JP2000321104A - 超音波流量計 - Google Patents

超音波流量計

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JP2000321104A
JP2000321104A JP11129596A JP12959699A JP2000321104A JP 2000321104 A JP2000321104 A JP 2000321104A JP 11129596 A JP11129596 A JP 11129596A JP 12959699 A JP12959699 A JP 12959699A JP 2000321104 A JP2000321104 A JP 2000321104A
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秀二 安倍
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謙三 黄地
Yuji Nakabayashi
祐治 中林
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波振動子の残響による共振現象をなく
し、正確な流量測定をすること。 【解決手段】 流体管路20の上流と下流に設けられ超
音波信号を受発信する第1超音波振動子21及び第2超
音波振動子22を駆動する駆動手段23と、この駆動手
段23の駆動位相を決定する位相決定手段25と、両超
音波振動子間相互の超音波伝達の回数を数えるカウント
手段24を有し、位相決定手段25はカウント手段24
の計数値に従って、駆動位相を可変するようにしてい
る。これによって両超音波振動子の隣接する発振駆動の
駆動位相を変化させ、両超音波振動子の残響による共振
現象をなくし、正確な流量を測定することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波を利用して
ガスなどの流量を測定する超音波流量計に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の超音波流量計(特開平8
−313317号公報)は、図6に示すように、流体管
路1の一部に超音波振動子2と超音波振動子3を流れの
方向に相対して設け、トリガ回路4、発振回路5を介し
超音波振動子2から流れ方向に超音波を発生させ、超音
波振動子3及び受信回路6により超音波を受信する。繰
り返し手段7でこの繰り返しを行ってその伝搬時間を計
時手段8で計測し、逆に切り替え手段10で超音波振動
子3から流れに逆らって超音波を発生し、同様の繰り返
しの伝搬時間を計測し、この時間の差から流量演算手段
9で流体の流量を演算していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の超音波流量計は、繰り返し手段7により、発振回
路5を介して繰り返し超音波振動子2あるいは超音波振
動子3が発振を行うが、超音波振動子2あるいは超音波
振動子3は発振回路5により発振を開始し、停止させて
もその機械的な振動はすぐには停止せず、いわゆる残響
が残る。そして、新たな発振と、残響が重なり合うこと
により共振状態となり、受信信号が増幅されてしまう。
この共振現象は超音波振動子2及び超音波振動子3の構
成、保持の仕方、気温などにより、その程度が異なる。
すなわち、種々の条件により受信信号が強められたい弱
められたりすることにより伝搬時間が変化する。そのた
め、正確な流量が測定できないものであった。
【0004】本発明は、超音波振動子の残響による共振
現象をなくし、正確な流量測定をすることを目的とす
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、流体管路の上流と下流に設けられ超音波信
号を受発信する第1超音波振動子及び第2超音波振動子
と、前記第1超音波振動子及び第2超音波振動子を駆動
する駆動手段と、この駆動手段の駆動位相を決定する位
相決定手段と、前記第1超音波振動子と前記第2超音波
振動子間相互の超音波伝達の回数を数えるカウント手段
を有し、前記位相決定手段は前記カウント手段の計数値
に従って、駆動位相を可変するようにしたもので、この
構成によれば、第1超音波振動子及び第2超音波振動子
の隣接する発振駆動の駆動位相を変化させ、第1超音波
振動子及び第2超音波振動子の残響による共振現象をな
