JP2000306534A - 回転陽極型x線管装置およびその製造装置 - Google Patents
回転陽極型x線管装置およびその製造装置Info
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Abstract
型X線管装置およびその製造装置を提供すること。 【解決手段】 回転陽極型X線管を構成する真空容器1
1内部に配置された陽極ターゲット12aと、この陽極
ターゲット12aと機械的に連結した回転子12cと、
真空容器11の外部に配置され回転子12cに回転力を
与える固定子14と、この固定子14を支持する第1支
持部材15と、この第1支持部材15が自由に回転でき
るように第1支持部材15と結合した第2支持部材17
と、固定子14に対して、回転子12cが回転する方向
と同じ方向に回転力を与えるバネ22と、回転子12c
が回転する方向と反対方向への固定子14の回転を検出
する圧電素子26とを具備している。
Description
子の回転状態を検出する回転陽極型X線管装置およびそ
の製造装置に関する。
れるX線を発生する電子管で、陰極が発生した電子ビー
ムを陽極に衝突させ、電子ビームの運動エネルギーをX
線に変換する構成になっている。しかし、X線管のエネ
ルギー効率が小さいため、電子ビームの運動エネルギー
は、そのほとんどが陽極を加熱する熱エネルギーに変換
される。そのため、電子ビームが衝突する陽極部分は1
000℃以上の高温にもなる。そして、陽極の温度が定
格以上になると、陽極表面が溶融するなどして不良の原
因になる。
める管電圧、および、ビーム量を決定する管電流の2つ
の積で求められる入力電力は、X線管を構成する陽極の
熱容量によって制約される。このため、強力なX線を出
力する場合、または、長時間連続するX線を出力する場
合は、熱容量の大きい陽極が要求される。
管は、陽極の熱容量を大きくするために、たとえば陽極
の体積を大きくしている。また、陽極を円盤状に構成し
て回転させ、単位時間当たりに電子ビームが衝突する面
積が大きくなるようにしている。
ても、X線管の陽極を電子ビームで加熱し、陽極からガ
スを放出させる排気工程、あるいは、陽極の表面状態を
電子ビームで調えるエ一ジング工程などがある。これら
の工程でも電子ビームの衝突で陽極が加熱されるため、
回転陽極型X線管の製造装置にも、必要に応じて陽極を
回転させる機構が設けられている。
間に、何らかの原因で陽極の回転速度が低下したり、あ
るいは、停止したりすると、単位時間当たりに電子ビー
ムが衝突する陽極部分の面積が小さくなる。このような
状態になると、陽極に部分的な熱溶融が発生する。した
がって、陽極の熱溶融を防止するためには、陽極が正常
に回転しているかどうかの検出が必要となる。
有する従来の回転陽極型X線管装置について図3を参照
して説明する。符号30は回転陽極型X線管で、全体は
真空容器31で構成されている。そして、真空容器31
内に陽極32が配置されている。陽極32は、陽極ター
ゲット32aや回転軸32b、回転軸32bに連結する
回転子32c、固定体32d、回転子32cと固定体3
2d間に設けられたベアリング32eなどから構成され
ている。また、陽極ターゲット32aに対向して陰極3
3が配置されている。
する軸と同心に固定子34が配置されている。固定子3
4は回転磁界を発生し、回転子32cを回転させ、回転
子32cに連結した陽極ターゲット32aを回転させ
る。また、固定子34は支持部材35に支持され、支持
部材35は柱構造35aを介して、回転陽極型X線管の
管球本体を固定する固定台36と機械的に連結されてい
る。
2と陰極33間に印加する電圧が生成される。第1交流
電源E1の出力電圧は変圧器37の一次側に供給され
る。変圧器37の二次側出力はブリッジ接続の整流回路
38で整流される。整流回路38のプラス出力(+)は
陽極32に印加され、マイナス出力(−)は陰極33に
印加される。また、第2交流電源E2の出力は変圧器3
9を経て陰極33に印加されている。
成について図4を参照して説明する。固定子34を構成
する鉄心41に、直列に接続されている2つのメインコ
イル42a、42b、および、直列に接続されている2
つのサブコイル43a、43bが巻かれている。メイン
コイル42a、42b、および、サブコイル43a、4
3bは並列に接続されており、これらの各コイルに第3
交流電源E3から電流が流される。第3交流電源E3と
サブコイル43a、43b間には、電流計44およびコ
ンデンサ45が接続されている。
に電流が流される。このとき、コンデンサ45の作用
で、メインコイル42a、42bに流れる電流とサブコ
イル43a、43bに流れる電流の位相が90度ずれ、
鉄心41内部に回転磁界が発生する。この回転磁界によ
って回転子32cが回転し、陽極ターゲット32aが回
転する。
が流され陽極ターゲット32aが回転する。また、変圧
