JP2000338302A - 反射防止膜及び画像表示装置 - Google Patents

反射防止膜及び画像表示装置

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JP2000338302A
JP2000338302A JP11147249A JP14724999A JP2000338302A JP 2000338302 A JP2000338302 A JP 2000338302A JP 11147249 A JP11147249 A JP 11147249A JP 14724999 A JP14724999 A JP 14724999A JP 2000338302 A JP2000338302 A JP 2000338302A
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Japan
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layer
light
light absorbing
antireflection film
absorbing layer
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JP11147249A
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Hirokazu Ishikawa
博一 石川
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Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 十分な光吸収性を備えるとともに両主面のど
ちら側から入射する光に対しても十分に低い反射率を備
える。 【解決手段】 基材2上に、第1の光吸収層3と、第1
の低屈折透明層4と、第2の光吸収層5と、第2の低屈
折率透明層6とを順次形成する。また、第1の光吸収層
3及び第2の光吸収層5が、450nm〜650nmの
波長域の光に対して、消衰係数を0.2以上となるよう
に形成する。これにより、第1の主面1a及び第2の主
面1bのどちら側から入射する光に対しても十分に低い
反射率を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基材の反射防止の
ために用いられるとともに光吸収性を備える反射防止
膜、及び、画像表示面に反射防止処理と光吸収処理とを
施した画像表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】画像表示装置(以下、ディスプレイとい
う。)は、例えばコンピュータ等の情報処理装置や各種
放送の受信装置等と組み合わせて、画像を表示する表示
装置として用いられ、陰極線管(CRT:Cathode Ray
Tube)ディスプレイ、プラズマディスプレイ、ELディ
スプレイ等の種類がある。ディスプレイには、その画像
表示面に外光が反射すると、表示された情報が目視しに
くくなるといった問題がある。そこで、ディスプレイの
画像表示面には、外光の反射を防止して視認性を向上さ
せるために、反射防止膜が被着されている。
【0003】ディスプレイは、近年、画像表示面の大画
面化及び平坦化を図ることが要求されている一方で、例
えばコントラスト等の画質を一層向上することが求めら
れている。しかしながら、例えば、CRTディスプレイ
の場合には、画像表示面の大画面化及び平坦化を図る
と、この画像表示面でのCRTパネルの厚みに大きな不
均一性が生じてしまう。したがって、CRTディスプレ
イでは、CRTパネルの透過率を制御することによって
画像表示面を透過する光のコントラストを向上すること
が困難であった。
【0004】そこで、CRTディスプレイでは、CRT
パネルの透過率を高く形成するとともに、反射防止膜に
光吸収層を設け、この反射防止膜の透過率を制御するこ
とによって、画像表示面を透過する光のコントラストを
向上させることが提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、反射防止膜
は、一般に、光吸収性を有する材料を用いずに構成した
場合に、両主面側から入射する光に対して反射防止効果
を発揮することができる。しかしながら、反射防止膜に
光吸収層を設けて構成した場合、すなわち、基板上に光
