JP2000334966A

JP2000334966A - インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置

Info

Publication number: JP2000334966A
Application number: JP15288199A
Authority: JP
Inventors: Haruhiko Terai; 晴彦寺井
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1999-05-31
Filing date: 1999-05-31
Publication date: 2000-12-05

Abstract

(57)【要約】【課題】電鋳製の吐出口プレートにおいて、撥水膜の
密着不良や剥離、撥水性の低下を起こすことなく、親水
部を形成することができて、印字等の記録の持続性に優
れたインクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェ
ット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置を提供
すること。【解決手段】電鋳法によって、表面の凹凸の高低差が
異なるインク吐出口プレートの母材９を製作し、母材９
の表面に撥水層１０を形成した後、撥水層１０の上層部
を除去することにより、撥水領域イと同一面内に親水領
域ロを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特に、文字や画像
の記録に必要なときのみインクを噴射するオンデマンド
形のインクジェット記録ヘッドに対して好適なインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッ
ド、およびインクジェット記録装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、インクジェット記録装置は、その
小型化、低価格化のみならず、カラー記録化、高階調
化、高画質化への要求が高まってきている。したがっ
て、本装置に適用されるインクジェット記録ヘッドも小
型化、低価格化のみならず、カラー記録化、高階調化、
高画質化への要求に対応する必要がある。

【０００３】図５は、従来のインクジェット記録ヘッド
の概観斜視図、図６は、図５の記録ヘッドの各構成部分
を説明するための分解斜視図である。

【０００４】これらの図において、７２０は、インクを
吐出するためのエネルギー発生素子１０１が設けられた
基板である。３００は天板であり、基板７２０上のエネ
ルギー発生素子１０１の配設部位と対応するインク流路
を形成するための流路形成部４００と、そのインク流路
に連通してインクを供給するための共通液室４５０が備
えられている。６００は吐出口プレート（吐出口形成部
材）であり、インク流路に連通する複数のインクの吐出
口６３０が構成されている。この吐出口プレート６００
は、基板７２０と天板３００との接合面に接合されてい
る。図６中の斜線部は、各構成部材の接合部分を固定す
るための接着剤２００の塗布位置である。また、図５中
の１００は、これらの構成部材を組立時に保持するため
の支持部材である。

【０００５】図７は、図６のインクジェット記録ヘッド
を、吐出口６３０の中心軸を通る面に沿って図６中の上
下方向から切断した拡大断面図である。図８は、吐出プ
レート６００の接合時の断面図である。

【０００６】インクを吐出するためのエネルギー発生素
子１０１が設けられた基板７２０と、エネルギー発生素
子１０１の配設部位に対応してインク流路を形成するた
めの流路形成部４００が備えられた天板３００との接合
面には、各接合部分を所定位置に固定するための接着剤
２００（斜線部）が塗布される。そして、それぞれのイ
ンク流路に応じた吐出口６３０を有する吐出口プレート
６００が位置決めして、貼り合わせられる。図８は、そ
の吐出口プレート６００の貼り合わせ前の断面図であ
る。接着剤２００は、吐出口プレート６００側に塗布し
ても良い。

【０００７】吐出口プレート６００は電鋳法によって製
作される。例えば、導電性の電鋳母型に、ＮｉやＮｉ合
金などの金属メッキを成長させることによって製作され
る。吐出口６３０の形成部分は、非導電性にしたり、ま
たはレジストをパターニングしておく。したがって、所
定の膜厚までのメッキ析出が終了すると、吐出口プレー
トが完成する。次に、撥水剤を吐出面（以下、「吐出口
形成面」ともいう）となる側（図７，図８中の左側の
面）に塗布する。吐出口６３０の断面形状や吐出口６３
０の端部形状の要求仕様に応じて、電鋳母型に接する面
を吐出面にする場合や、メッキ成長面側を吐出面にする
場合がある。次に、吐出面に親水部を形成する。このよ
うに、吐出面に撥水部と親水部を形成することにより、
記録ヘッドの品質が向上する。すなわち、撥水部による
インク排除効果と、親水部によるインク分離効果によっ
て、吐出面に付着したインク滴の縮小化、あるいは成長
を阻止することができる。親水部を形成することの品質
上の有用性については、特開平０６−２１０８５９号公
報にも述べられている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】樹脂で形成された吐出
口プレートや、樹脂の一体成形で形成された天板部材の
場合は、撥水膜形成後、吐出口形成面に、吐出口形成面
側からエキシマレーザを照射して撥水膜を除去すること
により、親水部を形成していた。撥水膜は、０．２４８
μｍ波長のエキシマレーザを透過する。そこで、下地の
樹脂を一皮だけアブレーションで除去することにより、
その上層の撥水膜を除去していた。ところが、電鋳製の
吐出口プレート６００の場合は、アブレーション加工が
できないため、従来のエキシマレーザによる除去法を用
いることができない。ＹＡＧやＣＯ₂などの熱加工レー
ザを用いた場合には、撥水膜に熱的ダメッジが加わるた
め、密着不良や、剥離、撥水性の低下が起きる。

