JPH02156690A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH02156690A JPH02156690A JP31129188A JP31129188A JPH02156690A JP H02156690 A JPH02156690 A JP H02156690A JP 31129188 A JP31129188 A JP 31129188A JP 31129188 A JP31129188 A JP 31129188A JP H02156690 A JPH02156690 A JP H02156690A
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 18
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/108—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering
- H01S3/109—Frequency multiplication, e.g. harmonic generation
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Nonlinear Science (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はレーザ活性媒質から出力された基本波をたと
えば４倍波に変換して出力するレーザ装置に関する。
えば４倍波に変換して出力するレーザ装置に関する。
（従来の技術）
たとえばレーザ装置であるＮｄ：ＹＡＧ’レーザには、
レーザ活性媒質から出力された波長が１００４ｎｏ＋の
基本波を波長が２Ｈｎｉの４倍波に変換して出力するよ
うにしたものがある。
レーザ活性媒質から出力された波長が１００４ｎｏ＋の
基本波を波長が２Ｈｎｉの４倍波に変換して出力するよ
うにしたものがある。
従来、このようなＹＡＧレーザは第２図に示すように構
成されていた。すなわち、同図中１はレーザ活性媒質と
してのＹＡＧロッドである。このＹＡＧロッド１は共振
器を形成する全反射鏡２と出力鏡３間に配設されている
。上記ＹＡＧロッド２の一方の端面と全反射鏡２との間
にはＱスイッチ４が配設され、他方の端面と出力鏡３と
の間には偏光板５ａと２倍波発生用非線型結晶５順次配
設されている。
成されていた。すなわち、同図中１はレーザ活性媒質と
してのＹＡＧロッドである。このＹＡＧロッド１は共振
器を形成する全反射鏡２と出力鏡３間に配設されている
。上記ＹＡＧロッド２の一方の端面と全反射鏡２との間
にはＱスイッチ４が配設され、他方の端面と出力鏡３と
の間には偏光板５ａと２倍波発生用非線型結晶５順次配
設されている。
したがって、上記ＹＡＧロッド１から出力された波長が
１０８４ｎＩｌの基本波は上記２倍波発生用非線型結晶
５で波長が５３２ ｒ＋ｍの２倍波に変換されて上記出
力鏡３から出力されるようになっている。
１０８４ｎＩｌの基本波は上記２倍波発生用非線型結晶
５で波長が５３２ ｒ＋ｍの２倍波に変換されて上記出
力鏡３から出力されるようになっている。
出力鏡３から出力された２倍波は円筒レンズ７ａで集束
されて４倍波発生用非線型結晶７に入射し、ここで波長
が２８６ ｎｍの４倍波に変換される。
されて４倍波発生用非線型結晶７に入射し、ここで波長
が２８６ ｎｍの４倍波に変換される。
４倍波発生用非線型結晶７から出射した４倍波には基本
波や２倍波が混ざるため、プリズム８で分光して４倍波
だけを得るようにしている。
波や２倍波が混ざるため、プリズム８で分光して４倍波
だけを得るようにしている。
ところで、このような構成のレーザ装置によると、出力
鏡３から出力された２倍波は４倍波発生用非線型結晶７
を一度しか通過しない。そのため、４倍波発生用非線型
結晶７で２倍波が効率よく４倍波に変換されないばかり
か、４倍波に変換されなかった２倍波がプリズム８で分
光除去されるためにロスが発生し、それによって４倍波
の出力が大幅に減少するという欠点があった。
鏡３から出力された２倍波は４倍波発生用非線型結晶７
を一度しか通過しない。そのため、４倍波発生用非線型
結晶７で２倍波が効率よく４倍波に変換されないばかり
か、４倍波に変換されなかった２倍波がプリズム８で分
光除去されるためにロスが発生し、それによって４倍波
の出力が大幅に減少するという欠点があった。
（発明が解決しようとする課題）
このように、従来のレーザ装置においては、２倍波が４
倍波発生用非線型結晶を一度しか通過しないため、２倍
波を効率よく４倍波に変換することができないというこ
とがあった。
倍波発生用非線型結晶を一度しか通過しないため、２倍
波を効率よく４倍波に変換することができないというこ
とがあった。
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、所定の波長のレーザ光だけを取出し
、それ以外の波長のレーザ光は波長変換素子に繰返して