吸収層や低屈折率透明層等を積層して構成した場合に、
基板と反対側からの入射光に対する反射率(以下、表面
反射率という。)が低くなるように各層の構成を設計す
ると、基板側からの入射光に対する反射率(以下、内面
反射率という。)が高くなってしまうといった問題があ
った。
【0006】従来の反射防止膜は、例えば、光吸収層が
TiNによって形成されて3層構成とされ、表面反射率
が0.2%程度であるのに対して、内面反射率が7%程
度であり、透過率が70%程度である。また、従来のC
RTディスプレイにおけるCRTパネルの透過率は60
%程度である。したがって、従来では、CRTディスプ
レイに反射防止膜を被着させた場合に、全体としての透
過率は40%程度であった。また、反射防止膜の内面反
射率が高い場合であっても、反射光がCRTパネルで吸
収されてしまうため、この反射光の影響は少なかった。
【0007】しかしながら、上述したように、画像表示
面の平坦化及び高画質化に対応するために、反射防止膜
だけで全体の透過率を40%〜50%程度とする場合
に、この反射防止膜の内面反射率は20%にも達してし
まう。この場合に、CRTパネルは高い透過率で設計さ
れているため、反射防止膜のCRTパネル側で反射した
反射光のCRTパネルでの吸収が期待できない。そのた
め、画像表示面でのコントラストが著しく低下してしま
う。
【0008】すなわち、上述したように、画像表示面の
平坦化及び高画質化に対応するために、CRTパネルの
透過率を高く形成し、反射防止膜の透過率を制御するこ
とによって画像表示面を透過する光のコントラストを向
上させるという提案は、反射防止膜の設計に困難が伴う
ことが判明した。
【0009】そこで、本発明は、十分な光吸収性を備え
るとともに、両主面のどちら側から入射する光に対して
も十分に低い反射率を備える反射防止膜、及び、画像表
示面に十分な反射防止処理と光吸収処理とを施した画像
表示装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明に係る反射防止膜
は、基材上に、第1の光吸収層と、第1の低屈折率透明
層と、第2の光吸収層と、第2の低屈折率透明層とが順
次形成されてなる。また、上記第1の光吸収層及び第2
の光吸収層は、450nm〜650nmの波長域の光に
対して、消衰係数が0.2以上とされてなる。
【0011】以上のように構成された反射防止膜は、十
分な光吸収性を備えるとともに、両主面のどちら側から
入射する光に対しても十分に低い反射率を備える。
【0012】また、本発明に係る画像表示装置は、画像
表示面上に、第1の光吸収層と、第1の低屈折率透明層
と、第2の光吸収層と、第2の低屈折率透明層とが順次
形成されてなる。また、上記第1の光吸収層及び第2の
光吸収層は、所定の波長域450nm〜650nmの波
長域の光に対して、消衰係数が0.2以上とされてな
る。
【0013】以上のように構成された画像表示装置は、
画像表示面での外光の反射を十分に防止することができ
るとともに、十分な光吸収性を有し、画像表示面側から
の入射光に対する反射率を十分に低減することができ
る。
【0014】さらに、本発明に係る別の画像表示装置
は、画像表示面上に反射防止膜が被着されてなる。上記
反射防止膜は、プラスチック材料によって形成された基
材上に、第1の光吸収層と、第1の低屈折率透明層と、
第2の光吸収層と、第2の低屈折率透明層とが順次形成
されてなる。また、上記第1の光吸収層及び第2の光吸
収層は、450nm〜650nmの波長域の光に対し
て、消衰係数が0.2以上とされてなる。
【0015】以上のように構成された画像表示装置は、
画像表示面での外光の反射を十分に防止することができ
るとともに、十分な光吸収性を有し、画像表示面側から
の入射光に対する反射率を十分に低減することができ
る。
【0016】
【発明の実施の形態】以下では、本発明の実施の形態に
ついて、図面を参照して詳細に説明する。以下では、先
ず、図1に示すような反射防止膜1について説明する。
【0017】反射防止膜1は、基材2上に、第1の光吸
収層3と、第1の低屈折率透明層4と、第2の光吸収層
5と、第2の低屈折率透明層6とが薄膜状に順次積層さ
れてなる。なお、以下の説明では、基材2の外方に臨む
主面を、反射防止膜1の第1の主面1aと称し、第2の
低屈折率透明層6の外方に臨む主面を、反射防止膜1の
第2の主面1bと称する。
【0018】基材2は、例えば、合成石英ガラス等のガ
ラス材料や、各種プラスチック等の樹脂材料によって平
