JP2000321163A - 分析装置におけるガス漏れ検出機構 - Google Patents
分析装置におけるガス漏れ検出機構Info
- Publication number
- JP2000321163A JP2000321163A JP11134322A JP13432299A JP2000321163A JP 2000321163 A JP2000321163 A JP 2000321163A JP 11134322 A JP11134322 A JP 11134322A JP 13432299 A JP13432299 A JP 13432299A JP 2000321163 A JP2000321163 A JP 2000321163A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- valve
- analyzer
- opening
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 分析装置のガス漏れの検査時間を短縮すると
ともに、ガス漏れ箇所の特定が容易にすることが可能な
分析装置におけるガス漏れ検出機構を提供する。 【解決手段】 キャリアガス源と、キャリアガス精製部
５と、試料を加熱してガスを抽出する抽出部６と、前記
ガスを検出するガス検出部７と、排気口とをこの順に直
列に接続し、前記ガスの検出に基づいて試料中の成分を
分析する分析装置において、前記キャリアガス源と前記
キャリアガス精製部５の間に第一開閉弁１を、前記キャ
リアガス精製部５と前記抽出部６の間に第二開閉弁２
を、前記抽出部６と前記ガス検出部７の間に第三開閉弁
３を、前記ガス検出部７と前記排気口の間に第四開閉弁
４をそれぞれ設け、また、第一開閉弁１と第二開閉弁２
の間、第二開閉弁２と第三開閉弁３の間、第三開閉弁３
と第四開閉弁４の間に、それぞれ圧力計８、９、１０を
接続した。
ともに、ガス漏れ箇所の特定が容易にすることが可能な
分析装置におけるガス漏れ検出機構を提供する。 【解決手段】 キャリアガス源と、キャリアガス精製部
５と、試料を加熱してガスを抽出する抽出部６と、前記
ガスを検出するガス検出部７と、排気口とをこの順に直
列に接続し、前記ガスの検出に基づいて試料中の成分を
分析する分析装置において、前記キャリアガス源と前記
キャリアガス精製部５の間に第一開閉弁１を、前記キャ
リアガス精製部５と前記抽出部６の間に第二開閉弁２
を、前記抽出部６と前記ガス検出部７の間に第三開閉弁
３を、前記ガス検出部７と前記排気口の間に第四開閉弁
４をそれぞれ設け、また、第一開閉弁１と第二開閉弁２
の間、第二開閉弁２と第三開閉弁３の間、第三開閉弁３
と第四開閉弁４の間に、それぞれ圧力計８、９、１０を
接続した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料中の成分を分
析するための分析装置におけるガス漏れ検出機構に関す
る。
析するための分析装置におけるガス漏れ検出機構に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、金属やセラミックスなどの試料
に含まれる炭素や硫黄などの成分を定量分析するための
分析装置として、試料をガス抽出部で燃焼させて抽出し
たガスを、キャリアガス精製部で精製したキャリアガス
によりガス検出部へと送り、例えば赤外線吸収法によっ
て分析するものがある。
に含まれる炭素や硫黄などの成分を定量分析するための
分析装置として、試料をガス抽出部で燃焼させて抽出し
たガスを、キャリアガス精製部で精製したキャリアガス
によりガス検出部へと送り、例えば赤外線吸収法によっ
て分析するものがある。
【０００３】上記のような分析装置には、ガス漏れを検
出するための検出機構Ｄ’が設けられており、その従来
構成を図２に示している。ガス漏れ検出機構Ｄ’は、キ
ャリアガスＫを供給するキャリアガス源（図示せず）、
キャリアガス精製部５、ガス抽出部６、ガス検出部７、
排気口（図示せず）がこの順で直列に接続してなるガス
ラインＧＬにおいて、前記キャリアガス源と前記キャリ
アガス精製部５の間に第一開閉弁１を、前記キャリアガ
ス精製部５と前記ガス抽出部６の間に第二開閉弁２を、
前記抽出部６と前記ガス検出部７の間に第三開閉弁３
を、前記ガス検出部７と前記排気口の間に第四開閉弁４
をそれぞれ設け、また、第一開閉弁１と第二開閉弁２の
間に、圧力計８を設けている。
