JP2000343672A - スクリーンマスク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】印刷条件に応じてマスク膜のパターンを微調整
することができるようにした、汎用性を有するスクリー
ンマスクを提供する。 【解決手段】マスク枠１と、このマスク枠１に対して斜
めに傾いた網目を有し、マスク枠１内に緊張状態で張設
されたスクリーンメッシュ１０と、前記スクリーンメッ
シュ１０に所定のパターンに被着されたマスク膜１２
と、スクリーンメッシュ上を移動されるスキージ３０の
移動領域Ａの外側に配置され、マスク枠１をスキージ移
動方向に拡縮するマスク枠拡縮機構２０とを備え、マス
ク枠拡縮機構２０によるマスク枠１の拡縮により、スク
リーンメッシュ１０を伸縮させてマスク膜１２のパター
ンを微調整するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、スクリーン印刷
に用いられるスクリーンマスクに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】スクリーン印刷に用いられるスクリーン
マスクは、一般に、マスク枠内に、スクリーンメッシュ
を、その外周を前記マスク枠に固定して緊張状態で張設
し、このスクリーンメッシュに、マスク膜を所定のパタ
ーンに被着させた構成となっている。

【０００３】このスクリーンマスクは、例えば、プリン
ト回路基板への配線の印刷、液晶ディスプレイ用基板へ
の枠状シール材の印刷、プラズマディスプレイ用基板へ
の画素間隔壁（リブ）、電極、蛍光材料の印刷等、種々
の印刷に用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、スクリーン
印刷は、基板等の被印刷面上に前記スクリーンマスクの
スクリーンメッシュを密着させ、このスクリーンメッシ
ュ上に液状の印刷材料を供給し、その印刷材料をスキー
ジにより均し広げて被印刷面上に塗布することにより行
なわれるが、その際、スクリーンメッシュがスキージの
移動方向に引張られて僅かながら伸び変形し、このスク
リーンメッシュに被着されたマスク膜のパターンが微妙
に変化する。

【０００５】このスクリーンメッシュの伸び変形による
マスク膜の微妙なパターン変化は、小型のスクリーンマ
スクを用いるスクリーン印刷では特に問題とはされてい
ないが、例えば大画面のプラズマディスプレイ用基板へ
の画素間隔壁やカラーフィルタの印刷のような、大型の
スクリーンマスクを用いるスクリーン印刷では、スクリ
ーンメッシュの伸び変形によるマスク膜の微妙なパター
ン変化が印刷精度に大きく影響する。

【０００６】そのため、大型のスクリーンマスクでは、
スクリーンメッシュがスキージの移動方向に引張られて
伸び変形したときにマスク膜が正規の位置にくるよう
に、マスク膜のパターンを設計している。

【０００７】しかし、スクリーン印刷の際のスクリーン
メッシュの伸び変形は、スクリーンメッシュに対するス
キージの押し付け力やスキージの移動速度等の印刷条件
によって異なるため、従来は、印刷条件が変更される都
度、その印刷条件に合わせてマスク膜のパターンを設計
しなければならなかった。

【０００８】この発明は、印刷条件に応じてマスク膜の
パターンを微調整することができるようにした、汎用性
を有するスクリーンマスクを提供することを目的とした
ものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明のスクリーンマ
スクは、マスク枠と、前記マスク枠に対して斜めに傾い
た網目を有し、前記マスク枠内に緊張状態で張設された
スクリーンメッシュと、前記スクリーンメッシュに所定
のパターンに被着されたマスク膜と、前記スクリーンメ
ッシュ上を移動されるスキージの移動領域の外側に配置
され、前記マスク枠を前記スキージの移動方向に拡縮す
るマスク枠拡縮機構とからなることを特徴とするもので
ある。

【００１０】このスクリーンマスクは、前記マスク枠拡
縮手段によりマスク枠をスキージ移動方向に拡縮するこ
とにより、印刷条件に応じてマスク膜のパターンを微調
整することができるようにしたものであり、マスク枠を
スキージ移動方向に拡縮すると、それにともなって前記
スクリーンメッシュが伸縮し、このスクリーンメッシュ
に被着された記マスク膜のパターンが微妙に変化する。

【００１１】このように、この発明のスクリーンマスク
は、印刷条件に応じてマスク膜のパターンを微調整する
ことができるものであり、したがって、印刷条件が変更
されても、マスク膜のパターンの微調整により高精度の
スクリーン印刷を行なうことができるため、汎用性を有
している。