くし、正確な流量を測定することができる。
【0006】
【発明の実施の形態】請求項1記載の発明は、流体管路
の上流と下流に設けられ超音波信号を受発信する第1超
音波振動子及び第2超音波振動子と、前記第1超音波振
動子及び第2超音波振動子を駆動する駆動手段と、この
駆動手段の駆動位相を決定する位相決定手段と、前記第
1超音波振動子と前記第2超音波振動子間相互の超音波
伝達の回数を数えるカウント手段を有し、前記位相決定
手段は前記カウント手段の計数値に従って、駆動位相を
可変するようにしたもので、この構成によれば、第1超
音波振動子及び第2超音波振動子の隣接する発振駆動の
駆動位相を変化させ、第1超音波振動子及び第2超音波
振動子の残響による共振現象をなくすようにしたもので
ある。
【0007】請求項2記載の発明は、流体管路の上流と
下流に設けられ超音波信号を受発信する第1超音波振動
子及び第2超音波振動子と、前記第1超音波振動子及び
第2超音波振動子を駆動する駆動手段と、この駆動手段
の駆動位相を決定する位相決定手段と、複数の比較電圧
を発生する比較電圧発生手段と、前記第1超音波振動子
あるいは前記第2超音波振動子の出力信号と前記比較電
圧発生手段の出力と比較することにより超音波信号の受
信を行う受信手段と、前記第1超音波振動子と前記第2
超音波振動子間相互の超音波伝達の回数を数えるカウン
ト手段を有し、前記比較電圧発生手段は前記カウント手
段の計数値に従って、異なった比較電圧を出力するよう
にしたもので、この構成によれば、受信を行うための比
較電圧を発振の駆動位相にあわせて変えることにより、
安定した受信を行えるようにしたものである。
【0008】請求項3記載の発明は、流体管路の上流と
下流に設けられ超音波信号を受発信する第1超音波振動
子及び第2超音波振動子と、前記第1超音波振動子及び
第2超音波振動子を駆動する駆動手段と、この駆動手段
の駆動位相を決定する位相決定手段と、前記第1超音波
振動子あるいは前記第2超音波振動子の出力信号を設定
された増幅率で増幅を行う可変利得アンプと、前記第1
超音波振動子と前記第2超音波振動子間相互の超音波伝
達の回数を数えるカウント手段を有し、前記可変利得ア
ンプの増幅率は前記カウント手段の計数値に従って設定
されるようにしたもので、この構成によれば、可変利得
アンプの増幅率を変えることにより、いかなる駆動位相
でも、受信信号のレベルを同じになるようにしたもので
ある。
【0009】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【0010】(実施例1)本発明の実施例1を図1、図
2及び図3をもとに説明する。図1において、20は流
体管路で、被測定物である流体が流れる。21は第1超
音波振動子で、超音波を発信あるいは受信を行う。22
は第2超音波振動子で、超音波の発信あるいは受信を行
う。26は切り替え手段で、第1超音波振動子21及び
第2超音波振動子22を発信あるいは受信に切り替え
る。23は駆動手段で、切り替え手段26を介して、第
1超音波振動子21あるいは第2超音波振動子22を駆
動する。25は位相決定手段で、カウント手段24の計
数値に従って、第1超音波振動子21あるいは第2超音
波振動子22の駆動位相を決定する。27はトリガ手段
で、カウント手段24の信号に従って駆動手段23を動
作させる。28aは増幅手段で、第1超音波振動子21
あるいは第2超音波振動子22からの受信信号を所定の
レベルまで増幅する。28bは比較手段で、増幅手段2
8aの出力と比較電圧発生手段29に内蔵された比較電
圧を比較して、増幅手段28aの出力が比較電圧発生手
段29に内蔵された比較電圧以上になると、カウント手
段24に信号を出力する。
【0011】また、比較電圧発生手段29は複数の比較
電圧を内蔵しており、カウント手段24の計数値に応じ
た比較電圧を出力するようになっている。カウント手段
24は比較手段28bから信号を受けると再びトリガ手
段27を動作させ、位相決定手段25にて決定された駆
動位相にて駆動手段23、第1超音波振動子21あるい
は第2超音波振動子22を駆動して超音波を発信させ
る。これら一連の動作は所定の回数繰り返させる。30
は計数手段で、計数を開始してから、カウント手段24
が所定の回数、超音波の発信、受信の一連の動作を繰り
返す間は計時を継続しており、カウント手段24が所定
の回数の計測を終えると、流量演算手段31に計数値を