器38(図3)の出力電圧が陽極32と陰極33間に印
加される。さらに、陰極33に電流が流され、陰極33
から放出された熱電子eが電子ビームとなって陽極32
に衝突し、陽極32からX線が放出される。
衝突で陽極32の温度が上昇する。この熱が回転子32
cのベアリング32eなどに伝わり、ベアリング32e
に欠陥が生じることがある。ベアリング32eに欠陥が
生じると、回転子32cの回転状態が悪化し、陽極32
の温度がさらに上昇し、製品不良の原因となる。そのた
め、回転陽極型X線管には、必要に応じて、回転子32
cの回転状態を検出する回転検出機構が設けられる。
で構成される電動機などの場合には、たとえば、回転子
の軸に回転検出用のエンコーダを取り付け、その出力パ
ルスの周波数から回転状態を検出する方法がある。しか
し、回転陽極型X線管の場合は、回転子や回転子が連結
する回転軸、陽極ターゲットなどは、すべて真空容器内
に封じこめられている。そのため、回転子の軸にエンコ
ーダを取り付ける方法は採用できない。したがって、回
転陽極型X線管の場合、回転を検出する方法として、た
とえば、回転子の回転状態が悪化すると、固定子のサブ
コイルに流れる電流が減少するという特性が利用され
る。図4で示したように、交流電源とサブコイルとの間
に電流計を接続し、サブコイルに流れる電流の変化から
陽極の回転状態を検出する方法である。
管装置は、固定子のサブコイルに流れる電流の変化から
陽極の回転状態を検出している。サブコイルに電流を流
す場合、メインコイルやサブコイルがジュール熱で加熱
され温度が上昇する。温度が上昇すると電気抵抗が大き
くなり、オームの法則から電流が減少する。このため、
陽極の回転が正常でも、温度上昇によってサブコイルに
流れる電流が減少し、陽極の回転状態が悪化したと判断
されることがある。したがって、サブコイルに流れる電
流の変化を用いる方法は、固定子の温度状態を考慮した
上での判断が必要とされ、陽極の回転状態の悪化を正し
く判断できない場合がある。
で、陽極の回転状態を確実に検出できる回転陽極型X線
管装置およびその製造装置を提供することを目的とす
る。
線管装置は、回転陽極型X線管を構成する真空容器内部
に配置された陽極ターゲットと、この陽極ターゲットと
機械的に連結した回転子と、前記真空容器の外部に配置
され前記回転子に回転力を与える固定子と、この固定子
を支持する第1支持部材と、この第1支持部材が自由に
回転できるように前記第1支持部材と結合した第2支持
部材と、前記固定子に対して、前記回転子が回転する方
向と同じ方向に回転力を与える回転力発生手段と、前記
回転子が回転する方向と反対方向への前記固定子の回転
を検出する回転検出手段とを具備している。
を参照して説明する。符号10は回転陽極型X線管で、
回転陽極型X線管10は全体が真空容器11で構成され
ている。そして、真空容器11内にX線を放出する陽極
12が配置されている。陽極12は、陽極ターゲット1
2aや回転軸12b、回転軸12bに連結した回転子1
2c、固定体12d、回転子12cと固定体12d間に
設けられたベアリング12eなどから構成されている。
また、陽極ターゲット12aに対向して陰極13が配置
されている。真空容器11の外側には、陽極12を囲む
形で、陽極12が回転する軸と同心に固定子14が筒状
に配置されている。
定されている。第1支持台15の中央には開口が設けら
れ、その開口部分を真空容器11の陽極側の径小部分が
貫通している。また、固定子14の側面に突起16が設
けられている。固定子14は、従来技術で説明したと同
様に、回転磁界を発生し、陽極ターゲット12aなどを
回転させる。また、第1支持台の外側を囲んで第2支持
台17が環状に設けられている。なお、第1支持台15
と第2支持台17との結合部分には、軸受機構たとえば
ベアリング18が配置され、第1支持台15は、第2支
持台17から独立して自由に回転できる構造になってい
る。
して、回転陽極型X線管の管球本体を固定する固定台2
0と機械的に連結されている。また、第2支持台17の
表面にシャフト21が取り付けられている。そして、固
定子14に設けられた突起16と第2支持台17に取り
付けられたシャフト21とを結んで、引っ張りバネ22
が設けられている。また、第2支持台17上で、突起1
6に近接してシャフト21と反対側に圧電素子26が配
置されている。
2と陰極13間に印加される電圧が生成される。第1交
流電源E1の出力電圧は変圧器23の一次側に供給さ
れ、変圧器23の二次側出力はブリッジ接続の整流回路
24で整流される。なお、整流回路24のプラス出力
(+)は陽極12に印加され、マイナス出力(−)は陰
極13に印加される。また、第2交流電源E2の出力電
圧が変圧器25を介して陰極13に印加される。
て図2を参照して説明する。図2(a)は、回転陽極型
X線管装置を陽極側から見た図、図(b)は回転陽極型