板状に形成されている。基材2は、所望とする強度及び
厚さを有するように形成されていればよく、例えば薄膜
状に形成されて可撓性を有していてもよい。
【0019】反射防止膜1では、基材2がガラス材料に
よって形成されていることにより、容易に所望とする硬
度を得ることができる。また、反射防止膜1では、基材
2が樹脂材料によって形成されていることにより、容易
に所望とする可撓性を得ることができる。なお、基材2
を樹脂材料によって形成した場合には、この基材2と第
1の光吸収層3との間にハードコート層を設けてもよ
い。これにより、基材2の硬度が向上し、傷等による劣
化を防止することができる。
【0020】第1の光吸収層3及び第2の光吸収層5
は、450nm〜650nmの波長域の光に対して消衰
係数が0.2以上である材料により、薄膜状に形成され
ている。これにより、第1の光吸収層3及び第2の光吸
収層5は、例えばCRTディスプレイ等のような各種の
ディスプレイの画像表示面から可視光として放射される
光に対して、光吸収性を示すことができる。
【0021】また、第1の光吸収層3及び第2の光吸収
層5は、消衰係数が0.2以上であることによって、十
分な光吸収性を示すことができる。なお、第1の光吸収
層3及び第2の光吸収層5の消衰係数は、0.5以上で
あることがより望ましい。
【0022】また、第1の光吸収層3及び第2の光吸収
層5は、導電性を有する材料によって形成されているこ
とが望ましい。これにより、反射防止膜1は、例えばC
RTディスプレイ等に被着して用いられた場合に、この
CRTディスプレイの帯電や、電界の漏洩を防止するこ
とができる。このとき、反射防止膜1は、その表面にお
ける電気抵抗を、例えば1kΩ/□以下とすることによ
り、より確実に帯電防止及び漏洩電界防止の効果を得る
ことができる。
【0023】第1の光吸収層3及び第2の光吸収層5
は、例えば、TiNを主とする材料によって形成するこ
とができる。これにより、十分な光吸収性と十分な導電
性とを備えることができる。これにより、第1の光吸収
層3及び第2の光吸収層5は、450nm〜650nm
の波長域の光に対して、消衰係数が0.2以上であるこ
とを満足することができる。一般に、材料の消衰係数
は、光の波長によって異なる値を示し、所定の波長域の
光に対して所望とする消衰係数を満足するためには材料
を慎重に選択する必要がある。
【0024】第1の光吸収層3及び第2の光吸収層5
は、TiNを主とする材料によって形成することによっ
て、例えば、450nmの波長の光に対して消衰係数が
0.8754、550nmの波長の光に対して消衰係数
が1.2575、650nmの波長の光に対して消衰係
数が1.6435となるように形成することができる。
また、第1の光吸収層3及び第2の光吸収層5は、Ti
Nの作製条件を変えることによって、例えば、450n
mの波長の光に対して消衰係数が0.63〜0.92の
範囲となるように形成することができる。
【0025】なお、第1の光吸収層3及び第2の光吸収
層5は、Zrの窒化物又はHfの窒化物を主とする材料
によって形成されていてもよい。これによっても、十分
な光吸収性と十分な導電性とを備えることができる。
【0026】なお、反射防止膜1では、第1の光吸収層
3及び第2の光吸収層5の両層ともに導電性を有する材
料によって形成されていることによって、より効果的に
帯電防止及び漏洩電界防止の効果を得ることができる。
ただし、第1の光吸収層3及び第2の光吸収層5は、そ
れぞれ異なる材料によって形成されていてもよく、例え
ば一方の層だけが導電性を有する材料によって形成され
ていてもよい。
【0027】第1の低屈折率透明層4及び第2の低屈折
率透明層6は、可視光波長域の光に対して透光性を示
し、且つ低屈折率である材料によって、薄膜状に形成さ
れている。ここで、低屈折率であるとは、屈折率が概ね
2.0以下であり、基材2の屈折率よりも低いことを云
う。この第1の低屈折率透明層4及び第2の低屈折率透
明層6を形成する材料としては、例えば、SiO2、M
gF2、Al23等を用いることができる。これによ
り、第1の低屈折率透明層4及び第2の低屈折率透明層
6の屈折率は、1.35〜1.70程度とすることがで
きる。
【0028】以上のように構成された反射防止膜1で
は、所望とする目的や要求される性能に応じて、その光
学的特性、すなわち、第1の主面1aから入射する光及
び第2の主面1bから入射する光に対する反射率や透過