通すことにより、所定の波長のレーザ光を効率よく出力
することができるようにしたレーザ装置を提供すること
になる。
的とするところは、所定の波長のレーザ光だけを取出し
、それ以外の波長のレーザ光は波長変換素子に繰返して
通すことにより、所定の波長のレーザ光を効率よく出力
することができるようにしたレーザ装置を提供すること
になる。
［発明の構成〕
（課題を解決するための手段及び作用）上記課題を解決
するためにこの発明は、レーザ活性媒質と、このレーザ
活性媒質の一端側に対向して配設された第１の反射体と
、上記レーザ活性媒質の他端側に所定の角度で傾斜して
配設され一方の面が上記レーザ活性媒質から出力される
基本波のレーザ光だけを反射して他の波長のレーザ光を
透過する第１の反射面に形成された第２の反射体と、こ
の第２の反射体の第１の反射面で反射した基本波のレー
ザ光を第１の波長のレーザ光に変換する第１の波長変換
素子と、この第１の波長変換素子で変換された第１の波
長のレーザ光を反射して上記上記第２の反射体の第１の
反射面へ導く第３の反射体と、この第３の反射体で反射
して上記第２の反射体を透過した第１の波長のレーザ光
を第２の波長のレーザ光に変換する第２の波長変換素子
と、この第２の波長変換素子で変換された第２の波長の
レーザ光を上記第２の反射体の他方の面に形成された上
記第２の波長のレーザ光だけを反射する第２の反射面に
導く第４の反射体とを具備する。このような構成とする
ことにより、波長変換素子で所定の波長に変換されなか
ったレザ光を繰返して上記波長変換素子に導き、それに
よって所定の波長のレーザ光に変換して出力できるよう
にした。
するためにこの発明は、レーザ活性媒質と、このレーザ
活性媒質の一端側に対向して配設された第１の反射体と
、上記レーザ活性媒質の他端側に所定の角度で傾斜して
配設され一方の面が上記レーザ活性媒質から出力される
基本波のレーザ光だけを反射して他の波長のレーザ光を
透過する第１の反射面に形成された第２の反射体と、こ
の第２の反射体の第１の反射面で反射した基本波のレー
ザ光を第１の波長のレーザ光に変換する第１の波長変換
素子と、この第１の波長変換素子で変換された第１の波
長のレーザ光を反射して上記上記第２の反射体の第１の
反射面へ導く第３の反射体と、この第３の反射体で反射
して上記第２の反射体を透過した第１の波長のレーザ光
を第２の波長のレーザ光に変換する第２の波長変換素子
と、この第２の波長変換素子で変換された第２の波長の
レーザ光を上記第２の反射体の他方の面に形成された上
記第２の波長のレーザ光だけを反射する第２の反射面に
導く第４の反射体とを具備する。このような構成とする
ことにより、波長変換素子で所定の波長に変換されなか
ったレザ光を繰返して上記波長変換素子に導き、それに
よって所定の波長のレーザ光に変換して出力できるよう
にした。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を第１図を参照して説明する
。第１図はレーザ装置としての固体レザを示し、この固
体レーザは図示しない光源によって光励起されるレーザ
活性媒質としてのＹＡＧロッド１１を備えている。この
ＹＡＧロッド１１の一方の端面には第１の反射体１２が
平行に離間対向して配設され、他方の端面には第２の反
射体１３が所定の角度、たとえば４５度の角度で傾斜し
て配設されている。この第２の反射体１３の上記ＹＡＧ
ロッド１１の他方の端面に対向する一方の面は、所定の
コーティングを施すなどして上記ＹＡＧロッド１１から
出力される波長が１０６４ｒ＋ｍの基本波ｗ１のレーザ
光を反射するとともに、後述する波長が５３２ ｎｍの
２倍波ｗ２のレーザ光を透過する第１の反射面１３ａに
形成されている。
。第１図はレーザ装置としての固体レザを示し、この固
体レーザは図示しない光源によって光励起されるレーザ
活性媒質としてのＹＡＧロッド１１を備えている。この
ＹＡＧロッド１１の一方の端面には第１の反射体１２が
平行に離間対向して配設され、他方の端面には第２の反
射体１３が所定の角度、たとえば４５度の角度で傾斜し
て配設されている。この第２の反射体１３の上記ＹＡＧ
ロッド１１の他方の端面に対向する一方の面は、所定の
コーティングを施すなどして上記ＹＡＧロッド１１から
出力される波長が１０６４ｒ＋ｍの基本波ｗ１のレーザ
光を反射するとともに、後述する波長が５３２ ｎｍの
２倍波ｗ２のレーザ光を透過する第１の反射面１３ａに
形成されている。
上記第２の反射体１３の第１の反射面１３ａで反射した
基本波ｗ１のレーザ光の光路（第１の光路とする）上に
はその基本波ｗ１のレーザ光を２倍波ｗ２のレーザ光に
変換する波長変換素子としての２倍波発生用非線型結晶
１４（以下５ＨＧ１４とする）が配設されている。この
ＳＨＧ１４で変換された２倍波ｗ２のレーザ光は第３の
反射体１５で反射し、上記５ＨＧ１４と第２の反射体１
３とを通過する。この第２の反射体１３を通過した２倍
波ｗ２のレーザ光の光路上には、その２倍波ｗ２のレー
ザ光を波長が２Ｈｎａ＋の４倍波ｗ４のレーザ光に変換
する波長変換素子としての４倍波発生用非線型結晶１６
