JP2006073433A - 表示装置の製造装置および表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】表示品位に優れた表示装置の製造装置および表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】表示装置は隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された前面基板11および背面基板12を有した外囲器と、前面基板の内面に設けられた複数の蛍光体層16およびメタルバック層20と、背面基板の内面に設けられているとともに、蛍光体層にそれぞれ対応した複数の電子放出素子と、を有している。表示装置を製造する際、背面基板12の外側からこの背面基板を介してメタルバック層20にレーザ光を照射し、メタルバック層で反射させたレーザ光を背面基板側の付着物100に照射させ、付着物を除去または変形させる。
【選択図】 図4
【解決手段】表示装置は隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された前面基板11および背面基板12を有した外囲器と、前面基板の内面に設けられた複数の蛍光体層16およびメタルバック層20と、背面基板の内面に設けられているとともに、蛍光体層にそれぞれ対応した複数の電子放出素子と、を有している。表示装置を製造する際、背面基板12の外側からこの背面基板を介してメタルバック層20にレーザ光を照射し、メタルバック層で反射させたレーザ光を背面基板側の付着物100に照射させ、付着物を除去または変形させる。
【選択図】 図4
Description
この発明は、表示装置の製造装置およびこの製造装置を用いた表示装置の製造方法に関する。
近年、陰極線管(以下、CRTと称する)に代わる次世代の軽量、薄型の様々な表示装置が開発されている。このような表示装置には、液晶の配向を利用して光の強弱を制御する液晶ディスプレイ(以下、LCDと称する)、プラズマ放電の紫外線により蛍光体を発光させるプラズマディスプレイパネル(以下、PDPと称する)、電界放出型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させるフィールドエミッションディスプレイ(以下、FEDと称する)、表面伝導型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させる表面伝導電子放出ディスプレイ(以下、SEDと称する)などがある。
例えばFEDやSEDでは、一般に、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有し、これらの基板は、矩形枠状の側壁を介して周辺部同士を互いに接合することにより真空の外囲器を構成している。前面基板の内面には蛍光体スクリーンが形成され、背面基板の内面には蛍光体を励起して発光させる電子放出源として多数の電子放出素子が設けられている。
また、背面基板および前面基板に加わる大気圧荷重を支えるために、これら基板の間には複数の支持部材が配設されている。背面基板側の電位はほぼアース電位であり、蛍光面にはアノード電圧が印加される。そして、蛍光体スクリーンを構成する赤、緑、青の蛍光体に電子放出素子から放出された電子ビームを照射し、蛍光体を発光させることによって画像を表示する。
上記FEDやSEDを製造する場合、矩形状のガラス板上に、蛍光体、メタルバック層、およびバリウムからなるゲッター膜等、所定のパターンを形成し、前面基板を完成させる。背面基板において、矩形状のガラス板上に電子放出素子等、所定のパターンを形成し、背面基板を完成させる。その後、これら背面基板および前面基板を真空中で貼り合せることにより、FEDやSEDが製造される(例えば、特許文献1参照)。
特開2002−319346号公報
上記したFEDやSEDの製造工程において、前面基板を構成するゲッター膜、メタルバック層、蛍光体、および配線等の剥離物、さらに生産工程での混入異物などが背面基板上に付着する場合がある。また、背面基板上に、針状や突起状の導電性形成物が形成される場合もある。これにより、画像を表示する際、背面基板上に付着した付着物や導電性形成物としての不要電子放出源を基点として電子が放出されるため、電子放出素子から放出された電子ビームが照射された蛍光体から放出される光以外に不要な発光が生じてしまい、表示品位が低下してしまう。また、不要な発光が生じたFEDやSEDをリペアする場合、FEDやSEDを分解してリペアすることは困難である。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、表示品位に優れた表示装置の製造装置および表示装置の製造方法を提供することにある。