JP2000299520A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 非線形結晶から発生する高調波のレーザ媒質
への入射を防ぐと共に、基本波レーザ光の発振の安定
化、レーザ光より基本波光成分を除去するためのダンパ
光学系装置を不要とし小型化を図る。 【解決手段】 全反射鏡と出力鏡との間に配置されるレ
ーザ触媒と、同レーザ媒質を励起し基本波波長光を発生
させる励起源と、前記レーザ媒質と出力鏡との間に配置
され基本波波長光を高調波波長光に変換する非線形結晶
とを備え、前記非線形結晶の基本波波長光を透過させ高
調波波長光を反射するコーティングを施すと共に、前記
出力鏡に基本波波長光を全反射し高調波波長光を透過す
るコーティングを施す。上記非線形結晶の上流に基本波
波長光を投射する反射鏡Ａを設け、上記レーザ媒質の下
流にレーザ媒質よりの基本波波長光を前記反射鏡Ａに転
射する反射鏡Ｂとを備え、前記反射鏡Ａ又は反射鏡Ｂの
少なくともいずれか一方に高調波波長光を透過するコー
ティングを施す。
への入射を防ぐと共に、基本波レーザ光の発振の安定
化、レーザ光より基本波光成分を除去するためのダンパ
光学系装置を不要とし小型化を図る。 【解決手段】 全反射鏡と出力鏡との間に配置されるレ
ーザ触媒と、同レーザ媒質を励起し基本波波長光を発生
させる励起源と、前記レーザ媒質と出力鏡との間に配置
され基本波波長光を高調波波長光に変換する非線形結晶
とを備え、前記非線形結晶の基本波波長光を透過させ高
調波波長光を反射するコーティングを施すと共に、前記
出力鏡に基本波波長光を全反射し高調波波長光を透過す
るコーティングを施す。上記非線形結晶の上流に基本波
波長光を投射する反射鏡Ａを設け、上記レーザ媒質の下
流にレーザ媒質よりの基本波波長光を前記反射鏡Ａに転
射する反射鏡Ｂとを備え、前記反射鏡Ａ又は反射鏡Ｂの
少なくともいずれか一方に高調波波長光を透過するコー
ティングを施す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ微細加工機
やレーザ露光装置等に適用するレーザ発振器に関する。
やレーザ露光装置等に適用するレーザ発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来のレーザ発振器を説明する正
面図を示す。短波長レーザ光を得る手段として、非線形
結晶を用い、高調波変換を行う手法がある。例えばＮ
ｄ：ＹＡＧレーザ発振器では、レーザ媒質１５であるＹ
ＡＧ結晶から出力された赤外レーザ光（波長1.０６４μ
ｍ）を非線形結晶を用いることにより、第２高調波（波
長0.５３２μｍ）、更に第４高調波（波長0.２６６μ
ｍ）と短波長レーザ光として出力するようにしたものが
ある。
面図を示す。短波長レーザ光を得る手段として、非線形
結晶を用い、高調波変換を行う手法がある。例えばＮ
ｄ：ＹＡＧレーザ発振器では、レーザ媒質１５であるＹ
ＡＧ結晶から出力された赤外レーザ光（波長1.０６４μ
ｍ）を非線形結晶を用いることにより、第２高調波（波
長0.５３２μｍ）、更に第４高調波（波長0.２６６μ
ｍ）と短波長レーザ光として出力するようにしたものが
ある。
【０００３】図３において、レーザ媒質１５は共振器を
形成する全反射鏡１６と出力鏡１７間に配置される。ラ
ンプまたは半導体レーザである、励起源１４により、レ
ーザ媒質１５を励起することにより、基本波長光が生じ
る。基本波光は、全反射鏡１６と出力鏡１７からなる共
振器内部で往復し、共振増幅される。高調波光を効率よ
く発生させるために非線形結晶１８が全反射鏡１６と出
力鏡１７からなる共振器中にレーザ媒質１５と同じ光軸
に配置される。非線形結晶１８に入射して基本波光は１
部が高調波光に変換され、出力鏡１７から取り出され
る。