X線管装置を横方向から見た図、図(c)は、陽極など
の回転方向を説明する図で、図(b)を下方から見た状
態を示している。なお図2は、図1に対応する部分には
同一の符号を付し、重複する説明を一部省略する。
に設けられた突起16と、第2支持台17に設けられた
シャフト21とを結んで、縮む方向に力が作用する引っ
張りバネ22が取り付けられている。また、突起16に
隣接して、引っ張りバネ22と反対側に、回転検出装置
たとえば圧電素子26が配置されている。引っ張りバネ
22は突起16を引っ張る方向、すなわち、固定子14
に対し、固定子14に電流が流れた場合に陽極12が回
転する矢印Y1方向に回転力を与えている。
が流れると、回転子12cに回転トルクが発生する。こ
の回転トルクは陽極12をY1方向に回転させる。しか
し、固定子14は、自由に回転できる第1支持台15上
に固定されている。この場合、回転トルクは固定子14
に対し、陽極が回転するY1方向と反対のY2方向に回
転させるように作用する。しかし、固定子14には、引
っ張りバネ22によってY1方向の力が作用している。
このとき、回転トルクが固定子14に作用する力と引っ
張りバネ22の力とが均衡し、固定子14は回転しな
い。このように、通常の状態では、回転子12cに発生
するすべての回転トルクが、回転子12cを回転させる
力になる。
転機構を構成するベアリング12eの温度が上昇し、回
転子12cの回転状態が悪化すると、たとえば回転子1
2cの回転速度が低下する。このとき、回転子12cが
発生する回転トルクは、固定子14に対し、Y2方向に
回転させる力を大きくする。この力が引っ張りバネ22
の力よりも大きくなると、突起16は圧電素子26方向
に移動し、たとえば、突起16の圧電素子26の側に設
けられた接触片16aが圧電素子26と接触し圧縮力P
を加える。この圧縮力Pは、回転子12cの回転状態の
悪化に比例する。なお、圧縮力Pは、引っ張りバネ22
が伸びきって固定子12cの回転が停止し、固定子12
cが回転陽極型X線管の本体と固定連結された状態で最
大となる。
16から受けた圧縮力Pに比例した電気信号を外部回路
27に出力する。この電気信号のレベルは陽極12の回
転状態の悪化に比例し、固定子14内部のコイルの温度
には影響されない。したがって、外部回路27におい
て、圧電素子26が出力する電気信号を測定すれば、陽
極12の回転状態を確実に監視できる。
ネ22が、固定子14に設けられた突起16と、第2支
持台17に設けられたシャフト21とを結んで取り付け
られている。しかし、固定子14が支持されている第1
支持台15と、第1支持台15に結合された第2支持台
17とにそれぞれ取付部を構成し、これらの取付部間に
引っ張りバネ22を設ける構造にすることもできる。ま
た、固定子14の回転を、固定子14と一緒に回転する
第1支持台15の回転を利用して検出することもでき
る。
用されている。しかし、固定子に対して陽極が回転する
方向に回転させる力を発生させる場合、引っ張りバネに
代え、バネの伸びる方向に力が作用する圧縮バネを利用
することもできる。なお、力の作用する方向は、圧縮バ
ネと引っ張りバネとで逆になっている。したがって、圧
縮バネを利用する場合、図2の構成では、圧縮バネは、
突起に関して圧電素子と同じ側に配置される。
電素子に代えてスイッチを用いることもできる。たとえ
ば、固定子が回転した場合に、その回転に伴って発生す
る機械的圧力を受けて、スイッチの電気接点が電気回路
を開状態から閉状態に、あるいは、閉状態から開状態に
移行する構造である。この場合、電気接点が開状態であ
るか、閉状態であるかを検出すれば、回転状態の悪化が
検出される。また、固定子の回転量、たとえば突起の機
械的変位量を検出するセンサーなどを用いて回転状態を
検出することもできる。
悪化した場合に、陽極の回転方向と反対方向に固定子が
回転する動きを利用している。そのため、固定子内部の
コイル温度の影響がなくなり、陽極の回転状態の悪化を
確実に検出できる。
に収容した構造で用いることもできる。
化を確実に検出できる回転陽極型X線管装置およびその
製造装置を実現できる。
ある。
成図である。
す回路図である。
Claims (9)
- 【請求項1】 回転陽極型X線管を構成する真空容器内
部に配置された陽極ターゲットと、この陽極ターゲット
と機械的に連結した回転子と、前記真空容器の外部に配
置され前記回転子に回転力を与える固定子と、この固定
子を支持する第1支持部材と、この第1支持部材が自由
に回転できるように前記第1支持部材と結合した第2支
持部材と、前記固定子に対して、前記回転子が回転する
方向と同じ方向に回転力を与える回転力発生手段と、前
記回転子が回転する方向と反対方向への前記固定子の回
転を検出する回転検出手段とを具備したことを特徴とす
る回転陽極型X線管装置。 - 【請求項2】 回転力発生手段がバネで構成されている
