JP2000329597A - 超音波流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 正常測定と誤測定とを判別し、誤測定による
測定精度の低下を排除する。 【解決手段】 音速検知手段１９は、送受信回路２０に
よって超音波振動子１６が超音波を送信してから受信す
るまでの時間をタイマ２１で計測し誤測定判定手段２２
に出力する。誤測定判定手段２２は音速検知手段によっ
て求めた音速に流体の音速の最大値に相当する幅をもた
せ、流体に超音波を伝搬させて測定したｔ１、ｔ２より
求めた音速と比較する。そしてｔ１、ｔ２がそれぞれ幅
の中にあれば正確な測定と判断し、そのまま測定結果を
採用し、ｔ１、ｔ２のどちらか１方でも外にあれば異常
と判断し測定結果を破棄する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波流量計に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の超音波流量計は、図５に示すよう
なものが一般的であった。この装置は流体の流れる測定
流路１に設置した超音波振動子２と、超音波振動子２を
駆動する駆動回路３と、駆動回路３にスタート信号を出
力する制御部４と、超音波の伝播時間を測定する伝搬時
間測定部５と、伝搬時間測定部５から測定データを受け
取る演算部６と、超音波振動子２から送信した超音波を
受ける超音波振動子７と、超音波振動子７の出力を増幅
するアンプ８と、アンプ８の出力と基準電圧とを比較し
大小関係が反転したときに伝搬時間測定部５を停止させ
る受信検知回路９とを有していた。

【０００３】そして、上記超音波流量計は、制御部４か
らスタート信号を受けた駆動回路３が超音波振動子２を
一定時間パルス駆動を行うと同時に伝搬時間測定部５は
制御部４からの信号によってに時間計測始める。パルス
駆動された超音波振動子２からは超音波が送信される。
超音波振動子２から送信した超音波は被測定流体中を伝
搬し超音波振動子６で受信される。超音波振動子７の受
信出力は、アンプ８において制御部４が設定した増幅率
によって増幅される。そしてアンプ８の出力を受けた受
信検知回路９で超音波の受信を判定し伝搬時間測定部５
を停止させる。そして制御部４では伝搬時間測定部５か
ら得た時間情報ｔから（式１）によって流速を求める
（但し、伝搬時間測定部５から得た測定時間をｔ、超音
波振動子間の流れ方向の有効距離をＬ、音速をｃ、被測
定流体の流速をｖとする）。

【０００４】ｖ＝（Ｌ／ｔ）−ｃ ・・・（式１） 受信信号は、緩やかに立ち上がる波形となっており、超
音波振動子の温度特性や、流速によって受信信号のレベ
ルは変化する。前記基準電圧と受信信号のレベルの関係
が適正でないと受信検知回路９の動作は安定せず測定精
度が悪くなる。

【０００５】また、他の測定方法として受信検知回路９
の判定結果を伝搬時間測定部５ではなく、帰還回路によ
って駆動回路３に返し、再度送信を行う場合もあった。
このような繰り返し動作を予め設定した回数行いその時
間を測定し、その測定時間を元に（式２）の計算によっ
て流速を求める方法もあった（但し、繰り返しの回数を
ｎ、測定時間をｔｓ、超音波振動子間の流れ方向の有効
距離をＬ，音速をｃ、被測定流体の流速をｖとする）。

【０００６】ｖ＝Ｌ／（ｔｓ／ｎ）−ｃ・・・（式２） この方法によれば（式１）の方法に比べｎ倍分解度を高
くして測定することができる。

【０００７】また、超音波振動子２と超音波振動子７と
を切り替え、被測定流体の上流から下流と下流から上流
へのそれぞれの伝搬時間を測定し、（式３）より速度ｖ
を求める方法もある（但し、上流から下流への測定時間
時間をｔ１、下流から上流への測定時間時間をｔ２とす
る）。

【０００８】 ｖ＝Ｌ／２（（１／ｔ１）−（１／ｔ２））・・・（式３） この方法によれば音速の変化の影響を受けずに流度を測
定することが出来るので、流速・流量・距離などの測定
に広く利用されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の超
音波流量計では、流量変動による波形や振幅の変化、あ
るいはノイズなどの影響によって受信検知しているタイ
ミングがずれるため、正確な流量計測ができない場合が
あった。また測定流量が多くなると超音波の伝播経路に
渦などの乱れが発生し、受信信号が短い時間で大きく変
動するようになる。この場合受信タイミングがずれ誤測
定をしてしまうが、それを誤測定と判定することができ
なかった。