（以下ＦＨＧ１６とする）が配設されている。このＦＨ
Ｇ１６を透過した４倍波ｗ４のレーザ光は、この４倍波
Ｗ４のレーザ光の光路（第２の光路とする）上に配設さ
れた第４の反射体１７で反射し、再度上記ＦＨＧ１６を
透過して上記第２の他方の面に形成された第２の反射面
１３ｂで反射して出力されるようになっている。すなわ
ち、上記第２の反射体１３の第２の反射面１３ｂは４倍
波Ｗ４のレーザ光だけを反射し、２倍波ｗ２や基本波Ｗ
１のレーザ光は透過するようコーティングなどによって
表面処理がなされている。
基本波ｗ１のレーザ光の光路（第１の光路とする）上に
はその基本波ｗ１のレーザ光を２倍波ｗ２のレーザ光に
変換する波長変換素子としての２倍波発生用非線型結晶
１４（以下５ＨＧ１４とする）が配設されている。この
ＳＨＧ１４で変換された２倍波ｗ２のレーザ光は第３の
反射体１５で反射し、上記５ＨＧ１４と第２の反射体１
３とを通過する。この第２の反射体１３を通過した２倍
波ｗ２のレーザ光の光路上には、その２倍波ｗ２のレー
ザ光を波長が２Ｈｎａ＋の４倍波ｗ４のレーザ光に変換
する波長変換素子としての４倍波発生用非線型結晶１６
（以下ＦＨＧ１６とする）が配設されている。このＦＨ
Ｇ１６を透過した４倍波ｗ４のレーザ光は、この４倍波
Ｗ４のレーザ光の光路（第２の光路とする）上に配設さ
れた第４の反射体１７で反射し、再度上記ＦＨＧ１６を
透過して上記第２の他方の面に形成された第２の反射面
１３ｂで反射して出力されるようになっている。すなわ
ち、上記第２の反射体１３の第２の反射面１３ｂは４倍
波Ｗ４のレーザ光だけを反射し、２倍波ｗ２や基本波Ｗ
１のレーザ光は透過するようコーティングなどによって
表面処理がなされている。
なお、ＹＡＧロッド１１と第１の反射体１２との間には
Ｑスイッチ１８が設けられている。
Ｑスイッチ１８が設けられている。
このように構成されたレーザ装置によれば、ＹＡＧロッ
ド１１から出力された基本波ｗ１のレーザ光は第２の反
射体１３の第１の反射面１３ａで反射して５ＨＧ１４に
入射し、ここで２倍波ｗ２のレーザ光に変、換される。
ド１１から出力された基本波ｗ１のレーザ光は第２の反
射体１３の第１の反射面１３ａで反射して５ＨＧ１４に
入射し、ここで２倍波ｗ２のレーザ光に変、換される。
その２倍波ｗ２のレーザ光は第３の反射体１５で反射し
、上記５ＨＧ１４と第２の反射体１３とを透過してＦＨ
０１６に入射する。それによって２倍波ｗ２のレーザ光
は４倍波ｗ４のレーザ光に変換される。
、上記５ＨＧ１４と第２の反射体１３とを透過してＦＨ
０１６に入射する。それによって２倍波ｗ２のレーザ光
は４倍波ｗ４のレーザ光に変換される。
そして、その４倍波ｗ４のレーザ光は第４の反射体１７
で反射し、上記ＦＨ０１６を透過して第２の反射体１３
の第２の反射面１３ｂに到り、この第２の反射面１３ｂ
で反射して出力されることになる。
で反射し、上記ＦＨ０１６を透過して第２の反射体１３
の第２の反射面１３ｂに到り、この第２の反射面１３ｂ
で反射して出力されることになる。
上記第２の反射体１３の他方の面１３ｂに到達するレー
ザ光は、ＦＨ０１６を透過する２倍波ｗ２のレーザ完全
てが４倍波ｗ４のレーザ光に変換されるものでなく、４
倍波ｗ４のレーザ光に変換されない２倍波ｗ２のレーザ
光も含まれている。
ザ光は、ＦＨ０１６を透過する２倍波ｗ２のレーザ完全
てが４倍波ｗ４のレーザ光に変換されるものでなく、４
倍波ｗ４のレーザ光に変換されない２倍波ｗ２のレーザ
光も含まれている。
すると、その２倍波ｗ２のレーザ光は第２の反射体１３
と５ＨＧ１４とを透過して第３の反射体１５で反射して
再び第２の反射体１３を透過してＦＨ０１６に到るとい
う経路が繰返されることになるから、２倍波ｗ２のレー
ザ光はとんどは４倍波ｗ４のレーザ光に変換されて出力
されることになる。つまり、２倍波ｗ２のレーザ光を無
駄なく４倍波ｗ４のレーザ光に変換することができるか
ら、４倍波ｗ４のレーザ光を高出力で、しかも高効率で
発生させることができる。
と５ＨＧ１４とを透過して第３の反射体１５で反射して
再び第２の反射体１３を透過してＦＨ０１６に到るとい
う経路が繰返されることになるから、２倍波ｗ２のレー
ザ光はとんどは４倍波ｗ４のレーザ光に変換されて出力
されることになる。つまり、２倍波ｗ２のレーザ光を無
駄なく４倍波ｗ４のレーザ光に変換することができるか
ら、４倍波ｗ４のレーザ光を高出力で、しかも高効率で
発生させることができる。
なお、上記一実施例ではＹＡＧレーザに適用した場合に
ついて説明したが、色素レーザなど他のレーザにも適用
することができること無論である。
ついて説明したが、色素レーザなど他のレーザにも適用
することができること無論である。
また、基本波のレーザ光は２倍波から４倍波でなく、３
倍波に変換するようにしてもよく、その点はなんら限定
されない。
倍波に変換するようにしてもよく、その点はなんら限定
されない。
［発明の効果］
以上述べたようにこの発明は、波長変換素子で所定の波
長に変換されなかった基本波のレーザ光を上記波長変換
素子に繰返して通すようにした。