率等が、所定の値となるように制御されている。反射防
止膜1では、上述した各層の材料を適宜選択し、膜厚を
制御することによって、全体としての光学的特性を制御
することができる。なお、上述した各層は、例えばスパ
ッタリング法や真空蒸着法等のようなPVD(Physical
Vapor Deposition)法又はCVD(Chemical Vapor De
position)法によって、基材2上に順次成膜すればよ
い。
【0029】反射防止膜1は、基板2上に各層が積層さ
れてなり、第1の光吸収層3及び第2の光吸収層5の消
衰係数が、450nm〜650nmの波長域の光に対し
て0.2以上とされていることによって、全体としての
光学的特性を制御し、十分な光吸収性を備えるととも
に、第1の主面1a及び第2の主面1bのどちら側から
入射する光に対しても十分に低い反射率を備えることが
できる。言い換えると、反射防止膜1では、第1の主面
1a側からの入射光に対する反射率、すなわち内面反射
率と、第2の主面1b側からの入射光に対する反射率、
すなわち表面反射率とを十分に低くすることができる。
【0030】なお、本発明に係る反射防止膜は、基材と
第1の光吸収層との間に密着性向上層を備えて構成され
ていてもよい。以下では、図2に示すように、密着性向
上層7を備えて構成された反射防止膜10について説明
する。なお、反射防止膜10では、上述した反射防止膜
1との相違点が密着性向上層7を有する点だけである。
したがって、反射防止膜1と同一又は同等の部材につい
ては、説明を省略し、図1と同一の符号を付すこととす
る。
【0031】反射防止膜10は、基材2上に、密着性向
上層7と、第1の光吸収層3と、第1の低屈折率透明層
4と、第2の光吸収層5と、第2の低屈折率透明層6と
が薄膜状に順次積層されてなる。
【0032】密着性向上層7は、例えばSiOx(x<
2)によって、基材2上に薄膜状に形成されている。な
お、密着性向上層7は、SiOxyによって形成されて
いてもよい。また、密着性向上層7は、Tiを含む材料
によって形成されていてもよい。また、密着性向上層7
の膜厚は、10nm以下程度とすることが望ましい。反
射防止膜10では、密着性向上層7の膜厚が10nmを
超えると、全体としての光学特性を良好に保つことが困
難となってしまう。
【0033】反射防止膜10は、このように密着性向上
層7を備えて構成されることによって、例えば基材2が
樹脂材料によって形成された場合に、基材2と、この基
材2上に形成されている各層との密着性を向上すること
ができる。
【0034】つぎに、本発明に係る画像表示装置につい
て説明する。以下では、本発明を適用した画像表示装置
として、図3に示すようなCRTディスプレイ20につ
いて説明する。
【0035】CRTディスプレイ20は、図3に示すよ
うに、陰極線管(CRT)21を備えて構成され、信号
入力部(図示せず。)から入力される信号に基づいて、
電子ビーム照射手段(図示せず。)から電子ビームを出
射する構成とされる。そして、CRTディスプレイ20
では、この電子ビームをCRT21の主面21a(以
下、CRTパネル21aと称する。)の内面側にマトリ
クス状に複数配設された蛍光体に順次照射してゆくこと
により、各蛍光体を発光させ、CRTパネル21aに画
像を表示する。すなわち、CRTディスプレイ20で
は、CRTパネル21aが画像表示面とされている。
【0036】また、CRTパネル21a上には、図4に
示すように、第1の光吸収層22と、第1の低屈折率透
明層23と、第2の光吸収層24と、第2の低屈折率透
明層25とが薄膜状に順次積層されている。なお、以下
の説明では、CRTパネル21aの外方に臨む主面を、
CRTパネル21aの第1の主面21bと称し、第2の
低屈折率透明層25の外方に臨む主面を、CRTパネル
21aの第2の主面21cと称する。
【0037】また、CRTディスプレイ20において、
第1の光吸収層22、第1の低屈折率透明層23、第2
の光吸収層24、及び第2の低屈折率透明層25は、そ
れぞれ上述した反射防止膜1における第1の光吸収層
3、第1の低屈折率透明層4、第2の光吸収層5、及び
第2の低屈折率透明層6と同様の構成とされている。そ
のため、以下では、CRTパネル21a上に形成された
各層についての説明を省略することとする。
【0038】CRTディスプレイ20では、CRTパネ
ル21aが上述した反射防止膜1の基材2に相当し、こ
のCRTパネル21a上に反射防止膜1と同様な構成で
