JP2005197048A - 画像表示装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】第1および第2基板間で発生する放電を抑制し、信頼性および表示品位の向上した画像表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 画像表示面が形成された第1基板10と、複数の電子放出源が設けられた第2基板12とが対向配置されている。第1および第2基板間には、これらの基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサ30a、30bが配設されている。各スペーサは、軟化温度の異なる少なくとも2種類の材料により形成され、第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部は軟化温度の高い材料で形成されている。
【選択図】 図3
【解決手段】 画像表示面が形成された第1基板10と、複数の電子放出源が設けられた第2基板12とが対向配置されている。第1および第2基板間には、これらの基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサ30a、30bが配設されている。各スペーサは、軟化温度の異なる少なくとも2種類の材料により形成され、第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部は軟化温度の高い材料で形成されている。
【選択図】 図3
Description
この発明は、対向配置された基板と、基板間に配設された複数のスペーサと、を備えた画像表示装置およびその製造方法に関する。
近年、陰極線管(以下、CRTと称する)に代わる次世代の軽量、薄型の表示装置として様々な平面型の画像表示装置が注目されている。例えば、平面表示装置として機能するフィールド・エミッション・デバイス(以下、FEDと称する)の一種として、表面伝導型電子放出装置(以下、SEDと称する)の開発が進められている。
このSEDは、所定の間隔をおいて対向配置された第1基板および第2基板を備え、これらの基板は矩形状の側壁を介して周辺部を互いに接合することにより真空外囲器を構成している。第1基板の内面には3色の蛍光体層が形成され、第2基板の内面には、蛍光体を励起する電子源として、各画素に対応する多数の電子放出素子が配列されている。各電子放出素子は、電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の電極等で構成されている。
前記SEDにおいて、第1基板および第2基板間の空間、すなわち真空外囲器内は、高い真空度に維持されることが重要となる。真空度が低い場合、電子放出素子の寿命、ひいては、装置の寿命が低下してしまう。また、第1基板および第2基板間に作用する大気圧荷重を支持し基板間の隙間を維持するため、両基板間には、多数の板状あるいは柱状のスペーサが配置されている(例えば、特許文献1)。SEDにおいて、画像を表示する場合、蛍光体層にアノード電圧が印加され、電子放出素子から放出された電子ビームをアノード電圧により加速して蛍光体層へ衝突させることにより、蛍光体が発光して画像を表示する。実用的な表示特性を得るためには、通常の陰極線管と同様の蛍光体を用い、アノード電圧を数kV以上望ましくは5kV以上に設定することが必要となる。
特開2001−272926号公報
上述のような平面型の画像表示装置では、前面板と背面板との間に5kV以上の高電圧を印可することで、背面板に配列された電子放出素子から放出される電子を加速し、前面板の蛍光体に到達させている。表示画像の輝度はこの加速電圧に依存するため、高い電圧(高耐電圧)が望ましい。しかしながら、第1基板と第2基板との間の隙間は、解像度や支持部材の特性、製造性などの観点から、1〜2mm程度と比較的小さく設定される。そのため、高電圧を印加した場合、第1基板と第2基板との小さい隙間に強電界が形成されることを避けられず、両基板間の放電(絶縁破壊)が起き易くなる。放電が起こると、電子放出素子や蛍光面、駆動回路の破壊あるいは劣化が引き起こされる可能性がある。このような不良発生につながる放電は製品としては許容されない。
放電無く高い電圧を維持できる様にするためには、スペーサと第1基板あるいは第2基板とのギャップを小さくすること、また、第1基板と第2基板との間の空間に浮遊するダストが無いこと、が求められる。しかしながら、第1基板と第2基板との間には多数のスペーサが設けられているため、全てのスペーサについて高さを均一とし基板とのギャップを無くすことは難しい。また、多数のスペーサを形成した後、これを同時に研磨し高さを揃えることも考えられるが、この場合、ダストを完全に除去することが困難となる。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、第1および第2基板間で発生する放電を抑制し、信頼性および表示品位の向上した画像表示装置およびその製造方法を提供することにある。
前記目的を達成するため、この発明の態様に係る画像表示装置は、画像表示面が形成された第1基板と、前記第1基板と所定の隙間を置いて対向配置されているとともに前記画像表示面を励起する複数の電子放出源が設けられた第2基板と、それぞれ絶縁物質で形成され前記第1および第2基板の間に設けられているとともに、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部を有し、前記第1および第2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサとを備え、前記各スペーサは、軟化温度の異なる少なくとも2種類の材料により形成され、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部は軟化温度の高い材料で形成されている。
この発明の他の形態に係る画像表示装置は、画像表示面が形成された第1基板と、前記第1基板と所定の隙間を置いて対向配置されているとともに前記画像表示面を励起する複数の電子放出源が設けられた第2基板と、それぞれ前記電子放出源に対向した複数の電子ビーム通過孔を有し、前記第1および第2基板に対向して第1および第2基板間に設けられた板状のグリッドと、それぞれ絶縁物質で形成され前記グリッド上に設けられているとともに、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部を有し、前記第1および第2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサと、を備え、前記各スペーサは、軟化温度の異なる少なくとも2種類の材料により形成され、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部は軟化温度の高い材料で形成されている。
この発明の形態に係る画像表示装置の製造方法は、画像表示面が形成された第1基板と、前記第1基板と所定の隙間を置いて対向配置されているとともに前記画像表示面を励起する複数の電子放出源が設けられた第2基板と、それぞれ絶縁物質で形成され前記第1および第2基板の間に設けられているとともに、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部を有し、前記第1および第2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサとを備えた画像表示装置の製造方法において、