出力する。
【0012】次に、上記超音波流量計の動作について説
明する。流体管路20中に流れる流体の計測を開始する
時、カウント手段24は切り替え手段26を動作させ、
流体の流れ方向に超音波を発射させるように第1超音波
振動子21を送信側に第2超音波振動子22を受信側に
設定する。同時に、計数手段30を初期化し、トリガ手
段27を動作させ、位相決定手段25で位相を決定す
る。計数手段30は計数を開始する。位相決定手段25
では、図2に示すように、カウント手段24の計数値に
より、超音波の発振の駆動位相を決定する。例えば、計
数値が1であれば、図2の(a)の駆動位相になり、計
数値が2であれば、同図の(b)の位相、すなわち1/
4位相がずれた駆動位相になる。
【0013】この例では、計数値が4毎に同じ駆動位相
を繰り返すようになっている。トリガ手段27からのト
リガ信号により、駆動手段23は位相決定手段25で決
定された駆動位相を入力し、切り替え手段10を介し
て、第1超音波振動子21を発振させる。第1超音波振
動子21から発射された超音波は流体管路20内を伝搬
して、第2超音波振動子22にて受信される。受信され
た信号は、切り替え手段26を介して、受信手段28に
含まれる増幅手段28aにより受信信号を所定のレベル
に増幅され、比較電圧発生手段29に内蔵される比較電
圧と、増幅手段28aから出力された受信信号を比較手
段28bと比較する。比較手段28bは、受信信号が比
較電圧より大きくなるとカウント手段24に信号を出力
する。
【0014】このとき、第2超音波振動子22の出力信
号のレベルは、駆動位相、すなわち、カウント手段24
の計数値によって異なる。比較電圧発生手段29は複数
の比較電圧を有しており、カウント手段24の計数値に
応じた比較電圧を出力する。図3は、増幅手段28aの
出力を示している。図3(a)は図2(a)に、図3
(b)は図2(b)に、図3(c)は図2(c)に、図
3(d)は図2(d)にそれぞれ対応する。図3(a)
は駆動位相が0度の場合の増幅手段28aの出力を示
し、比較電圧はVaになる。図3(b)の実線は駆動位
相が90度の場合の増幅手段28aの出力を示し、破線
で示した駆動位相が0度の場合に比べて、波形のレベル
が異なり、比較電圧はVaよりも低いVbになる。図3
(c)の実線は駆動位相が180度の場合の増幅手段2
8aの出力を示し、破線で示した駆動位相が0度の場合
に比べて、波形のレベルが異なり、比較電圧はVaより
も低いVcになる。図3(d)の実線は駆動位相が27
0度の場合の増幅手段28aの出力を示し、破線でしめ
した駆動位相が0度の場合に比べて、波形のレベルが異
なり、比較電圧はVaよりも低いVdになる。
【0015】カウント手段24では、比較手段28bか
らの出力があると、計数値を1つ増やし、再びトリガ手
段27及び位相決定手段25を動作させ、以上述べてき
たことを繰り返す。計数値に応じて毎回駆動位相を変え
ることにより、共振現象を起こすこともなく、安定に伝
搬時間を測定できる。カウント手段24が所定の回数繰
り返すと、計数手段30の計数を停止し、流量演算手段
31はその値(T1)を記憶する。
【0016】次に、流体の流れに逆らう方向に超音波を
発射させるように、切り替え手段10は、第1超音波振
動子21を受信側に第2超音波振動子22を送信側に設
定する。同時に、計数手段30を初期化し、トリガ手段
27を動作させ、位相決定手段25で位相を決定する。
計数手段30は計数を開始する。以降は先に述べた、流
体の流れ方向へ超音波を発射する場合と同じであるの
で、説明を割愛する。そして、カウント手段24が所定
の回数繰り返すと、計数手段30の計数を停止し、流量
演算手段31はその値(T2)を記憶する。流量演算手
段31では、記憶してあるT1とT2とから ΔT=T
1−T2 が演算され、この値に流体管路20の大きさ
や管内の流速分布の流速分布に応じた補正係数が乗じら
れて流速値が求められる。
【0017】(実施例2)次に、本発明の実施例2を図
2、図4及び図5をもとに説明する。図4において、2
0は流体管路で、被測定物である流体が流れる。21は
第1超音波振動子で、超音波を発信あるいは受信を行
う。22は第2超音波振動子で、超音波を発信あるいは
受信を行う。26は切り替え手段で、第1超音波振動子
21及び第2超音波振動子22を発信あるいは受信に切
り替える。23は駆動手段で、切り替え手段26を介し