【００１２】

【発明の実施の形態】この発明のスクリーンマスクにお
いて、マスク枠は、１つの枠体からなる単体枠でもよ
く、その場合は、マスク枠拡縮手段を、マスク枠の一側
の枠辺に固定された固定端と、前記マスク枠の他側の枠
辺に対してフリーな自由端とを有し、スキージ移動方向
と平行に設けられたロッドと、マスク枠の前記他側の枠
辺に少なくとも枠内方向への移動を拘束されて回転可能
に設けられ、前記ロッドの自由端に螺合締結された枠拡
縮ねじとにより構成するのが望ましい。

【００１３】また、この発明のスクリーンマスクにおい
ては、マスク枠を、外枠と、この外枠の内側に配置され
た内枠と、前記外枠および内枠に対して斜めに傾いた網
目を有し、前記外枠と内枠との間に緊張状態で張設され
た内枠支持メッシュとからなる二重枠とし、前記内枠内
にスクリーンメッシュを張設し、前記外枠にマスク枠拡
縮手段を設けて、前記マスク枠拡縮手段により前記外枠
およびマスク枠支持メッシュを介して前記内枠をスキー
ジ移動方向に拡縮させ、この内枠内に張設されたスクリ
ーンメッシュを伸縮させるようにするのがより好まし
い。

【００１４】このようにマスク枠を二重枠する場合は、
前記マスク枠拡縮手段を、前記外枠の一側の枠辺に固定
された固定端と、前記外枠の他側の枠辺に対してフリー
な自由端とを有し、スキージ移動方向と平行に設けられ
たロッドと、外枠の前記他側の枠辺に少なくとも枠内方
向への移動を拘束されて回転可能に設けられ、前記ロッ
ドの自由端に螺合締結された枠拡縮ねじとにより構成す
るのが望ましい。

【００１５】

【実施例】図１〜図４はこの発明の第１の実施例を示し
ており、図１はスクリーンマスクの平面図、図２は図１
のII−II線に沿う拡大断面図、図３は、スクリーンメッ
シュの一部分の拡大平面図である。

【００１６】なお、この実施例のスクリーンマスクは、
画面サイズ（横幅×縦幅）が１１００ｍｍ×６２２ｍｍ
の５０インチ画面のプラズマディスプレイ用基板の画面
に対応する領域内に、各画素列にそれぞれ対応させて蛍
光材料をストライプ状に印刷するのに用いられるもので
ある。

【００１７】このスクリーンマスクは、マスク枠１と、
前記マスク枠１内に緊張状態で張設されたスクリーンメ
ッシュ１０と、前記スクリーンメッシュ１０に所定のパ
ターンに被着されたマスク膜１２と、前記マスク枠１を
スキージ移動方向に拡縮するマスク枠拡縮機構２０とか
らなっている。

【００１８】この実施例は、マスク枠１を、１つの枠体
からなる単体枠としたものであり、マスク枠１は、例え
ばアルミニウム等からなる金属製角パイプを矩形枠状に
組み合わせて構成されている。このマスク枠１の大きさ
（長さ×幅）は、例えば１８００ｍｍ×１５００ｍｍで
あり、前記プラズマディスプレイ用基板の外形よりも充
分に大きい寸法を有している。

【００１９】前記スクリーンメッシュ１０は、ステンレ
スワイヤ等の非伸縮性ワイヤ（以下、ステンレスワイヤ
という）１１を編んで形成された、例えば２２５メッシ
ュ（１平方インチの面積中に２２５の網目）のステンレ
スワイヤ製メッシュであり、互いに交差するステンレス
ワイヤ１１はそれぞれ、マスク枠１の縦横のいずれか一
方の枠辺に対して２０°〜４５°傾いた方向に沿って張
られ、マスク枠１の縦横の枠辺に対して斜めに傾いた網
目を形成している。なお、図２では便宜上、スクリーン
メッシュ１０の断面を、互いに交差するステンレスワイ
ヤ１１の一方のワイヤの長さ方向に沿った断面として示
している。

【００２０】このスクリーンメッシュ１０は、その全て
のステンレスワイヤ１１を緊張させた状態でメッシュ外
周をマスク枠１の底面に接着剤１３により固定すること
により、マスク枠１内に緊張状態で張設されている。