各層が形成されていることによって、反射防止膜1と同
様な反射防止効果を有していることとなる。具体的に
は、CRTディスプレイ20では、CRTパネル21a
の第1の主面21b側からの入射光に対する反射率、す
なわち内面反射率と、第2の主面21c側からの入射光
に対する反射率、すなわち表面反射率とを十分に低くす
ることができる。
【0039】これにより、CRTディスプレイ20で
は、第2の主面21cから入射する光、すなわち外光の
反射を防止することができるとともに、CRTパネル2
1aの第1の主面21b側で蛍光体が発光した光が第1
の主面21bで反射されてしまうことを防止することが
でき、CRTパネル21aでのコントラストを向上する
ことができる。
【0040】また、CRTディスプレイ20では、CR
Tパネル21a上に形成された各層が全体として十分な
光吸収性を有していることから、CRTパネル21aの
透過率が低い場合であっても、蛍光体から発光される光
を十分に吸収してコントラストを向上させることができ
る。これにより、CRTディスプレイ20は、CRTパ
ネル21aの透過率を高く形成し、このCRTパネル2
1a上に形成する各層により全体としてのコントラスト
を制御することによって、CRTパネル21a全体で均
一なコントラストを得ることができる。
【0041】したがって、CRTディスプレイ20は、
CRTパネル21aの大画面化及び平坦化を図ることに
より、このCRTパネル21aの厚さに大きな不均一性
が生じた場合であっても、コントラストが不均一となっ
てしまうことがなく、画質を向上させることができる。
【0042】また、CRTディスプレイ20では、第1
の光吸収層23及び第2の光吸収層25が導電性材料に
よって形成されて、図3に示すように設置されているこ
とが望ましい。これにより、CRT21の内部で発生す
る電磁波がCRTパネル21aに帯電したり、CRT2
1の内部に印加される電界が漏洩してしまうことを防止
することができる。
【0043】なお、CRTディスプレイ20は、CRT
パネル21a上に各層が直接形成された構成とせずに、
例えば、樹脂材料によって機材2が形成された反射防止
膜1が、CRTパネル21a上に被着された構成として
もよい。これにより、上述と同様の効果を得ることがで
きる。
【0044】つぎに、本発明の効果を確認するために、
以下に示すようなシミュレーションを行った結果につい
て説明する。
【0045】実験例1 実験例1では、光吸収性を有さない反射防止膜の反射率
特性を調べるために、PET(PolyEthylene Terephtha
late)により形成した基材上に、以下の表1に示すよう
な膜構成によって反射防止膜を作製した場合についてシ
ミュレーションを行い、反射率を計算した。
【0046】
【表1】
【0047】なお、この実験例1では、簡略化のため
に、PETにより形成した基材の屈折率n及び消衰係数
kが、入射する光の波長に依らずにそれぞれ一定及び0
であるとした。
【0048】このような構成の反射防止膜に対して、基
材側からの入射光に対する反射率、すなわち内面反射率
と、基材と反対側からの入射光に対する反射率、すなわ
ち表面反射率とを計算した結果を、図5に示す。図5に
示す結果から、光吸収性を有さない反射防止膜は、内面
反射率と表面反射率とが、入射光の波長に依らず一致す
ることがわかる。
【0049】実験例2 実験例2では、反射防止膜を3層の積層構造とし、光吸
収性を有するとした場合についてシミュレーションを行
い、反射率を計算した。実験例2では、以下の表2に示
すような膜構成によって反射防止膜を作製した場合につ
いてのシミュレーションを行った。なお、この反射防止
膜の透過率は、70%程度となる。
【0050】
【表2】
【0051】この実験例2では、反射防止膜の膜構成を
変えたほかは、上述した実験例1の場合と同一の条件の
もとで計算を行った。また、SiOx及びTiNによっ
て形成する層の光学特性は、実際にはその層の作製方法
により変化するが、この実験例2では、各層を実際にス
パッタリング法によって作製して測定した値を一例とし
て用いた。実験例2と同様な反射防止膜を実際に作製し
た場合であっても、表2に示した値と大きく異なること
はないと考えられる。
【0052】このような構成の反射防止膜に対して、実
験例1の場合と同様に、内面反射率及び表面反射率を計
算した結果を図6に示す。図6に示す結果から、透過率
が70%程度とされた反射防止膜は、表面反射率が低く
なるように膜構成を設計した場合に、内面反射率が高く