形成する全反射鏡１６と出力鏡１７間に配置される。ラ
ンプまたは半導体レーザである、励起源１４により、レ
ーザ媒質１５を励起することにより、基本波長光が生じ
る。基本波光は、全反射鏡１６と出力鏡１７からなる共
振器内部で往復し、共振増幅される。高調波光を効率よ
く発生させるために非線形結晶１８が全反射鏡１６と出
力鏡１７からなる共振器中にレーザ媒質１５と同じ光軸
に配置される。非線形結晶１８に入射して基本波光は１
部が高調波光に変換され、出力鏡１７から取り出され
る。
【０００４】出力鏡１７から出射した高調波光の光軸に
非線形結晶１９を配置することにより、高調波光を更に
高次高調波に変換することができる。通常、出力鏡１７
からは高調波光と共に基本波光も出射される。この時、
基本波光が非線形結晶１９に入射すると、非線形結晶１
９に発熱が生じ、高次高調波光への変換が不安定にな
る。これを避けるために、出力鏡１７と非線形結晶１９
の間にダクロイックミラー２０を配置し、基本波光のみ
を反射し、非線結晶１９に基本波光が入射しないように
する。反射された基本波光はダンパ２１で吸収される。
非線形結晶１９を配置することにより、高調波光を更に
高次高調波に変換することができる。通常、出力鏡１７
からは高調波光と共に基本波光も出射される。この時、
基本波光が非線形結晶１９に入射すると、非線形結晶１
９に発熱が生じ、高次高調波光への変換が不安定にな
る。これを避けるために、出力鏡１７と非線形結晶１９
の間にダクロイックミラー２０を配置し、基本波光のみ
を反射し、非線結晶１９に基本波光が入射しないように
する。反射された基本波光はダンパ２１で吸収される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した、従来技術に
は次のような課題がある。高調波発生効率を上げるため
に、共振器内に非線結晶を配置している。この場合、非
線形結晶から発生する高調波光はレーザ媒質にも入射す
る。その結果、基本波レーザ光の発振が不安定になり波
長変換された高調波・高次高調波光が不安定になるとい
う問題がある。また、出力鏡１７より取り出されたレー
ザ光より基本波光成分を除去するためのダンパ光学系は
レーザ発振器の大型化という問題を生じる。
は次のような課題がある。高調波発生効率を上げるため
に、共振器内に非線結晶を配置している。この場合、非
線形結晶から発生する高調波光はレーザ媒質にも入射す
る。その結果、基本波レーザ光の発振が不安定になり波
長変換された高調波・高次高調波光が不安定になるとい
う問題がある。また、出力鏡１７より取り出されたレー
ザ光より基本波光成分を除去するためのダンパ光学系は
レーザ発振器の大型化という問題を生じる。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑み、非線形
結晶から発生する高調波光のレーザ媒質への入射を防ぐ
と共に基本波レーザ光の発振の安定化、レーザ光より基
本波光成分を除去するためのダンパ光学系装置を不要と
し小型化を図ったレーザ発振器を提供することを目的と
する。
結晶から発生する高調波光のレーザ媒質への入射を防ぐ
と共に基本波レーザ光の発振の安定化、レーザ光より基
本波光成分を除去するためのダンパ光学系装置を不要と
し小型化を図ったレーザ発振器を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る本発明
は、全反射鏡と出力鏡との間に配置されるレーザ媒質
と、同レーザ媒質を励起し基本波波長光を発生させる励
起源と、前記レーザ媒質と出力鏡との間に配置され基本
波波長光を高調波波長光に変換する非線形結晶とを備
え、前記非線形結晶に基本波波長光を透過させ高調波波
長光を反射するコーティングを施すと共に、前記出力鏡
に基本波波長光を全反射し高調波波長光を透過するコー