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、表示品位に優れた表示装置の製造装置および表示装置の製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の態様に係る表示装置の製造装置は、隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された前面基板および背面基板を有した外囲器と、前記前面基板の内面に設けられた複数の蛍光体層およびメタルバック層と、前記背面基板の内面に設けられているとともに、前記蛍光体層にそれぞれ対応した複数の電子放出素子と、を有した表示装置の製造装置において、前記背面基板に対向して配置されているとともに、前記背面基板を介して前記メタルバック層にレーザ光を照射し、前記メタルバック層で反射させたレーザ光を前記背面基板側の不要電子放出源に照射させ、前記不要電子放出源を除去または変形させるレーザ照射部を備えていることを特徴としている。
また、本発明の他の態様に係る表示装置の製造方法は、隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された前面基板および背面基板を有した外囲器と、前記前面基板の内面に設けられた複数の蛍光体層およびメタルバック層と、前記背面基板の内面に設けられているとともに、前記蛍光体層にそれぞれ対応した複数の電子放出素子と、を有した表示装置の製造方法において、前記背面基板の外側から前記背面基板を介して前記メタルバック層にレーザ光を照射し、前記メタルバック層で反射させたレーザ光を前記背面基板側の不要電子放出源に照射させ、前記不要電子放出源を除去または変形させることを特徴としている。
この発明によれば、表示品位に優れた表示装置の製造装置および表示装置の製造方法を提供することができる。
以下、図面を参照しながらこの発明に係る表示装置をSEDに適用した実施の形態について詳細に説明する。
図1ないし図3に示すように、SEDは、絶縁基板としてそれぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板11、および背面基板12を備え、これらの基板は所定の隙間を置いて対向配置されている。そして、前面基板11および背面基板12は、矩形枠状の側壁13を介して周縁部同士が接合され、内部が真空状態に維持された扁平な矩形状の真空外囲器10を構成している。
図1ないし図3に示すように、SEDは、絶縁基板としてそれぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板11、および背面基板12を備え、これらの基板は所定の隙間を置いて対向配置されている。そして、前面基板11および背面基板12は、矩形枠状の側壁13を介して周縁部同士が接合され、内部が真空状態に維持された扁平な矩形状の真空外囲器10を構成している。
真空外囲器10の内部には、前面基板11および背面基板12に加わる大気圧荷重を支えるため、複数のスペーサ14が設けられている。スペーサ14としては、板状あるいは柱状のスペーサ等を用いることができる。
前面基板11の内面上には、画像表示面として、赤、緑、青の複数の蛍光体層16とマトリクス状の黒色遮光層17とを有した蛍光体スクリーン15が形成されている。これらの蛍光体層16はストライプ状あるいはドット状に形成してもよい。この蛍光体スクリーン15上には、アルミニウム膜等の金属膜でメタルバック層20が形成され、更に、メタルバック層に重ねてゲッター膜22が形成されている。ゲッター膜22は、チタンやバリウム等で形成されている。
背面基板12の内面上には、それぞれ対応する蛍光体層16を励起する電子源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子18が設けられている。これらの電子放出素子18は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子18は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、背面基板12の内面には、電子放出素子18に電位を供給する多数本の第1配線21aおよび第2配線21bがマトリクス状に設けられ、その端部は真空外囲器10の外部に引出されている。第1配線21aおよび第2配線21bは絶縁層19を介して設けられている。
上記したようなSEDでは、画像を表示する場合、蛍光体スクリーン15およびメタルバック層20にアノード電圧Vaを印加する。通常、アノード電圧Vaは数kVから十数kVであるため、前面基板11および背面基板12間には電位差が生じる。そして、電子放出素子18から放出された電子ビームをアノード電圧により加速して蛍光体スクリーン15へ衝突させる。これにより、蛍光体スクリーン15の蛍光体層16が励起されて発光し、カラー画像を表示する。
次に、上記のように構成されたSEDの製造装置および製造方法について詳述する。
図4に示すように、SEDを製造する製造装置1は、第1ステージ2、第2ステージ3、取得部としてのCCDカメラ4、レーザ照射部5、制御部6、およびモニタ7を有している。第1ステージ2は図示しない移動機構により上下方向に移動可能であり、この第1ステージには、CCDカメラ4が設けられている。このため、CCDカメラ4は、前面基板11に接近可能であり、前面基板の面方向に移動可能である。