【０００９】本発明は、上述した課題を解決するために
なされたものであり、その目的は、電鋳製の吐出口プレ
ートにおいて、撥水膜の密着不良や剥離、撥水性の低下
を起こすことなく、親水部を形成することができて、印
字等の記録の持続性に優れたインクジェット記録ヘッド
の製造方法、インクジェット記録ヘッド、およびインク
ジェット記録装置を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッドの製造方法は、インクの吐出口が形成された
吐出口プレートを備えたインクジェット記録ヘッドの製
造方法において、前記吐出口プレートの母材として、表
面の凹凸の高低差が異なる母材を電鋳法によって製作
し、前記母材の表面に撥水層を形成した後に、前記母材
の表面の凸部分が露出するように前記撥水層の上層部を
除去することにより、前記吐出プレートの撥水領域と同
一面内に親水領域を形成することを特徴とする。

【００１１】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造
方法は、上記の方法により製造されたことを特徴とす
る。

【００１２】本発明のインクジェット記録装置は、上記
のインクジェット記録ヘッドと被記録媒体とを相対移動
させる手段を備えたことを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
用いて説明する。

【００１４】まず、図１（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），
（Ｄ）により、電鋳製吐出口プレート６００の基本的な
製造方法について説明する。

【００１５】（吐出口プレートの基本的な製造方法）図
１（Ａ）は、吐出口プレート６００の母材９の部分的な
拡大断面図である。まず、母材９として、吐出口形成面
（図１（Ａ）中の上面）に、高さを変えた凹凸の面が形
成された板を用意する。撥水領域となるべき領域イは、
親水領域となるべき領域ロよりも凹凸の高さを低く、す
なわち高低差を小さいする。本例の場合は、撥水領域と
なるべき領域イの凹部の高さと、親水領域となるべき領
域ロの凹部の高さが同じとなっている。図１（Ｂ）は、
母材９を電鋳製造するための電鋳母型１１の一例を説明
するための部分的な拡大断面図である。電鋳母型１１に
接する母材９の面が吐出口形成面となる場合は、母材９
の吐出口形成面に当たる部分の電鋳母型１１の表面形状
を、図１（Ｂ）のように設定しておくことにより、図１
（Ａ）のような母材９が得られることになる。この場合
には、電鋳母型１１において、撥水領域となるべき領域
イに対応する領域イ′の凸部の高さと、親水領域となる
べき領域ロに対応する領域ロ′の高さとを同じにするこ
とができる。

【００１６】次に、図１（Ｃ）に示すように、母材９の
吐出口形成面に対して撥水処理を行う。撥水処理層１０
は、母材９における吐出口形成面表面の凹凸を被覆する
程度の厚さが必要である。

【００１７】次に、図１（Ｄ）に示すように、撥水処理
層１０の表面を一定量除去する。その除去量は、撥水領
域となるべき領域イの母材９は露出させず、かつ、親水
領域となるべき領域ロの母材９は、親水性を示すに十分
な量だけ露出させる程度に設定する。

【００１８】撥水処理層１０の厚さをむやみに厚くする
ことは、内部応力の増大によって撥水処理層１０と母材
９との密着性が低下する懸念があるため、得策ではな
い。そのため、撥水処理層１０の厚さは数μｍ以下に設
定する。撥水処理層１０の表面除去量は厚さでおおよそ
１μｍ程度になる。その表面除去のための除去加工法と
しては、バフ、ラップ、砥石がけ等の研磨加工、ブラス
ト加工、液体ホーニング加工、化学エッチング加工、逆
スパッタやイオンミーリング、リアクティブイオンエッ
チングなどの真空プロセスを用いた物理的除去加工や物
理化学的除去加工が適用可能であるが、撥水処理層１０
の濡れ性の変化を考慮すると、化学的改質効果の伴わな
い物理的除去加工が好適である。