【００１０】本発明は正常測定と誤測定とを判別し、誤
測定による測定精度の低下を排除することを課題とする
ものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため誤測定判定手段が音速検知手段より得た被測定
流体の音速と実際に流量測定のために測定した伝搬時間
とを比較するようしたものである。

【００１２】上記本発明によれば音速と伝搬時間は逆比
例の関係にあるため、求めた伝搬時間を音速検知手段よ
り得た音速で誤測定かどうか確認することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に係る超音波流
量計は超音波信号を送信する超音波振動子と、前記超音
波振動子から送信され流体を伝搬した超音波信号を受信
する超音波振動子と、前記超音波の伝搬時間を計測する
伝搬時間計測部と、前記伝搬時間から演算によって流量
を求める演算部と、流体の音速を出力する音速検知手段
と、前記音速と前記伝搬時間とを比較し正常な測定かど
うか判定する誤測定判定手段とを有する。そして、誤測
定判定手段が音速検知手段より得た被測定流体の音速と
実際に流量測定のために測定した伝搬時間とを比較する
ようにしたものである。上記発明によれば音速と伝搬時
間は逆比例の関係にあるため、求めた伝搬時間を音速検
知手段より得た音速で誤測定かどうかを確認することが
できる。

【００１４】本発明の請求項２に係る超音波流量計は超
音波の流速方向への伝搬時間と逆流方向への伝搬時間と
の逆数和と音速とを比較し判定する誤測定判定手段を有
する。そして、超音波の流速方向への伝搬時間と逆流方
向への伝搬時間との逆数和は、流体の流速に関係なく被
測定流体の流速０の時の音速に比例するので、２つの伝
搬時間が正しければ前記逆数和に定数をかけることによ
って正確に音速を求めることができる。この演算によっ
て求めた音速と音速検知手段によって求めた音速とを比
較するので、正確に正常な伝搬時間の測定かどうかを確
認することができる。

【００１５】本発明の請求項３に係る超音波流量計は、
超音波の流速方向への伝搬時間と逆流方向への伝搬時間
との平均値の逆数と音速とを比較し判定する誤測定判定
手段を有する。そして、超音波の流速方向への伝搬時間
と逆流方向への伝搬時間との平均値は、流体の流速が音
速に比べて十分小さい範囲では被測定流体の流速０の時
の音速の逆数に比例するので、逆数に定数をかけること
によって２つの伝搬時間から音速を求めることができ
る。逆数和を求めるに比べ平均を求めることは容易であ
り、演算処理の負荷を低減しつつ正常な伝搬時間の測定
かどうかを確認することができる。

【００１６】本発明の請求項４に係る超音波流量計は被
測定流体の温度を検知する温度センサと演算部よりなる
音速検知手段を有する。そして、被測定流体が決まって
いる場合、その流体の温度が決まれば流速０の時の音速
は求まるので、温度センサが被測定流体の温度を測定
し、測定した温度から被測定流体の流速０の時の音速を
演算により求める。音波を伝搬させずに音速を測定する
ため超音波による流量計測が音波の干渉の影響を受けず
音速測定を任意のタイミングで行なうことができる。ま
た、流量測定と音速測定を同時に行なうことができるの
で、流量測定が正常な測定であったかどうかの判定基準
の精度が向上し測定の正誤判定を精度よくできる。

【００１７】本発明の請求項５に係る超音波流量計は以
前に測定した超音波の伝搬時間を記憶する伝搬時間記憶
部を備えた音速検知手段を有する。そして、記憶部に記
憶している超音波の伝搬時間から求めた音速と、新たに
測定した伝搬時間から求めた音速とを比較し、大きく異
なっていた場合この測定結果を誤測定と判定する。２つ
の音速がほぼ同じ値であれば正常な伝搬時間であったと
判断すると同時に、記憶部に記憶している値を更新し次
の判定に使用する。このため、音速測定のためのセンサ
を新たに付加する必要がないので流量計の構成を簡単に
することができる。