【００２１】また、前記マスク膜１２は、マスク枠１内
に緊張状態で張設されたスクリーンメッシュ１０の下面
にその全域にわたって感光性樹脂を塗布し、この感光性
樹脂膜を所定のパターンに露光処理した後、現像処理に
よりパターニングして形成されたものであり、このマス
ク膜１２は、スクリーンメッシュ１０の伸縮にともなっ
て伸縮する。

【００２２】図に示したスクリーンマスクは、前記プラ
ズマディスプレイ用基板の画面に対応する領域内に、各
画素列にそれぞれ対応させてストライプ状に印刷される
複数の色の蛍光材料、例えば赤、緑、青の３色の蛍光材
料のうちの１つの色（例えば赤）の蛍光材料の印刷に用
いられるものであり、マスク膜１２は、２列おきの画素
列ごとに印刷される前記１つの色の蛍光材料の印刷領域
に対応する領域に、スリット状の開口１２ａを設けた形
状に形成されている。

【００２３】なお、現在のプラズマディスプレイの画素
ピッチは約１ｍｍであり、前記蛍光材料は、基板上に画
素ピッチに合わせて印刷される画素間隔壁（リブ）の間
の画素領域に印刷されるが、図では便宜上、マスク膜１
２のスリット状開口１２ａの数を少なくし、その幅を大
きく誇張して示している。

【００２４】また、前記マスク膜１２は、上述したよう
にスクリーンメッシュ１０の下面に被着されているが、
図１では、マスク膜１２のパターンを分かりやすくする
ために、マスク膜１２上のスクリーンメッシュを省略し
ている。

【００２５】このスクリーンマスクを用いるプラズマデ
ィスプレイ用基板への蛍光材料の印刷は、基板の被印刷
面上にスクリーンマスクのスクリーンメッシュ１０を置
決めして密着させ、このスクリーンメッシュ１０上に液
状の蛍光材料を供給し、その蛍光材料を図１に鎖線で示
したスキージ３０により均し広げて被印刷面上に塗布す
ることにより行なわれるが、その際、スクリーンメッシ
ュ１０がスキージ３０の移動方向に引張られて僅かなが
ら伸び変形し、この、スクリーンメッシュ１０に被着さ
れたマスク膜１２のパターンが微妙に変化する。

【００２６】このスクリーン印刷の際のスクリーンメッ
シュ１０の変形は、スクリーンメッシュ１０に対するス
キージ３０の押し付け力やスキージ３０の移動速度等の
印刷条件によって異なる。

【００２７】そこで、この実施例のスクリーンマスクで
は、印刷条件に応じてマスク膜１２のパターンを微調整
することができるようにするため、マスク枠１をスキー
ジ３０の移動方向に拡縮するマスク枠拡縮機構２０を備
えている。

【００２８】このマスク枠拡縮機構２０は、スクリーン
メッシュ１０上を移動されるスキージ３０の移動領域Ａ
の外側に配置されている。なお、この実施例では、スキ
ージ３０の移動領域Ａをはさんでその両側にマスク枠拡
縮機構２０を設けている。

【００２９】このマスク枠拡縮機構２０は、マスク枠１
の一側の枠辺に固定された固定端と、前記マスク枠１の
他側の枠辺に対してフリーな自由端とを有し、スキージ
移動方向と平行に設けられたロッド２１と、マスク枠１
の前記他側の枠辺に枠内方向への移動を拘束されて回転
可能に設けられ、前記ロッド２１の自由端に螺合締結さ
れた枠拡縮ねじ２４とにより構成されている。

【００３０】前記ロッド２１は、固定端となる一端部の
外周面と、自由端となる他端部の内周面とにそれぞれね
じが形成された金属パイプ（例えばステンレスパイプ）
からなっており、その固定端は、マスク枠１の一側（図
1において上側）の枠辺の内側板に設けたロッド貫通孔
に貫通されてこの枠辺の内側板に内外一対の固定ナット
２２，２３により締め付け固定され、自由端は、マスク
枠１の他側（図1において下側）の枠辺に対して間隔を
存して近接対向している。

【００３１】また、前記枠拡縮ねじ２４は、ドライバ等
の工具により回される頭部２４ａを有するボルトであ
り、そのボルト部が、マスク枠１の前記他側の枠辺の内
側板に穿設されたねじ挿通孔に回転可能に挿通されてロ
ッド２１の自由端に螺合締結され、頭部２４ａが、マス
ク枠１の枠辺内に収容されてこの枠辺の内側板の内面に
摺動回転可能に受け止められている。

