JP2000343406A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】 試料台に保持された試料の一面を研磨定盤に張着された研磨パッドの表面に押し当て、両者間に研磨スラリを供給しつつ摺接させて前記試料の一面を研磨する一方、前記研磨パッドの表面にドレス用ヘッドのドレス面を押し当て、前記表面をドレッシングする試料研磨方法において、
粗さの異なるドレス面を有する第１，第２のドレス用ヘッドを用い、研磨により均された研磨パッドの表面のドレッシングを、相対的に細かいドレス面を有する第１のドレス用ヘッドにより実施し、
研磨定盤に新たに張着された研磨パッドの表面のドレッシングを、相対的に粗いドレス面を有する第２のドレス用ヘッドにより実施することを特徴とする試料研磨方法。
【請求項２】 前記第１のドレス用ヘッドによるドレッシングを、前記試料の研磨中の研磨パッドに対しても実施する請求項１記載の試料研磨方法。
【請求項３】 試料台に保持された試料の一面を研磨定盤に張着された研磨パッドの表面に押し当て、前記試料の一面を研磨する試料研磨装置において、
前記研磨パッドの表面に押し当てられて該表面のドレッシングを行う第１のドレス用ヘッド及び第２のドレス用ヘッドを備え、
該第２のドレス用ヘッドは、前記第１のドレス用ヘッドに比べて粗いドレス面を有することを特徴とする試料研磨装置。
【請求項４】 試料台に保持された試料の一面を研磨定盤に張着された研磨パッドの表面に押し当て、前記試料の一面を研磨する一方、前記研磨パッドの表面にドレス用ヘッドのドレス面を押し当て、前記表面をドレッシングする試料研磨装置において、
研磨により均された研磨パッドの表面のドレッシングを行う第１のドレス用ヘッドと、
該第１のドレス用ヘッドに比べて粗いドレス面を有し、研磨定盤に新たに張着された研磨パッドの表面のドレッシングを行う第２のドレス用ヘッドと
を備えることを特徴とする試料研磨装置。
【請求項５】 前記第１のドレス用ヘッドのドレス面は、０．４ｍｍ以下の粒径を有するダイヤモンド粒を基材に埋設して構成してある請求項３又は請求項４に記載の試料研磨装置。
【請求項６】 前記第２のドレス用ヘッドのドレス面は、０．２ｍｍ以上の粒径を有するダイヤモンド粒を基材に埋設して構成してある請求項３又は請求項４に記載の試料研磨装置。
【請求項７】 試料台に保持された試料の一面を研磨定盤に張着された研磨パッドの表面に押し当て、両者間に研磨スラリを供給しつつ摺接させて前記試料の一面を研磨する一方、前記研磨パッドの表面にドレス用ヘッドのドレス面を押し当て、前記表面をドレッシングする試料研磨方法において、
研磨により均された研磨パッドの表面のドレッシングと、研磨定盤に新たに張着された研磨パッドの表面のドレッシングとを、前記ドレス用ヘッドのドレス面の押し当て面圧を大小に変更して実施することを特徴とする試料研磨方法。
【請求項８】 試料台に保持された試料の一面を研磨定盤に張着された研磨パッドの表面に押し当て、前記試料の一面を研磨する試料研磨装置において、
前記研磨パッドの表面にそのドレス面を押し当て、前記表面をドレッシングするドレス用ヘッドと、
該ドレス用ヘッドに付設され、前記ドレス面の押し当て面圧を大小に変更する面圧変更手段と
を備えることを特徴とする試料研磨装置。
【請求項９】 試料台に保持された試料の一面を研磨定盤に張着された研磨パッドの表面に押し当て、前記試料の一面を研磨する試料研磨装置において、
前記研磨パッドの表面にそのドレス面を押し当て、前記表面をドレッシングするドレス用ヘッドと、
研磨により均された研磨パッドの表面に対するドレッシング量が、研磨定盤に新たに張着された研磨パッドの表面に対するドレッシング量に比べて抑えた状態になるように、ドレス面の押し当て面圧を変更する手段と
を備えることを特徴とする試料研磨装置。

また、本発明に係る試料研磨装置は、試料台に保持された試料の一面を研磨定盤に張着された研磨パッドの表面に押し当て、前記試料の一面を研磨する試料研磨装置において、前記研磨パッドの表面に押し当てられて該表面のドレッシングを行う第１のドレス用ヘッド及び第２のドレス用ヘッドを備え、該第２のドレス用ヘッドは、前記第１のドレス用ヘッドに比べて粗いドレス面を有することを特徴とする。
さらに、本発明に係る試料研磨装置は、試料台に保持された試料の一面を研磨定盤に張着された研磨パッドの表面に押し当て、前記試料の一面を研磨する一方、前記研磨パッドの表面にドレス用ヘッドのドレス面を押し当て、前記表面をドレッシングする試料研磨装置において、研磨により均された研磨パッドの表面のドレッシングを行う第１のドレス用ヘッドと、該第１のドレス用ヘッドに比べて粗いドレス面を有し、研磨定盤に新たに張着された研磨パッドの表面のドレッシングを行う第２のドレス用ヘッドとを備えることを特徴とする。

また、本発明に係る試料研磨装置は、試料台に保持された試料の一面を研磨定盤に張着された研磨パッドの表面に押し当て、前記試料の一面を研磨する試料研磨装置において、前記研磨パッドの表面にそのドレス面を押し当て、前記表面をドレッシングするドレス用ヘッドと、該ドレス用ヘッドに付設され、前記ドレス面の押し当て面圧を大小に変更する面圧変更手段とを備えることを特徴とする。
さらに、本発明に係る試料研磨装置は、試料台に保持された試料の一面を研磨定盤に張着された研磨パッドの表面に押し当て、前記試料の一面を研磨する試料研磨装置において、前記研磨パッドの表面にそのドレス面を押し当て、前記表面をドレッシングするドレス用ヘッドと、研磨により均された研磨パッドの表面に対するドレッシング量が、研磨定盤に新たに張着された研磨パッドの表面に対するドレッシング量に比べて抑えた状態になるように、ドレス面の押し当て面圧を変更する手段とを備えることを特徴とする。