【００１８】本発明の請求項６に係る超音波流量計は超
音波信号を送信する超音波振動子と、前記超音波振動子
から送信され流体を伝搬した超音波信号を受信する超音
波振動子と、前記超音波の伝搬時間を計測する伝搬時間
計測部と、伝搬時間から演算によって流量を求める演算
部と、計測した伝搬時間が適正かどうか判定する誤測定
判定手段と、前記誤測定判定手段からの指令信号によっ
て流量を調節する流量調節手段とを有する。そして、前
記誤測定判定手段が誤測定と判定したときに前記流量調
節手段を動作させ流量をより少なくなるように調節し伝
搬時間を再測定するため、流量が大きくなったために発
生した乱流や渦を押さえるので確実に正しい流量測定を
行なうことができる。

【００１９】本発明の請求項７に係る超音波流量計は超
音波信号を送信する超音波振動子と、前記超音波振動子
から送信され流体を伝搬した超音波信号を受信する超音
波振動子と、予め設定した回数前記超音波振動子の出力
を前記第１の超音波振動子に帰還し再度超音波信号を出
力させる帰還回路と、前記超音波の伝搬時間を計測する
伝搬時間計測部と、伝搬時間から演算によって流量を求
める演算部と、計測した伝搬時間が適正かどうか判定す
る誤測定判定手段とを有する。そして、前記誤測定判定
手段が誤測定と判定したときに前記帰還回路の帰還回数
を少なく設定し伝搬時間を再測定する。つまり測定に誤
りが発生する機会を少なくして再測定するので、より正
しい流量を求めることができる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を用いて
説明する。

【００２１】（実施例１）図１は本発明の実施例１の超
音波流量計を示すブロック図である。

【００２２】図１において、１０は被測定流体が流れる
流路、流路１０に設置した超音波振動子１１と１６、超
音波振動子１１を駆動する駆動回路１２と、駆動回路１
２にスタート信号を出力する制御部１３と、超音波の伝
播時間を測定する伝搬時間測定部１４と、伝搬時間測定
部１４から測定データを受け取る演算部１５と、超音波
振動子１１から送信した超音波を受ける超音波振動子１
６と、超音波振動子１６の出力を増幅するアンプ１７
と、アンプ１７の出力波形から受信を検知し伝搬時間測
定部１４を停止させる受信検知回路１８と、流量の影響
を受けない同一流体に接した超音波振動子１９と送受信
回路２０と超音波振動子１９が超音波を送信してから受
信するまでの時間を測定するタイマ２１からなる音速検
知手段１９と、音速検知手段１９によって求めた音速と
伝搬時間とを比較し正常な測定かどうか判定する誤測定
判定手段２２と、超音波振動子１１と１６の接続を制御
部１３の出力によって入れ替える切替スイッチ２３とを
有している。

【００２３】次に動作、作用について説明すると、制御
部１３からスタート信号を受けた駆動回路１２が超音波
振動子１１を駆動すると同時に伝搬時間測定部１４は制
御部１３は時間計測を始める。また駆動回路１２によっ
て駆動された超音波振動子１１は超音波を送信する。超
音波振動子１１が送信した超音波は被測定流体中を伝搬
し超音波振動子１６で受信される。超音波振動子１６で
受信した超音波信号を受けたアンプ１７は増幅し受信検
知回路１８に出力する。受信検知回路１８は超音波の受
信を判定し伝搬時間測定部１４を停止させる。この時の
伝播時間をｔ１とする。次に制御回路は切替スイッチ２
３を動作させ駆動回路１２と超音波振動子１６、超音波
振動子１１とアンプ１７をそれぞれ接続させる。その後
上記と同様の動作を行いｔ１と逆方向の伝搬時間、つま
り超音波センサ１６から送信し超音波センサ１１で受信
した場合の超音波の伝搬時間ｔ２を測定する。演算部１
３はｔ１、ｔ２より（式３）によって流速を求めさらに
流量を演算によって求める。

【００２４】音速検知手段１９では、送受信回路２１が
超音波振動子２０から超音波を送信し壁で反射した超音
波を超音波振動子２０で受信するまでの時間を誤測定判
定手段２２に出力する。誤測定判定手段２２は音速検知
手段によって求めた音速に流体の流速の最大値に相当す
る幅を持たせ、ｔ１、ｔ２より求めた音速と比較する。
ｔ１、ｔ２が幅の中にあれば正しい測定結果と判断し、
測定結果を採用する。ｔ１、ｔ２が幅の外にあれば異常
測定と判断し測定結果を破棄する。