て、第1超音波振動子21あるいは第2超音波振動子2
2を駆動する。25は位相決定手段で、カウント手段2
4の計数値に従って、第1超音波振動子21あるいは第
2超音波振動子22の駆動位相を決定する。27はトリ
ガ手段で、カウント手段24の信号に従って駆動手段2
3を動作させる。
【0018】また、28cは可変利得アンプで、カウン
ト手段24の計数値に従って増幅率を変化させながら、
第1超音波振動子21あるいは第2超音波振動子22か
らの受信信号を所定のレベルまで増幅する。28bは比
較手段で、可変利得アンプ28cの出力と比較電圧発生
手段29の比較電圧を比較して、可変利得アンプ28c
の出力が比較電圧発生手段29の比較電圧以上になる
と、カウント手段24に信号を出力する。繰り返し手段
24は比較手段28bから信号を受けると再びトリガ手
段27を動作させ、位相決定手段25にて決定された駆
動位相にて駆動手段23、第1超音波振動子21あるい
は第2超音波振動子22を介して超音波を発信させる。
これら一連の動作は所定の回数繰り返させる。30は計
数手段で、計測開始時に計数を開始し、カウント手段2
4が所定の回数、超音波の発信、受信の一連の動作を繰
り返す間は計時を継続しており、カウント手段24が所
定の回数の計測を終えると、流量演算手段31に計数値
を出力する。
【0019】次に、上記超音波流量計の動作について説
明する。流体管路20中に流れる流体の計測を開始する
時、カウント手段24は切り替え手段26を動作させ、
流体の流れ方向に超音波を発射させるように第1超音波
振動子21を送信側に第2超音波振動子22を受信側に
設定する。同時に、計数手段30を初期化し、トリガ手
段27を動作させ、位相決定手段25で位相を決定す
る。計数手段30は計数を開始する。位相決定手段25
では、図2に示すように、カウント手段24の計数値に
より、超音波の発振の駆動位相を決定する。例えば、計
数値が1であれば、図2の(a)の駆動位相になり、計
数値が2であれば、同図の(b)の位相、すなわち1/
4位相がずれた駆動位相になる。この例では、計数値が
4毎に同じ駆動位相を繰り返すようになっている。トリ
ガ手段27からのトリガ信号により、駆動手段23は位
相決定手段25で決定された駆動位相を入力し、切り替
え手段10を介して、第1超音波振動子21を発振させ
る。第1超音波振動子21から発射された超音波は流体
管路20内を伝搬して、第2超音波振動子22にて受信
される。受信された信号は、切り替え手段26を介し
て、受信手段28に含まれる可変利得アンプ28cによ
り受信信号を所定のレベルに増幅されるが、可変利得ア
ンプ28cの増幅率はカウント手段24の計数値によっ
て、可変され、前述した異なる駆動位相による受信信号
もすべて同じレベルに増幅される。
【0020】比較手段28bは、比較電圧発生手段29
に内蔵される比較電圧と、可変利得アンプ28cから出
力される増幅された受信信号を比較手段28bと比較す
る。、受信信号が比較電圧より大きくなるとカウント手
段24に信号を出力する。図5に、駆動位相の異なる第
2超音波振動子22の受信信号とそれに対応した可変利
得アンプ28cの出力を示す。図5(a)は図2(a)
に、図5(b)は図2(b)に、図5(c)は図2
(c)に、図5(d)は図2(d)に各々対応する。図
5(a)の実線は駆動位相が0度の場合の第2超音波振
動子22の信号出力を示し、図5(a)の破線が可変利
得アンプ28cの増幅出力になる。V0は比較電圧であ
る。図5(b)の実線は駆動位相が90度の場合、同図
(c)の実線は駆動位相が180度の場合、同図(d)
の実線は駆動位相が270度の場合の第2超音波振動子
22の信号出力を示し、それぞれ可変利得アンプ28c
の増幅率を変えて、可変利得アンプ28cの増幅出力が
同じようになるようにする。
【0021】これにより、駆動位相を変えることによっ
て、第2超音波振動子22の出力が変動しても、安定に
する受信信号を認識できる。カウント手段24では、比
較手段28bからの出力があると、計数値を1つ増や
し、再びトリガ手段27及び位相決定手段25を動作さ
せ、以上述べてきたことを繰り返す。計数値に応じて毎
回駆動位相を変えることにより、共振現象を起こすこと
もなく、安定に伝搬時間を測定できる。カウント手段2
4が所定の回数繰り返すと、計数手段30の計数を停止
し、流量演算手段31はその値(T1)を記憶する。次