ティングを施したものである。請求項２の発明は、上記
非線形結晶の上流に基本波波長光を投射する反射鏡Ａを
設け、反射鏡Ａを設け、上記レーザ媒質の下流にレーザ
媒質よりの基本波波長光を前記反射鏡Ａに転射する反射
鏡Ｂとを具え、前記反射鏡Ａ又は反射鏡Ｂの少なくとも
いずれか一方に高調波波長光を透過するコーティングを
施したものである。
は、全反射鏡と出力鏡との間に配置されるレーザ媒質
と、同レーザ媒質を励起し基本波波長光を発生させる励
起源と、前記レーザ媒質と出力鏡との間に配置され基本
波波長光を高調波波長光に変換する非線形結晶とを備
え、前記非線形結晶に基本波波長光を透過させ高調波波
長光を反射するコーティングを施すと共に、前記出力鏡
に基本波波長光を全反射し高調波波長光を透過するコー
ティングを施したものである。請求項２の発明は、上記
非線形結晶の上流に基本波波長光を投射する反射鏡Ａを
設け、反射鏡Ａを設け、上記レーザ媒質の下流にレーザ
媒質よりの基本波波長光を前記反射鏡Ａに転射する反射
鏡Ｂとを具え、前記反射鏡Ａ又は反射鏡Ｂの少なくとも
いずれか一方に高調波波長光を透過するコーティングを
施したものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図１及び図２に基づいて本
発明に係るレーザ発振器の実施の形態を詳細に説明す
る。図１のものは、基本波波長光を透過させ、高調波波
長光を反射するコーティング６を施した非線形結晶５共
振器１２内に配置し、共振器の出力鏡４に基本波光λ1
を全反射し、高調波光λ2を透過するコーティング（誘
電体多層膜コーティング）７を施した構成である。
発明に係るレーザ発振器の実施の形態を詳細に説明す
る。図１のものは、基本波波長光を透過させ、高調波波
長光を反射するコーティング６を施した非線形結晶５共
振器１２内に配置し、共振器の出力鏡４に基本波光λ1
を全反射し、高調波光λ2を透過するコーティング（誘
電体多層膜コーティング）７を施した構成である。
【０００９】図１において、レーザ媒質２は共振器１２
を形成する全反射鏡３と出力鏡４間に配置される。出力
鏡４に基本波光λ1を全反射し、高調波光をλ2を透過す
るコーティング７を施している。ランプまたは半導体レ
ーザである、励起源１により、レーザ媒質２を励起する
ことにより、基本波光λ1が生じる。基本波光λ1は、全
反射鏡３から出力鏡４までの共振器１２内部で往復し、
共振増幅される。
を形成する全反射鏡３と出力鏡４間に配置される。出力
鏡４に基本波光λ1を全反射し、高調波光をλ2を透過す
るコーティング７を施している。ランプまたは半導体レ
ーザである、励起源１により、レーザ媒質２を励起する
ことにより、基本波光λ1が生じる。基本波光λ1は、全
反射鏡３から出力鏡４までの共振器１２内部で往復し、
共振増幅される。
【００１０】高調波を効率よく発生させるために非線形
結晶５が全反射鏡３から出力鏡４までの共振器１２中に
レーザ媒質２と同じ光軸に配置される。非線形結晶５の
基本波光入射面には、基本波波長光λ１を透過させ、高
調波波光λ2を反射するコーティング６を施している。
非線形結晶５に入射した基本波光λ1は１部が高調波に
変換され、出力鏡４から取り出される。高調波光λ２は
高調波の光軸に配置された非線形結晶８に入射し、高次
高調波λ4に変換される。
結晶５が全反射鏡３から出力鏡４までの共振器１２中に
レーザ媒質２と同じ光軸に配置される。非線形結晶５の
基本波光入射面には、基本波波長光λ１を透過させ、高
調波波光λ2を反射するコーティング６を施している。
非線形結晶５に入射した基本波光λ1は１部が高調波に
変換され、出力鏡４から取り出される。高調波光λ２は
高調波の光軸に配置された非線形結晶８に入射し、高次
高調波λ4に変換される。
【００１１】図１に示すように、非線形結晶５の基本波