【００３２】前記マスク枠拡縮機構２０は、スクリーン
メッシュ１０にマスク膜１２を被着させた後に取り付け
られたものであり、前記内外一対の固定ナット２２，２
３のうちの枠辺内側のナット２２は、マスク枠１の一側
の枠辺の外側板に設けられた工具挿入孔２から枠辺内に
挿入されてロッド２１に締め付けられ、枠拡縮ねじ２４
は、マスク枠１の他側の枠辺の外側板に設けられた工具
挿入孔３から枠辺内に挿入されてロッド２１の自由端に
螺合締結されている。

【００３３】このスクリーンマスクは、前記ロッド２１
と枠拡縮ねじ２４とからなるマスク枠拡縮手段２０によ
りマスク枠１をスキージ３０移動方向に拡縮することに
より、印刷条件に応じてマスク膜１２のパターンを微調
整することができるようにしたものである。

【００３４】すなわち、前記マスク枠１は、枠拡縮ねじ
２４を締結力を強める方向に回すことによってスキージ
移動方向に縮小変形し、枠拡縮ねじ２４を締結力を弱め
る方向に回すことによってスキージ移動方向に拡張変形
する。

【００３５】この場合、この実施例では、前記マスク枠
拡縮手段２０を、スキージ３０の移動領域Ａをはさんで
その両側に設けているため、マスク枠１を、歪みを生じ
させることなくほぼ均等に拡縮させることができる。

【００３６】なお、前記マスク枠１は、上述したように
アルミニウム等からなる金属製角パイプを矩形枠状に組
み合わせて構成されており、枠辺そのものは伸縮しない
が、枠拡縮ねじ２４を締結力を強める方向に回してマス
ク枠拡縮手段２０を縮小させると、マスク枠１が、その
両端の枠辺を外膨らみに撓み変形させて両側の枠辺間の
距離が小さくなるように縮小変形し、枠拡縮ねじ２４を
締結力を弱める方向に回してマスク枠拡縮手段２０を伸
長させると、マスク枠１が、その両端の枠辺の復元力に
より両側の枠辺間の距離が大きくなるように拡張変形す
る。

【００３７】このマスク枠１の最大拡縮変形量は、±数
ｍｍ程度で十分であり、したがって、前記ロッド２１の
自由端とマスク枠１の他側の枠辺との間隔は、前記最大
拡縮変形量以上であればよい。

【００３８】このようにマスク枠１をスキージ移動方向
に拡縮すると、このマスク枠１内に緊張状態で張設され
たスクリーンメッシュ１０がマスク枠１の拡縮にともな
って伸縮し、このスクリーンメッシュ１０に被着された
マスク膜１２のパターンが微妙に変化する。

【００３９】すなわち、前記スクリーンメッシュ１０
は、マスク枠１向に対して斜めに傾いた網目を有してお
り、マスク枠１の拡縮により、各ステンレスワイヤ１１
の傾き角を変えて伸縮する。

【００４０】そして、マスク膜１２は、前記スクリーン
メッシュ１０に所定のパターンで被着されているため、
スクリーンメッシュ１０が伸縮すると、それにともなっ
てマスク膜１２のパターンが微妙に変化する。

【００４１】図４はマスク膜１２のパターン変化を模式
的に示しており、（ａ）はマスク枠１をスキージ移動方
向に拡張変形させたときのパターン変化、（ｂ）はマス
ク枠１をスキージ移動方向に縮小変形させたときのパタ
ーン変化を示している。

【００４２】図４の（ａ）のように、マスク枠拡縮機構
２０の縮小力Ｐ１によりマスク枠１をスキージ移動方向
（図において上下方向）に縮小変形させると、このマス
ク枠１内に緊張状態で張設されているスクリーンメッシ
ュ１０のスキージ移動方向へのテンションが緩み、この
スクリーンメッシュ１０が、スキージ移動方向に縮みな
がらそれと直交する方向（図において左右方向）に図に
矢印Ｍ１で示したように伸び変形し、それにともなって
マスク膜１２のパターンが、前記矢印Ｍ１方向に大きく
なるように変化する。

【００４３】また、図４の（ｂ）のように、マスク枠拡
縮機構２０の拡張力Ｐ２によりマスク枠１をスキージ移
動方向に拡張変形させると、スクリーンメッシュ１０の
スキージ移動方向へのテンションが強くなり、このスク
リーンメッシュ１０が、スキージ移動方向に伸びながら
それと直交する方向に図に矢印Ｍ２で示したように縮み
変形し、それにともなってマスク膜１２のパターンが、
前記矢印Ｍ２方向に小さくなるように変化する。