複数の有底のスペーサ形成孔を有した成形型を用意し、前記成形型の各スペーサ形成孔の底部に、ガラスを含有し軟化温度の高い第1材料を前記スペーサ形成孔の体積未満の量だけ充填し、前記第1材料が充填された前記成形型の各スペーサ形成孔に、ガラスを含み前記第1材料の軟化温度よりも低い軟化温度を有した第2材料を充填し、前記充填された第1および第2材料を硬化させた後、前記成形型から離型し、前記離型された第1および第2材料を焼成して複数のスペーサを形成し、前記焼成された複数のスペーサを前記第1材料の軟化温度未満でかつ前記第2材料の軟化温度以上の温度に加熱した状態で、前記複数のスペーサの先端に当接した押圧板により、前記複数のスペーサをその高さ方向に押圧し共通の高さに成形することを特徴としている。
複数の有底のスペーサ形成孔を有した成形型を用意し、前記成形型の各スペーサ形成孔の底部に、ガラスを含有し軟化温度の高い第1材料を前記スペーサ形成孔の体積未満の量だけ充填し、前記第1材料が充填された前記成形型の各スペーサ形成孔に、ガラスを含み前記第1材料の軟化温度よりも低い軟化温度を有した第2材料を充填し、前記充填された第1および第2材料を硬化させた後、前記成形型から離型し、前記離型された第1および第2材料を焼成して複数のスペーサを形成し、前記焼成された複数のスペーサを前記第1材料の軟化温度未満でかつ前記第2材料の軟化温度以上の温度に加熱した状態で、前記複数のスペーサの先端に当接した押圧板により、前記複数のスペーサをその高さ方向に押圧し共通の高さに成形することを特徴としている。
この発明の他の形態に係る画像表示装置の製造方法は、画像表示面が形成された第1基板と、前記第1基板と所定の隙間を置いて対向配置されているとともに前記画像表示面を励起する複数の電子放出源が設けられた第2基板と、それぞれ前記電子放出源に対向した複数の電子ビーム通過孔を有し、前記第1および第2基板に対向して第1および第2基板間に設けられた板状のグリッドと、それぞれ絶縁物質で形成され前記グリッド上に設けられているとともに、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部を有し、前記第1および第2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサと、を備えた画像表示装置の製造方法において、
複数の電子ビーム通過孔を備えた板状のグリッド、および複数の有底のスペーサ形成孔を有した成形型を用意し、前記成形型の各スペーサ形成孔の底部に、ガラスを含有し軟化温度の高い第1材料を前記スペーサ形成孔の体積未満の量だけ充填し、前記第1形成材料が充填された前記成形型の各スペーサ形成孔に、ガラスを含有し前記第1材料の軟化温度よりも低い軟化温度を有した第2材料を充填し、前記充填された第1および第2材料を硬化させた後、前記成形型から離型し前記第2材料側が前記グリッドに接合した状態で前記グリッド上に配置し、前記グリッド上に配置された第1および第2材料を焼成して複数のスペーサを形成し、前記焼成された複数のスペーサを前記第1材料の軟化温度未満でかつ前記第2材料の軟化温度以上の温度に加熱した状態で、前記複数のスペーサの先端に当接した押圧板により、前記複数のスペーサをその高さ方向に押圧し共通の高さに成形することを特徴としている。
複数の電子ビーム通過孔を備えた板状のグリッド、および複数の有底のスペーサ形成孔を有した成形型を用意し、前記成形型の各スペーサ形成孔の底部に、ガラスを含有し軟化温度の高い第1材料を前記スペーサ形成孔の体積未満の量だけ充填し、前記第1形成材料が充填された前記成形型の各スペーサ形成孔に、ガラスを含有し前記第1材料の軟化温度よりも低い軟化温度を有した第2材料を充填し、前記充填された第1および第2材料を硬化させた後、前記成形型から離型し前記第2材料側が前記グリッドに接合した状態で前記グリッド上に配置し、前記グリッド上に配置された第1および第2材料を焼成して複数のスペーサを形成し、前記焼成された複数のスペーサを前記第1材料の軟化温度未満でかつ前記第2材料の軟化温度以上の温度に加熱した状態で、前記複数のスペーサの先端に当接した押圧板により、前記複数のスペーサをその高さ方向に押圧し共通の高さに成形することを特徴としている。
この発明によれば、スペーサと基板との隙間を無くし、第1および第2基板間で発生する放電を抑制し、信頼性および表示品位の向上した画像表示装置およびその製造方法を提供することができる。
以下図面を参照しながら、この発明を、平面型の画像表示装置としてFEDの一種である表面伝導型電子放出装置(以下、SEDと称する)に適用した実施の形態について詳細に説明する。
図1ないし図3に示すように、SEDは、それぞれ矩形状のガラス板からなる第1基板10および第2基板12を備え、これらの基板は約1.0〜2.0mmの隙間をおいて対向配置されている。第1基板10および第2基板12は、ガラスからなる矩形枠状の側壁14を介して周縁部同士が接合され、内部が真空に維持された偏平な真空外囲器15を構成している。
図1ないし図3に示すように、SEDは、それぞれ矩形状のガラス板からなる第1基板10および第2基板12を備え、これらの基板は約1.0〜2.0mmの隙間をおいて対向配置されている。第1基板10および第2基板12は、ガラスからなる矩形枠状の側壁14を介して周縁部同士が接合され、内部が真空に維持された偏平な真空外囲器15を構成している。
第1基板10の内面には画像表示面として機能する蛍光体スクリーン16が形成されている。この蛍光体スクリーン16は、赤、緑、青に発光する蛍光体層R、G、B、および遮光層11を並べて構成され、これらの蛍光体層はストライプ状、ドット状あるいは矩形状に形成されている。蛍光体スクリーン16上には、アルミニウム等からなるメタルバック17およびゲッタ膜19が順に積層されている。
第2基板12の内面には、蛍光体スクリーン16の蛍光体層R、G、Bを励起する電子放出源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子18が設けられている。これらの電子放出素子18は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子18は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する素子電極等で構成されている。第2基板12の内面上には、電子放出素子18に電位を供給する多数本の配線21がマトリック状に設けられ、その端部は真空外囲器15の外部に引出されている。
接合部材として機能する側壁14は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材20により、第1基板10の周縁部および第2基板12の周縁部に封着され、これらの基板同士を接合している。
図2ないし図4に示すように、SEDは、第1基板10および第2基板12の間に配設されたスペーサ構体22を備えている。本実施の形態において、スペーサ構体22は、第1および第2基板10、12間に配設された矩形状の金属板からなるグリッド24と、グリッドの両面に一体的に立設された多数の柱状のスペーサと、で構成されている。
詳細に述べると、支持基板として機能するグリッド24は、第1基板10の内面と対向した第1表面24aおよび第2基板12の内面と対向した第2表面24bを有し、これらの基板と平行に配置されている。グリッド24には、エッチング等により多数の電子ビーム通過孔26が形成されている。電子ビーム通過孔26は、それぞれ電子放出素子18と対向して配列され、電子放出素子から放出された電子ビームを透過する。
グリッド24は、例えば鉄−ニッケル系の金属板により厚さ0.1〜0.3mmに形成されている。グリッド24の表面には、金属板を構成する元素からなる酸化膜、例えば、Fe3O4、NiFe2O4からなる酸化膜が形成されている。また、グリッド24の表面24a、24b、並びに、各電子ビーム通過孔26の壁面は、放電電流制限効果を有する高抵抗膜により被覆されている。この高抵抗膜は、ガラスを主成分とする高抵抗物質で形成されている。