出するための検出機構Ｄ’が設けられており、その従来
構成を図２に示している。ガス漏れ検出機構Ｄ’は、キ
ャリアガスＫを供給するキャリアガス源（図示せず）、
キャリアガス精製部５、ガス抽出部６、ガス検出部７、
排気口（図示せず）がこの順で直列に接続してなるガス
ラインＧＬにおいて、前記キャリアガス源と前記キャリ
アガス精製部５の間に第一開閉弁１を、前記キャリアガ
ス精製部５と前記ガス抽出部６の間に第二開閉弁２を、
前記抽出部６と前記ガス検出部７の間に第三開閉弁３
を、前記ガス検出部７と前記排気口の間に第四開閉弁４
をそれぞれ設け、また、第一開閉弁１と第二開閉弁２の
間に、圧力計８を設けている。
【０００４】さらに、前記ガスラインＧＬには、一端が
第二開閉弁２と第三開閉弁３の間に、他端が第二開閉弁
２と第三開閉弁３の間にそれぞれ接続されるバイパスラ
インＢＬが設けられていて、このバイパスラインＢＬに
は、三方切換弁１１とこの三方切換弁１１に接続される
圧力計９が設けられている。なお、前記三方切換弁１１
は、ＯＮの状態では、圧力計９と前記抽出部６とが連通
し、ＯＦＦの状態では、圧力計９と前記ガス検出部７と
が連通するように設けられている。
第二開閉弁２と第三開閉弁３の間に、他端が第二開閉弁
２と第三開閉弁３の間にそれぞれ接続されるバイパスラ
インＢＬが設けられていて、このバイパスラインＢＬに
は、三方切換弁１１とこの三方切換弁１１に接続される
圧力計９が設けられている。なお、前記三方切換弁１１
は、ＯＮの状態では、圧力計９と前記抽出部６とが連通
し、ＯＦＦの状態では、圧力計９と前記ガス検出部７と
が連通するように設けられている。
【０００５】上記の構成によるガス漏れ検出機構Ｄ’を
用いたガス漏れの検出は、まず、第一開閉弁１を閉じ、
第二開閉弁２、第三開閉弁３、第四開閉弁４を開けてガ
スラインＧＬ中のガスを排気し、排気が終われば、第四
開閉弁４だけを閉めて、上流側から送られるガスを、ガ
スラインＧＬおよびバイパスラインＢＬに充満させる。
そして、前記キャリアガス源と第一開閉弁１との間に設
けた圧力調節器（図示せず）で所定の圧力を決定させ、
全ての開閉弁１、２、３、４を閉じて、ガスラインＧＬ
を、キャリアガス精製部５を含む区画、ガス抽出部６を
含む区画、ガス検出部７を含む区画の３つに区画し、圧
力計８、９により各区画の圧力の損失を１か所ずつ検査
するというものであった。また、第一開閉弁１と第四開
閉弁４だけを閉じた状態にして、圧力計８、９のどちら
か一方または両方を用いれば、装置全体の圧力損失を一
度に測定することも可能であった。
用いたガス漏れの検出は、まず、第一開閉弁１を閉じ、
第二開閉弁２、第三開閉弁３、第四開閉弁４を開けてガ
スラインＧＬ中のガスを排気し、排気が終われば、第四
開閉弁４だけを閉めて、上流側から送られるガスを、ガ
スラインＧＬおよびバイパスラインＢＬに充満させる。
そして、前記キャリアガス源と第一開閉弁１との間に設
けた圧力調節器（図示せず）で所定の圧力を決定させ、
全ての開閉弁１、２、３、４を閉じて、ガスラインＧＬ
を、キャリアガス精製部５を含む区画、ガス抽出部６を
含む区画、ガス検出部７を含む区画の３つに区画し、圧
力計８、９により各区画の圧力の損失を１か所ずつ検査
するというものであった。また、第一開閉弁１と第四開
閉弁４だけを閉じた状態にして、圧力計８、９のどちら
か一方または両方を用いれば、装置全体の圧力損失を一
度に測定することも可能であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
構成では、圧力損失の検査を１か所ずつ行う場合、キャ
リアガス精製部５の圧力は圧力計８で測定できるが、ガ
ス抽出部６とガス検出部７の圧力の測定は、どちらも圧
力計９を用いなければならず、まず圧力計９をＯＮの状
態にしてガス抽出部６の圧力を計測し、次に、圧力計９
をＯＦＦの状態にしてガス検出部７の圧力を計測しなけ
ればならないことから、時間がかかり、また、全体を一
度に検査する場合には、時間を短縮することは可能だ
が、ガス漏れがある場合に、その箇所を特定することが
難しかった。
構成では、圧力損失の検査を１か所ずつ行う場合、キャ
リアガス精製部５の圧力は圧力計８で測定できるが、ガ
ス抽出部６とガス検出部７の圧力の測定は、どちらも圧
力計９を用いなければならず、まず圧力計９をＯＮの状
態にしてガス抽出部６の圧力を計測し、次に、圧力計９
をＯＦＦの状態にしてガス検出部７の圧力を計測しなけ
ればならないことから、時間がかかり、また、全体を一