【００１９】次に、以上のような吐出口プレート６００
の基本的な製造方法を用いた、記録ヘッドの製造方法の
実施例について説明する。

【００２０】（第１の実施例）まず、図４のような吐出
口プレート６００の母材製造用の電鋳母型１１として、
吐出口プレート６００の吐出口形成面に当たる部分の表
面粗度が部分的に異なる電鋳母型１１を用意する。本例
の電鋳母型１１は、吐出口プレート６００の吐出口形成
面における吐出口６３０の周縁部に相当する部分の表面
粗度Ｒａが０．２μｍとされ、図４中の符号５の部分に
相当する部分の面粗度Ｒａが１．５μｍとされている。
このように調整された電鋳母型１１を用いて、Ｎｉ電鋳
法により、板厚１５μｍの吐出口プレート６００の母材
９を製作した。吐出口６３０は、吐出面側すなわち電鋳
母型１１との接触面側、及び接着面側すなわちメッキ成
長面側ともに、直径４１μｍとして、７１μｍピッチで
１２８個形成した。

【００２１】次に、電鋳母型１１から吐出口プレート６
００の母材９を剥離させた後、その母材９に対して、図
１（Ｃ）のような撥水処理を行った。本例の場合は、Ｓ
ｉウエハに、スピンナーで撥水剤（サイトップＣＴＬ−
８１０ＮＭ（旭硝子（株）製））を塗布し、それを母材
９の吐出口形成面に押しつけて転写させた。そして、そ
の撥水剤の塗布が完了した吐出口プレート６００の母材
９を１５０℃のオーブン中に５時間投入し、熱乾燥、硬
化させた。５時間後に母材９を徐冷し、８０℃以下にな
ったときにオーブンより取り出した。撥水層（撥水処理
層１０）の膜厚を測定したところ、約２μｍであった。
このような撥水処理終了後にＮｏ．１５０００のポリッ
シュテープ（商品面：日本ミクロコーティング（株）Ｍ
ＩＰＯＸ）を用いて、撥水層を約１μｍ除去した。

【００２２】次に、接触角計（協和界面化学（株））を
用いて、ＳＧインクでの前進接触角を測定した。表面粗
度Ｒａが０．２μｍに調整された部分、つまり撥水領域
となるべき領域イの前進接触角は８０°、一方、表面粗
度Ｒａが１．５μｍに調整された部分、つまり親水領域
となるべき領域ロの前進接触角は３２°であった。吐出
口プレート６００の表面において、撥水処理剤が塗布さ
れていない部分は、前進接触角が３０°であって、測定
誤差±２°を考慮すると、領域ロと同程度の親水性を示
しているといえる。

【００２３】次に、前述した図８と同様に、吐出口プレ
ート６００と対向する天板３００と基板７２０の部位
に、接触剤２００を３μｍ転写塗布した。吐出口プレー
ト６００は、撥水剤を転写しなかった方の面、すなわち
電鋳母型１１に接しない方の面を接着面とした。そし
て、前述した図７と同様にして、吐出口プレート６００
を接着した。

【００２４】図２は、以上のようにして構成されたイン
クジェット記録ヘッドＨの斜視図である。図３は、その
記録ヘッドＨとインクタンクとの組み合わせにより構成
されたインクジェットカートリッジの斜視図である。

【００２５】図３において、２０は吐出口６３０から吐
出させるためのインクが貯蔵されるインクタンクであ
る。３０は、インクをインク流路へと導くための供給路
であり、天板３００のインク供給口（不図示）と連通し
ている。６００は、複数の吐出口６３０を有する前述の
吐出口プレートである。１００は、これらの構成部材を
組立た上支持する支持部材である。基板７２０には、前
述した従来例と同様に、インクを吐出するためのエネル
ギー発生素子が設けられている。また、天板３００に
は、前述した従来例と同様に、基板７２０上のエネルギ
ー発生素子の配設部位と対応するインク流路を形成する
ための流路形成部と、そのインク流路に連通してインク
を供給するための共通液室が備えられている。天板３０
０、基板７２０、および吐出口プレート６００が接着剤
を介して貼り合わせて固定されることにより、各インク
流路と各吐出口６３０とが合わせられる。

