ字状に配列されると共に、Ｖ
   字の頂点部分が前記搬送経路の上流側に位置する第１エ
   アノズル群が設けられていることを特徴とする請求項１
   記載のリードフレームの検査装置。
3. 【請求項３】 前記エアーブロワには、前記検査面に向
   けて複数のエアノズルが前記リードフレームの幅方向に
   沿って直線的に配列された第２エアノズル群が設けられ
   ていることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム
   の検査装置。
4. 【請求項４】 前記エアーブロワには、前記第１エアノ
   ズル群に対して前記搬送経路の下流側に位置し、前記検
   査面に向けて複数のエアノズルが前記リードフレームの
   幅方向に沿って直線的に配列された第２エアノズル群が
   設けられていることを特徴とする請求項２記載のリード
   フレームの検査装置。
5. 【請求項５】 前記第１エアノズル群若しくは前記第２
   エアノズル群を構成する各エアノズルの向きは、第１エ
   アノズル群の前記頂点部分若しくは第２エアノズル群の
   中央部分を中心に前記リードフレームの幅方向の両端側
   に向かうように振り分けられていることを特徴とする請
   求項２、３または４記載のリードフレームの検査装置。