グリッド24の第1表面24a上には複数の第1スペーサ30aが一体的に立設され、それぞれ隣合う電子ビーム通過孔26間に位置している。第1スペーサ30aの先端は、ゲッタ膜19、メタルバック17、および蛍光体スクリーン16の遮光層11を介して第1基板10の内面に当接している。
グリッド24の第2表面24b上には複数の第2スペーサ30bが一体的に立設され、それぞれ隣合う電子ビーム通過孔26間に位置している。第2スペーサ30bの先端は第2基板12の内面に当接している。ここでは、各第2スペーサ30bの先端は、第2基板12の内面上に設けられた配線21上に位置している。各第1および第2スペーサ30a、30bは互いに整列して位置し、グリッド24を両面から挟み込んだ状態でグリッド24と一体に形成されている。
図3および図4に示すように、第1および第2スペーサ30a、30bの各々は、グリッド24側から延出端に向かって径が小さくなった先細テーパ状に形成されている。例えば、各第1スペーサ30aはほぼ楕円状の横断面形状を有し、グリッド24側に位置した基端の径が約0.3mm×2mm、延出端の径が約0.2mm×2mm、第1および第2基板10、12と直交する方向に沿った高さh1が約0.6mmに形成されている。各第2スペーサ30bはほぼ楕円状の横断面形状を有し、グリッド24側に位置した基端の径が約0.3mm×2mm、延出端の径が約0.2mm×2mm、第1および第2基板10、12と直交する方向に沿った高さh2が約0.8mmに形成されている。グリッド24を含むスペーサ構体22全体の高さHは1.52mmに形成されている。
隣り合う第1スペーサ30a間の高さの差は5μm以内、かつ全第1スペーサの高さのばらつきは0.1mm以内に形成されている。また、隣り合う第2スペーサ30b間の高さの差が5μm以内、かつ全第2スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。
第1および第2スペーサ30a、30bの各々は、軟化温度の異なる少なくとも2種類の材料により形成されている。ここでは、各第1スペーサ30aは、第1基板10に当接した先端部31aが軟化温度の高い第1材料で形成され、他の部分、つまり、ベース部31bが第1材料よりも軟化温度の低い第2材料で形成されている。同様に、各第2スペーサ30bは、第2基板12に当接した先端部31aが軟化温度の高い第1材料で形成され、ベース部31bが第1材料よりも軟化温度の低い第2材料で形成されている。第1および第2材料としては、絶縁性物質としてガラスを含有した材料が用いられている。
前記のように構成されたスペーサ構体22は第1基板10および第2基板12間に配設されている。そして、第1および第2スペーサ30a、30bは、第1基板10および第2基板12の内面に当接することにより、これらの基板に作用する大気圧荷重を支持し、基板間の間隔を所定値に維持している。
SEDは、グリッド24および第1基板10のメタルバック17に電圧を印加する図示しない電圧供給部を備えている。この電圧供給部は、グリッド24およびメタルバック17にそれぞれ接続され、例えば、グリッド24に12kV、メタルバック17に10kVの電圧を印加する。そして、SEDにおいて、画像を表示する場合、蛍光体スクリーン16およびメタルバック17にアノード電圧が印加され、電子放出素子18から放出された電子ビームをアノード電圧により加速して蛍光体スクリーン16へ衝突させる。これにより、蛍光体スクリーン16の蛍光体層が励起されて発光し、画像を表示する。
次に、以上のように構成されたSEDの製造方法について説明する。始めに、スペーサ構体22の製造方法について説明する。
図5に示すように、まず、所定寸法のグリッド24、このグリッドとほぼ同一の寸法を有した矩形板状の上型36aおよび下型36bを用意する。この場合、Fe−50%Niからなる板厚0.12mmの金属板を脱脂、洗浄、乾燥した後、エッチングにより電子ビーム通過孔26を形成する。その後、金属板全体を酸化処理した後、電子ビーム通過孔26の内面を含めグリッド表面に絶縁膜を形成する。更に、絶縁膜の上に、ガラスを主成分としたコート液を塗布し、乾燥した後、焼成することにより、高抵抗膜を形成する。これにより、グリッド24を得る。
図5に示すように、まず、所定寸法のグリッド24、このグリッドとほぼ同一の寸法を有した矩形板状の上型36aおよび下型36bを用意する。この場合、Fe−50%Niからなる板厚0.12mmの金属板を脱脂、洗浄、乾燥した後、エッチングにより電子ビーム通過孔26を形成する。その後、金属板全体を酸化処理した後、電子ビーム通過孔26の内面を含めグリッド表面に絶縁膜を形成する。更に、絶縁膜の上に、ガラスを主成分としたコート液を塗布し、乾燥した後、焼成することにより、高抵抗膜を形成する。これにより、グリッド24を得る。
成形型としての上型36aおよび下型36bは、紫外線を透過する透明な材料、例えば、透明シリコン、透明ポリエチレンテレフタレート等により平坦な板状に形成する。上型36aは、グリッド24に当接される平坦な当接面41aと、第1スペーサ30aを成形するための多数の有底のスペーサ形成孔40aと、を有している。スペーサ形成孔40aはそれぞれ上型36aの当接面41aに開口しているとともに、所定の間隔を置いて配列されている。同様に、下型36bは、平坦な当接面41bと、第2スペーサ30bを成形するための多数の有底のスペーサ形成孔40bと、を有している。スペーサ形成孔40bはそれぞれ下型36bの当接面41bに開口しているとともに、所定の間隔を置いて配列されている。
続いて、上型36aのスペーサ形成孔40aおよび下型26bのスペーサ形成孔40bにスペーサ形成材料を充填する。スペーサ形成材料としては、軟化温度の異なる第1材料46aおよび第2材料46bの2種類を用いる。第1材料46aには、少なくとも紫外線硬化型のバインダ(有機成分)およびガラスフィラーを含有し、軟化温度が585℃、焼成温度580℃×30分のガラスペーストを用いる。また、第2材料46bには、少なくとも紫外線硬化型のバインダ(有機成分)およびガラスフィラーを含有し、軟化温度が550℃、焼成温度550℃×30分のガラスペーストを用いる。ガラスペーストの比重、粘度は適宜選択する。
図6に示すように、まず、上型36aの各スペーサ形成孔40aの底部に、スペーサ形成孔40aの体積の約20%の量だけ第1材料46aを充填し、続いて、スペーサ形成孔40aに第2材料46bを充填してスペーサ形成孔40aを満たす。同様に、下型36bの各スペーサ形成孔40bの底部に、スペーサ形成孔40bの体積の約20%の量だけ第1材料46aを充填し、続いて、スペーサ形成孔40bに第2材料46bを充填してスペーサ形成孔40bを満たす。
次いで、図7に示すように、例えば、紫外線ランプにより、上型36a、下型36bの両面側から紫外線(UV)を照射し、第1および第2材料46a、46bを硬化させる。この場合、上型36aおよび下型36bはそれぞれ紫外線透過材料で形成されている。そのため、紫外線ランプから照射された紫外線は、上型36aおよび下型36bを透過し、充填された第1および第2材料46a、46bに直接および型を通して照射される。これにより、第1および第2材料46a、46bを紫外線硬化させ、第1および第2スペーサ30a、30bを形成する。