光入射面には、基本波波長の光λ１を透過させ、高調波
波長光の光を反射するコーティング６を施している。こ
れにより、発生した高調波光λ2は出力鏡４の方向のみ
に伝搬し、レーザ媒質２に高調波光が入射することは無
い。出力鏡４には基本波光を全反射し、高調波光λ2を
透過するコーティング７を施しているため、高調波光λ
2のみが出射される。そのため、非線形結晶８に基本波
λ1が入射しない。
光入射面には、基本波波長の光λ１を透過させ、高調波
波長光の光を反射するコーティング６を施している。こ
れにより、発生した高調波光λ2は出力鏡４の方向のみ
に伝搬し、レーザ媒質２に高調波光が入射することは無
い。出力鏡４には基本波光を全反射し、高調波光λ2を
透過するコーティング７を施しているため、高調波光λ
2のみが出射される。そのため、非線形結晶８に基本波
λ1が入射しない。
【００１２】図１のものは、非線形結晶５等を共振器内
に配置し、基本波光λ1を光調波λ2に変換する非線形結
晶の基本波入射面に基本波波長の光λ1を透過させ、高
調波波長光λ2を反射するコーティングを同結晶５に施
したものである。これにより、非線形結晶５で発生した
高調波光λ2がレーザ媒体２に入射して、レーザ発振を
不安定にするという従来技術の問題を解決できる。ま
た、基本波光λ1は共振器１２外に伝搬しないため、従
来必要であった、ダイクロイックミラー、ダンパーが不
要となり、レーザ装置の小型化も容易となる。
に配置し、基本波光λ1を光調波λ2に変換する非線形結
晶の基本波入射面に基本波波長の光λ1を透過させ、高
調波波長光λ2を反射するコーティングを同結晶５に施
したものである。これにより、非線形結晶５で発生した
高調波光λ2がレーザ媒体２に入射して、レーザ発振を
不安定にするという従来技術の問題を解決できる。ま
た、基本波光λ1は共振器１２外に伝搬しないため、従
来必要であった、ダイクロイックミラー、ダンパーが不
要となり、レーザ装置の小型化も容易となる。
【００１３】図２は本発明による他のレーザ発振器を示
し、全反射鏡３から出力鏡４までの共振器１３内に反射
鏡１０、反射鏡１１を配置して光軸を折り返すことによ
り、レーザ媒体２と非線形結晶５を平行に配置し、共振
器の出力鏡４に基本波光λ1を全反射し、高調波光λ2を
透過するコーティング７を施した構成である。
し、全反射鏡３から出力鏡４までの共振器１３内に反射
鏡１０、反射鏡１１を配置して光軸を折り返すことによ
り、レーザ媒体２と非線形結晶５を平行に配置し、共振
器の出力鏡４に基本波光λ1を全反射し、高調波光λ2を
透過するコーティング７を施した構成である。
【００１４】図２において、全反射鏡３から出力鏡４ま
での共振器１３内には反射鏡Ｂ９及び反射鏡Ａ１０が配
置され、平行光軸を形成する。レーザ媒質２は全反射鏡
３と反射鏡Ａ１０間に配置される。出力鏡４に基本波光
λ1を全反射し、高調波光λ2を透過するコーティング７
を施している。ランプまたは半導体レーザである、励起
源１により、レーザ媒質２を励起することにより、基本
波光λ1が生じる。基本波光λ2は、全反射鏡３から出力
鏡４までの共振器１３内部で往復し、共振増幅される。
での共振器１３内には反射鏡Ｂ９及び反射鏡Ａ１０が配
置され、平行光軸を形成する。レーザ媒質２は全反射鏡
３と反射鏡Ａ１０間に配置される。出力鏡４に基本波光
λ1を全反射し、高調波光λ2を透過するコーティング７
を施している。ランプまたは半導体レーザである、励起
源１により、レーザ媒質２を励起することにより、基本
波光λ1が生じる。基本波光λ2は、全反射鏡３から出力
鏡４までの共振器１３内部で往復し、共振増幅される。
【００１５】高調波光を高率よく発生させるために非線
形結晶５が反射鏡Ａ１０から出力鏡４までの共振器１３
中にレーザ媒質２と平行な光軸に配置される。反射鏡Ａ
１０の反射面には、基本波長光λ1を反射させ、高調波