度に検査する場合には、時間を短縮することは可能だ
が、ガス漏れがある場合に、その箇所を特定することが
難しかった。
【０００７】本発明は上述の事柄に留意してなされたも
ので、その目的は、分析装置のガス漏れの検査時間を短
縮するとともに、ガス漏れ箇所の特定が容易にすること
が可能な分析装置におけるガス漏れ検出機構を提供する
ことである。
ので、その目的は、分析装置のガス漏れの検査時間を短
縮するとともに、ガス漏れ箇所の特定が容易にすること
が可能な分析装置におけるガス漏れ検出機構を提供する
ことである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の分析装置におけるガス漏れ検出機構は、キ
ャリアガス源と、キャリアガス精製部と、試料を加熱し
てガスを抽出する抽出部と、前記ガスを検出するガス検
出部と、排気口とをこの順に直列に接続し、前記ガスの
検出に基づいて試料中の成分を分析する分析装置におい
て、前記キャリアガス源と前記キャリアガス精製部の間
に第一開閉弁を、前記キャリアガス精製部と前記抽出部
の間に第二開閉弁を、前記抽出部と前記ガス検出部の間
に第三開閉弁を、前記ガス検出部と前記排気口の間に第
四開閉弁をそれぞれ設け、また、第一開閉弁と第二開閉
弁の間、第二開閉弁と第三開閉弁の間、第三開閉弁と第
四開閉弁の間に、それぞれ圧力計を接続した。
に、本発明の分析装置におけるガス漏れ検出機構は、キ
ャリアガス源と、キャリアガス精製部と、試料を加熱し
てガスを抽出する抽出部と、前記ガスを検出するガス検
出部と、排気口とをこの順に直列に接続し、前記ガスの
検出に基づいて試料中の成分を分析する分析装置におい
て、前記キャリアガス源と前記キャリアガス精製部の間
に第一開閉弁を、前記キャリアガス精製部と前記抽出部
の間に第二開閉弁を、前記抽出部と前記ガス検出部の間
に第三開閉弁を、前記ガス検出部と前記排気口の間に第
四開閉弁をそれぞれ設け、また、第一開閉弁と第二開閉
弁の間、第二開閉弁と第三開閉弁の間、第三開閉弁と第
四開閉弁の間に、それぞれ圧力計を接続した。
【０００９】上記の構成により、分析装置のガス漏れの
検査時間を短縮するとともに、ガス漏れ箇所の特定が容
易にすることが可能な分析装置におけるガス漏れ検出機
構を提供することが可能となる。
検査時間を短縮するとともに、ガス漏れ箇所の特定が容
易にすることが可能な分析装置におけるガス漏れ検出機
構を提供することが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を、図を参
照しながら説明する。図１は、分析装置におけるガス漏
れ検出機構Ｄの一例を示す回路図である。例えば金属や
セラミックスなどの試料に含まれる炭素や硫黄などの成
分を分析するための分析装置に設けられたガス漏れ検出
機構Ｄは、キャリアガス源（例えばガスボンベ、図示せ
ず）、このキャリアガス源から送られてくるキャリアガ
スＫ（例えば酸素）を精製するキャリアガス精製部５、
試料（図示せず）を加熱してガスを抽出するガス抽出部
６、前記ガスを検出するガス検出部７、排気口（図示せ
ず）がこの順で直列に接続されるガスラインＧＬにおい
て、前記キャリアガス源と前記キャリアガス精製部５の
間に第一開閉弁１を、前記キャリアガス精製部５と前記
抽出部６の間に第二開閉弁２を、前記抽出部６と前記ガ
ス検出部７の間に第三開閉弁３を、前記ガス検出部７と
前記排気口の間に第四開閉弁４をそれぞれ設け、また、
第一開閉弁１と第二開閉弁２の間に圧力計８を、第二開
閉弁２と第三開閉弁３の間に圧力計９を、第三開閉弁３
と第四開閉弁４の間に圧力計１０をそれぞれ設けること
により構成される。
照しながら説明する。図１は、分析装置におけるガス漏
れ検出機構Ｄの一例を示す回路図である。例えば金属や
セラミックスなどの試料に含まれる炭素や硫黄などの成
分を分析するための分析装置に設けられたガス漏れ検出
機構Ｄは、キャリアガス源（例えばガスボンベ、図示せ
ず）、このキャリアガス源から送られてくるキャリアガ
スＫ（例えば酸素）を精製するキャリアガス精製部５、
試料（図示せず）を加熱してガスを抽出するガス抽出部
６、前記ガスを検出するガス検出部７、排気口（図示せ
ず）がこの順で直列に接続されるガスラインＧＬにおい
て、前記キャリアガス源と前記キャリアガス精製部５の
間に第一開閉弁１を、前記キャリアガス精製部５と前記
抽出部６の間に第二開閉弁２を、前記抽出部６と前記ガ
