JP2003004757A - 超音波流速測定方法 - Google Patents

超音波流速測定方法

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JP2003004757A JP2001186250A JP2001186250A JP2003004757A JP 2003004757 A JP2003004757 A JP 2003004757A JP 2001186250 A JP2001186250 A JP 2001186250A JP 2001186250 A JP2001186250 A JP 2001186250A JP 2003004757 A JP2003004757 A JP 2003004757A
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哲也 保田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波の伝搬時間の測定を複数回繰り返す場
合において、前の測定における反射波の干渉を無くすあ
るいは一定にすることができ、ひいては超音波の伝搬時
間を精度良く測定することが可能な超音波流速測定方法
の提供を目的とする。 【解決手段】 超音波流速測定管1を流れる計測流体の
上流側と下流側にそれぞれ超音波振動子2、3を配置
し、各超音波振動子2、3から相互に超音波を発生送信
するとともに、送信された超音波を相互に受信し、それ
ら超音波の伝搬時間の差に基づいて流速を測定する。こ
の測定において、超音波の伝搬時間の測定を複数回繰り
返すとともに、その超音波の伝搬時間の測定間隔を直前
の測定における超音波の伝搬時間t(0)に比例して調整
すれば、測定波(W1)に対する直前の測定における反
射波(Wn)の干渉を無くす又は一定にすることができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、超音波を利用し
てガスその他の流速を測定する超音波流速測定方法に関
する。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】ガス
その他の流体の流量を求めるに際し、まず流体の流速を
連続的ないし定期的に測定し、これに基づいて流量を演
算することが行われている。そして、このような流体の
流速測定方法の一つとして、超音波を利用した方法が知
られている。 かかる超音波流速測定方法の原理を、図
8にて説明すると次のとおりである。図8において、
(1)は内部をガス等の流体が流れる流速測定管であ
る。この流速測定管(1)内には、流れ方向の上流側お
よび下流側に、所定距離を隔てて超音波振動子(2)
(3)が配置されている。この超音波振動子(2)
(3)は、駆動パルス発生回路(4)からの駆動パルス
により駆動されて振動し、超音波を発生送信する一方、
送信されてきた超音波を受信するもので、その超音波振
動子(2)(3)が振動したときの受信波(W)が受信
増幅回路(5)から出力されるものとなされている。
【0003】そして、上流側の超音波振動子(2)から
流れに対して順方向に送信された超音波が下流側の超音
波振動子(3)で受信されるまでの伝搬時間と、下流側
の超音波振動子(3)から流れに対して逆方向に送信さ
れた超音波が上流側の超音波振動子(2)に受信される
までの伝搬時間との差は、流速に関係することから、こ
の伝搬時間差を求めることにより流体の流速を測定する
ものとなされている。なお、図8において、(6)は超
音波振動子(2)(3)と駆動パルス発生回路(4)お
よび受信増幅回路(5)の接続を切り替える切替回路で
あり、まず駆動パルス発生回路(4)と上流側の超音波
振動子(2)、下流側の超音波振動子(3)と受信増幅
回路(5)を接続して、上流側から下流側への超音波の
順方向の伝搬時間を測定したのち、駆動パルス発生回路
(4)と下流側の超音波振動子(3)、上流側の超音波
振動子(2)と受信増幅回路(5)とが接続されるよう
に切り替えて、下流側から上流側への超音波の逆方向の
伝搬時間を測定するものとなされている。