に、流体の流れに逆らう方向に超音波を発射させるよう
に、切り替え手段10は、第1超音波振動子21を受信
側に第2超音波振動子22を送信側に設定する。
【0022】同時に、計数手段30を初期化し、トリガ
手段27を動作させ、位相決定手段25で位相を決定す
る。計数手段30は計数を開始する。以降は先に述べ
た、流体の流れ方向へ超音波を発射する場合と同じであ
るので、説明を割愛する。そして、カウント手段24が
所定の回数繰り返すと、計数手段30の計数を停止し、
流量演算手段31はその値(T2)を記憶する。流量演
算手段31では、記憶してあるT1とT2とからΔT=
T1−T2 が演算され、この値に流体管路20の大き
さや管内の流速分布の流速分布に応じた補正係数が乗じ
られて流速値が求められる。
【0023】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明の
超音波流量計によれば、次の効果を奏する。
【0024】請求項1記載の発明によれば、流体管路の
上流と下流に設けられ超音波信号を受発信する第1超音
波振動子及び第2超音波振動子と、前記第1超音波振動
子及び第2超音波振動子を駆動する駆動手段と、この駆
動手段の駆動位相を決定する位相決定手段と、前記第1
超音波振動子と前記第2超音波振動子間相互の超音波伝
達を複数回行うカウント手段を有し、前記位相決定手段
は前記カウント手段の計数値に従って、駆動位相を可変
するようにしたもので、この構成によれば、第1超音波
振動子あるいは第2超音波振動子の隣接する発振の駆動
位相を変化させ、第1超音波振動子及び第2超音波振動
子の残響による共振の影響をなくすことにより簡単な構
成で精度よく流量を測定することができる。
【0025】また、請求項2記載の発明によれば、流体
管路の上流と下流に設けられ超音波信号を受発信する第
1超音波振動子及び第2超音波振動子と、前記第1超音
波振動子及び第2超音波振動子を駆動する駆動手段と、
この駆動手段の駆動位相を決定する位相決定手段と、複
数の比較電圧を発生する比較電圧発生手段と、前記第1
超音波振動子あるいは前記第2超音波振動子の出力信号
と前記比較電圧発生手段の出力と比較することにより超
音波信号の受信を行う受信手段と、前記第1超音波振動
子と前記第2超音波振動子間相互の超音波伝達を複数回
行うカウント手段を有し、前記受信手段は前記カウント
手段の計数値に従って、異なった比較電圧と前記第1超
音波振動子あるいは前記第2超音波振動子の出力信号を
比較するようにしたもので、この構成によれば、受信を
行うための比較電圧を第1超音波振動子あるいは第2超
音波振動子の隣接する発振の駆動位相にあわせて変える
ことにより、安定した受信を行えしかも残響による共振
もなく、精度よく流量を測定することができる。
【0026】また、請求項3記載の発明によれば、流体
管路の上流と下流に設けられ超音波信号を受発信する第
1超音波振動子及び第2超音波振動子と、前記第1超音
波振動子及び第2超音波振動子を駆動する駆動手段と、
この駆動手段の駆動位相を決定する位相決定手段と、前
記第1超音波振動子あるいは前記第2超音波振動子の出
力信号を設定された増幅率で増幅を行う可変利得アンプ
と、前記第1超音波振動子と前記第2超音波振動子間相
互の超音波伝達を複数回行うカウント手段を有し、前記
可変利得アンプの増幅率は前記カウント手段の計数値に
従って設定されるようにしたもので、この構成によれ
ば、可変利得アンプの増幅率を第1超音波振動子あるい
は第2超音波振動子の隣接する発振の駆動位相にあわせ
て変えることにより、いかなる駆動位相でも、受信信号
のレベルを同じになり、安定した受信を行えしかも残響
による共振もなく、精度よく流量を測定することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1における超音波流量計の全体
を示すブロック図
【図2】(a)同流量計における位相遅れのない駆動波
形図 (b)同流量計における位相が1/4位相遅れた駆動波
形図 (c)同流量計における位相が1/2位相遅れた駆動波
形図 (d)同流量計における位相が3/4位相遅れた駆動波
形図
【図3】(a)同流量計における位相遅れのない駆動に
よる受信信号波形図 (b)同流量計における位相が1/4位相遅れた駆動に
よる受信信号波形図 (c)同流量計における位相が1/2位相遅れた駆動に
よる受信信号波形図 (d)同流量計における位相が3/4位相遅れた駆動に