続いて、上型36aおよび下型36bの当接面41a、41bにそれぞれ露出している第1および第2スペーサの基端面、並びに、グリッド24のスペーサ立設位置に、ディスペンサあるいは印刷により、接着剤を塗布する。その後、図8に示すように、硬化された第1スペーサ30aがそれぞれ電子ビーム通過孔26間の領域と対向するように、上型36aを位置決めし当接面41aをグリッド24の第1表面24aに密着させる。同様に、下型36bを、第2スペーサ30bが電子ビーム通過孔26間の領域と対向するように位置決めし、当接面41bをグリッド24の第2表面24bに密着させる。これにより、グリッド24、上型36aおよび下型36bからなる組立体42を構成する。組立体42において、上型36aのスペーサ形成孔40aと下型36bのスペーサ形成孔40bとは、グリッド24を挟んで対向して配列されている。
この組立体42を両面側から押圧し、上型36aおよび下型36bをグリッド24に密着させる。これにより、硬化した第1および第2スペーサ36a、36bをグリッド24の第1および第2表面24a、24bにそれぞれ接着する。
その後、図9に示すように、硬化した第1および第2スペーサ30a、30bをグリッド24上に残すように、上型36aおよび下型36bをグリッド24から剥離する。次に、第1および第2スペーサ30a、30bが設けられたグリッド24を加熱炉内で熱処理し、第1および第2材料46a、46b内からバインダを飛ばした後、580℃で30分、本焼成する。
続いて、図10に示すように、平坦な2枚の押圧板50a、50bを用意する。押圧板50a、50bはグリッド24よりも大きな面積を有し、また、グリッド24の熱膨張係数αとほぼ等しい熱膨張係数を有した材料で形成されている。ここでは、押圧板50a、50bとして、例えば、板厚8mm、α=8×10-6/℃のガラス板を選択する。
次に、グリッド24上に立設された第1および第2スペーサ30a、30bを2枚の押圧板50a、50b間に挟持し、第1スペーサ30aの先端を押圧板50aに、また、第2スペーサ30bの先端を押圧板50bに当接させる。また、グリッド24の外側で、押圧板50a、50bの周縁部間に複数の隙間規制部材52を配置する。各隙間規制部材52の厚さTは、目標とするスペーサの高さに高い精度で形成されている。隙間規制部材52の厚さTは、第1および第2スペーサ30a、30bの高さとグリッド24の厚さとを合計した高さHから圧縮しろを差し引いた高さとする。例えば圧縮しろを0.02mmとし、Tは1.5mmとする。
その後、第1および第2スペーサ30a、30bを第1材料46aの軟化温度未満でかつ第2材料46bの軟化温度以上の温度、例えば550℃に加熱し、第2材料46bのみを軟化させる。この状態で、押圧板50a、50bを互いに接近する方向に押圧し、隙間規制部材52に押し付けるとともに、第1および第2スペーサ30a、30bをその高さ方向に沿って両側から圧縮し均一な高さに塑性変形させる。圧縮後の第1および第2スペーサ30a、30bの高さは、隙間規制部材52によって制御される。これにより、複数の第1スペーサ30aは共通の高さに成形され、同時に、複数の第2スペーサ30bは共通の高さに成形される。
続いて、第1および第2スペーサ30a、30bを冷却して再び硬化させた後、押圧板50a、50bを取外す。なお、上記の押圧工程では、第2材料46bのみが軟化し、押圧板50a、50bに当接した第1および第2スペーサの先端部を形成している第1材料46aは軟化していない。そのため、スペーサ先端部と押圧板とが接着してしまうことがなく、押圧板50a、50bを容易に、かつ、第1および第2スペーサを損傷することなく離間させることができる。
以上の工程により、グリッド24上に第1および第2スペーサ30a、30bが作り込まれたスペーサ構体22が得られる。隣り合う第1スペーサ30a間の高さの差は5μm以内、かつ全第1スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。また、隣り合う第2スペーサ30b間の高さの差は5μm以内、かつ全第2スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。前述した押圧工程を行わないスペーサ構体では、第1および第2スペーサの高さの標準偏差は0.008であるのに対し、本実施形態では、標準偏差が0.001となりスペーサ高さのばらつきが大幅に低減している。
以上の工程により、グリッド24上に第1および第2スペーサ30a、30bが作り込まれたスペーサ構体22が得られる。隣り合う第1スペーサ30a間の高さの差は5μm以内、かつ全第1スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。また、隣り合う第2スペーサ30b間の高さの差は5μm以内、かつ全第2スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。前述した押圧工程を行わないスペーサ構体では、第1および第2スペーサの高さの標準偏差は0.008であるのに対し、本実施形態では、標準偏差が0.001となりスペーサ高さのばらつきが大幅に低減している。
一方、SEDの製造においては、予め、蛍光体スクリーン16およびメタルバック17の設けられた第1基板10と、電子放出素子18および配線21が設けられているとともに側壁14が接合された第2基板12と、を用意しておく。続いて、前記のようにして得られたスペーサ構体22を第2基板12上に位置決め配置する。この状態で、第1基板10、第2基板12、およびスペーサ構体22を真空チャンバ内に配置し、真空チャンバ内を真空排気した後、側壁14を介して第1基板を第2基板に接合する。これにより、スペーサ構体22を備えたSEDが製造される。
上記のように構成されたSEDおよびスペーサの高さバラツキ制御を行っていないSEDを用意し、それぞれについて放電試験を行った。高さバラツキ制御を行っていないSEDでは、加速電圧を10kVとして1時間保持した場合、放電発生回数が約10回、10時間保持した場合、放電発生回数が約25回であった。これに対して、本実施形態に係るSEDでは、同一条件で放電は発生しなかった。
以上のように構成されたSEDおよびその製造方法によれば、第1スペーサ30aおよび第2スペーサ30bの高さのバラツキを無くし、第1スペーサと第1基板との隙間、並びに、第2スペーサと第2基板との隙間を大幅に低減することができる。従って、スペーサと基板との隙間に起因する放電の発生を抑制し、耐電圧性の高く信頼性の向上したSEDを得ることができる。また、スペーサ構体の製造工程においては、押圧板を取り外す際に離型剤等を用いる必要がなく、離型剤の除去工程を省略することができるとともに、離型剤に起因するダストの発生を防止することができる。これにより、真空外囲器内のダストに起因する放電の発生を防止することが可能となる。耐電圧性の向上に伴い、第1および第2基板間に高い加速電圧を印加することが可能となり、表示品位の向上したSEDが得られる。
次に、この発明の第2の実施形態に係るSEDについて説明する。
図11に示すように、第2の実施形態によれば、グリッド24上に立設された第1および第2スペーサ30a、30bの各々は、軟化温度の異なる少なくとも2種類の材料により形成されている。ここでは、各第1スペーサ30aは、グリッド24の第1表面24a上に立設された柱状のベース部31bと、ベース部の外周および先端を被覆した被覆層31cとで構成されている。ベース部31bは軟化温度の低い第2材料で形成され、被覆層31cは、第2材料より軟化温度の高い第1材料で形成されている。
図11に示すように、第2の実施形態によれば、グリッド24上に立設された第1および第2スペーサ30a、30bの各々は、軟化温度の異なる少なくとも2種類の材料により形成されている。ここでは、各第1スペーサ30aは、グリッド24の第1表面24a上に立設された柱状のベース部31bと、ベース部の外周および先端を被覆した被覆層31cとで構成されている。ベース部31bは軟化温度の低い第2材料で形成され、被覆層31cは、第2材料より軟化温度の高い第1材料で形成されている。