【００２５】この実施例の構成によれば、流体の流速に
よる影響を受けずに音速検知手段１９が音速を検知でき
るので、安定した音速を得ることができ、正しい測定が
異常測定かを判断することができる。

【００２６】また、上記方法と別に、ｔ１、ｔ２の逆数
和と音速検知手段１９によって求めた音速とを比較する
ことによって正常測定か異常測定かを判定することもで
きる。逆数和は（式４）のようになる。

【００２７】 １／ｔ１＋１／ｔ２＝（ｃ＋ｖ）／Ｌ＋（ｃ−ｖ）／Ｌ ＝２ｃ／Ｌ・・・・・・・・（式４) つまり ｃ＝（１／ｔ１＋１／ｔ２）＊（Ｌ／２）・・・・（式５） となりｔ１、ｔ２の逆数和に定数をかけたものが音速な
ので、音速検知手段によって求めた音速と比較する場合
流速を考慮する必要がなく、考慮する場合であってもわ
ずかの流量相当であるので、より正確に異常測定を判断
することができる。

【００２８】また、上記方法とは別に、ｔ１、ｔ２の平
均値の逆数と音速検知手段１９によって求めた音速とを
比較することによって異常測定を判定することもでき
る。平均値の逆数は（式６）のようになる。

【００２９】 ２／（ｔ１＋ｔ２）＝２／（Ｌ／（ｃ＋ｖ）＋／Ｌ（ｃ−ｖ）） ＝ｃ＊ｃ＋ｖ＊ｖ／Ｌｃ・・・（式６) ｃ＞ｖなので ≒ｃ／Ｌ つまり ｃ≒２／（ｔ１＋ｔ２）＊Ｌ・・・・・・・・・・（式７） となりｔ１、ｔ２の平均の逆数に定数をかけたものがほ
ぼ音速となる。このとき音速検知手段によって求めた音
速と比較する場合に流速を考慮する必要がなく、考慮す
る場合であってもわずかの流量相当であるので、より確
実に異常測定か否かを判断することができると同時に、
逆数和を求める場合の計算と比較し、計算量を低減する
ことができる。

【００３０】（実施例２）図２は本発明の実施例２の超
音波流量計を示す図である。

【００３１】本実施例２において、実施例１と異なる点
は音速検知手段１９が温度センサ２４と音速変換部２５
で構成している点である。

【００３２】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
成要素とし、説明は省略する。

【００３３】次に動作、作用を説明する。被測定流体が
決まっている場合、その流体の温度が決まれば流速０の
時の音速は求まる。温度センサが被測定流体の温度を測
定し、音速変換部２５が被測定流体の温度から流速０の
音速を演算により求める。この方法によれば音波を伝搬
させずに音速を測定するため、音速測定は流量計測に音
波の干渉を与えることなく任意のタイミングでできる。
また、流量測定と音速測定を同時に行なうことができ、
流量測定が正常な測定であったかどうかの判定基準の精
度をよくすることができる。

【００３４】（実施例３）図３は本発明の実施例３の超
音波流量計を示す図である。

【００３５】本実施例３において、実施例１と異なる点
は音速検知手段１９が以前に測定した超音波の伝搬時間
を記憶する伝搬時間記憶部２６で構成している点であ
る。

【００３６】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
成要素とし、説明は省略する。

【００３７】次に動作、作用を説明すると、伝搬時間記
憶部２６に記憶している超音波の伝搬時間から求めた音
速と、新たに測定した伝搬時間から式（５）あるいは式
（７）によって求めた音速とを比較し、あらかじめ設定
した値以上異なっていた場合この測定結果を誤測定と判
定する。２つの音速がほぼ同じ値であれば正常な伝搬時
間であったと判断すると同時に、記憶部に記憶している
値を更新し次の判定に使用する。

【００３８】一定条件のもとで音速は大きく変化するこ
とはないので、測定間隔の間に予測される音速変化を見
込んだ値を音速変化の許容値として設定し、その範囲内
であれば正しい測定であると判断することができる。