なってしまうことがわかる。この実験例2の場合には、
入射光の波長が450nm〜680nm程度の可視光波
長域で、内面反射率が8%を越えてしまっている。
【0053】この実験例2から、反射防止膜の光吸収性
を向上させて、透過率を70%よりも小さくした場合
に、内面反射率がさらに高くなることが予想される。し
たがって、本発明に係る反射防止膜のような、十分な光
吸収性を備えるとともに、内面反射率と表面反射率との
両方を低く抑えた反射防止膜の設計は、従来と同様な膜
構成によっては困難であることがわかる。
【0054】実験例3 実験例3では、本発明に係る反射防止膜について、上述
した反射防止膜1と同様な構成の反射防止膜についてシ
ミュレーションを行い、反射率を計算した。先ず、この
実験例3では、反射防止膜を構成する各層を以下に示す
ような材料によって作製し、各層の膜厚を変えて複数の
サンプルを作製した場合について、シミュレーションを
行った。
【0055】反射防止膜の膜構成 基材 :ガラス(BK7) 密着性向上層 :SiOx 第1の光吸収層 :TiN 第1の低屈折率透明層:SiO2 第2の光吸収層 :TiN 第2の低屈折率透明層:SiO2 そして、反射防止膜の透過率を、40%に設定した場合
と、50%に設定した場合とで得られた結果を、それぞ
れ以下の表3及び表4に示す。なお、表3及び表4で示
す内面反射率及び表面反射率は、CRTディスプレイで
可視光として表示される波長域である、450nm〜6
50nmの波長域での入射光に対する内面反射率及び表
面反射率の代表値を示す。また、透過率とは、基材と反
対側から入射した光に対する透過率であるとする。
【0056】
【表3】
【0057】
【表4】
【0058】また、表3に示したサンプル1の反射防止
膜における、入射光の波長に対する内面反射率及び表面
反射率を図7に示す。図7に示す結果から、本発明に基
づいて作製した反射防止膜は、透過率を40%として大
きな光吸収性を有する場合であっても、450nm〜6
50nmの波長域で内面反射率及び表面反射率がともに
4.0%程度以下とすることができることがわかる。し
たがって、本発明に基づいて作製した反射防止膜は、実
験例2の場合のように、僅かな光吸収性しか有さない場
合であっても内面反射率が8%を越えてしまう従来の反
射防止膜と比較して、大幅に内面反射率が低減されてい
ることがわかる。
【0059】なお、表3及び表4で密着性向上層の膜厚
が0であるサンプルは、上述した反射防止膜1と同様
に、密着性向上層を有さない構成であることを示す。ま
た、この実験例3では、各サンプルにおける透過率、内
面反射率及び表面反射率の評価基準を以下に示すように
定め、表3及び表4では、この評価基準に近い値、若し
くはこの評価基準を越えた値を太字で示した。そして、
この評価基準に基づいて、反射防止膜を構成する各層の
膜厚の上限値及び下限値に下線を付して示した。
【0060】評価基準 透過率 :規定値±2.0以内 内面反射率:4.0%以下 表面反射率:0.5%以下 次に、表3及び表4に示すように得られた結果に基づい
て、反射防止膜の透過率を40%又は50%とした場合
について、各層の膜厚の上限値及び下限値を、以下の表
5で示すようにまとめた。
【0061】
【表5】
【0062】なお、表5においては、上述した評価基準
を満たす場合に特性を○で示し、評価基準を僅かに越え
る場合に特性を△で示した。すなわち、特性を△で示
す、第2の膜構成、第4の膜構成、及び第5の膜構成の
場合には、反射防止膜の内面反射率及び表面反射率に対
する要求を、上述した評価基準を満たす第1の膜構成及
び第3の膜構成の場合よりもゆるやかにした場合を示
す。
【0063】また、特性が○である場合には、各層の膜
厚の上限値及び下限値を表5に示すように規定したとき
に、透過率が規定値の±3%の範囲となるように反射防
止膜を作製することができる。特性が△である場合に
は、各層の上限値及び下限値を表5に示すように規定し
たときに、透過率が規定値の±5%の範囲となるように
反射防止膜を作製することができる。
【0064】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明に係る反
射防止膜は、十分な光吸収性を備えるとともに、両主面
のどちら側から入射する光に対しても十分に低い反射率
を備える。そのため、例えば透過率の高いCRTパネル
等に被着して用いた場合に、外光の反射を十分に防止す