【００４４】なお、前記マスク膜１２は、図1に示した
ように、複数のスリット状の開口１２ａを一定間隔で形
成したものであり、したがって、マスク膜１２が伸縮す
ると、全てのスリット状開口１２ａのパターン（スリッ
ト幅および間隔）が均等な比率で変化する。

【００４５】また、前記スクリーンメッシュ１０は、上
述したように、マスク枠１に対して斜めに傾いた網目を
有しており、マスク枠１の拡縮により各ステンレスワイ
ヤ１１の傾き角を変えて伸縮するため、その網目ピッチ
は、マスク枠１の拡縮に対して極く小さい比率で微妙に
変化する。

【００４６】そのため、前記マスク枠拡縮機構２０によ
るマスク枠１の拡縮に比べて、スクリーンメッシュ１０
の網目ピッチの変化は極く僅かであり、したがって、マ
スク膜１２のスリット状開口１２ａのパターン（スリッ
ト幅および間隔）は、数μｍ単位で微調整することが可
能である。

【００４７】このマスク膜１２のパターン調整は、スク
リーン印刷の際の印刷条件、つまりスクリーンメッシュ
１０に対するスキージ３０の押し付け力やスキージ３０
の移動速度等に応じて行えばよく、このマスク膜１２の
パターンを、スクリーンメッシュ１０がスキージ３０の
移動方向に引張られて伸び変形したときにマスク膜１２
が正規の位置にくるように調整することにより、高精度
のスクリーン印刷を行うことができる。

【００４８】すなわち、上記スクリーンマスクは、マス
ク枠拡縮機構２０によってマスク枠１をスキージ移動方
向に拡縮することにより、スクリーンメッシュ１０に被
着されたマスク膜１２のパターンを、印刷条件に応じて
微調整することができるようにしたものであり、このス
クリーンマスクは、印刷条件が変更されても、マスク膜
１２のパターンの微調整により高精度のスクリーン印刷
を行なうことができるため、汎用性を有している。

【００４９】しかも、前記スクリーンメッシュ１０は、
ステンレスワイヤ１１からなっているため、スキージ３
０による引張力が強く作用すると、スクリーンマスク１
０が伸び変形したままとなってマスク膜１２のパターン
が狂ってしまうが、このスクリーンマスクによれば、前
記マスク膜１２のパターンの狂いを、マスク枠拡縮機構
２０によってマスク枠１をスキージ移動方向に拡縮する
ことにより修正することができる。

【００５０】また、この実施例では、マスク枠拡縮手段
２０を、マスク枠１の一側の枠辺に固定された固定端
と、マスク枠１の他側の枠辺に対してフリーな自由端と
を有し、スキージ移動方向と平行に設けられたロッド２
１と、マスク枠１の前記他側の枠辺に枠内方向への移動
を拘束されて回転可能に設けられ、前記ロッド２１の自
由端に螺合された枠拡縮ねじ２４とにより構成している
ため、簡単な構造でマスク枠１をスキージ移動方向に拡
縮することができる。

【００５１】なお、上記実施例では、マスク枠拡縮手段
２０の枠拡縮ねじ２４を、マスク枠１の他側の枠辺に枠
内方向への移動を拘束して設け、マスク枠拡縮手段２０
の縮小によりマスク枠１をその両端の枠辺を撓み変形さ
せて縮小変形させ、枠拡縮手段２０の伸長によりマスク
枠１をその両端の枠辺の復元力により拡張変形させるよ
うにしているが、前記枠拡縮ねじ２４を、マスク枠１の
前記他側の枠辺に、枠内方向と枠外方向の両方向の移動
を拘束して回転可能に設け、マスク枠１を、マスク枠拡
縮手段２０の伸長により強制的に拡張させるようにして
もてもよい。

【００５２】図５はこの発明の第２の実施例を示すスク
リーンマスクの平面図、図６は図５のVI−VI線に沿う拡
大断面図であり、この実施例のスクリーンマスクは、二
重枠構造のものである。

【００５３】すなわち、この実施例のスクリーンマスク
は、マスク枠１′を、外枠１ａと、この外枠１ａの内側
に配置された内枠１ｂと、前記外枠１ａと内枠１ｂとの
間に緊張状態で張設された内枠支持メッシュ１４とから
なる二重枠とし、前記内枠１ｂ内にスクリーンメッシュ
１０を張設し、前記外枠１ａにマスク枠拡縮機構２０を
設けたものである。

