JP2000294138A - カラーｃｒｔ用フェースプレートの検査装置 - Google Patents
カラーｃｒｔ用フェースプレートの検査装置Info
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- H01J9/42—Measurement or testing during manufacture
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フェースプレートを、電子銃部と接合するこ
となく、それ単体の状態で検査することができ、効率よ
く検査することができるカラーＣＲＴ用フェースプレー
トの検査装置を提供すること。 【解決手段】 軟Ｘ線２１を発生する軟Ｘ線源２０の前
方に、軟Ｘ線２１を通過させる一対の軟Ｘ線窓２９，３
０を有する真空箱２８を配置し、この真空箱２８の後方
に検査対象であるカラーＣＲＴ用フェースプレート３５
を配置し、前記軟Ｘ線源２０から軟Ｘ線２１を真空箱２
８を経て前記フェースプレート３５に照射したときのフ
ェースプレート３５のＲＧＢ螢光面３７における発光状
態をカラーカメラ４３で観察し、このカラーカメラ４３
によって得られたカラー画像を画像処理装置４４におい
て解析するようにした。
となく、それ単体の状態で検査することができ、効率よ
く検査することができるカラーＣＲＴ用フェースプレー
トの検査装置を提供すること。 【解決手段】 軟Ｘ線２１を発生する軟Ｘ線源２０の前
方に、軟Ｘ線２１を通過させる一対の軟Ｘ線窓２９，３
０を有する真空箱２８を配置し、この真空箱２８の後方
に検査対象であるカラーＣＲＴ用フェースプレート３５
を配置し、前記軟Ｘ線源２０から軟Ｘ線２１を真空箱２
８を経て前記フェースプレート３５に照射したときのフ
ェースプレート３５のＲＧＢ螢光面３７における発光状
態をカラーカメラ４３で観察し、このカラーカメラ４３
によって得られたカラー画像を画像処理装置４４におい
て解析するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、カラーＣＲＴの
フェースプレートのＲＧＢ螢光面の発光状態を検査する
装置に関する。
フェースプレートのＲＧＢ螢光面の発光状態を検査する
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、一般的なカラーＣＲＴを示すも
ので、この図において、１はカラーカラーＣＲＴで、鉛
ガラスやバリウムガラス等よりなる管２内に三つ（また
は一つ）の電子銃３、集束電極４、集中電極５など収容
した電子銃部６と、この電子銃部６の全面開口側に溶接
などの手法で接合され、管２とともに密閉された真空空
間を形成するフェースプレート７とからなる。このフェ
ースプレート７は、管２と同様に鉛ガラスやバリウムガ
ラス等よりなり、前面のガラス面８と、Ｒ，Ｇ，Ｂ素子
をモザイク状に配置したＲＧＢ螢光面９と、シャド−マ
スク１０などよりなる。そして、ＲＧＢ螢光面９の裏面
側（電子銃部側）には、例えば厚さ５×１０-4〜５×１
０-6ｃｍ程度のアルミニウム膜よりなるメタルバック層
１１が形成されている。なお、図３において、１２，１
３は管２の外部近傍に配置される偏向ヨーク、色純度調
整コイルである。
ので、この図において、１はカラーカラーＣＲＴで、鉛
ガラスやバリウムガラス等よりなる管２内に三つ（また
は一つ）の電子銃３、集束電極４、集中電極５など収容
した電子銃部６と、この電子銃部６の全面開口側に溶接
などの手法で接合され、管２とともに密閉された真空空
間を形成するフェースプレート７とからなる。このフェ
ースプレート７は、管２と同様に鉛ガラスやバリウムガ
ラス等よりなり、前面のガラス面８と、Ｒ，Ｇ，Ｂ素子
をモザイク状に配置したＲＧＢ螢光面９と、シャド−マ
スク１０などよりなる。そして、ＲＧＢ螢光面９の裏面
側（電子銃部側）には、例えば厚さ５×１０-4〜５×１
０-6ｃｍ程度のアルミニウム膜よりなるメタルバック層
１１が形成されている。なお、図３において、１２，１