【0004】ところで、従来、超音波の伝搬時間のばら
つきによる誤差を軽減するために、超音波の伝搬時間の
測定を、所定時間(例えば2秒)ごとに順方向および逆
方向についてそれぞれ複数回(例えば8回)繰り返し、
それら順方向および逆方向の超音波の伝搬時間の平均値
をそれぞれ求め、それら順方向および逆方向の伝搬時間
の各平均値をそれぞれ順方向および逆方向の伝搬時間t
1、t2とし、それら順方向および逆方向の伝搬時間t
1、t2の差に基づいて所定時間内の流体の流速Vを算
出することが行われていた。
【0005】このとき、受信増幅回路(5)からは、図
2に示すように、流速測定管(1)のどこにも反射せず
に超音波振動子(2)(3)に受信される直進超音波に
対応する受信波(以下、測定波(W1)という)に続い
て、超音波流速測定管(1)または超音波振動子(2)
(3)に何回か反射して超音波振動子(2)(3)に受
信される反射超音波に対応する数次の受信波(以下、反
射波(Wn)という)が出力される。この反射波(W
n)は、反射次数が大きくなるごとにその振幅が減少す
るが、数次の反射波(Wn)でも完全に減衰しないた
め、測定間隔が数ms程度の場合には、測定波(W1)
が前の測定における反射波(Wn)の干渉を受ける。こ
のような反射波(Wn)の干渉の程度は、測定間隔を長
くするほど小さくなるが、測定間隔を長くすると流速測
定に時間がかかり、流速が変化したときのレスポンスが
悪くなる。
【0006】このため、流速測定の時間短縮のためには
反射波(Wn)の干渉を許容せざるを得ないが、このよ
うに測定波(W1)が前の測定における反射波(Wn)
の干渉を受けると、測定波(W1)と前の測定における
反射波(Wn)の位相差により、両波の合成波の位相が
僅かに変化して、受信波到達タイミングに用いるゼロク
ロス時点がずれる。そして、上述のように超音波の伝搬
時間の測定間隔を一定にした場合、流体の温度や流速が
変化すると、それに伴って両波の位相差が変化して、受
信波到達タイミングに用いるゼロクロス時点もばらつく
ことから、超音波の伝搬時間を精度よく測定することが
できないという問題があった。
【0007】このような問題は、振幅が比較的に小さい
測定波(W1)の初期波(2〜3波)のゼロクロス時点
を受信波到達タイミングに用いる場合や、流体が小流量
で伝搬時間差が小さい場合に特に生じやすい。
【0008】この発明は、上述の問題に鑑みてなされた
ものであって、超音波の伝搬時間の測定を複数回繰り返
す場合において、測定波に対する前の測定における反射
波の干渉を無くすあるいは一定にすることができ、ひい
ては超音波の伝搬時間を精度良く測定することが可能な
超音波流速測定方法の提供を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、超音波流速測定管を流れる流体の上流
側と下流側にそれぞれ超音波振動子を配置し、前記各超
音波振動子から相互に超音波を発生送信するとともに、
送信された超音波を相互に受信することによって、流体
の流れに対して順方向および逆方向の超音波の伝搬時間
をそれぞれ測定することを複数回繰り返し、順方向およ
び逆方向の超音波の伝搬時間の差に基づいて流速を測定
する超音波流速測定方法において、前記超音波の伝搬時
間の測定間隔を、前の測定における超音波の伝搬時間に
比例して調整することを特徴とする。
【0010】これによれば、流体の温度変化や流速変化
等により超音波の伝搬時間が変化しても、その変化した
超音波の伝搬時間に比例して超音波の伝搬時間の測定間
隔を調整するので、測定波に対する前の測定における反
射波の干渉を無くす又は一定にすることができる。この
ため、流体の温度変化や流速変化にかかわらず、測定波
と前の測定における反射波の位相差が一定となり、受信
波到達タイミングに用いるゼロクロス時点がばらつかな
くなり、超音波の伝搬時間を精度よく測定することが可
能となる。
【0011】なお、超音波の伝搬時間の測定間隔は、そ
の直前に測定された超音波の伝搬時間に比例して調整す
るのが最も望ましいが、温度が一定あるいはほとんど変
化していない場合などには、それよりも前に測定された
超音波の伝搬時間に比例して調整するものとしてもよ