よる受信信号波形図
【図4】本発明の実施例2における超音波流量計の全体
を示すブロック図
【図5】(a)同流量計における位相遅れのない駆動に
よる受信信号波形図 (b)同流量計における位相が1/4位相遅れた駆動に
よる受信信号波形図 (c)同流量計における位相が1/2位相遅れた駆動に
よる受信信号波形図 (d)同流量計における位相が3/4位相遅れた駆動に
よる受信信号波形図
【図6】従来の超音波流量計を示すブロック図
【符号の説明】
20 流体管路 21 第1超音波振動子 22 第2超音波振動子 23 駆動手段 24 カウント手段 25 位相決定手段
フロントページの続き (72)発明者 中林 祐治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 足立 明久 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2F035 DA19 DA24

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】流体管路の上流と下流に設けられ超音波信
    号を受発信する第1超音波振動子及び第2超音波振動子
    と、前記第1超音波振動子及び第2超音波振動子を駆動
    する駆動手段と、この駆動手段の駆動位相を決定する位
    相決定手段と、前記第1超音波振動子と前記第2超音波
    振動子間相互の超音波伝達の回数を数えるカウント手段
    を有し、前記位相決定手段は前記カウント手段の計数値
    に従って、駆動位相を可変するようにした超音波流量
    計。
  2. 【請求項2】流体管路の上流と下流に設けられ超音波信
    号を受発信する第1超音波振動子及び第2超音波振動子
    と、前記第1超音波振動子及び第2超音波振動子を駆動
    する駆動手段と、この駆動手段の駆動位相を決定する位
    相決定手段と、複数の比較電圧を発生する比較電圧発生
    手段と、前記第1超音波振動子あるいは前記第2超音波
    振動子の出力信号と前記比較電圧発生手段の出力と比較
    することにより超音波信号の受信を行う受信手段と、前
    記第1超音波振動子と前記第2超音波振動子間相互の超
    音波伝達の回数を数えるカウント手段を有し、前記比較
    電圧発生手段は前記カウント手段の計数値に従って、異
    なった比較電圧を出力するようにした超音波流量計。
  3. 【請求項3】流体管路の上流と下流に設けられ超音波信
    号を受発信する第1超音波振動子及び第2超音波振動子
    と、前記第1超音波振動子及び第2超音波振動子を駆動
    する駆動手段と、この駆動手段の駆動位相を決定する位
    相決定手段と、前記第1超音波振動子あるいは前記第2
    超音波振動子の出力信号を設定された増幅率で増幅を行
    う可変利得アンプと、前記第1超音波振動子と前記第2
    超音波振動子間相互の超音波伝達の回数を数えるカウン
    ト手段を有し、前記可変利得アンプの増幅率は前記カウ
    ント手段の計数値に従って設定されるようにした超音波
    流量計。
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WO2003102512A1 (de) * 2002-05-31 2003-12-11 Systec Controls Mess Und Regeltechnik Gmbh Ultraschall-laufzeit-mengenmessung zum ermitteln der konzentration von partikeln in einem strömenden fluid

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WO2003102512A1 (de) * 2002-05-31 2003-12-11 Systec Controls Mess Und Regeltechnik Gmbh Ultraschall-laufzeit-mengenmessung zum ermitteln der konzentration von partikeln in einem strömenden fluid
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