波長光λ2を透過するコーティング１１を施しているの
で、高調波波長光λ2′がレーザ媒質２に入射しない。
非線形結晶５に入射した基本波光λ1は１部が高調波に
変換され、出力鏡４から取り出される。高調波光λ2は
高調波光の光軸に配置された非線形結晶８に入射し、高
次高調波光λ4に変換される。
形結晶５が反射鏡Ａ１０から出力鏡４までの共振器１３
中にレーザ媒質２と平行な光軸に配置される。反射鏡Ａ
１０の反射面には、基本波長光λ1を反射させ、高調波
波長光λ2を透過するコーティング１１を施しているの
で、高調波波長光λ2′がレーザ媒質２に入射しない。
非線形結晶５に入射した基本波光λ1は１部が高調波に
変換され、出力鏡４から取り出される。高調波光λ2は
高調波光の光軸に配置された非線形結晶８に入射し、高
次高調波光λ4に変換される。
【００１６】図２の示すように、反射鏡Ａ１０の反射面
には、基本波波長光λ1を反射させ、高調波波長光λ2を
透過するコーティング１１を施している。これにより、
発生した高調波光λ2で反射鏡Ａ１０に向かうものは反
射鏡Ａ１０を透過し、共振器１３外に伝搬し、レーザ媒
質２に高調波λ2が入射することは無い。出力鏡４には
基本波光λ1を全反射し、高調波光λ2を透過するコーテ
ィング７を施しているため、高調波光λ2のみが出射さ
れる。そのため、非線形結晶８に波光λ1が入射しな
い。なお、上記コーティング１１は、反射鏡Ｂにも施し
てもよく、少なくともいずれか一方の反射鏡に施せばよ
い。
には、基本波波長光λ1を反射させ、高調波波長光λ2を
透過するコーティング１１を施している。これにより、
発生した高調波光λ2で反射鏡Ａ１０に向かうものは反
射鏡Ａ１０を透過し、共振器１３外に伝搬し、レーザ媒
質２に高調波λ2が入射することは無い。出力鏡４には
基本波光λ1を全反射し、高調波光λ2を透過するコーテ
ィング７を施しているため、高調波光λ2のみが出射さ
れる。そのため、非線形結晶８に波光λ1が入射しな
い。なお、上記コーティング１１は、反射鏡Ｂにも施し
てもよく、少なくともいずれか一方の反射鏡に施せばよ
い。
【００１７】図２のもなは、共振器１３に２枚の反射鏡
３、４を配置し、共振器１３内の光軸を折り返し、平行
光軸を形成したもので、各光軸にそれぞれ、レーザ媒質
２と非線形結晶５を配置することにより、非線形結晶５
で発生した高調波光λ2がレーザ媒質２に入射して、レ
ーザ発振を不安定にするという従来の技術の問題を解決
できる。また、基本波光λ1は共振器１３外に伝搬しな
いため、従来必要であった、ダイクロイックミラー、ダ
ンパーが不要となり、レーザ装置の小型化も容易とな
る。
３、４を配置し、共振器１３内の光軸を折り返し、平行
光軸を形成したもので、各光軸にそれぞれ、レーザ媒質
２と非線形結晶５を配置することにより、非線形結晶５
で発生した高調波光λ2がレーザ媒質２に入射して、レ
ーザ発振を不安定にするという従来の技術の問題を解決
できる。また、基本波光λ1は共振器１３外に伝搬しな
いため、従来必要であった、ダイクロイックミラー、ダ
ンパーが不要となり、レーザ装置の小型化も容易とな
る。
【００１８】
【発明の効果】本発明によるレーザ発振器は、全反射鏡
と出力鏡との間に配されるレーザ媒質と、同レーザ媒質
を励起し基本波波長光を発生させる励起源と、前記レー
ザ媒質と出力鏡との間に配置され基本波波長光を高調波
波長光に変換する非線形結晶とを具え、前記非線形結晶
に基本波波長光を透過させ高調波波長光を反射するコー
ティングを施したので、発生した高調波波長光は出力鏡
の方向のみに伝搬し、レーザ媒質に高調波波長光が入射
することは無い。さらに、前記出力鏡に基本波波長光を
全反射し高調波波長光を透過するコーティングを施して
いないので、出力鏡よりは高調波波長光のみが出射さ