長に変換されなかった基本波のレーザ光を上記波長変換
素子に繰返して通すようにした。
したがって、基本波のレーザ光を無駄なく所定の波長に
変換することができ、るから、所定の波長のレーザ光を
高出力で、しかも効率よく出力させることができる。
変換することができ、るから、所定の波長のレーザ光を
高出力で、しかも効率よく出力させることができる。
第１図はこの発明の一実施例を示すレーザ装置の概略的
構成図、第２図は従来のレーザ装置の概略的構成図であ
る。 １１・・・ＹＡＧロッド（レーザ活性媒質）１２．１３
．１５．１７・・・第１乃至第４の反射体、１４・・・
２倍波発生用非線型結晶（第１の波長変換素子）、１６
・・・４倍波発生用非線型結晶（第２の波長変換素子）
。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
構成図、第２図は従来のレーザ装置の概略的構成図であ
る。 １１・・・ＹＡＧロッド（レーザ活性媒質）１２．１３
．１５．１７・・・第１乃至第４の反射体、１４・・・
２倍波発生用非線型結晶（第１の波長変換素子）、１６
・・・４倍波発生用非線型結晶（第２の波長変換素子）
。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
Claims (1)
- レーザ活性媒質と、このレーザ活性媒質の一端側に対向
して配設された第１の反射体と、上記レーザ活性媒質の
他端側に所定の角度で傾斜して配設され一方の面が上記
レーザ活性媒質から出力される基本波のレーザ光だけを
反射して他の波長のレーザ光を透過する第１の反射面に
形成された第２の反射体と、この第２の反射体の第１の
反射面で反射した基本波のレーザ光を第１の波長のレー
ザ光に変換する第１の波長変換素子と、この第１の波長
変換素子で変換された第１の波長のレーザ光を反射して
上記上記第２の反射体の第１の反射面へ導く第３の反射
体と、この第３の反射体で反射して上記第２の反射体を
透過した第１の波長のレーザ光を第２の波長のレーザ光
に変換する第２の波長変換素子と、この第２の波長変換
素子で変換された第２の波長のレーザ光を上記第２の反
射体の他方の面に形成された上記第２の波長のレーザ光
だけを反射する第２の反射面に導く第４の反射体とを具
備したことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31129188A JPH02156690A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31129188A JPH02156690A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02156690A true JPH02156690A (ja) | 1990-06-15 |
Family
ID=18015364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31129188A Pending JPH02156690A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02156690A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03248588A (ja) * | 1990-02-27 | 1991-11-06 | Ushio Inc | Ｙａｇレーザの第４高調波の発生装置 |
| US7760774B2 (en) | 2001-09-20 | 2010-07-20 | Klastech-Karpushko Laser Technologies Gmbh | Intracavity frequency conversion of laser radiation |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP31129188A patent/JPH02156690A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03248588A (ja) * | 1990-02-27 | 1991-11-06 | Ushio Inc | Ｙａｇレーザの第４高調波の発生装置 |
| US7760774B2 (en) | 2001-09-20 | 2010-07-20 | Klastech-Karpushko Laser Technologies Gmbh | Intracavity frequency conversion of laser radiation |
| US8315284B2 (en) | 2001-09-20 | 2012-11-20 | Karpushko Fedor V | Intracavity frequency conversion of laser radiation |
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