同様に、各第2スペーサ30bは、グリッド24の第2表面24b上に立設された柱状のベース部31bと、ベース部の外周および先端を被覆した被覆層31cとで構成されている。ベース部31bは軟化温度の低い第2材料で形成され、被覆層31cは、第2材料より軟化温度の高い第1材料で形成されている。
また、グリッド24の第1および第2表面24a、24b、および電子ビーム通過孔26の内面は、第1材料によって被覆されている。第1および第2材料としては、絶縁性物質としてガラスを含有した材料が用いられている。
なお、第2の実施形態において、他の構成は前述した第1の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
第2の実施形態において、スペーサ構体22を製造する場合、前述した第1の実施形態と同様に、まず、所定寸法のグリッド24、このグリッドとほぼ同一の寸法を有した矩形板状の上型36aおよび下型36bを用意する。グリッド24は、Fe−50%Niからなる板厚0.12mmの金属板に電子ビーム通過孔26を形成した後、金属板全体を酸化処理した後、電子ビーム通過孔26の内面を含めグリッド表面に絶縁膜を形成する。
なお、第2の実施形態において、他の構成は前述した第1の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
第2の実施形態において、スペーサ構体22を製造する場合、前述した第1の実施形態と同様に、まず、所定寸法のグリッド24、このグリッドとほぼ同一の寸法を有した矩形板状の上型36aおよび下型36bを用意する。グリッド24は、Fe−50%Niからなる板厚0.12mmの金属板に電子ビーム通過孔26を形成した後、金属板全体を酸化処理した後、電子ビーム通過孔26の内面を含めグリッド表面に絶縁膜を形成する。
上型36aおよび下型36bは、紫外線を透過する透明な材料、例えば、透明シリコン、透明ポリエチレンテレフタレート等により平坦な板状に形成する。上型36aは、グリッド24に当接される平坦な当接面41aと、第1スペーサ30aを成形するための多数の有底のスペーサ形成孔40aと、を有している。スペーサ形成孔40aはそれぞれ上型36aの当接面41aに開口しているとともに、所定の間隔を置いて配列されている。同様に、下型36bは、平坦な当接面41bと、第2スペーサ30bを成形するための多数の有底のスペーサ形成孔40bと、を有している。スペーサ形成孔40bはそれぞれ下型36bの当接面41bに開口しているとともに、所定の間隔を置いて配列されている。
続いて、図12に示すように、上型36aのスペーサ形成孔40aおよび下型26bのスペーサ形成孔40bにそれぞれスペーサ形成材料として第2材料46bを充填し、各スペーサ形成孔を第2材料で満たす。第2材料46bには、少なくとも紫外線硬化型のバインダ(有機成分)およびガラスフィラーを含有し、軟化温度が550℃、焼成温度550℃×30分のガラスペーストを用いる。
次いで、例えば、紫外線ランプにより、上型36a、下型36bの両面側から紫外線(UV)を照射し、第2材料46bを硬化させる。この場合、上型36aおよび下型36bはそれぞれ紫外線透過材料で形成されている。そのため、紫外線ランプから照射された紫外線は、上型36aおよび下型36bを透過し、充填された第2材料46bに直接および型を通して照射される。これにより、第2材料46bを紫外線硬化させ、スペーサのベース部31bを形成する。
続いて、上型36aおよび下型36bの当接面41a、41bにそれぞれ露出しているベース部31bの基端面、並びに、グリッド24のスペーサ立設位置に、ディスペンサあるいは印刷により、接着剤を塗布する。その後、図13に示すように、硬化されたベース部31bがそれぞれ電子ビーム通過孔26間の領域と対向するように、上型36aを位置決めし当接面41aをグリッド24の第1表面24aに密着させる。同様に、下型36bを、ベース部31bが電子ビーム通過孔26間の領域と対向するように位置決めし、当接面41bをグリッド24の第2表面24bに密着させる。これにより、グリッド24、上型36aおよび下型36bからなる組立体42を構成する。組立体42において、上型36aのスペーサ形成孔40aと下型36bのスペーサ形成孔40bとは、グリッド24を挟んで対向して配列されている。
この組立体42を両面側から押圧し、上型36aおよび下型36bをグリッド24に密着させる。これにより、硬化したベース部31bをグリッド24の第1および第2表面24a、24bにそれぞれ接着する。
その後、硬化したベース部31bをグリッド24上に残すように、上型36aおよび下型36bをグリッド24から離型する。次に、図14に示すように、第2材料46bよりも軟化温度の高い第1材料46aを、グリッド24の表面および各ベース部31bの外面にスプレーし、第1材料からなる厚さ1〜50μmの被覆層31cを形成する。第1材料46aには、少なくともガラスフィラーを含有し、軟化温度が585℃、焼成温度580℃×30分のガラスペーストを用いる。なお、第1および第2材料46a、46bにおいて、ガラスペーストの比重、粘度は適宜選択する。
続いて、ベース部31bおよび被覆層31cが設けられたグリッド24を加熱炉内で熱処理し、第1および第2材料46a、46b内からバインダを飛ばした後、580℃で30分、本焼成する。これにより、グリッド24の第1および第2表面24a、24b上に、第1スペーサ30aおよび第2スペーサ30bが一体的に形成される。
その後、図15に示すように、前述した第1の実施形態と同様の平坦な2枚の押圧板50a、50bを用意する。次いで、グリッド24上に立設された第1および第2スペーサ30a、30bを2枚の押圧板50a、50b間に挟持し、第1スペーサ30aの先端を押圧板50aに、また、第2スペーサ30bの先端を押圧板50bに当接させる。グリッド24の外側で、押圧板50a、50bの周縁部間に複数の隙間規制部材52を配置する。各隙間規制部材52の厚さTは、目標とするスペーサの高さに高い精度で形成されている。隙間規制部材52の厚さTは、第1および第2スペーサ30a、30bの高さとグリッド24の厚さとを合計した高さから圧縮しろを差し引いた高さとする。例えば圧縮しろを0.02mmとし、Tは1.5mmとする。
更に、第1および第2スペーサ30a、30bを第1材料46aの軟化温度未満でかつ第2材料46bの軟化温度以上の温度、例えば550℃に加熱し、第2材料46bからなるベース部31bのみを軟化させる。この状態で、押圧板50a、50bを互いに接近する方向に押圧し、隙間規制部材52に押し付けるとともに、第1および第2スペーサ30a、30bをその高さ方向に沿って両側から圧縮し均一な高さに塑性変形させる。圧縮後の第1および第2スペーサ30a、30bの高さは、隙間規制部材52によって制御される。これにより、複数の第1スペーサ30aは共通の高さに成形され、同時に、複数の第2スペーサ30bは共通の高さに成形される。
続いて、第1および第2スペーサ30a、30bを冷却して再び硬化させた後、押圧板50a、50bを取外す。上記の押圧工程では、第2材料46bのみが軟化し、押圧板50a、50bに当接した第1および第2スペーサの先端部を形成している被覆層31cは軟化していない。そのため、スペーサ先端部と押圧板とが接着してしまうことがなく、押圧板50a、50bを容易に、かつ、第1および第2スペーサを損傷することなく離間させることができる。