請求項1記載の回転陽極型X線管装置。 - 【請求項3】 第1支持部材と第2支持部材が軸受機構
を介して結合されている請求項1記載の回転陽極型X線
管装置。 - 【請求項4】 回転子が回転する軸と固定子が回転する
軸とが共通する請求項1記載の回転陽極型X線管装置。 - 【請求項5】 固定子に突起が設けられ、かつ、第2支
持部材にシャフトが設けられ、前記突起と前記シャフト
間がバネで結ばれている請求項1記載の回転陽極型X線
管装置。 - 【請求項6】 回転検出手段が圧電素子で構成されてい
る請求項1記載の回転陽極型X線管装置。 - 【請求項7】 回転検出手段が、電気回路を開状態およ
び閉状態に設定するスイッチで構成されている請求項1
記載の回転陽極型X線管装置。 - 【請求項8】 回転陽極型X線管を構成する真空容器の
陽極ターゲットと機械的に連結した回転子を収納した部
分が貫通するように配置され、前記回転子に回転力を与
える固定子と、この固定子を支持する第1支持部材と、
この第1支持部材が自由に回転できるように前記第1支
持部材に連結された第2支持部材と、前記真空容器を固
定し、前記第2支持部材と機械的に連結された固定装置
と、前記固定子に対し、前記回転子が回転する方向と同
じ方向に回転力を与える回転力発生装置と、前記回転子
が回転する方向と反対方向への前記固定子の回転を検出
する回転検出装置とを具備したことを特徴とする回転陽
極型X線管装置の製造装置。 - 【請求項9】 回転陽極型X線管を構成する真空容器の
陽極ターゲットと機械的に連結した回転子を収納した部
分が貫通するように配置され、前記回転子に回転力を与
える固定子と、この固定子を支持する第1支持部材と、
この第1支持部材が自由に回転できるように前記第1支
持部材に連結された第2支持部材と、前記真空容器を固
定し、前記第2支持部材と機械的に連結された固定装置
と、前記固定子に対し、前記回転子が回転する方向と同
じ方向に回転力を与える回転力発生装置と、回転子が回
転する方向と反対方向に固定子が回転した場合に、固定
子の回転で発生した力に比例または反比例した電気信号
を発生する回転検出装置とを具備したことを特徴とする
回転陽極型X線管の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11111961A JP2000306534A (ja) | 1999-04-20 | 1999-04-20 | 回転陽極型x線管装置およびその製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11111961A JP2000306534A (ja) | 1999-04-20 | 1999-04-20 | 回転陽極型x線管装置およびその製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000306534A true JP2000306534A (ja) | 2000-11-02 |
Family
ID=14574494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11111961A Pending JP2000306534A (ja) | 1999-04-20 | 1999-04-20 | 回転陽極型x線管装置およびその製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000306534A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1306552C (zh) * | 2002-07-19 | 2007-03-21 | 株式会社岛津制作所 | X射线发生装置 |
WO2015079883A1 (ja) * | 2013-11-27 | 2015-06-04 | 株式会社 日立メディコ | X線診断装置、x線管故障予兆検知方法および回転陽極型x線管 |
-
1999
- 1999-04-20 JP JP11111961A patent/JP2000306534A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1306552C (zh) * | 2002-07-19 | 2007-03-21 | 株式会社岛津制作所 | X射线发生装置 |
WO2015079883A1 (ja) * | 2013-11-27 | 2015-06-04 | 株式会社 日立メディコ | X線診断装置、x線管故障予兆検知方法および回転陽極型x線管 |
JP6085372B2 (ja) * | 2013-11-27 | 2017-02-22 | 株式会社日立製作所 | X線診断装置、x線管故障予兆検知方法および回転陽極型x線管 |
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