【００２６】比較例として、吐出口プレートの吐出口形
成面の吐出口周縁部と、それ以外の部分（図４中の部分
５）に相当する部分との表面粗度が同一の電鋳母型を準
備し、Ｎｉ電鋳法を用いて、板厚１５μｍの吐出口プレ
ートを製作した。その吐出口プレートに対して、前述と
同様に撥水処理を行った後、ＹＡＧレーザの集光スポッ
トをガルバノスキャナミラーで矩形に走査して、親水領
域としてのパターンを作り込んだ。次に、前述と同様の
方法により、各インク流路と、これらに対応する吐出口
プレートの各吐出口とを合わせるべく、天板、基板、お
よび吐出口プレートを接着剤を介して貼り合わせ固定し
て、インクジェット記録ヘッドを製作した。

【００２７】そして、本発明の第１の実施例と比較例の
インクジェット記録ヘッドを５台ずつ製作した後、それ
らを用いて印字試験を行った。印字試験は、３０℃、８
０％ＲＨの環境下で行い、目視により記録ドットを観察
し、インクの吐出方向のずれ（ヨレ）が発生する確率を
比較した。Ａ４版の被記録媒体中に１カ所でもヨレが発
生した場合は、印字ヨレ有りとした。連続印字試験は、
ブレードによる吐出口面のワイピング（以下、「ブレー
ドワイピング」ともいう）無しのまま、Ａ４版の５枚の
被記録媒体に対して、ベタ印字を連続実施した。また、
ブレードワイピング後の印字試験は、ブレードワイピン
グを１００回、１，０００回、２０，０００回、５０，
０００回連続して行った後、それぞれアルファベットの
“Ｈ”の文字を連続的に１００枚印字して、ヨレが発生
する確率を比較した。

【００２８】これらの試験の評価結果を下表１に示す。

【００２９】

【表１】

【００３０】連続印字試験の結果、比較例では、そもそ
も初めから撥水膜が剥離していて、ヨレが発生している
ものがあり、これに比して、本実施例では印字ヨレの発
生は無かった。ブレードワイピング後の印字試験の結
果、本実施例では、比較例にて発生したような撥水膜の
剥離や撥水性の低下が起こらないため、比較例に比して
優れた結果を示した。

【００３１】（第２の実施例）本例では、メッキ条件の
調整により、吐出口プレート６００の母材９におけるメ
ッキ成長面側の表面粗度を部分的に異ならせた。すなわ
ち、吐出口プレート６００の吐出口形成面の吐出口６３
０の周縁部と、それ以外の部分（本例では、図４中の部
分５）に相当する母材９の部分に関し、そのメッキ成長
面側の表面粗度Ｒａがそれぞれ０．２μｍと１．５μｍ
となるようにメッキ条件を調整した上、Ｎｉ電鋳法を用
いて、板厚１５μｍの吐出口プレート６００の母材９を
製作した。吐出口６３０は、吐出面側すなわちメッキ成
長面側、及び接着面側すなわち電鋳母型接触面側とも
に、直径４１μｍとして、７１μｍピッチで１２８個形
成した。

【００３２】次に、電鋳母型１１から吐出口プレート６
００の母材９を剥離させた後、その母材９に対して、図
１（Ｃ）のような撥水処理を行った。本例の場合は、Ｓ
ｉウエハにスピンナーで撥水剤（サイトップＣＴＬ−８
１０ＮＭ（旭硝子（株）製））を塗布し、それを母材９
の吐出口形成面に押しつけて転写させた。そして、その
撥水剤の塗布が完了した吐出口プレート６００の母材９
を１５０℃のオーブン中に５時間投入し、熱乾燥、硬化
させた。５時間後に母材９を徐冷し、８０℃以下になっ
たときにオーブンより取り出した。撥水層（撥水処理層
１０）の膜厚を測定したところ、約２μｍであった。こ
のような撥水処理終了後に、Ｎｏ．１５０００のポリッ
シュテープ（商品名：日本ミクロコーティング（株）Ｍ
ＩＰＯＸ）を用いて、撥水層を約１μｍ除去した。