れ、そのため、非線形結晶に基本波波長光が入射しな
い。これにより、非線形結晶で発生した高調波波長光が
レーザ媒体に入射して、レーザ発振を不安定にするとい
う従来技術の問題を解決できる。また、基本波波長光は
共振器外に伝搬しないため、従来必要であった、ダイク
ロイックミラー、ダンパーが不要となり、レーザ装置の
小型化も容易となる。
と出力鏡との間に配されるレーザ媒質と、同レーザ媒質
を励起し基本波波長光を発生させる励起源と、前記レー
ザ媒質と出力鏡との間に配置され基本波波長光を高調波
波長光に変換する非線形結晶とを具え、前記非線形結晶
に基本波波長光を透過させ高調波波長光を反射するコー
ティングを施したので、発生した高調波波長光は出力鏡
の方向のみに伝搬し、レーザ媒質に高調波波長光が入射
することは無い。さらに、前記出力鏡に基本波波長光を
全反射し高調波波長光を透過するコーティングを施して
いないので、出力鏡よりは高調波波長光のみが出射さ
れ、そのため、非線形結晶に基本波波長光が入射しな
い。これにより、非線形結晶で発生した高調波波長光が
レーザ媒体に入射して、レーザ発振を不安定にするとい
う従来技術の問題を解決できる。また、基本波波長光は
共振器外に伝搬しないため、従来必要であった、ダイク
ロイックミラー、ダンパーが不要となり、レーザ装置の
小型化も容易となる。
【００１９】又、上記非線形結晶の上流に基本波波長光
を投射する反射鏡Ａを設け、上記レーザ媒質の下流にレ
ーザ媒質よりの基本波波長光を前記反射鏡Ａに転射する
反射鏡Ｂとを具え、前記反射鏡Ａ又は反射鏡Ｂの少なく
ともいずれか一方に高調波波波長光を透過するコーティ
ングを施したので、発生した高調波波光で反射鏡Ａに向
かうものは反射鏡Ｂを透過し、反射鏡Ｂに向かうものは
反射鏡Ａを透過するので、共振器外に伝搬してレーザ媒
質に高調波波長光が入射することは無い。出力鏡には基
本波波長光を全反射し、高調波波長光を透過するコーテ
ィングを施しているため、高調波波長光のみが出射され
る。そのため、非線形結晶に基本波長光が入射しない。
又、本発明は共振器内に２枚の反射鏡ＡＢを配置し、共
振器内の光軸を折り返し、平行光軸を形成し、各光軸に
それぞれ、レーザ媒体と事線形結晶を配置することによ
り、非線形結晶で発生した高調波波長光がレーザ媒体に
入射して、レーザ発振を不安定にするという従来技術の
問題を解決できる。また、基本波波長光は共振器外に伝
搬しないため、従来必要であった、ダイクロイックミラ
ー、ダンパーが不要となり、レーザ装置の小型化も容易
となる。
を投射する反射鏡Ａを設け、上記レーザ媒質の下流にレ
ーザ媒質よりの基本波波長光を前記反射鏡Ａに転射する
反射鏡Ｂとを具え、前記反射鏡Ａ又は反射鏡Ｂの少なく
ともいずれか一方に高調波波波長光を透過するコーティ
ングを施したので、発生した高調波波光で反射鏡Ａに向
かうものは反射鏡Ｂを透過し、反射鏡Ｂに向かうものは
反射鏡Ａを透過するので、共振器外に伝搬してレーザ媒
質に高調波波長光が入射することは無い。出力鏡には基
本波波長光を全反射し、高調波波長光を透過するコーテ
ィングを施しているため、高調波波長光のみが出射され
る。そのため、非線形結晶に基本波長光が入射しない。
又、本発明は共振器内に２枚の反射鏡ＡＢを配置し、共
振器内の光軸を折り返し、平行光軸を形成し、各光軸に
それぞれ、レーザ媒体と事線形結晶を配置することによ
り、非線形結晶で発生した高調波波長光がレーザ媒体に
入射して、レーザ発振を不安定にするという従来技術の
問題を解決できる。また、基本波波長光は共振器外に伝
搬しないため、従来必要であった、ダイクロイックミラ
ー、ダンパーが不要となり、レーザ装置の小型化も容易
となる。
【００２０】
【図１】本発明の第１実施例に係るレーザ発振器を示す
正面図である。
正面図である。
【図２】本発明の第２実施例に係るレーザ発振器を示す