【００５４】前記スクリーンメッシュ１０は、ステンレ
スワイヤ製のものであり、このスクリーンメッシュ１０
に、スリット状の開口１２ａを所定のパターンに設けた
マスク膜１２が被着されている。

【００５５】なお、このスクリーンメッシュ１０および
マスク膜１２は、上記第１の実施例で用いたものと同じ
ものであり、前記マスク膜１２はスクリーンメッシュ１
０の下面に被着されているが、図５では、マスク膜１２
のパターンを分かりやすくするために、マスク膜１２上
のスクリーンメッシュを省略している。

【００５６】前記外枠１ａは、例えばアルミニウム等か
らなる金属製角パイプを矩形枠状に組み合わせて構成さ
れたものであり、内枠１ｂは、アルミニウム等からなる
金属板を矩形枠状に組み合わせて構成されている。

【００５７】前記内枠支持メッシュ１４は、テトロン
（４弗化エチレン樹脂）ワイヤ等の非伸縮性ワイヤ（以
下、テトロンワイヤという）１５を、ほぼ正方形の網目
を有する網状に編んで形成されたものであり、互いに交
差するテトロンワイヤ１５はそれぞれ、外枠１ａおよび
内枠１ｂの枠辺に対して２０°〜４５°傾いた方向に沿
って張られ、外枠１ａおよび内枠１ｂに対して斜めに傾
いた網目を形成している。この実施例では、内枠支持メ
ッシュ１４として、前記スクリーンメッシュ１０よりも
若干大きいメッシュサイズのものを用いている。

【００５８】なお、図６では便宜上、スクリーンメッシ
ュ１０および内枠支持メッシュ１４の断面を、互いに交
差するステンレスワイヤ１１およびテフロンワイヤ１５
の一方のワイヤの長さ方向に沿った断面として示してい
る。

【００５９】前記内枠支持メッシュ１４は、その外周を
外枠１ａの底面に接着剤１６により固定され、内周を内
枠１ｂの底面に接着剤１７により固定されて、前記外枠
１ａと内枠１ｂとの間に緊張状態で張設されており、前
記スクリーンメッシュ１０は、その外周を内枠１ｂの底
面に接着剤１８により固定され、内枠１ｂ内に緊張状態
で張設されている。

【００６０】また、前記マスク枠拡縮機構２０は、前記
スクリーンメッシュ１０上を移動されるスキージ３０の
移動領域Ａの外側に配置されている。なお、この実施例
でも、マスク枠１′を歪みを生じさせることなくほぼ均
等に拡縮させるため、スキージ３０の移動領域Ａをはさ
んでその両側にマスク枠拡縮機構２０を設けている。

【００６１】前記マスク枠拡縮機構２０は、マスク枠
１′の外枠１ａの一側の枠辺に固定された固定端と、前
記外枠１ａの他側の枠辺に対してフリーな自由端とを有
し、スキージ移動方向と平行に設けられたロッド２１
と、前記外枠１ａの他側の枠辺に枠内方向への移動を拘
束されて回転可能に設けられ、前記ロッド２１の自由端
に螺合締結された枠拡縮ねじ２４とにより構成されてい
る。

【００６２】なお、この実施例のスクリーンマスクは、
マスク枠１′を二重枠とし、その外枠１ａにマスク枠拡
縮機構２０を設けたものであるが、前記マスク枠拡縮機
構２０は、基本的に上記第１の実施例で用いたものと同
じ構成であるから、その説明は図に同符号を付して省略
する。

【００６３】すなわち、この実施例のスクリーンマスク
は、マスク枠１′を、外枠１ａと内枠１ｂおよびその間
に張設された内枠支持メッシュ１４とからなる二重枠と
し、その内枠１ｂ内にスクリーンメッシュ１０を張設
し、前記外枠１ａにマスク枠拡縮機構２０を設けて、前
記マスク枠拡縮機構２０により前記外枠１ａおよびマス
ク枠支持メッシュ１４を介して前記内枠１ｂをスキージ
移動方向に拡縮させ、この内枠１ｂ内に張設されたスク
リーンメッシュ１０を伸縮させるようにしたものであ
る。

【００６４】このスクリーンマスクでは、マスク枠拡縮
機構２０による外枠１ａの拡縮により、マスク枠支持メ
ッシュ１４を介して内枠１ｂが、前記外枠１ａの拡縮よ
りも小さい比率で拡縮し、この内枠１ｂの拡縮により、
スクリーンメッシュ１０が伸縮するため、前記スクリー
ンメッシュ１０の網目ピッチを、上記第１の実施例より
も小さい比率で変化させ、マスク膜１２のパターンをさ
らに微妙に調整することができる。