【００３３】次に、接触角計（協和界面化学（株））を
用いて、ＳＧインクでの前進接触角を測定した。表面粗
度Ｒａが０．２μｍに調整された部分、つまり撥水領域
となるべき領域イの前進接触角は８０°、一方、表面粗
度Ｒａが１．５μｍに調整された部分、つまり親水領域
となるべき領域ロの前進接触角は３２°であった。吐出
口プレート６００の表面において、撥水処理剤が塗布さ
れていない部分は、前進接触角が３０°であって、測定
誤差±２°を考慮すると、領域ロと同程度の親水性を示
しているといえる。

【００３４】次に、前述した図８と同様に、吐出口プレ
ート６００と対向する天板３００と基板７２０の部位
に、接着剤２００を３μｍ転写塗布した。吐出口プレー
ト６００は、撥水剤を転写しなかった方の面、すなわち
電鋳母型１１に接している方の面を接着面とした。

【００３５】その後、前述した第１の実施例と同様に、
インクジェット記録ヘッドを製作し、そして前述した第
１の実施例と同様の印字試験を行った結果、第１の実施
例と同様な効果が得られた。

【００３６】（インクジェット記録装置としての構成
例）図９は、本発明に係るインクジェット記録ヘッドを
適用可能なインクジェット記録装置ＩＪＲＡの一例を説
明するための概略斜視図である。

【００３７】図９において、リードスクリュー５００５
は、駆動モータ５０１３の正逆回転に連動して、駆動力
伝達５０１１，５００９を介して回転する。リードスク
リュー５００５のら線溝５００４に対してキャリッジＨ
Ｃのピン（不図示）が係合することにより、キャリッジ
ＨＣが矢印ａ，ｂ方向に往復移動される。５００２は紙
押え板であり、キャリッジ移動方向にわたって紙をプラ
テン５０００に対して押圧する。５００７，５００８は
ホームポジション検知手段としてのフォトカプラであ
り、それが備わる領域において、キャリッジＨＣのレバ
ー５００６の存在を確認して、モータ５０１３の回転方
向切換等を行う。５０１６は、記録ヘッドの前面をキャ
ップするキャップ部材５０２２の支持部材である。５０
１５は、このキャップ内を吸引する吸引手段であり、キ
ャップ内開口５０２３を介して記録ヘッドの吸引回復を
行う。

【００３８】５０１７はクリーニングブレード、５０１
９は、このブレード５０１７を前後方向に移動可能にす
る部材であり、これらは本体支持板５０１８に支持され
ている。ブレード５０１７は、この形態のみではなく、
周知のクリーニングブレードが本例に適用できることは
いうまでもよい。５０２４は温度または湿度センサであ
り、インクジェット記録装置のおかれている温湿度を検
出することができる。また、インク記録ヘッドの温度を
予測することも可能となる。これは、インクジェットカ
ートリッジＩＪＣに取り付けられていても良い。

【００３９】また、５０１２は、吸引回復の吸引を開始
するためのレバーであり、キャリッジと係合するカム５
０２０の移動に伴って移動し、駆動モータからの駆動力
がクラッチ切換等の公知の伝達手段で移動制御される。

【００４０】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復は、キャリッジがホームポジション側領域にきた
ときに、リードスクリュー５００５の作用によって、そ
れらの対応位置で所望の処理が行えるように構成されて
いる。しかし、それらを周知のタイミングで所望の作動
を行うようにしてもよく、本例にはいずれも適用でき
る。

【００４１】（その他）なお、本発明は、特にインクジ
ェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために
利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段
（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エ
ネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記録
ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。かかる方式によれば記録の高密度化，高精細化が
達成できるからである。

【００４２】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（インク）
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐
出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書，同第
４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。

【００４３】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口，液路，電気熱変換体
の組合せ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第４５５８３３３号明細書，米国特許第４４
５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭５９−１３８４６１号公報に基いた構成として
も本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの
形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録
を確実に効率よく行うことができるようになるからであ
る。

【００４４】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の
記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。