ることができるとともに、CRTパネル側から入射され
る光の反射を十分に抑制してコントラストを向上するこ
とができる。したがって、画像表示装置の大画面化、平
坦化及び高画質化に貢献することができる。
【0065】また、本発明に係る画像表示装置は、画像
表示面での外光の反射を十分に防止することができると
ともに、十分な光吸収性を有し、画像表示面側からの入
射光に対する反射率を十分に低減することができる。し
たがって、例えば、画像表示面の大画面化及び平坦化に
対応するために、CRTパネルの透過率を高く設計した
場合であっても、このCRTパネル側から入射される光
の反射を十分に抑制してコントラストを向上することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る反射防止膜の一構成例を示す要部
拡大断面図である。
【図2】本発明に係る反射防止膜の別の構成例を示す要
部拡大断面図である。
【図3】本発明に係る画像表示装置の一構成例として示
すCRTディスプレイの概略図である。
【図4】同CRTディスプレイの要部拡大断面図であ
る。
【図5】光吸収性を有さない反射防止膜の反射率を示す
図である。
【図6】透過率が70%程度である反射防止膜の反射率
を示す図である。
【図7】本発明に係る反射防止膜の反射率を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 反射防止膜、1a 第1の主面、1b 第2の主
面、2 基材、3 第1の光吸収層、4 第1の低屈折
率透明層、5 第2の光吸収層、6 第2の低屈折率透
明層、7 密着性向上層、20 CRTディスプレイ、
21 CRT、21a CRTパネル、22 第1の光
吸収層、23 第1の低屈折率透明層、24 第2の光
吸収層、25 第2の低屈折率透明層

Claims (21)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基材上に、第1の光吸収層と、第1の低
    屈折率透明層と、第2の光吸収層と、第2の低屈折率透
    明層とが順次形成されてなり、 上記第1の光吸収層及び第2の光吸収層は、450nm
    〜650nmの波長域の光に対して、消衰係数が0.2
    以上であることを特徴とする反射防止膜。
  2. 【請求項2】 上記第1の光吸収層及び/又は第2の光
    吸収層は、導電性を有する材料によって形成されている
    ことを特徴とする請求項1記載の反射防止膜。
  3. 【請求項3】 上記第1の光吸収層及び/又は第2の光
    吸収層は、TiNを主とする材料によって形成されてい
    ることを特徴とする請求項1記載の反射防止膜。
  4. 【請求項4】 上記第1の光吸収層及び/又は第2の光
    吸収層は、Zrの窒化物又はHfの窒化物を主とする材
    料によって形成されていることを特徴とする請求項1記
    載の反射防止膜。
  5. 【請求項5】 上記第1の低屈折率透明層及び/又は第
    2の低屈折率透明層は、SiO2、MgF2、又はAl2
    3によって形成されていることを特徴とする請求項1
    記載の反射防止膜。
  6. 【請求項6】 上記基材は、ガラス材料によって形成さ
    れていることを特徴とする請求項1記載の反射防止膜。
  7. 【請求項7】 上記基材は、樹脂材料によって形成され
    ていることを特徴とする請求項1記載の反射防止膜。
  8. 【請求項8】 上記基材と第1の光吸収層との間に、ハ
    ードコート層を有することを特徴とする請求項7記載の
    反射防止膜。
  9. 【請求項9】 上記第1の光吸収層及び第2の光吸収層
    は、TiNを主とする材料によって形成されているとと
    もに、 上記第1の低屈折率透明層及び第2の低屈折率透明層
    は、SiO2を主とする材料によって形成されているこ
    とを特徴とする請求項1記載の反射防止膜。
  10. 【請求項10】 上記第1の光吸収層の膜厚は、5nm
    以上且つ20nm以下であり、 上記第1の低屈折率透明層の膜厚は、60nm以上且つ
    130nm以下であり、 上記第2の光吸収層の膜厚は、15nm以上且つ30n
    m以下であり、 上記第2の低屈折率透明層の膜厚は、55nm以上且つ
    95nm以下であることを特徴とする請求項9記載の反
    射防止膜。
  11. 【請求項11】 上記第1の光吸収層の膜厚は、7nm