図4に示すように、SEDを製造する製造装置1は、第1ステージ2、第2ステージ3、取得部としてのCCDカメラ4、レーザ照射部5、制御部6、およびモニタ7を有している。第1ステージ2は図示しない移動機構により上下方向に移動可能であり、この第1ステージには、CCDカメラ4が設けられている。このため、CCDカメラ4は、前面基板11に接近可能であり、前面基板の面方向に移動可能である。
レーザ照射部5は、レーザ光を出力するレーザ発振器5a、レーザ発振器から出力されたレーザ光を伝送する光ファイバ5b、および光ファイバで伝送されたレーザ光を集光する光学系としてのレンズ5cを有している。また、レーザ照射部5は回動機構5dを有している。第2ステージ3には、回動機構5dおよび回動機構に固定されたレンズ5cが設けられている。このため、レンズ5cは背面基板12の面方向に移動可能である。また、レーザ光の照射角度(光軸)を任意の角度に設定可能である。制御部6は、CCDカメラ4によって撮影された画像を処理および格納するとともに、レーザの照射条件を制御する。モニタ7は、制御部6で処理された画像を表示する。
次に、上記のように構成された製造装置1によって製造されるSEDの製造方法について説明する。
まず、前面基板11および背面基板12が接合された真空外囲器10を用意する。この実施の形態において、前面基板11および背面基板12間の隙間は1.6mmであり、真空外囲器10の背面基板上、例えば第2配線21b上にSE(Stray Emission)源である不要電子放出源として、付着物100が付着している場合について説明する。ここで、この付着物100は、前面基板11および背面基板12を接合する際、またはこれらを接合した後に、前面基板を構成するゲッター膜22、メタルバック層20、蛍光体層16、および図示しない配線等が剥離または生産工程で異物が混入したものである。
まず、前面基板11および背面基板12が接合された真空外囲器10を用意する。この実施の形態において、前面基板11および背面基板12間の隙間は1.6mmであり、真空外囲器10の背面基板上、例えば第2配線21b上にSE(Stray Emission)源である不要電子放出源として、付着物100が付着している場合について説明する。ここで、この付着物100は、前面基板11および背面基板12を接合する際、またはこれらを接合した後に、前面基板を構成するゲッター膜22、メタルバック層20、蛍光体層16、および図示しない配線等が剥離または生産工程で異物が混入したものである。
次に、用意した真空外囲器10を第1ステージ2および第2ステージ3間に配置する。ここで、レーザ照射部5は背面基板12に対向して配置されている。より詳しくは、レンズ5cを背面基板12に対向して配置している。その後、真空外囲器10にアノード電圧Vaを印加する。すると、前面基板11および背面基板12間の電位差により、第2配線21b上の付着物100が基点となり、電子が放出され、この付着物付近の蛍光体層16は発光する。そして、アノード電圧Vaを印加した状態で、CCDカメラ4を前面基板11に接近させるとともに、前面基板の面方向に移動させる。これにより、CCDカメラ4は、発光した蛍光体層16の画像を取得(撮影)するとともに、発光の基点となる付着物100が存在すると思われる位置情報を取得する。CCDカメラ4が取得した情報は制御部6に伝送される。
CCDカメラ4から情報が伝送されると、制御部6は、モニタ7に蛍光体層16の画像の情報を伝送する。そして、取得した画像をモニタ7に表示させることにより、付着物100が存在すると思われる位置を目視により確認することができる。
続いて、取得した付着物100の位置情報に基づき、この付着物100下方の背面基板12付近まで、レンズ5cを移動させる。次いで、アノード電圧Vaの印加を止め、レーザ発振器5aによりレーザ光を発振させる。これにより、レーザ光は背面基板12を透過し、メタルバック層20に照射される。より詳しくは、レーザ光をレンズ5cで集光させてメタルバック層20に照射することにより、このメタルバック層で反射させたレーザ光が付着物100に照射される。
この実施の形態において、背面基板12内面側でのレーザ光の集光径は直径約0.2mmである。なお、レーザ光の集光径が直径0.05mm以上であれば、レーザ光を所望の集光径で照射することができる。レーザ光の照射範囲は蛍光体層16の不要発光部位を中心として半径0.2mm、より好ましくは0.15mmの範囲内とする。レーザ光の照射時間において、1パルスの時間は約100nsないし200ns、レーザ光の照射エネルギは約1mJにそれぞれ設定した。レーザ光の照射時間および照射エネルギは付着物100の状態に応じて設定され、適当なオーバーラップを保ちながら照射される。なお、回動機構5dは動作させずにレーザ光を照射した。