ス検出部７の間に第三開閉弁３を、前記ガス検出部７と
前記排気口の間に第四開閉弁４をそれぞれ設け、また、
第一開閉弁１と第二開閉弁２の間に圧力計８を、第二開
閉弁２と第三開閉弁３の間に圧力計９を、第三開閉弁３
と第四開閉弁４の間に圧力計１０をそれぞれ設けること
により構成される。
【００１１】前記キャリアガス精製部５には、試薬管や
反応管（ともに図示せず）が設けられており、キャリア
ガス源から送られてくるキャリアガスＫ内の炭化水素な
どがここで除去されることになる。
反応管（ともに図示せず）が設けられており、キャリア
ガス源から送られてくるキャリアガスＫ内の炭化水素な
どがここで除去されることになる。
【００１２】次に、上記の構成によるガス漏れ検出機構
Ｄを用いて分析装置のガス漏れの検出をする手順につい
て説明する。あらかじめガスラインＧＬ中の大気に開放
されるところは閉じて密閉状態にし、まず、第一開閉弁
１だけを閉じ、第二開閉弁２、第三開閉弁３、第四開閉
弁４を開けてガスラインＧＬ中のガスを排気し、ガス圧
力を抜く。次に、第一開閉弁１、第二開閉弁２、第三開
閉弁３を開き、第四開閉弁４だけを閉じて、上流側から
送られるガスを、ガスラインＧＬに充満させ、ガス圧力
を、キャリアガス源と開閉弁１との間に設けられた圧力
調節器など（図示せず）で予め決定しておいた通常時に
おける装置の動作状態のときと同じにする。そして、全
ての開閉弁１、２、３、４を閉じることで、ガスライン
ＧＬを３つに区画する。つまり、キャリアガス精製部５
を含む区画５’と、ガス抽出部６を含む区画６’と、ガ
ス検出部７を含む区画７’とが形成される。また、各区
画５’、６’、７’には、それぞれ圧力計８、９、１０
が接続されている。こうして開閉弁１、２、３、４を閉
じてから、一定時間、圧力計８、９、１０を用いて区画
５’、６’、７’の圧力を監視し、規定の圧力の範囲を
外れた場合には、その箇所を表示するようにし、そのよ
うな箇所がなければ異常なしという表示をするようにす
る。
Ｄを用いて分析装置のガス漏れの検出をする手順につい
て説明する。あらかじめガスラインＧＬ中の大気に開放
されるところは閉じて密閉状態にし、まず、第一開閉弁
１だけを閉じ、第二開閉弁２、第三開閉弁３、第四開閉
弁４を開けてガスラインＧＬ中のガスを排気し、ガス圧
力を抜く。次に、第一開閉弁１、第二開閉弁２、第三開
閉弁３を開き、第四開閉弁４だけを閉じて、上流側から
送られるガスを、ガスラインＧＬに充満させ、ガス圧力
を、キャリアガス源と開閉弁１との間に設けられた圧力
調節器など（図示せず）で予め決定しておいた通常時に
おける装置の動作状態のときと同じにする。そして、全
ての開閉弁１、２、３、４を閉じることで、ガスライン
ＧＬを３つに区画する。つまり、キャリアガス精製部５
を含む区画５’と、ガス抽出部６を含む区画６’と、ガ
ス検出部７を含む区画７’とが形成される。また、各区
画５’、６’、７’には、それぞれ圧力計８、９、１０
が接続されている。こうして開閉弁１、２、３、４を閉
じてから、一定時間、圧力計８、９、１０を用いて区画
５’、６’、７’の圧力を監視し、規定の圧力の範囲を
外れた場合には、その箇所を表示するようにし、そのよ
うな箇所がなければ異常なしという表示をするようにす
る。
【００１３】以上の構成により、各区画５’、６’、
７’の圧力の損失を同時に検査するとともに、ガス漏れ
の箇所の特定を容易に行うことができる。
７’の圧力の損失を同時に検査するとともに、ガス漏れ
の箇所の特定を容易に行うことができる。
【００１４】上記のガス漏れ検出機構Ｄは、試料中の炭
素や硫黄の分析を行う分析装置に用いられていたが、こ
れに限るものではなく、例えば、キャリアガスＫにヘリ
ウムを用いて、試料中の窒素や酸素を分析を行う分析装
置や、キャリアガスＫにアルゴンを用いて、試料中の水
素の分析を行う分析装置などに用いてもよい。
素や硫黄の分析を行う分析装置に用いられていたが、こ
れに限るものではなく、例えば、キャリアガスＫにヘリ
ウムを用いて、試料中の窒素や酸素を分析を行う分析装
置や、キャリアガスＫにアルゴンを用いて、試料中の水
素の分析を行う分析装置などに用いてもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の分析装置
におけるガス漏れ検出機構は、キャリアガス源と、キャ
リアガス精製部と、試料を加熱してガスを抽出する抽出
部と、前記ガスを検出するガス検出部と、排気口とをこ
の順に直列に接続し、前記ガスの検出に基づいて試料中