３は管２の外部近傍に配置される偏向ヨーク、色純度調
整コイルである。
【０００３】ところで、前記カラーＣＲＴ１におけるフ
ェースプレート７は、その製造工程において、アルミニ
ウムがＲＧＢ螢光面９に入り込むなどして損傷されるこ
とがあるので、その検査を行う必要があるが、従来にお
いては、図４に示すように、フェースプレート７を電子
銃部６に接合して完成されたカラーＣＲＴ１として動作
することができる状態で検査を行っていた。
ェースプレート７は、その製造工程において、アルミニ
ウムがＲＧＢ螢光面９に入り込むなどして損傷されるこ
とがあるので、その検査を行う必要があるが、従来にお
いては、図４に示すように、フェースプレート７を電子
銃部６に接合して完成されたカラーＣＲＴ１として動作
することができる状態で検査を行っていた。
【０００４】すなわち、図４に示すように、電子銃部６
とフェースプレート７とを接合して内部を真空状態とし
た完成されたカラーＣＲＴ１とし、その電子銃部６の各
部に適宜の駆動電圧を与え、電子銃３から電子線１４を
ＲＧＢ螢光面９に照射したときにおけるＲＧＢ螢光面９
のＲ，Ｇ，Ｂ各素子における発光状態を、カラーＣＣＤ
カメラ１５で観察し、このカラーＣＣＤカメラ１５の出
力を画像処理機能を有するコンピュータ１６において画
像処理することにより、ＲＧＢ螢光面９における損傷の
有無などを検査していた。なお、図４において、１７は
外部光を遮断するためのコーン形状のフードである。
とフェースプレート７とを接合して内部を真空状態とし
た完成されたカラーＣＲＴ１とし、その電子銃部６の各
部に適宜の駆動電圧を与え、電子銃３から電子線１４を
ＲＧＢ螢光面９に照射したときにおけるＲＧＢ螢光面９
のＲ，Ｇ，Ｂ各素子における発光状態を、カラーＣＣＤ
カメラ１５で観察し、このカラーＣＣＤカメラ１５の出
力を画像処理機能を有するコンピュータ１６において画
像処理することにより、ＲＧＢ螢光面９における損傷の
有無などを検査していた。なお、図４において、１７は
外部光を遮断するためのコーン形状のフードである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のカラーＣＲＴ用フェースプレートの検査手法では、
フェースプレート７を、それ単体で検査するのではな
く、カラーＣＲＴ１として完成された状態で検査するた
め、電子銃部６とフェースプレート７との接合作業や、
この接合後、内部を所定の真空状態にするための排気作
業が必要であるとともに、前記検査の結果、フェースプ
レート７に不具合があった場合、電子銃部６との接合を
切り離す必要があるとともに、この分離の際、不具合の
ない電子銃部６が損傷されるおそれがあるなど、検査効
率並び生産性がよくないといった課題があった。
来のカラーＣＲＴ用フェースプレートの検査手法では、
フェースプレート７を、それ単体で検査するのではな
く、カラーＣＲＴ１として完成された状態で検査するた
め、電子銃部６とフェースプレート７との接合作業や、
この接合後、内部を所定の真空状態にするための排気作
業が必要であるとともに、前記検査の結果、フェースプ
レート７に不具合があった場合、電子銃部６との接合を
切り離す必要があるとともに、この分離の際、不具合の
ない電子銃部６が損傷されるおそれがあるなど、検査効
率並び生産性がよくないといった課題があった。
【０００６】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、フェースプレートを、電子銃部
と接合することなく、それ単体の状態で検査することが
でき、効率よく検査することができるカラーＣＲＴ用フ
ェースプレートの検査装置（以下、フェースプレートの
検査装置という）を提供することである。
たもので、その目的は、フェースプレートを、電子銃部
と接合することなく、それ単体の状態で検査することが
でき、効率よく検査することができるカラーＣＲＴ用フ
ェースプレートの検査装置（以下、フェースプレートの