背面基板12外側から照射されたレーザ光の背面基板外面側でのエネルギ密度をd1、背面基板を透過したレーザ光のメタルバック層20表面でのエネルギ密度をd2、メタルバック層で反射されたレーザ光の背面基板内面側でのエネルギ密度をd3とすると、次の関係式が成立つ。
d1<d2<d3
上記したようにレーザ光を照射することにより、付着物100を蒸発(ガス化)し、第2配線21b上から少なくとも部分的に除去または変形させる。背面基板12上に複数の付着物100が付着している場合は、上記した方法により順次付着物を除去する。上記した工程により、不要発光の無いSEDが完成する。
d1<d2<d3
上記したようにレーザ光を照射することにより、付着物100を蒸発(ガス化)し、第2配線21b上から少なくとも部分的に除去または変形させる。背面基板12上に複数の付着物100が付着している場合は、上記した方法により順次付着物を除去する。上記した工程により、不要発光の無いSEDが完成する。
以上のように構成された、SEDの製造装置および製造方法によれば、第2配線21b上等、背面基板12上に付着した付着物100にレーザ光を照射し、付着物を少なくとも部分的に除去または変形させることができる。より詳しくは、背面基板12の外側から、レンズ5cによってレーザ光を集光させてメタルバック層20に照射し、このメタルバック層で反射されたレーザ光を付着物100に照射させ、付着物を除去または変形させている。これにより、SEDに接触することなく、背面基板12の外部からリペアすることができ、電子ビームが照射された蛍光体から放出される光以外の不要な発光を防ぐことができる。
レーザ光の波長は、背面基板12を透過する波長に設定されているため背面基板の外側からレーザ光を照射する場合でも、背面基板を害する(溶解させる)ことなくレーザ光を照射することができる。
また、上記した説明ではアノード電圧Vaをレーザ光照射時を除いて印加しているが、付着物100の位置の確認時の他、レーザ光照射時も印加しても良い。
また、上記した説明ではアノード電圧Vaをレーザ光照射時を除いて印加しているが、付着物100の位置の確認時の他、レーザ光照射時も印加しても良い。
レーザ光は付着物100に合わせた照射角度で照射することも可能である。本実施の形態においては、付着物100が第2配線21b上に付着した場合、メタルバック層20表面に対する法線方向からレーザ光を照射したが、付着物100が背面基板12上の傾斜した個所、例えばスペーサ14の側面や第2配線21bの側面に付着していると思われる場合は、回動機構5dにより、レーザ光の照射角度を調整し、斜め方向からレーザ光を照射すれば良い。このため、付着物100が背面基板12側のいかなる個所に付着している場合でも、角度を調整してレーザ光を照射することにより、付着物を除去でき、不要発光を防ぐことができる。
また、本願発明者等が調査したところ、レーザ光の照射範囲を発光点を中心として半径0.2mm、より好ましくは0.15mmの範囲内とすることにより、付着物100を効率良く除去できることが分かった。
結像方式を用いて付着物100にレーザ光を照射することにより、開口数(NA)を大きく取ることができる。すなわち、NAが大きくなると、d1<d2<d3の差が大きくなり、レーザ光の断面積が大きいほどエネルギ密度が小さくなるため光路の途中での無用なダメージを避けることができる。
また、結像方式を用いて付着物100にレーザ光を照射することにより、レーザ光の照射エリアを明確にすることができる。すなわち、光ファイバ5bの出口からはエネルギ密度が均一な円形のビームが出てくるので、結像方式を用いれば加工点でも均一なエネルギ密度での照射が可能になるためである。なお、結像方式を用いずに、単に集光するだけでは、中心のエネルギが強く、中心から周辺にかけて徐々に弱くなっていく分布になるため、均一条件での照射が難しい。
光ファイバ5bで伝送されたレーザ光はレンズ5cを介するとともに背面基板12を透過し、さらにメタルバック層20で反射され、再度背面基板12の内面側の付着物100が存在すると思われる位置に結像して照射される。すなわち、結像位置は、レーザ光が最初に背面基板12の内面に当たる位置より3.2mm(前面基板11および背面基板12間の往復分)デフォーカスされた位置となる。
また、結像方式において、上記d1<d2<d3の関係を加味したダメージしきい値は、背面基板12の外側から照射されたときの背面基板が一番大きく、メタルバック層20で反射され背面基板の内側から照射されたときの背面基板、メタルバック層と順に小さい。このため、メタルバック層20にダメージが入らない条件でレーザ光を照射すれば、背面基板12を低エネルギ密度で透過するため、背面基板へのダメージを防止することができ、しかも付着物100が存在する背面基板内面には十分なエネルギ密度でレーザ光を照射できる。