い。
【0012】また、前記超音波の伝搬時間の測定間隔I
tは、 It=K×t(0) K:係数 t(0):直前の測定における超音波の伝搬時間 である場合、超音波の伝搬時間の測定間隔を直前の測定
における超音波の伝搬時間t(0)に比例して調整するの
で、測定波に対する前の測定における反射波の干渉をよ
り確実に無くすあるいは一定にすることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】図1は、この発明の一実施形態に
係る超音波流速測定方法を含む流量測定方法を実施する
流量測定装置を示すものである。
【0014】なお、この実施形態では、超音波の伝搬時
間の測定を、所定時間(2秒)ごとに順方向および逆方
向についてそれぞれ8回繰り返し、それら順方向および
逆方向の各8個の超音波の伝搬時間の平均値をそれぞれ
求め、その順方向および逆方向の伝搬時間の各平均値を
それぞれ順方向および逆方向の伝搬時間t1、t2とす
る。そして、それら順方向および逆方向の伝搬時間t
1、t2の差に基づいて所定時間(2秒)内の流体の流
速Vを算出し、さらにその流体の流速Vに基づいて所定
時間(2秒)内の流体の流量Qを算出する。
【0015】図1において、(1)はガス等の流体が流
れる流速測定管、(2)(3)は流速測定管(1)内に
おいて上流側と下流側に所定距離Lを隔てて配置された
超音波振動子、(4)は駆動パルス(K)を発生する駆
動パルス発生回路、(5)は超音波振動子(2)(3)
で超音波を受信したときに受信波(W)を出力する受信
増幅回路、(6)は超音波振動子(2)(3)と駆動パ
ルス発生回路(4)および受信増幅回路(6)の接続を
切り替える回路であり、これらは図8に示したものと同
じである。
【0016】また、(7)は所定時間(2秒)内に測定
された順方向および逆方向の各8個の超音波の伝搬時間
を記憶する伝搬時間記憶部、(8)は所定時間(2秒)
ごとに算出された流体の流量Qを積算記憶する流量記憶
部、(9)は中央演算処理装置(CPU)などからなる
制御部である。
【0017】この制御部(9)は、各部の制御や、デー
タの転送、種々の演算、およびデータの格納などを行
い、この実施形態では、伝搬時間測定処理、測定間隔調
整処理、および流量演算処理を図示略のメインプログラ
ムにより実行するものとなされている。
【0018】前記伝搬時間測定処理は、駆動パルス発生
回路(4)から駆動パルス(K)を発生せしめることに
より超音波振動子(2)(3)から超音波を送信し、そ
の送信された超音波を超音波振動子(3)(2)で受信
して、受信増幅回路(5)から出力された受信波(W)
に基づいて超音波の伝搬時間を測定する処理である。
【0019】この受信増幅回路(5)から出力される受
信波(W)は、図2に示すように、超音波流速測定管
(1)のどこにも反射せずに超音波振動子(2)(3)
に受信される直進超音波に対応する測定波(W1)と、
それに続く超音波流速測定管(1)または超音波振動子
(2)(3)に何回か反射して超音波振動子(2)
(3)に受信される反射超音波に対応する数次の反射波
(Wn)とからなり、前記測定波(W1)は直前の測定
における反射波(Wn)の干渉を受けている。なお、こ
の実施形態では、受信波(W)の測定波(W1)の3波
目のゼロクロス時点を受信波到達タイミングに用いるも
のとする。
【0020】前記測定間隔調整処理は、流体の温度が変
化して超音波の伝搬時間が変化した場合に、その直前の
測定における超音波の伝搬時間t(0)に比例して超音波
の伝搬時間の測定間隔Itを調整する処理である。この
実施形態では、超音波の伝搬時間の測定間隔Itは下式
[1]により求める。 It=K×t(0)・・・[1] K:係数 t(0):直前の測定における超音波の伝搬時間 超音波の伝搬時間の測定間隔Itを上式[1]とするの
は以下の理由による。
【0021】すなわち、ある測定における測定波(W
1)と直前の測定における反射波(Wn)の位相を一定
にするためには、両測定における超音波の伝搬時間t(0)
に測定間隔Itを加えた時間と反射波(Wn)の伝搬時