以上の工程により、グリッド24上に第1および第2スペーサ30a、30bが作り込まれたスペーサ構体22が得られる。隣り合う第1スペーサ30a間の高さの差は5μm以内、かつ全第1スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。また、隣り合う第2スペーサ30b間の高さの差は5μm以内、かつ全第2スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。前述した押圧工程を行わないスペーサ構体では、第1および第2スペーサの高さの標準偏差は0.008であるのに対し、本実施形態では、標準偏差が0.001となりスペーサ高さのばらつきが大幅に低減している。
その後、第1の実施形態と同様の方法により、スペーサ構体22を備えたSEDが製造される。
以上の工程により、グリッド24上に第1および第2スペーサ30a、30bが作り込まれたスペーサ構体22が得られる。隣り合う第1スペーサ30a間の高さの差は5μm以内、かつ全第1スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。また、隣り合う第2スペーサ30b間の高さの差は5μm以内、かつ全第2スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。前述した押圧工程を行わないスペーサ構体では、第1および第2スペーサの高さの標準偏差は0.008であるのに対し、本実施形態では、標準偏差が0.001となりスペーサ高さのばらつきが大幅に低減している。
その後、第1の実施形態と同様の方法により、スペーサ構体22を備えたSEDが製造される。
上記のように構成された第2の実施形態に係るSEDおよびスペーサの高さバラツキ制御を行っていないSEDを用意し、それぞれについて放電試験を行った。高さバラツキ制御を行っていないSEDでは、加速電圧を10kVとして1時間保持した場合、放電発生回数が約10回、10時間保持した場合、放電発生回数が約25回であった。これに対して、本実施形態に係るSEDでは、同一条件で放電は発生しなかった。
このように、第2の実施形態においても、前述した第1の実施形態と同様の作用効果を得ることができ、耐電圧性が高く信頼性および表示品位の向上したSEDが得られる。
このように、第2の実施形態においても、前述した第1の実施形態と同様の作用効果を得ることができ、耐電圧性が高く信頼性および表示品位の向上したSEDが得られる。
次に、この発明の第3の実施形態に係るSEDについて説明する。
図16に示すように、第3の実施形態によれば、グリッド24上に立設された第1および第2スペーサ30a、30bの各々は、1種類の材料により形成されている。ここでは、スペーサの形成材料には、絶縁性物質としてガラスを含有した材料が用いられている。第3の実施形態において、他の構成は前述した第1の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
第3の実施形態において、スペーサ構体22を製造する場合、前述した第2の実施形態と同様に、所定寸法のグリッド24、このグリッドとほぼ同一の寸法を有した矩形板状の上型36aおよび下型36bを用意する。続いて、図17に示すように、上型36aのスペーサ形成孔40aおよび下型26bのスペーサ形成孔40bにそれぞれスペーサ形成材料46を充填し、各スペーサ形成孔を満たす。スペーサ形成材料には、少なくとも紫外線硬化型のバインダ(有機成分)およびガラスフィラーを含有し、軟化温度が550℃、焼成温度550℃×30分のガラスペーストを用いる。
図16に示すように、第3の実施形態によれば、グリッド24上に立設された第1および第2スペーサ30a、30bの各々は、1種類の材料により形成されている。ここでは、スペーサの形成材料には、絶縁性物質としてガラスを含有した材料が用いられている。第3の実施形態において、他の構成は前述した第1の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
第3の実施形態において、スペーサ構体22を製造する場合、前述した第2の実施形態と同様に、所定寸法のグリッド24、このグリッドとほぼ同一の寸法を有した矩形板状の上型36aおよび下型36bを用意する。続いて、図17に示すように、上型36aのスペーサ形成孔40aおよび下型26bのスペーサ形成孔40bにそれぞれスペーサ形成材料46を充填し、各スペーサ形成孔を満たす。スペーサ形成材料には、少なくとも紫外線硬化型のバインダ(有機成分)およびガラスフィラーを含有し、軟化温度が550℃、焼成温度550℃×30分のガラスペーストを用いる。
次いで、紫外線ランプにより、上型36a、下型36bの両面側から紫外線(UV)を照射し、スペーサ形成材料46を硬化させる。続いて、上型36aおよび下型36bの当接面41a、41bにそれぞれ露出しているスペーサ形成材料46の基端面、並びに、グリッド24のスペーサ立設位置に、ディスペンサあるいは印刷により、接着剤を塗布する。その後、図18に示すように、硬化されたスペーサ形成材料46がそれぞれ電子ビーム通過孔26間の領域と対向するように、上型36aを位置決めし当接面41aをグリッド24の第1表面24aに密着させる。同様に、下型36bを、ベース部31bが電子ビーム通過孔26間の領域と対向するように位置決めし、当接面41bをグリッド24の第2表面24bに密着させる。これにより、グリッド24、上型36aおよび下型36bからなる組立体42を構成する。この組立体42を両面側から押圧し、上型36aおよび下型36bをグリッド24に密着させる。これにより、硬化したスペーサ形成材料46をグリッド24の第1および第2表面24a、24bにそれぞれ接着する。
次に、硬化したスペーサ形成材料46をグリッド24上に残すように、上型36aおよび下型36bをグリッド24から離型する。そして、スペーサ形成材料46が設けられたグリッド24を加熱炉内で熱処理し、スペーサ形成材料46内からバインダを飛ばした後、550℃で30分、本焼成する。これにより、グリッド24の第1および第2表面24a、24b上に、第1スペーサ30aおよび第2スペーサ30bが一体的に形成される。
その後、図19に示すように、前述した第1の実施形態と同様の平坦な2枚の押圧板50a、50bを用意する。絶縁性を有した剥離剤として、例えば、粒径1μm程度の酸化シリコンの粉末を水に溶いた溶液を、スプレーにより押圧板50a、50bの表面に塗布する。次いで、グリッド24上に立設された第1および第2スペーサ30a、30bを2枚の押圧板50a、50b間に挟持し、第1スペーサ30aの先端を押圧板50aに、また、第2スペーサ30bの先端を押圧板50bに当接させる。グリッド24の外側で、押圧板50a、50bの周縁部間に複数の隙間規制部材52を配置する。各隙間規制部材52の厚さTは、第1および第2スペーサ30a、30bの高さとグリッド24の厚さとを合計した高さから圧縮しろを差し引いた高さとする。例えば圧縮しろを0.02mmとし、Tは1.5mmとする。
更に、第1および第2スペーサ30a、30bを550℃に加熱し、スペーサ形成材料46を軟化させる。この状態で、押圧板50a、50bを互いに接近する方向に押圧し、隙間規制部材52に押し付けるとともに、第1および第2スペーサ30a、30bをその高さ方向に沿って両側から圧縮し均一な高さに塑性変形させる。圧縮後の第1および第2スペーサ30a、30bの高さは、隙間規制部材52によって制御される。これにより、複数の第1スペーサ30aは共通の高さに成形され、同時に、複数の第2スペーサ30bは共通の高さに成形される。