検査装置という）を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明のフェースプレートの検査装置は、軟Ｘ線
を発生する軟Ｘ線源の前方に、軟Ｘ線を通過させる一対
の軟Ｘ線窓を有する真空箱を配置し、この真空箱の後方
に検査対象であるフェースプレートを配置し、前記軟Ｘ
線源から軟Ｘ線を前記真空箱を経てフェースプレートに
照射したときのフェースプレートのＲＧＢ螢光面におけ
る発光状態をカラーカメラで観察し、このカラーカメラ
によって得られたカラー画像を画像処理装置において解
析するようにしている。
め、この発明のフェースプレートの検査装置は、軟Ｘ線
を発生する軟Ｘ線源の前方に、軟Ｘ線を通過させる一対
の軟Ｘ線窓を有する真空箱を配置し、この真空箱の後方
に検査対象であるフェースプレートを配置し、前記軟Ｘ
線源から軟Ｘ線を前記真空箱を経てフェースプレートに
照射したときのフェースプレートのＲＧＢ螢光面におけ
る発光状態をカラーカメラで観察し、このカラーカメラ
によって得られたカラー画像を画像処理装置において解
析するようにしている。
【０００８】上記フェースプレートの検査装置において
は、フェースプレートを、電子銃部と接合することな
く、それ単体の状態で検査することができる。したがっ
て、従来の検査手法と異なり、フェースプレートの一つ
一つに接合作業や真空排気作業を必要としないため、検
査効率が向上するとともに、カラーＣＲＴの生産性も向
上する。
は、フェースプレートを、電子銃部と接合することな
く、それ単体の状態で検査することができる。したがっ
て、従来の検査手法と異なり、フェースプレートの一つ
一つに接合作業や真空排気作業を必要としないため、検
査効率が向上するとともに、カラーＣＲＴの生産性も向
上する。
【０００９】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、図面を
参照しながら説明する。図１および図２は、この発明の
一つの実施の形態を示す。まず、図１は、この発明のフ
ェースプレートの検査装置の構成を概略的に示すもの
で、この図において、２０は軟Ｘ線２１を発散的に発生
する軟Ｘ線源で、熱陰極２２、対陰極２３やウェーネル
ト円筒２４などよりなるＸ線管２５をケース２６内に設
けたもので、熱陰極２３に電圧を印加したときに熱陰極
２３から発生する電子線をウェーネルト円筒２４で対陰
極２３表面で集束させて軟Ｘ線２１を発生させ、この軟
Ｘ線２１を前面側の軟Ｘ線窓２７から出射するように構
成されている。
参照しながら説明する。図１および図２は、この発明の
一つの実施の形態を示す。まず、図１は、この発明のフ
ェースプレートの検査装置の構成を概略的に示すもの
で、この図において、２０は軟Ｘ線２１を発散的に発生
する軟Ｘ線源で、熱陰極２２、対陰極２３やウェーネル
ト円筒２４などよりなるＸ線管２５をケース２６内に設
けたもので、熱陰極２３に電圧を印加したときに熱陰極
２３から発生する電子線をウェーネルト円筒２４で対陰
極２３表面で集束させて軟Ｘ線２１を発生させ、この軟
Ｘ線２１を前面側の軟Ｘ線窓２７から出射するように構
成されている。
【００１０】２８は前記軟Ｘ線源２０において発散され
る軟Ｘ線２１を後述するフェースプレート３５のＲＧＢ
螢光面３７全面に対して導くための真空箱で、横断面形
状が末広がりとなるように例えば二等辺三角形または正
三角形に形成されている。より詳しくは、この真空箱２
８は、軟Ｘ線窓２７に対向する一つの頂点部分およびこ
れに対向する底辺部分には、ベリリウムやアルミニウム
などの金属薄膜よりなる軟Ｘ線窓２９，３０が形成さ
れ、他の二つの辺部分３１，３２や他の部分（上面部お
よび底面部）は、アルミニウムや鉄あるいはガラスから
なる内材の外面に鉛やモリブデンなどＸ線シールド材を
被覆して構成され、全体として密閉構造となっている。
そして、この真空箱２８には、吸引ポンプ３３を有する
排気系統３４が接続され、適宜の真空状態になるように
構成されている。なお、真空箱２８は、その一方の軟Ｘ
線窓２９を、軟Ｘ線源２０の軟Ｘ線窓２７に可及的に近