間t(n)を等しくすればよいことから、 t(0)=t(n)−It・・・[2] t(n):直前の測定におけるn次の反射波の伝搬時間 が成立すればよい。なお、ある測定と直前の測定との間
には温度変化がないか、あるいは温度変化があっても微
小なものと仮定する。
【0022】音速を仮にCとし、伝搬時間t(0)の測定
波の伝搬距離をL(0)とすれば、 t(0)=L(0)/C・・・[3] となる。一方、伝搬時間t(n)のn次反射波の伝搬距離
をL(n)とすれば、 t(n)=L(n)/C・・・[4] となる。なお、説明を簡単にするために、流体は微少流
量で流速が無視できるものと仮定する。
【0023】ここで、測定波(W1)および反射波(W
n)の伝搬経路は音速Cに影響しないので、伝搬距離L
(0)およびL(n)は定数となる。また、L(n)=kL(0)と
表されるので、上式[4]は、 It=(k−1)L(0)/C・・・[5] となり、kおよび(k−1)は定数であるから、K=k
−1として、 となり、測定間隔Itを直前の測定における伝搬時間t
(0)に比例して調整すればよいことになる。
【0024】これによれば、流体の温度変化により直前
の測定における超音波の伝搬時間t(0)が変化しても、
その直前の測定における超音波の伝搬時間t(0)に比例
して超音波の伝搬時間の測定間隔を調整するので、測定
波(W1)に対する直前の測定における反射波(Wn)
の干渉を無くす又は一定にすることができる。このた
め、流体の温度変化や流速変化にかかわらず、ある測定
における測定波(W1)と直前の測定における反射波
(Wn)との位相差が一定となり、受信波到達タイミン
グに用いるゼロクロス時点がばらつかなくなり、超音波
の伝搬時間を精度よく測定することが可能となる。
【0025】前記流量演算処理は、所定時間(2秒)内
に測定した順方向および逆方向の各8個の超音波の伝搬
時間の平均値をそれぞれ求め、その順方向および逆方向
の伝搬時間の各平均値をそれぞれ順方向および逆方向の
伝搬時間t1、t2として、それら順方向および逆方向
の伝搬時間t1、t2の差に基づいて所定時間(2秒)
内の流体の流速Vを算出し、さらにその流体の流速Vに
基づいて所定時間(2秒)内の流体の流量Qを算出する
処理である。
【0026】なお、この実施形態では、流体の流速およ
び流量は下式[6][7]により求めるものとする。 V=L/2×(t2−t1)/(t1×t2)・・・・[6] V:流体の流速 L:測定管の長さ Q=V×S×t・・・[7] Q:流体の流速 S:測定管の断面積 t:所定時間(2秒) 次にこの発明の一実施形態に係る超音波流速測定方法を
含む流量測定方法について、図3に示すフローチャート
を用いて説明する。なお、以下の説明及び図面において
「ステップ」を「S」と略記する。
【0027】まず、S1にて、駆動パルス発生回路
(4)から駆動パルス(K)を発生せしめることにより
超音波振動子(2)(3)から超音波を送信し、その送
信された超音波を超音波振動子(3)(2)で受信し
て、受信増幅回路(5)から出力された受信波(W)に
基づいて超音波の伝搬時間を測定する。この伝搬時間測
定処理については後で詳述する。
【0028】S2では、S1の処理で測定した超音波の
伝搬時間が変化したか否かを判定し、超音波の伝搬時間
が変化した場合は(S2でYES)、S3で、上式
[1]により直前の測定における超音波の伝搬時間t
(0)に比例して超音波の伝搬時間の測定間隔Itを調整す
る。超音波の伝搬時間が変化していない場合は(S2で
NO)、そのままS4に進む。
【0029】S4では、前記測定間隔Itに基づいて測
定時間が到来したか否かを判定し、測定時間が到来した
場合は(S4でYES)、S5に進む一方、測定時間が
到来していない場合は(S4でNO)、測定時間が到来
するまでこの判定処理を繰り返す。
【0030】S5では、超音波の伝搬時間を所定時間
(2秒)内に8回測定したか否かを判定し、8回測定し
た場合は(S5でYES)、S4の流量演算処理に進む
一方、未だ8回測定していない場合は(S5でNO)、
S1に戻り、再び超音波の伝搬時間を測定する。
【0031】S6では、前記流量演算処理は、所定時間