ここで、焦点の位置をレーザ光が最初に背面基板12の内面に当たる位置とした場合(集光したレーザ光を背面基板の内面に直接照射した場合)について説明する。この場合、ダメージしきい値を超えたエネルギ密度の高いレーザ光が背面基板12内面に照射されることになる。このようなレーザ光が背面基板12内面側の付着物100や各種配線、絶縁膜等に照射された場合、付着物は消滅するが、各種配線や絶縁膜等は飛散してしまう。上記したことから、レーザ光が照射された個所の配線や絶縁膜等は除去されてしまうため、レーザ光の焦点の位置を背面基板12内面に設定して照射する方法は望ましくない。
次に、前面基板11の外面側にレーザ照射部を配置して付着物100にレーザ光を照射する場合について説明する。この場合、前面基板11およびメタルバック層20を透過するようレーザ光の照射条件を設定する必要があるが、メタルバック層においてはレーザ光が透過しにくい。このため、前面基板11外面側からレーザ光を照射する方法は望ましくない。
上記したことから、背面基板12上に付着物100が付着した場合であっても、SEDをリペアすることができ、表示品位に優れたSEDを得ることができる。
上記したことから、背面基板12上に付着物100が付着した場合であっても、SEDをリペアすることができ、表示品位に優れたSEDを得ることができる。
なお、この発明は、上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、付着物100を消滅させるために上記のようにレーザ光を照射したが、アノード電圧Va印加時に発光する画素を滅点化させるために、電子放出素子18にレーザ光を照射し、電子放出素子を破壊しても良い。不要電子放出源は付着物100に限らず、配線表面の隆起等、前面基板11および背面基板12間の隙間を小さくさせる要因となるものが考えられ、例えば背面基板12上に形成された針状や突起状の導電性形成物等が考えられる。本発明は、SEDの製造装置および製造方法に限定されることなく、FEDの製造装置および製造方法にも適用することができる。
1…製造装置、2…第1ステージ、3…第2ステージ、4…CCDカメラ、5…レーザ照射部、5a…レーザ発振器、5b…光ファイバ、5c…レンズ、5d…回動機構、6…制御部、7…モニタ、10…真空外囲器、11…前面基板、12…背面基板、15…蛍光体スクリーン、16…蛍光体層、18…電子放出素子、20…メタルバック層、21a…第1配線、21b…第2配線、22…ゲッター膜、100…付着物。
Claims (7)
- 隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された前面基板および背面基板を有した外囲器と、前記前面基板の内面に設けられた複数の蛍光体層およびメタルバック層と、前記背面基板の内面に設けられているとともに、前記蛍光体層にそれぞれ対応した複数の電子放出素子と、を有した表示装置の製造装置において、
前記背面基板に対向して配置されているとともに、前記背面基板を介して前記メタルバック層にレーザ光を照射し、前記メタルバック層で反射させたレーザ光を前記背面基板側の不要電子放出源に照射させ、前記不要電子放出源を除去または変形させるレーザ照射部を備えていることを特徴とする表示装置の製造装置。 - 前記前面基板に対向して配置されているとともに、前記不要電子放出源の位置情報を取得する取得部をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造装置。
- 前記レーザ照射部は、
レーザ光を出力するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力されたレーザ光を集光して前記メタルバック層に照射する光学系と、を備えていることを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造装置。 - 隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された前面基板および背面基板を有した外囲器と、前記前面基板の内面に設けられた複数の蛍光体層およびメタルバック層と、前記背面基板の内面に設けられているとともに、前記蛍光体層にそれぞれ対応した複数の電子放出素子と、を有した表示装置の製造方法において、
前記背面基板の外側から前記背面基板を介して前記メタルバック層にレーザ光を照射し、前記メタルバック層で反射させたレーザ光を前記背面基板側の不要電子放出源に照射させ、前記不要電子放出源を除去または変形させることを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記レーザ光を照射する際、前記レーザ光を前記不要電子放出源に合わせた照射角度で照射することを特徴とする請求項4に記載の表示装置の製造方法。
- 前記レーザ光を照射する際、前記不要電子放出源が基点となり生じる前記蛍光体層の不要発光部位を中心に半径0.2mmの範囲内に照射することを特徴とする請求項4に記載の表示装置の製造方法。
- 前記前面基板および背面基板間にアノード電圧を印加した状態でレーザ光を照射することを特徴とする請求項4に記載の表示装置の製造方法。
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