づけ、間に形成される空気層が可及的に薄くなるように
するのがよい。
る軟Ｘ線２１を後述するフェースプレート３５のＲＧＢ
螢光面３７全面に対して導くための真空箱で、横断面形
状が末広がりとなるように例えば二等辺三角形または正
三角形に形成されている。より詳しくは、この真空箱２
８は、軟Ｘ線窓２７に対向する一つの頂点部分およびこ
れに対向する底辺部分には、ベリリウムやアルミニウム
などの金属薄膜よりなる軟Ｘ線窓２９，３０が形成さ
れ、他の二つの辺部分３１，３２や他の部分（上面部お
よび底面部）は、アルミニウムや鉄あるいはガラスから
なる内材の外面に鉛やモリブデンなどＸ線シールド材を
被覆して構成され、全体として密閉構造となっている。
そして、この真空箱２８には、吸引ポンプ３３を有する
排気系統３４が接続され、適宜の真空状態になるように
構成されている。なお、真空箱２８は、その一方の軟Ｘ
線窓２９を、軟Ｘ線源２０の軟Ｘ線窓２７に可及的に近
づけ、間に形成される空気層が可及的に薄くなるように
するのがよい。
【００１１】３５は検査対象のフェースプレートで、前
面のガラス面３６、ＲＧＢ螢光面３７およびシャド−マ
スク３８などよりなり、ＲＧＢ螢光面３７の裏面側には
メタルバック層３９が形成されており、前記図３および
図４に示したフェースプレート７と変わるところはな
い。このフェースプレート３５は、適宜の保持装置４０
によって、そのメタルバック層３９側を軟Ｘ線窓３０に
向けた状態で、水平となるように保持されている。
面のガラス面３６、ＲＧＢ螢光面３７およびシャド−マ
スク３８などよりなり、ＲＧＢ螢光面３７の裏面側には
メタルバック層３９が形成されており、前記図３および
図４に示したフェースプレート７と変わるところはな
い。このフェースプレート３５は、適宜の保持装置４０
によって、そのメタルバック層３９側を軟Ｘ線窓３０に
向けた状態で、水平となるように保持されている。
【００１２】４１は外部の光を遮断するためのフード
で、軟Ｘ線２１をＲＧＢ螢光面３７に照射したときに発
生する光４２に対して外部の光が悪影響を及ぼさないよ
うに外部光を遮断するためのもので、フェースプレート
３５のガラス面３６側に設けられる横断面形状が末窄ま
りとなるように例えば二等辺三角形または正三角形に形
成されており、その広がり部分は、ガラス面３６の周囲
を外部から遮光するように形成されている。このフード
４１は、例えば前記保持装置４０によって保持される。
で、軟Ｘ線２１をＲＧＢ螢光面３７に照射したときに発
生する光４２に対して外部の光が悪影響を及ぼさないよ
うに外部光を遮断するためのもので、フェースプレート
３５のガラス面３６側に設けられる横断面形状が末窄ま
りとなるように例えば二等辺三角形または正三角形に形
成されており、その広がり部分は、ガラス面３６の周囲
を外部から遮光するように形成されている。このフード
４１は、例えば前記保持装置４０によって保持される。
【００１３】４３は前記フード４１の末窄まり部分に設
けられるカラーカメラで、例えばカラーＣＣＤカメラで
ある。４４はこのカラーＣＣＤカメラ４３の出力を画像
処理する装置で、例えば画像処理機能を有するコンピュ
ータである。
けられるカラーカメラで、例えばカラーＣＣＤカメラで
ある。４４はこのカラーＣＣＤカメラ４３の出力を画像
処理する装置で、例えば画像処理機能を有するコンピュ
ータである。
【００１４】次に、上記構成のフェースプレートの検査
装置を用いて、フェースプレート３５を検査する方法に
ついて、図２をも参照しながら説明する。この図２は、
フェースプレートの検査工程を概略的に示す図で、図中
の符号４５は、電子銃部で、前記図３および図４に示し
た電子銃６と変わるところはない。
装置を用いて、フェースプレート３５を検査する方法に
ついて、図２をも参照しながら説明する。この図２は、
フェースプレートの検査工程を概略的に示す図で、図中
の符号４５は、電子銃部で、前記図３および図４に示し
た電子銃６と変わるところはない。
【００１５】図２（ａ）に示すように、フェースプレー