(2秒)内に測定した順方向および逆方向の各8個の超
音波の伝搬時間の平均値をそれぞれ求め、その順方向お
よび逆方向の伝搬時間の各平均値をそれぞれ順方向およ
び逆方向の伝搬時間t1、t2として、それら順方向お
よび逆方向の伝搬時間t1、t2の差に基づいて所定時
間(2秒)内の流体の流速Vを算出し、さらにその流体
の流速Vに基づいて所定時間(2秒)内の流体の流量Q
を算出し、リターンする。この流量演算処理については
後で詳述する。
【0032】図4は、伝搬時間測定処理(図3のS1の
処理)のサブルーチンを示すフローチャートである。
【0033】まず、S11では、制御部(9)が、駆動
パルス発生回路(5)から駆動パルス(K)を発生させ
て、その駆動パルス(K)を超音波振動子(2)に印加
せしめることにより超音波振動子(2)から超音波を送
信せしめる。
【0034】S12では、前記超音波振動子(2)から
送信された超音波を超音波振動子(3)で受信し、受信
増幅回路(5)から受信波(W)を出力する。
【0035】S13では、制御部(9)が、前記受信増
幅回路(5)から出力された受信波(W)の測定波(W
1)の3波目のゼロクロス時点を受信波到達タイミング
と特定し、超音波が送信されてからその受信波到達タイ
ミングまでの時間を超音波の伝搬時間としてクロック波
により測定する。
【0036】S14では、制御部(9)が、上述の測定
した超音波の伝搬時間を伝搬時間記憶部(7)に記憶せ
しめる。
【0037】S15では、制御部(9)が、逆方向の超
音波の伝搬時間を測定したか否かを判定し、逆方向の超
音波の伝搬時間を測定していない場合は(S15でN
O)、S16で、駆動パルス発生回路(4)と下流側の
超音波振動子(3)、上流側の超音波振動子(2)と受
信増幅回路(5)とが接続されるように切り替えて、下
流側から上流側への超音波の逆方向の伝搬時間を測定す
る。一方、逆方向の超音波の伝搬時間を測定した場合は
(S15でYES)、リターンして次の測定に備える。
【0038】図5は、流量演算処理(図3のS5の処
理)のサブルーチンを示すフローチャートである。
【0039】まず、S61では、制御部(9)が、前記
伝搬時間記憶部(7)に記憶されている順方向および逆
方向の各8個の超音波の伝搬時間の平均値をそれぞれ求
め、それら平均値を順方向および逆方向の超音波の伝搬
時間t1、t2とする。
【0040】S62では、それら順方向の超音波の伝搬
時間t1と逆方向の超音波の伝搬時間t2の差に基づい
て、上式[6]により流体の流速Vを求める。
【0041】S63では、その流体の流速Vに基づい
て、上式[7]により流体の流量Qを求める。
【0042】S64では、その流体の流量Qを前記流量
記憶部(8)に積算して、流体の全流量を求め、リター
ンする。
【0043】なお、この実施形態では、超音波の伝搬時
間を所定時間ごとに8回繰り返すものとしたが、所定時
間ごとに1回としてもよいし、あるいは8回以外の複数
回繰り返すものとしてもよい。
【0044】また、超音波の伝搬時間の測定間隔は、直
前の測定における超音波の伝搬時間t(0)に比例して調
整するものとしたが、それよりも前の測定における超音
波の伝搬時間に比例して調整するものとしてもよい。
【0045】また、超音波の伝搬時間が変化した場合
に、超音波の伝搬時間の測定間隔Itを調整するものと
したが、流体の温度を直接測定し、その流体の温度が変
化した場合に、超音波の伝搬時間の測定間隔Itを調整
するものとしてもよい。また、流体温度以外の要因(例
えば流速)が変化した場合に、超音波の伝搬時間の測定
間隔Itを調整するものとしてもよい。さらに、上記各
変化に関わらず、常時、超音波の伝搬時間の測定間隔I
tを調整するものとしてもよい。
【0046】また、受信波(W)の測定波(W1)の3
波目のゼロクロス時点を受信波到達タイミングに用いる
ものとしたが、それ以外の波のゼロクロス時点や一定時
点を受信波到達タイミングに用いるものとしてもよい。
【0047】また、超音波の伝搬時間差に、超音波の伝
搬時間を制御部(9)のクロック制御単位で割った余り
に所定の係数を乗じた値を加えることにより補正するも
のとしてもよい。