の成分を分析する分析装置において、前記キャリアガス
源と前記キャリアガス精製部の間に第一開閉弁を、前記
キャリアガス精製部と前記抽出部の間に第二開閉弁を、
前記抽出部と前記ガス検出部の間に第三開閉弁を、前記
ガス検出部と前記排気口の間に第四開閉弁をそれぞれ設
け、また、第一開閉弁と第二開閉弁の間、第二開閉弁と
第三開閉弁の間、第三開閉弁と第四開閉弁の間に、それ
ぞれ圧力計を接続してある。
におけるガス漏れ検出機構は、キャリアガス源と、キャ
リアガス精製部と、試料を加熱してガスを抽出する抽出
部と、前記ガスを検出するガス検出部と、排気口とをこ
の順に直列に接続し、前記ガスの検出に基づいて試料中
の成分を分析する分析装置において、前記キャリアガス
源と前記キャリアガス精製部の間に第一開閉弁を、前記
キャリアガス精製部と前記抽出部の間に第二開閉弁を、
前記抽出部と前記ガス検出部の間に第三開閉弁を、前記
ガス検出部と前記排気口の間に第四開閉弁をそれぞれ設
け、また、第一開閉弁と第二開閉弁の間、第二開閉弁と
第三開閉弁の間、第三開閉弁と第四開閉弁の間に、それ
ぞれ圧力計を接続してある。
【００１６】上記の構成により、分析装置のガス漏れの
検査時間を短縮するとともに、ガス漏れ箇所の特定が容
易にすることが可能な分析装置におけるガス漏れ検出機
構を提供することが可能となる。
検査時間を短縮するとともに、ガス漏れ箇所の特定が容
易にすることが可能な分析装置におけるガス漏れ検出機
構を提供することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例における分析装置におけるガ
ス漏れ検出機構の構成を概略的に示す回路図である。
ス漏れ検出機構の構成を概略的に示す回路図である。
【図２】従来の分析装置におけるガス漏れ検出機構の構
成を概略的に示す回路図である。
成を概略的に示す回路図である。
１…第一開閉弁、２…第二開閉弁、３…第三開閉弁、４
…第四開閉弁、５…キャリアガス精製部、６…抽出部、
７…ガス検出部、８、９、１０…圧力計、Ｄ…分析装置
におけるガス漏れ検出機構。
…第四開閉弁、５…キャリアガス精製部、６…抽出部、
７…ガス検出部、８、９、１０…圧力計、Ｄ…分析装置
におけるガス漏れ検出機構。
Claims (1)
- 【請求項１】 キャリアガス源と、キャリアガス精製部
と、試料を加熱してガスを抽出する抽出部と、前記ガス
を検出するガス検出部と、排気口とをこの順に直列に接
続し、前記ガスの検出に基づいて試料中の成分を分析す
る分析装置において、前記キャリアガス源と前記キャリ
アガス精製部の間に第一開閉弁を、前記キャリアガス精
製部と前記抽出部の間に第二開閉弁を、前記抽出部と前
記ガス検出部の間に第三開閉弁を、前記ガス検出部と前
記排気口の間に第四開閉弁をそれぞれ設け、また、第一
開閉弁と第二開閉弁の間、第二開閉弁と第三開閉弁の
間、第三開閉弁と第四開閉弁の間に、それぞれ圧力計を
接続してある分析装置におけるガス漏れ検出機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11134322A JP2000321163A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 分析装置におけるガス漏れ検出機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11134322A JP2000321163A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 分析装置におけるガス漏れ検出機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000321163A true JP2000321163A (ja) | 2000-11-24 |
Family
ID=15125616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11134322A Pending JP2000321163A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 分析装置におけるガス漏れ検出機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000321163A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007111351A1 (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 半導体装置の製造方法 |