ト３５は、電子銃部４５とそれぞれ互いに別の工程で組
み立てられる。フェースプレート３５には、ガラス面３
６、ＲＧＢ螢光面３７、シャド−マスク３８などが設け
られ、ＲＧＢ螢光面３７の裏面側にはメタルバック層３
９が形成されている。
ト３５は、電子銃部４５とそれぞれ互いに別の工程で組
み立てられる。フェースプレート３５には、ガラス面３
６、ＲＧＢ螢光面３７、シャド−マスク３８などが設け
られ、ＲＧＢ螢光面３７の裏面側にはメタルバック層３
９が形成されている。
【００１６】前記構成のフェースプレート３５を、図１
に示す検査装置に示すように組み込む。そして、吸引ポ
ンプ３３を動作させて真空箱２８の内部を所定の真空状
態に保つ。この状態で、軟Ｘ線源２０に所定の電圧を供
給すると、軟Ｘ線２１が発散的に生じ、軟Ｘ線窓２７を
経て軟Ｘ線源２０から発散され、一方の軟Ｘ線窓２９を
経て末広がり状の真空箱２８内に入る。真空箱２８の内
部は所定の真空状態に維持されているので、軟Ｘ線２１
は空気などによって吸収されることなく、真空箱２８内
を末広がり状に進む。そして、真空箱２８内を進んだ軟
Ｘ線２１は、他方の軟Ｘ線窓３０を経てフェースプレー
ト３５のＲＧＢ螢光面３７に照射される（図２（ｂ）参
照）。
に示す検査装置に示すように組み込む。そして、吸引ポ
ンプ３３を動作させて真空箱２８の内部を所定の真空状
態に保つ。この状態で、軟Ｘ線源２０に所定の電圧を供
給すると、軟Ｘ線２１が発散的に生じ、軟Ｘ線窓２７を
経て軟Ｘ線源２０から発散され、一方の軟Ｘ線窓２９を
経て末広がり状の真空箱２８内に入る。真空箱２８の内
部は所定の真空状態に維持されているので、軟Ｘ線２１
は空気などによって吸収されることなく、真空箱２８内
を末広がり状に進む。そして、真空箱２８内を進んだ軟
Ｘ線２１は、他方の軟Ｘ線窓３０を経てフェースプレー
ト３５のＲＧＢ螢光面３７に照射される（図２（ｂ）参
照）。
【００１７】そして、前記ＲＧＢ螢光面３７への軟Ｘ線
２１の照射により、ＲＧＢ螢光が生じ、この光４２が末
窄まり状のフード４１内を通ってカラーＣＣＤカメラ４
３に入射し、前記ＲＧＢ螢光が観察される（図２（ｂ）
参照）。そして、この観察されたＲＧＢ螢光は、画像情
報としてコンピュータ４４に入力されて、従来と同様
に、ＲＧＢ螢光面３７における損傷の有無などが検査さ
れる。
２１の照射により、ＲＧＢ螢光が生じ、この光４２が末
窄まり状のフード４１内を通ってカラーＣＣＤカメラ４
３に入射し、前記ＲＧＢ螢光が観察される（図２（ｂ）
参照）。そして、この観察されたＲＧＢ螢光は、画像情
報としてコンピュータ４４に入力されて、従来と同様
に、ＲＧＢ螢光面３７における損傷の有無などが検査さ
れる。
【００１８】前記検査の結果、ＲＧＢ螢光面３７に異常
が認められないものについては、図２（ｃ）において実
線で示すように電子銃部４５と接合され、図２（ｄ）に
示すように、カラーＣＲＴ４６に仕上げられる。一方、
前記検査の結果、ＲＧＢ螢光面３７に異常が認められる
ものについては、図２（ｃ）において仮想線で示すよう
に、不良品として廃棄される。
が認められないものについては、図２（ｃ）において実
線で示すように電子銃部４５と接合され、図２（ｄ）に
示すように、カラーＣＲＴ４６に仕上げられる。一方、
前記検査の結果、ＲＧＢ螢光面３７に異常が認められる
ものについては、図２（ｃ）において仮想線で示すよう
に、不良品として廃棄される。
【００１９】上述したように、この発明のフェースプレ
ートの検査装置においては、ＲＧＢ螢光面３７にメタル
バック処理を施したフェースプレート３５をのＲＧＢ螢
光面３７に対して電子線を照射する代わりに、軟Ｘ線２
１を照射するようにしている。すなわち、フェースプレ
ート３５単体のみでその検査を行うことができる。した
がって、従来のこの種のフェースプレートの検査装置と
異なり、前記フェースプレート３５を電子銃部４５と接
合したり、それらの内部を真空排気する必要がなく、フ
ェースプレート３５の検査を容易に行える。
ートの検査装置においては、ＲＧＢ螢光面３７にメタル