【００３９】このため、音速測定のためのセンサを新た
に付加する必要がないので流量計の構成を簡単にするこ
とができる。

【００４０】（実施例４）図４は本発明の実施例３の超
音波流量計を示す図である。

【００４１】なお、実施例１と同一符号のものは同一構
成要素とし、説明は省略する。

【００４２】本実施例４において、実施例１と異なる点
は誤測定判定手段２２が設定した回数受信検知回路１８
の出力を駆動回路１２に帰還し再度超音波信号を出力さ
せる帰還回路２８と、誤測定判定手段２２からの指令信
号によって流量を調節する流量調節手段２７とを有する
点である。

【００４３】次に動作、作用を説明すると、誤測定判定
手段が誤測定と判定したときに流量調節手段２７を動作
させ流量をより少なくなるように調節し伝搬時間を再測
定するため、流量が大きくなったために発生した乱流や
渦を押さえるので確実に正しい流量測定を行なうことが
できる。

【００４４】このため、回路やその他の機能異常のため
流量測定ができなくなったのか、過大流量のため超音波
の伝搬が乱れ流量測定ができなくなったのかを判断する
ことができる。

【００４５】また、誤測定判定手段２２が誤測定と判定
したときに帰還回路２８の帰還回数を少なく設定し伝搬
時間を再測定する。つまり測定に誤りが発生する機会を
少なくして再測定するので、より正しい流量を求めるこ
とができる。

【００４６】

【発明の効果】以上の説明から明らかのように本発明の
超音波流量計によれば次の効果を奏する。

【００４７】請求項１に係る超音波流量計は誤測定判定
手段が音速検知手段より得た被測定流体の音速と実際に
流量測定のために測定した伝搬時間とを比較する。音速
と伝搬時間は逆比例の関係にあるため、求めた伝搬時間
を音速検知手段より得た音速で誤測定かどうか確認する
ことができ、誤測定を測定結果に反映することがなく、
正確な流量計を実現することができる。

【００４８】また、請求項２に係る超音波流量計は超音
波の流速方向への伝搬時間と逆流方向への伝搬時間との
逆数和と音速とを比較し判定するので、２つの伝搬時間
から容易に正確な音速を求め誤測定かどうかを判断する
とができる。

【００４９】また、請求項３に係る超音波流量計は、超
音波の流速方向への伝搬時間と逆流方向への伝搬時間と
の平均値の逆数と音速とを比較し判定する。超音波の流
速方向への伝搬時間と逆流方向への伝搬時間との平均値
は、流体の流速が音速に比べて十分小さい範囲では被測
定流体の流速０の時の音速の逆数に比例するので、逆数
に定数をかけることによって２つの伝搬時間から音速を
求めることができる。よって逆数和を求めのるに比べ平
均を求めることは容易であり、演算処理の負荷を低減し
つつ正常な伝搬時間の測定かどうかを確認することがで
きる。

【００５０】また、請求項４に係る超音波流量計は被測
定流体の温度を検知する温度センサと演算部よりなる音
速検知手段を有し、被測定流体が決まっている場合、そ
の流体の温度が決まれば流速０の時の音速は求まるの
で、温度センサが被測定流体の温度を測定し、測定した
温度から被測定流体の流速０の時の音速を演算により求
める。よって音波を伝搬させずに音速を測定するため超
音波による流量計測が音波の干渉の影響を受けず音速測
定を任意のタイミングで行なうことができると共に、流
量測定と音速測定を同時に行なうことができるので、流
量測定が正常な測定であったかどうかの判定基準の精度
が向上し、その結果測定の正誤判定を精度よく行うこと
ができる。

【００５１】また、請求項５に係る超音波流量計は以前
に測定した超音波の伝搬時間を記憶する伝搬時間記憶部
を備えた音速検知手段有し、記憶部に記憶している超音
波の伝搬時間から求めた音速と、新たに測定した伝搬時
間から求めた音速とを比較し、大きく異なっていた場合
この測定結果を誤測定と判定する。２つの音速がほぼ同
じ値であれば正常な伝搬時間であったと判断すると同時
に、記憶部に記憶している値を更新し次の判定に使用す
る。このため、音速測定のためのセンサを新たに付加す
る必要がないので流量計の構成を簡単にすることができ
る。