【００４５】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

【００４６】また、本発明の記録装置の構成として、記
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。

【００４７】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して１個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００４８】さらに加えて、以上説明した本発明実施例
においては、インクを液体として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もし
くは液化するものを用いてもよく、あるいはインクジェ
ット方式ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものを用いてもよ
い。加えて、熱エネルギによる昇温を、インクの固形状
態から液体状態への状態変化のエネルギとして使用せし
めることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発
を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化す
るインクを用いてもよい。いずれにしても熱エネルギの
記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状イ
ンクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギの付与
によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も
本発明は適用可能である。このような場合のインクは、
特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７
１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部
または貫通孔に液状又は固形物として保持された状態
で、電気熱変換体に対して対向するような形態としても
よい。本発明においては、上述した各インクに対して最
も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するもので
ある。

【００４９】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、電鋳製
の吐出口プレートを製作する方法において、撥水膜の密
着不良や剥離、撥水性の低下を起こすことなく、親水部
を形成して、印字等の記録持続性を向上させることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明のインクジェット記
録ヘッドの製造方法を説明するための要部の断面図であ
る。

【図２】本発明のインクジェット記録ヘッドの斜視図で
ある。

【図３】図２のインクジェット記録ヘッドを備えたイン
クジェットカートリッジの斜視図である。

【図４】本発明のインクジェット記録ヘッドにおける吐
出口プレートの平面図である。

【図５】従来のインクジェット記録ヘッドの斜視図であ
る。

【図６】図５のインクジェット記録ヘッドの要部の分解
斜視図である。

【図７】図５のインクジェット記録ヘッドの要部の拡大
断面図である。

【図８】図５のインクジェット記録ヘッドの要部の分解
断面図である。

【図９】本発明に係るインクジェット記録装置の概略斜
視図である。

【符号の説明】

５親水部９母材１０撥水処理層１１電鋳型２０インクタンク３０インク供給路１００支持部材１０１エネルギー発生素子２００本体側接着面３００天板４００流路形成部４５０共通液室６００吐出口プレート６３０吐出口７２０基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクの吐出口が形成された吐出口プレ
ートを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法にお
いて、前記吐出口プレートの母材として、表面の凹凸の高低差
が異なる母材を電鋳法によって製作し、前記母材の表面に撥水層を形成した後に、前記母材の表面の凸部分が露出するように前記撥水層の
上層部を除去することにより、前記吐出プレートの撥水
領域と同一面内に親水領域を形成することを特徴とする
インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】前記電鋳法において、表面粗度が部分的
に異なる電鋳母型を用いることにより、表面の凹凸の高
低差が異なる前記母材を製作することを特徴とする請求
項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】前記電鋳法において、メッキ条件を調整
することにより、表面の凹凸の高低差が異なる前記母材
を製作することを特徴とする請求項１に記載のインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】前記吐出口プレートの表面に、前記母材
の露出部分を親水領域として混在させたことを特徴とす
る請求項１から３のいずれかに記載のインクジェット記
録ヘッドの製造方法。
【請求項５】前記撥水層の上層部は一定量除去される
ことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】前記母材において、前記吐出口プレート
の前記撥水領域となるべき表面の凹凸の高低差は、前記
除去工程後の前記撥水層の厚さよりも小さいことを特徴
とする請求項１から５のいずれかに記載のインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】前記母材の表面において、凹凸の高低差
の小さい部分と凹凸の高低差の大きい部分の双方の凸部
の高さが同じであることを特徴とする請求項１から５の
いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方
法。
【請求項８】前記母材の表面において、凹凸の高低差
の小さい部分と凹凸の高低差の大きい部分の双方の凹部
の高さが同じであることを特徴とする請求項１から５の
いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方
法。
【請求項９】前記母材の凸部分の上部を切断するよう
に前記撥水層の上層部を除去することを特徴とする請求
項１記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】前記撥水領域と前記親水領域との境界
に前記撥水領域の端部が露出していないことを特徴とす
る請求項１から９のいずれかに記載のインクジェット記
録ヘッドの製造方法。
【請求項１１】請求項１から１０のいずれかに記載の
方法により製造されたことを特徴とするインクジェット
記録ヘッド。
【請求項１２】前記吐出口からインクを吐出するため
のエネルギーとして熱エネルギーを発生する電気熱変換
体を有することを特徴とする請求項１１に記載のインク
ジェット記録ヘッド。
【請求項１３】請求項１１または１２に記載のインク
ジェット記録ヘッドと被記録媒体とを相対移動させる手
段を備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。