バック処理を施したフェースプレート３５をのＲＧＢ螢
光面３７に対して電子線を照射する代わりに、軟Ｘ線２
１を照射するようにしている。すなわち、フェースプレ
ート３５単体のみでその検査を行うことができる。した
がって、従来のこの種のフェースプレートの検査装置と
異なり、前記フェースプレート３５を電子銃部４５と接
合したり、それらの内部を真空排気する必要がなく、フ
ェースプレート３５の検査を容易に行える。
【００２０】そして、この発明のフェースプレートの検
査装置においては、検査の結果、ＲＧＢ螢光面３７に異
常が認められるものについては、そのフェースプレート
３５のみを不良品として廃棄すればよいから、従来のよ
うに、一旦電子銃部と接合したフェースプレートを分離
するといった作業も不要になり、不良品の処理作業工数
を大幅に低減することができる。
査装置においては、検査の結果、ＲＧＢ螢光面３７に異
常が認められるものについては、そのフェースプレート
３５のみを不良品として廃棄すればよいから、従来のよ
うに、一旦電子銃部と接合したフェースプレートを分離
するといった作業も不要になり、不良品の処理作業工数
を大幅に低減することができる。
【００２１】また、軟Ｘ線源２０として、軟Ｘ線２１を
発散するものを用いた場合、軟Ｘ線２１を二次元方向に
走査することなく、フェースプレート３５のＲＧＢ螢光
面３７に照射することができ、好都合である。
発散するものを用いた場合、軟Ｘ線２１を二次元方向に
走査することなく、フェースプレート３５のＲＧＢ螢光
面３７に照射することができ、好都合である。
【００２２】なお、上記検査の間中、吸引ポンプ３３を
運転させる必要はなく、真空箱２８内が所定の真空状態
になった後は、所謂チップオフするようにしてもよい。
また、上記図１においては、フェースプレート３５を水
平に保持し、その上面から軟Ｘ線２１を、ＲＧＢ螢光面
３７に照射するようにしているが、フェースプレート３
５を垂直に保持し、水平方向から軟Ｘ線２１を、ＲＧＢ
螢光面３７に照射するようにしてもよい。
運転させる必要はなく、真空箱２８内が所定の真空状態
になった後は、所謂チップオフするようにしてもよい。
また、上記図１においては、フェースプレート３５を水
平に保持し、その上面から軟Ｘ線２１を、ＲＧＢ螢光面
３７に照射するようにしているが、フェースプレート３
５を垂直に保持し、水平方向から軟Ｘ線２１を、ＲＧＢ
螢光面３７に照射するようにしてもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上、説明したように、この発明のフェ
ースプレートの検査装置においては、従来のこの種の検
査装置を用いた場合と異なり、検査対象のフェースプレ
ートを、電子銃部と接合してカラーＣＲＴとすることな
く、フェースプレート単体のみでその検査を行うことが
できる。したがって、従来の検査手法と異なり、フェー
スプレートの一つ一つに接合作業や真空排気作業を必要
としないため、検査効率が向上するとともに、カラーＣ
ＲＴの生産性も向上する。
ースプレートの検査装置においては、従来のこの種の検
査装置を用いた場合と異なり、検査対象のフェースプレ
ートを、電子銃部と接合してカラーＣＲＴとすることな
く、フェースプレート単体のみでその検査を行うことが
できる。したがって、従来の検査手法と異なり、フェー
スプレートの一つ一つに接合作業や真空排気作業を必要
としないため、検査効率が向上するとともに、カラーＣ
ＲＴの生産性も向上する。
【図１】この発明のフェースプレートの検査装置の一例
を概略的に示す図である。
を概略的に示す図である。
【図２】フェースプレートの検査工程を概略的に示す図
である。
である。
【図３】カラーＣＲＴの一般的な構成を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図４】従来のフェースプレートの検査装置を示す図で
ある。
ある。
２０…軟Ｘ線源、２１…軟Ｘ線、２８…真空箱、２９，
３０…軟Ｘ線窓、３５…カラーＣＲＴ用フェースプレー