【００６５】すなわち、前記マスク枠支持メッシュ１４
は、前記外枠１ａおよび内枠１ｂに対して斜めに傾いた
網目を有しており、外枠１ａの拡縮により、各テフロン
ワイヤ１５の傾き角を変えて伸縮するため、このマスク
枠支持メッシュ１４を介して外枠１ａに支持された内枠
１ｂは、外枠１ａの拡縮に対して極く小さい比率で拡縮
する。

【００６６】そのため、このスクリーンマスクによれ
ば、前記内枠１ｂ内に張設されたスクリーンメッシュ１
０を、マスク枠拡縮機構２０による外枠１ａの拡縮に比
べてさらに微妙に伸縮させ、このスクリーンメッシュ１
０に被着されたマスク膜１２のスリット状開口１２ａの
パターン（スリット幅および間隔）を、１〜２μｍ程度
の極く微小な単位で微調整することが可能である。

【００６７】また、この実施例では、マスク枠拡縮手段
２０を、二重枠からなるマスク枠１′の外枠１ａの一側
の枠辺に固定された固定端と、前記外枠１ａの他側の枠
辺に対してフリーな自由端とを有し、スキージ移動方向
と平行に設けられたロッド２１と、前記外枠１ａの前記
他側の枠辺に枠内方向への移動を拘束されて回転可能に
設けられ、前記ロッド２１の自由端に螺合された枠拡縮
ねじ２４とにより構成しているため、簡単な構造でマス
ク枠１′をスキージ移動方向に拡縮することができる。

【００６８】なお、上記第１および第２の実施例では、
マスク枠拡縮機構２０を、前記ロッド２１と枠拡縮ねじ
２４とにより構成しているが、マスク枠拡縮機構は、マ
スク枠１，１′をその長さ方向に拡縮することができる
ものであれば、他の構成としてもよい。

【００６９】また、上記実施例のスクリーンマスクは、
プラズマディスプレイ用基板への蛍光材料の印刷に用い
るものであるが、この発明は、前記プラズマディスプレ
イ用基板への画素間隔壁（リブ）または電極の印刷、プ
リント回路基板への配線の印刷、液晶ディスプレイ用基
板への枠状シール材の印刷に用いるスクリーンマスク
等、種々の用途のスクリーンマスクに広く適用すること
ができる。

【００７０】

【発明の効果】この発明のスクリーンマスクは、マスク
枠と、前記マスク枠に対して斜めに傾いた網目を有し、
前記マスク枠内に緊張状態で張設されたスクリーンメッ
シュと、前記スクリーンメッシュに所定のパターンに被
着されたマスク膜と、前記スクリーンメッシュ上を移動
されるスキージの移動領域の外側に配置され、前記マス
ク枠を前記スキージの移動方向に拡縮するマスク枠拡縮
手段とからなることを特徴とするものであるから、印刷
条件に応じてマスク膜のパターンを微調整することがで
き、したがって、印刷条件が変更されても使用できる汎
用性を有している。

【００７１】この発明のスクリーンマスクにおいて、前
記マスク枠は、１つの枠体からなる単体枠でもよく、そ
の場合は、マスク枠拡縮手段を、マスク枠の一側の枠辺
に固定された固定端と、マスク枠の他側の枠辺に対して
フリーな自由端とを有し、スキージ移動方向と平行に設
けられたロッドと、前記マスク枠の前記他側の枠辺に枠
長さ方向の移動を拘束されて回転可能に設けられ、前記
ロッドの自由端に螺合された枠拡縮ねじとにより構成す
るのが望ましく、このようにすることにより、簡単な構
造でマスク枠をスキージ移動方向に拡縮することができ
る。

【００７２】また、この発明のスクリーンマスクにおい
ては、マスク枠を、外枠と、この外枠の内側に配置され
た内枠と、前記外枠および内枠の長さ方向に対して斜め
に傾いた網目を有し、前記外枠と内枠との間に緊張状態
で張設された内枠支持メッシュとからなる二重枠とし、
前記内枠内にスクリーンメッシュを張設し、前記外枠に
マスク枠拡縮手段を設けて、前記マスク枠拡縮手段によ
り前記外枠およびマスク枠支持メッシュを介して前記内
枠をスキージ移動方向に拡縮させ、この内枠内に張設さ
れたスクリーンメッシュを伸縮させるようにするのがよ
り好ましく、このような構成とすることにより、マスク
膜のパターンをさらに微妙に調整することができる。