【0048】即ち、図7の破線に示すように、制御部
(9)のクロックによる制約から超音波の伝搬時間差に
誤差が生じることがある。この誤差をできるだけ軽減す
るたには、クロック制御単位を短くすればよいが、現在
のクロック制御単位(4.17μs)より短い制御を行
うのは難しい。超音波の伝搬時間差は、ほぼ直線状(s
in波の一部と考えられる)であり、かつクロック制御
単位(4.17μs)ごとの繰り返しとなるために、上
記誤差は超音波の伝搬時間(2.035ns単位)をク
ロック制御単位(4.17μs)で割った余りに比例す
ると考えられる。そこで、この余り値に所定の係数を乗
じた値を伝搬時間差に加えることにより補正すると、図
8に示すように、超音波の伝搬時間差がほぼ一定とな
る。なお、図7および図8の実線は、流体の温度変化に
基づく超音波の伝搬時間を示すものである。
【0049】
【発明の効果】請求項1に係る発明によれば、流体の温
度変化や流速変化等により超音波の伝搬時間が変化して
も、その変化した超音波の伝搬時間に比例して超音波の
伝搬時間の測定間隔を調整するので、測定波に対する前
の測定における反射波の干渉を無くす又は一定にするこ
とができる。このため、流体の温度変化や流速変化にか
かわらず、測定波と前の測定における反射波の位相差が
一定となり、受信波到達タイミングに用いるゼロクロス
時点がばらつかなくなり、超音波の伝搬時間を精度よく
測定することが可能となる。
【0050】請求項2に係る発明によれば、超音波の伝
搬時間の測定間隔を直前の測定における超音波の伝搬時
間に比例して調整するので、測定波に対する前の測定に
おける反射波の干渉をより確実に無くすあるいは一定に
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明を実施するための流量測定装置の一例
を示すブロック図である。
【図2】駆動パルスと受信波の相対関係を示す図であ
る。
【図3】図1の流量測定装置の動作を示すフローチャー
トである。
【図4】図3の伝搬時間測定処理のサブルーチンを示す
フローチャートである。
【図5】図3の流量演算処理のサブルーチンを示すフロ
ーチャートである。
【図6】補正前の超音波の伝搬時間差と温度との関係を
示す図である。
【図7】補正後の超音波の伝搬時間差と温度との関係を
示す図である。
【図8】従来の流量測定装置を示すブロック図である。
【符号の説明】
1・・・流速測定管 2、3・・・超音波振動子 4・・・駆動パルス発生回路 5・・・受信増幅回路 6・・・切替回路 7・・・伝搬時間記憶部 8・・・流量記憶部 9・・・制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 英司 京都市下京区中堂寺鍵田町10 関西ガスメ ータ株式会社内 (72)発明者 河野 明夫 京都市下京区中堂寺鍵田町10 関西ガスメ ータ株式会社内 (72)発明者 保田 哲也 京都市下京区中堂寺鍵田町10 関西ガスメ ータ株式会社内 Fターム(参考) 2F035 DA19 DA22 DA23

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波流速測定管を流れる流体の上流側
    と下流側にそれぞれ超音波振動子を配置し、前記各超音
    波振動子から相互に超音波を発生送信するとともに、送
    信された超音波を相互に受信することによって、流体の
    流れに対して順方向および逆方向の超音波の伝搬時間を
    それぞれ測定することを複数回繰り返し、順方向および
    逆方向の超音波の伝搬時間の差に基づいて流速を測定す
    る超音波流速測定方法において、 前記超音波の伝搬時間の測定間隔を、前の測定における
    超音波の伝搬時間に比例して調整することを特徴とする
    超音波流速測定方法。
  2. 【請求項2】 前記超音波の伝搬時間の測定間隔It
    は、 It=K×t(0) K:係数 t(0):直前の測定における超音波の伝搬時間 である請求項1に記載の超音波流速測定方法。
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