正面図である。
正面図である。
【図３】従来のレーザ発振器を示す正面図である。
１ 励起源 ２ レーザ媒体 ３ 全反射鏡 ４ 出力鏡 ５ 非線形結晶 ６．７．１１ コーティング ９ 反射鏡Ｂ １０ 反射鏡Ａ
Claims (2)
- 【請求項１】 全反射鏡と出力鏡との間に配置されるレ
ーザ媒質と、同レーザ媒質を励起し基本波波長光を発生
させる励起源と、前記レーザ媒質と出力鏡との間に配置
され基本波波長光を高調波波長光に変換する非線形結晶
とを具え、前記非線形結晶に基本波波長光を透過させ高
調波波長光を反射するコーティングを施すと共に、前記
出力鏡に基本波波長光を全反射し高調波波長光を透過す
るコーティングを施すことを特徴とするレーザ発振器。 - 【請求項２】 上記非線形結晶の上流に基本波波長光を
投射する反射鏡Ａを設け、上記レーザ触質の下流にレー
ザ媒質よりの基本波波長光を前記反射鏡Ａに転射する反
射鏡Ｂとを備え、前記反射鏡Ａ又は反射鏡Ｂの少なくと
もいずれか一方に高調波波長光を透過するコーティング
を施したことを特徴とする請求項１記載のレーザ発振
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10941299A JP2000299520A (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10941299A JP2000299520A (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000299520A true JP2000299520A (ja) | 2000-10-24 |
Family
ID=14509603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10941299A Withdrawn JP2000299520A (ja) | 1999-04-16 | 1999-04-16 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000299520A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005083851A2 (en) * | 2004-02-23 | 2005-09-09 | Powerlase Ltd | A laser apparatus |
| JP2006100772A (ja) * | 2004-04-22 | 2006-04-13 | Sony Corp | １次元照明装置及び画像生成装置 |
| US7440477B2 (en) | 2004-11-29 | 2008-10-21 | Laserfront Technologies, Inc. | Solid-state laser generator |
| JP2010010607A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Seiko Epson Corp | レーザ光源装置、プロジェクタ、モニタ装置 |
-
1999
- 1999-04-16 JP JP10941299A patent/JP2000299520A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2005083851A2 (en) * | 2004-02-23 | 2005-09-09 | Powerlase Ltd | A laser apparatus |
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Legal Events
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