続いて、第1および第2スペーサ30a、30bを冷却して再び硬化させた後、押圧板50a、50bを取外す。この際、押圧板50a、50bには剥離剤が塗布されているため、スペーサ先端部と押圧板とが接着してしまうことがなく、押圧板50a、50bを容易に、かつ、第1および第2スペーサを損傷することなく分離することができる。押圧板50a、50bを分離した後、第1および第2スペーサ30a、30bの先端に付着した剥離剤は、サンドペーパ等を用いて除去する。
以上の工程により、グリッド24上に第1および第2スペーサ30a、30bが作り込まれたスペーサ構体22が得られる。隣り合う第1スペーサ30a間の高さの差は5μm以内、かつ全第1スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。また、隣り合う第2スペーサ30b間の高さの差は5μm以内、かつ全第2スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。前述した押圧工程を行わないスペーサ構体では、第1および第2スペーサの高さの標準偏差は0.008であるのに対し、本実施形態では、標準偏差が0.002となりスペーサ高さのばらつきが大幅に低減している。
以後、第1の実施形態と同様の方法により、スペーサ構体22を備えたSEDが製造される。
以後、第1の実施形態と同様の方法により、スペーサ構体22を備えたSEDが製造される。
上記のように構成された第3の実施形態に係るSEDおよびスペーサの高さバラツキ制御を行っていないSEDを用意し、それぞれについて放電試験を行った。高さバラツキ制御を行っていないSEDでは、加速電圧を10kVとして1時間保持した場合、放電発生回数が約10回、10時間保持した場合、放電発生回数が約25回であった。これに対して、本実施形態に係るSEDでは、各条件において、放電の発生は0回および3回であり、大幅に改善された。
このように、第3実施形態においても、第1スペーサ30aおよび第2スペーサ30bの高さのバラツキを無くし、第1スペーサと第1基板との隙間、並びに、第2スペーサと第2基板との隙間を大幅に低減することができる。従って、スペーサと基板との隙間に起因する放電の発生を抑制し、耐電圧性の高く信頼性の向上したSEDを得ることができる。剥離剤を用いた場合、ダストによる悪影響が考えられるが、スペーサの高さばらつき低減による良い効果の方が大きく、結果的に、耐電圧性の向上を図ることができる。更に、離型材として絶縁性材料を用いることにより、残留した剥離剤に起因する放電は発生しにくい。
このように、第3実施形態においても、第1スペーサ30aおよび第2スペーサ30bの高さのバラツキを無くし、第1スペーサと第1基板との隙間、並びに、第2スペーサと第2基板との隙間を大幅に低減することができる。従って、スペーサと基板との隙間に起因する放電の発生を抑制し、耐電圧性の高く信頼性の向上したSEDを得ることができる。剥離剤を用いた場合、ダストによる悪影響が考えられるが、スペーサの高さばらつき低減による良い効果の方が大きく、結果的に、耐電圧性の向上を図ることができる。更に、離型材として絶縁性材料を用いることにより、残留した剥離剤に起因する放電は発生しにくい。
前述した実施形態において、スペーサ構体22は、第1および第2スペーサおよびグリッドを一体的に備えた構成としたが、第2スペーサ30bは第2基板12上に形成する構成としてもよい。また、スペーサ構体は、グリッドおよび第2スペーサのみを備え、グリッドが第1基板に接触した構成としてもよい。
図20に示すように、この発明の第4の実施形態に係るSEDによれば、スペーサ構体22は、矩形状の金属板からなりグリッドとして機能する支持基板24と、支持基板の一方の表面のみに一体的に立設された多数の柱状のスペーサ30と、を有している。支持基板24は第1基板10の内面と対向した第1表面24aおよび第2基板12の内面と対向した第2表面24bを有し、これらの基板と平行に配置されている。支持基板24には、エッチング等により多数の電子ビーム通過孔26が形成されている。電子ビーム通過孔26は、それぞれ電子放出素子18と対向して配列され、電子放出素子から放出された電子ビームを透過する。
支持基板24の第1および第2表面24a、24b、各電子ビーム通過孔26の内壁面は、絶縁層として、ガラス、セラミック等を主成分とした絶縁性物質からなる高抵抗膜により被覆されている。そして、支持基板24は、その第1表面24aが、ゲッタ膜19、メタルバック17、蛍光体スクリーン16を介して、第1基板10の内面に面接触した状態で設けられている。支持基板24に設けられた電子ビーム通過孔26は、蛍光体スクリーン16の蛍光体層R、G、Bと対向している。これにより、各電子放出素子18は、電子ビーム通過孔26を通して、対応する蛍光体層と対向している。
支持基板24の第2表面24b上には複数の柱状のスペーサ30が一体的に立設されている。各スペーサ30の延出端は、第2基板12の内面、ここでは、第2基板12の内面上に設けられた配線21上に当接している。スペーサ30の各々は、グリッド24側から延出端に向かって径が小さくなった先細テーパ状に形成されている。例えば、スペーサ30は高さ約1.4mmに形成されている。グリッド表面と平行な方向に沿ったスペーサ30の断面は、ほぼ楕円形に形成されている。隣り合うスペーサ30間の高さの差は5μm以内、かつ全スペーサの高さのばらつきは0.1mm以内に形成されている。また、隣り合う第2スペーサ30b間の高さの差が5μm以内、かつ全第2スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内に形成されている。
スペーサ30の各々は、軟化温度の異なる少なくとも2種類の材料により形成されている。ここでは、各スペーサ30は、第2基板12に当接した先端部31aが軟化温度の高い第1材料で形成され、他の部分、つまり、支持基板24から先端部まで延びたベース部31bが第1材料よりも軟化温度の低い第2材料で形成されている。第1および第2材料としては、絶縁性物質としてガラスを含有した材料が用いられている。
前記のように構成されたスペーサ構体22は、グリッド24が第1基板10に面接触し、スペーサ30の延出端が第2基板12の内面に当接することにより、これらの基板に作用する大気圧荷重を支持し、基板間の間隔を所定値に維持している。
第4の実施形態において、他の構成は前述した第1の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明は省略する。第4の実施形態に係るSEDおよびそのスペーサ構体は前述した実施形態に係る製造方法と同様の製造方法によって製造することができる。そして、第4の実施形態においても、前述した第1の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
なお、本発明は前記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、前記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
スペーサの径や高さ、その他の構成要素の寸法、材質等は上述した実施の形態に限定されることなく、必要に応じて適宜選択可能である。スペーサ形成材料の充填条件は必要に応じて種々選択可能である。また、この発明は、電子源として表面伝導型電子放出素子を用いたものに限らず、電界放出型、カーボンナノチューブ等の他の電子源を用いた画像表示装置にも適用可能である。
10…第1基板、 12…第2基板、 14…側壁、 15…真空外囲器、
16…蛍光体スクリーン、 18…電子放出素子、 22…スペーサ構体、
24…グリッド、 26…電子ビーム通過孔、 30…スペーサ、
30a…第1スペーサ、 30b…第2スペーサ、 46a…第1材料、
46b…第2材料、 50…押圧板
16…蛍光体スクリーン、 18…電子放出素子、 22…スペーサ構体、