【００７３】このようにマスク枠を二重枠する場合は、
マスク枠拡縮手段を、前記外枠の一側の枠辺に固定され
た固定端と、前記外枠の他側の枠辺に対してフリーな自
由端とを有し、スキージ移動方向と平行に設けられたロ
ッドと、前記外枠の前記他側の枠辺に少なくとも枠内方
向への移動を拘束されて回転可能に設けられ、前記ロッ
ドの自由端に螺合締結された枠拡縮ねじとにより構成す
るのが望ましく、このようにすることにより、簡単な構
造でマスク枠をスキージ移動方向に拡縮することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施例を示すスクリーンマス
クの平面図。

【図２】図１のII−II線に沿う拡大断面図。

【図３】スクリーンメッシュの一部分の拡大平面図。

【図４】マスク膜のパターン変化を模式的に示す図。

【図５】この発明の第２の実施例を示すスクリーンマス
クの平面図。

【図６】図５のVI−VI線に沿う拡大断面図。

【符号の説明】

１…マスク枠（単体枠） １０…スクリーンメッシュ １２…マスク膜 ２０…マスク枠拡縮機構 ２１…ロッド ２４…枠拡縮ねじ １′…マスク枠（二重枠） １ａ…外枠 １ｂ…内枠 １４…内枠支持メッシュ

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【手続補正書】

【提出日】平成１２年２月４日（２０００．２．４）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６８

【補正方法】削除

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７１】この発明のスクリーンマスクにおいて、前
記マスク枠は、１つの枠体からなる単体枠でもよく、そ
の場合は、マスク枠拡縮手段を、マスク枠の一側の枠辺
に固定された固定端と、マスク枠の他側の枠辺に対して
フリーな自由端とを有し、スキージ移動方向と平行に設
けられたロッドと、前記マスク枠の前記他側の枠辺に少
なくとも枠内方向への移動を拘束されて回転可能に設け
られ、前記ロッドの自由端に螺合された枠拡縮ねじとに
より構成するのが望ましく、このようにすることによ
り、簡単な構造でマスク枠をスキージ移動方向に拡縮す
ることができる。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】マスク枠と、前記マスク枠に対して斜めに
   傾いた網目を有し、前記マスク枠内に緊張状態で張設さ
   れたスクリーンメッシュと、前記スクリーンメッシュに
   所定のパターンに被着されたマスク膜と、前記スクリー
   ンメッシュ上を移動されるスキージの移動領域の外側に
   配置され、前記マスク枠を前記スキージの移動方向に拡
   縮するマスク枠拡縮機構とからなることを特徴とするス
   クリーンマスク。
2. 【請求項２】マスク枠は、１つの枠体からなる単体枠で
   あり、マスク枠拡縮手段が、前記マスク枠の一側の枠辺
   に固定された固定端と、前記マスク枠の他側の枠辺に対
   してフリーな自由端とを有し、スキージ移動方向と平行
   に設けられたロッドと、前記マスク枠の前記他側の枠辺
   に少なくとも枠内方向への移動を拘束されて回転可能に
   設けられ、前記ロッドの自由端に螺合締結された枠拡縮
   ねじとからなっていることを特徴とする請求項１に記載
   のスクリーンマスク。
3. 【請求項３】マスク枠は、外枠と、この外枠の内側に配
   置された内枠と、前記外枠および内枠に対して斜めに傾
   いた網目を有し、前記外枠と内枠との間に緊張状態で張
   設された内枠支持メッシュとからなる二重枠であり、前
   記内枠内にスクリーンメッシュが張設され、前記外枠に
   マスク枠拡縮手段が設けられていることを特徴とする請
   求項１に記載のスクリーンマスク。
4. 【請求項４】マスク枠拡縮手段が、外枠の一側の枠辺に
   固定された固定端と、前記外枠の他側の枠辺に対してフ
   リーな自由端とを有し、スキージ移動方向と平行に設け
   られたロッドと、前記外枠の前記他側の枠辺に少なくと
   も枠内方向への移動を拘束されて回転可能に設けられ、
   前記ロッドの自由端に螺合締結された枠拡縮ねじとから
   なっていることを特徴とする請求項３に記載のスクリー
   ンマスク。