ト、３７…ＲＧＢ螢光面、４３…カラーカメラ、４４…
画像処理装置。
３０…軟Ｘ線窓、３５…カラーＣＲＴ用フェースプレー
ト、３７…ＲＧＢ螢光面、４３…カラーカメラ、４４…
画像処理装置。
Claims (1)
- 【請求項１】 軟Ｘ線を発生する軟Ｘ線源の前方に、軟
Ｘ線を通過させる一対の軟Ｘ線窓を有する真空箱を配置
し、この真空箱の後方に検査対象であるカラーＣＲＴ用
フェースプレートを配置し、前記軟Ｘ線源から軟Ｘ線を
前記真空箱を経てカラーＣＲＴ用フェースプレートに照
射したときのカラーＣＲＴ用フェースプレートのＲＧＢ
螢光面における発光状態をカラーカメラで観察し、この
カラーカメラによって得られたカラー画像を画像処理装
置において解析するようにしたことを特徴とするカラー
ＣＲＴ用フェースプレートの検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11103155A JP2000294138A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | カラーｃｒｔ用フェースプレートの検査装置 |
| US09/473,124 US6426770B1 (en) | 1999-04-09 | 1999-12-28 | Apparatus for inspecting face plate for color CRT |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11103155A JP2000294138A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | カラーｃｒｔ用フェースプレートの検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000294138A true JP2000294138A (ja) | 2000-10-20 |
Family
ID=14346624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11103155A Pending JP2000294138A (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | カラーｃｒｔ用フェースプレートの検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6426770B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000294138A (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3579252A (en) * | 1965-09-30 | 1971-05-18 | David M Goodman | Computer driven displays employing pattern recognition techniques |
| US5313542A (en) * | 1992-11-30 | 1994-05-17 | Breault Research Organization, Inc. | Apparatus and method of rapidly measuring hemispherical scattered or radiated light |
-
1999
- 1999-04-09 JP JP11103155A patent/JP2000294138A/ja active Pending
- 1999-12-28 US US09/473,124 patent/US6426770B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6426770B1 (en) | 2002-07-30 |
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