| CN116253075A (zh) * | 2023-05-15 | 2023-06-13 | 常州远大新材料科技股份有限公司 | 一种制备抹泥板的氰酸酯混合物原料储料罐 |
-
1999
- 1999-05-14 JP JP11134322A patent/JP2000321163A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007111351A1 (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 半導体装置の製造方法 |
| JPWO2007111351A1 (ja) * | 2006-03-28 | 2009-08-13 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法 |
| CN116253075A (zh) * | 2023-05-15 | 2023-06-13 | 常州远大新材料科技股份有限公司 | 一种制备抹泥板的氰酸酯混合物原料储料罐 |
| CN116253075B (zh) * | 2023-05-15 | 2023-07-07 | 常州远大新材料科技股份有限公司 | 一种制备抹泥板的氰酸酯混合物原料储料罐 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10241096B2 (en) | Non-methane total hydrocarbons analysis apparatus and method for the same | |
| EP2518466B1 (en) | Gas analysis system | |
| CN209471083U (zh) | 一种非甲烷总烃含量检测装置 | |
| CN107389816A (zh) | 变压器油中溶解气体在线监测装置检测系统自动校准装置 | |
| JP2003254878A (ja) | 排気ガス測定システム | |
| KR920016830A (ko) | 가스누출 검사장치 및 방법 | |
| US6945092B2 (en) | Method for operating a film leak indicator and a corresponding film leak indicator for carrying out said method | |
| JP2000321163A (ja) | 分析装置におけるガス漏れ検出機構 | |
| CN108645980A (zh) | 一种气体传感器在线检测系统及方法 | |
| US4838098A (en) | Contained radiological analytical chemistry module | |
| CN212483471U (zh) | 一种高温分离检测双阀箱 | |
| CA1223451A (en) | Gas analyzer with aspirated test gas | |
| JP3186644B2 (ja) | 気体漏洩検査方法 | |
| JPH0720015A (ja) | ガスサンプリング装置 | |
| JPH07117474B2 (ja) | リークテスト方法および装置 | |
| CN219977699U (zh) | 绝缘油等离子色谱仪样气通路气密性检测装置 | |
| JP3422348B2 (ja) | 洩れ検査方法及び装置 | |
| US4909065A (en) | Contained radiological analytical chemistry module | |
| CN213148829U (zh) | 一种环境舱voc在线检测系统 | |
| JP2837779B2 (ja) | 放射性ガス測定装置 | |
| JPH09292302A (ja) | リークデテクタ | |
| CN216646361U (zh) | 一种环境空气nmhc在线检测流程架构 | |
| CN212568639U (zh) | 一种高温分离检测单阀箱 | |
| JPH09184793A (ja) | ガスクロマトグラフ | |
| JPH09126999A (ja) | 硫黄成分測定装置 |