【００５２】また、請求項６に係る超音波流量計は誤測
定判定手段が誤測定と判定したときに流量調節手段を動
作させ流量をより少なくなるように調節し伝搬時間を再
測定するため、流量が大きくなったために発生した乱流
や渦を押さえるので確実に正しい流量測定を行なうこと
ができる。このため、回路やその他の機能異常のため流
量測定ができなくなったのか、過大流量のため超音波の
伝搬が乱れ流量測定ができなくなったのかを判断するこ
とができる。

【００５３】また、請求項７に係る超音波流量計は予め
設定した回数超音波振動子の出力を第１の超音波振動子
に帰還し再度超音波信号を出力させる帰還回路と、計測
した伝搬時間が適正かどうかを判定する誤測定判定手段
とを有し、誤測定判定手段が誤測定と判定したときに帰
還回路の帰還回数を少なく設定し伝搬時間を再測定す
る。このため測定に誤りが発生する機会を少なくして再
測定するので、より正しい流量測定を行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１における超音波流量計のブロ
ック図

【図２】本発明の実施例２における超音波流量計のブロ
ック図

【図３】本発明の実施例３における超音波流量計のブロ
ック図

【図４】本発明の実施例４における超音波流量計のブロ
ック図

【図５】従来の超音波流量計のブロック図

【符号の説明】

１１ 超音波振動子 １５ 演算部 １６ 超音波振動子 １９ 温度検知手段 ２２ 誤測定判定手段 ２４ 温度センサ ２６ 伝搬時間記憶部 ２７ 流量調節手段 ２８ 帰還回路

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】超音波信号を送信する第１の超音波振動子
   と、前記第１の超音波振動子から送信され流体を伝搬し
   た超音波信号を受信する第２の超音波振動子と、前記超
   音波の伝搬時間を計測する伝搬時間計測部と、前記伝搬
   時間から演算によって流量を求める演算部と、流体の音
   速を出力する音速検知手段と、前記音速と前記伝搬時間
   とを比較し正常な測定かどうかを判定する誤測定判定手
   段とを備えた超音波流量計。
2. 【請求項２】誤測定判定手段は、超音波の流速方向への
   伝搬時間と逆流方向への伝搬時間との逆数和と音速とを
   比較し判定する請求項１記載の超音波流量計。
3. 【請求項３】誤測定判定手段は、超音波の流速方向への
   伝搬時間と逆流方向への伝搬時間との平均値の逆数と音
   速とを比較し判定する請求項１記載の超音波流量計。
4. 【請求項４】音速検知手段は被測定流体の温度を検知す
   る温度センサよりなる請求項１、２又は３記載の超音波
   流量計。
5. 【請求項５】音速検知手段は以前に測定した超音波の伝
   搬時間を記憶する伝搬時間記憶部を備えた請求項１、２
   又は３記載の超音波流量計。
6. 【請求項６】超音波信号を送信する第１の超音波振動子
   と、前記第１の超音波振動子から送信され流体を伝搬し
   た超音波信号を受信する第２の超音波振動子と、前記超
   音波の伝搬時間を計測する伝搬時間計測部と、伝搬時間
   から演算によって流量を求める演算部と、計測した伝搬
   時間が適正かどうかを判定する誤測定判定手段と、前記
   誤測定判定手段からの指令信号によって流量を調節する
   流量調節手段とを備え、前記誤測定判定手段が誤測定と
   判定したときには前記流量調節手段を動作させ流量をよ
   り少なくなるように調節し前記伝搬時間を再測定する超
   音波流量計。
7. 【請求項７】超音波信号を送信する第１の超音波振動子
   と、前記第１の超音波振動子から送信され流体を伝搬し
   た超音波信号を受信する第２の超音波振動子と、予め設
   定した回数前記第２の超音波振動子の出力を前記第１の
   超音波振動子に帰還し再度超音波信号を出力させる帰還
   回路と、前記超音波の伝搬時間を計測する伝搬時間計測
   部と、伝搬時間から演算によって流量を求める演算部
   と、計測した伝搬時間が適正かどうかを判定する誤測定
   判定手段を備え、前記誤測定判定手段が誤測定と判定し
   たときには前記帰還回路の帰還回数を少なくなるように
   設定し伝搬時間を再測定する超音波流量計。