    以上且つ20nm以下であり、 上記第1の低屈折率透明層の膜厚は、60nm以上且つ
    120nm以下であり、 上記第2の光吸収層の膜厚は、16nm以上且つ30n
    m以下であり、 上記基材と反対側から入射される光に対する上記各層全
    体での透過率が、35%以上且つ45%以下であること
    を特徴とする請求項10記載の反射防止膜。
  12. 【請求項12】 上記第1の光吸収層の膜厚は、10n
    m以上且つ17nm以下であり、 上記第1の低屈折率透明層の膜厚は、70nm以上且つ
    110nm以下であり、 上記第2の光吸収層の膜厚は、18nm以上且つ28n
    m以下であり、 上記第2の低屈折率透明層の膜厚は、60nm以上且つ
    87nm以下であり、 上記基材と反対側から入射される光に対する上記各層全
    体での透過率が、37%以上且つ43%以下であること
    を特徴とする請求項11記載の反射防止膜。
  13. 【請求項13】 上記第1の光吸収層の膜厚は、5nm
    以上且つ12nm以下であり、 上記第1の低屈折率透明層の膜厚は、65nm以上且つ
    130nmであり、 上記第2の光吸収層の膜厚は、15nm以上且つ23n
    m以下であり、 上記第2の低屈折率透明層の膜厚は、65nm以上且つ
    95nm以下であり、 上記基材と反対側から入射される光に対する上記各層全
    体での透過率が、45%以上且つ55%以下であること
    を特徴とする請求項10記載の反射防止膜。
  14. 【請求項14】 上記第1の光吸収層の膜厚は、7nm
    以上且つ10nm以下であり、 上記第1の低屈折率透明層の膜厚は、75nm以上且つ
    120nm以下であり、 上記第2の光吸収層の膜厚は、17nm以上且つ21n
    m以下であり、 上記第2の低屈折率透明層の膜厚は、65nm以上且つ
    87nm以下であり、 上記基材と反対側から入射される光に対する上記各層全
    体での透過率が、47%以上且つ53%以下であること
    を特徴とする請求項13記載の反射防止膜。
  15. 【請求項15】 上記基材と第1の光吸収層との間に、
    密着性向上層を有することを特徴とする請求項1記載の
    反射防止膜。
  16. 【請求項16】 上記密着性向上層は、SiOx(x<
    2)によって形成されていることを特徴とする請求項1
    5記載の反射防止膜。
  17. 【請求項17】 上記密着性向上層は、SiOxyによ
    って形成されていることを特徴とする請求項15記載の
    反射防止膜。
  18. 【請求項18】 上記密着性向上層は、Tiを含む材料
    によって形成されていることを特徴とする請求項15記
    載の反射防止膜。
  19. 【請求項19】 上記密着性向上層の膜厚は、10nm
    以下であることを特徴とする請求項15記載の反射防止
    膜。
  20. 【請求項20】 画像表示面上に、第1の光吸収層と、
    第1の低屈折率透明層と、第2の光吸収層と、第2の低
    屈折率透明層とが順次形成されてなり、 上記第1の光吸収層及び第2の光吸収層は、450nm
    〜650nmの波長域の光に対して、消衰係数が0.2
    以上であることを特徴とする画像表示装置。
  21. 【請求項21】 画像表示面上に反射防止膜が被着され
    てなり、 上記反射防止膜は、樹脂材料によって形成された基材上
    に、第1の光吸収層と、第1の低屈折率透明層と、第2
    の光吸収層と、第2の低屈折率透明層とが順次形成され
    てなり、 上記第1の光吸収層及び第2の光吸収層は、450nm
    〜650nmの波長域の光に対して、消衰係数が0.2
    以上であることを特徴とする画像表示装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110174716A (zh) * 2019-06-27 2019-08-27 浙江舜宇光学有限公司 光学元件及光学镜头
JP2021092768A (ja) * 2019-12-03 2021-06-17 尾池工業株式会社 反射防止フィルム
WO2022163546A1 (ja) * 2021-01-27 2022-08-04 Agc株式会社 光学薄膜積層体及びその製造方法

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