24…グリッド、 26…電子ビーム通過孔、 30…スペーサ、
30a…第1スペーサ、 30b…第2スペーサ、 46a…第1材料、
46b…第2材料、 50…押圧板
Claims (13)
- 画像表示面が形成された第1基板と、
前記第1基板と所定の隙間を置いて対向配置されているとともに前記画像表示面を励起する複数の電子放出源が設けられた第2基板と、
それぞれ絶縁物質で形成され前記第1および第2基板の間に設けられているとともに、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部を有し、前記第1および第2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサとを備え、前記各スペーサは、軟化温度の異なる少なくとも2種類の材料により形成され、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部は軟化温度の高い材料で形成されている画像表示装置。 - 画像表示面が形成された第1基板と、
前記第1基板と所定の隙間を置いて対向配置されているとともに前記画像表示面を励起する複数の電子放出源が設けられた第2基板と、
それぞれ前記電子放出源に対向した複数の電子ビーム通過孔を有し、前記第1および第2基板に対向して第1および第2基板間に設けられた板状のグリッドと、
それぞれ絶縁物質で形成され前記グリッド上に設けられているとともに、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部を有し、前記第1および第2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサと、を備え、前記各スペーサは、軟化温度の異なる少なくとも2種類の材料により形成され、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部は軟化温度の高い材料で形成されている画像表示装置。 - 前記グリッドは、前記第1基板に対向した第1表面と、前記第2基板に対向した第2表面とを有し、前記スペーサは、前記第1表面上に立設されているとともに前記第1基板に当接した端部を有した複数の第1スペーサと、前記第2表面上に立設されているとともに前記第2基板に当接した端部を有した複数の第2スペーサと、を備えている請求項2に記載の画像表示装置。
- 前記グリッドは、前記第1基板に当接した第1表面と、前記第2基板に対向した第2表面とを有し、前記スペーサは、前記第2表面上に立設され前記第2基板に当接した端部を有している請求項2に記載の画像表示装置。
- 前記各スペーサは柱状に形成されている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の画像表示装置。
- 前記各スペーサは第1材料およびこの第1材料よりも軟化温度の低い第2材料で形成され、前記各スペーサは、前記第2材料により柱状に形成されたベース部と、前記第1材料により形成され前記ベース部の外面を被覆した被覆層と、を有していることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
- 前記各スペーサは柱状に形成され、前記第1および第2基板と直交する方向に沿ったスペーサの長さをスペーサの高さとした場合、隣り合うスペーサ間の高さの差が5μm以内、かつ全スペーサの高さのばらつきが0.1mm以内であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の画像表示装置。
- 画像表示面が形成された第1基板と、前記第1基板と所定の隙間を置いて対向配置されているとともに前記画像表示面を励起する複数の電子放出源が設けられた第2基板と、それぞれ絶縁物質で形成され前記第1および第2基板の間に設けられているとともに、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部を有し、前記第1および第2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサとを備えた画像表示装置の製造方法において、
複数の有底のスペーサ形成孔を有した成形型を用意し、
前記成形型の各スペーサ形成孔の底部に、ガラスを含有し軟化温度の高い第1材料を前記スペーサ形成孔の体積未満の量だけ充填し、
前記第1材料が充填された前記成形型の各スペーサ形成孔に、ガラスを含み前記第1材料の軟化温度よりも低い軟化温度を有した第2材料を充填し、
前記充填された第1および第2材料を硬化させた後、前記成形型から離型し、
前記離型された第1および第2材料を焼成して複数のスペーサを形成し、
前記焼成された複数のスペーサを前記第1材料の軟化温度未満でかつ前記第2材料の軟化温度以上の温度に加熱した状態で、前記複数のスペーサの先端に当接した押圧板により、前記複数のスペーサをその高さ方向に押圧し共通の高さに成形することを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 画像表示面が形成された第1基板と、前記第1基板と所定の隙間を置いて対向配置されているとともに前記画像表示面を励起する複数の電子放出源が設けられた第2基板と、それぞれ前記電子放出源に対向した複数の電子ビーム通過孔を有し、前記第1および第2基板に対向して第1および第2基板間に設けられた板状のグリッドと、それぞれ絶縁物質で形成され前記グリッド上に設けられているとともに、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部を有し、前記第1および第2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサと、を備えた画像表示装置の製造方法において、
複数の電子ビーム通過孔を備えた板状のグリッド、および複数の有底のスペーサ形成孔を有した成形型を用意し、
前記成形型の各スペーサ形成孔の底部に、ガラスを含有し軟化温度の高い第1材料を前記スペーサ形成孔の体積未満の量だけ充填し、
前記第1形成材料が充填された前記成形型の各スペーサ形成孔に、ガラスを含有し前記第1材料の軟化温度よりも低い軟化温度を有した第2材料を充填し、
前記充填された第1および第2材料を硬化させた後、前記成形型から離型し前記第2材料側が前記グリッドに接合した状態で前記グリッド上に配置し、
前記グリッド上に配置された第1および第2材料を焼成して複数のスペーサを形成し、
前記焼成された複数のスペーサを前記第1材料の軟化温度未満でかつ前記第2材料の軟化温度以上の温度に加熱した状態で、前記複数のスペーサの先端に当接した押圧板により、前記複数のスペーサをその高さ方向に押圧し共通の高さに成形することを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 画像表示面が形成された第1基板と、前記第1基板と所定の隙間を置いて対向配置されているとともに前記画像表示面を励起する複数の電子放出源が設けられた第2基板と、それぞれ前記電子放出源に対向した複数の電子ビーム通過孔を有し、前記第1および第2基板に対向して第1および第2基板間に設けられた板状のグリッドと、それぞれ絶縁物質で形成され前記グリッド上に設けられているとともに、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部を有し、前記第1および第2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサと、を備えた画像表示装置の製造方法において、
複数の電子ビーム通過孔を備えた板状のグリッド、および複数の有底のスペーサ形成孔を有した成形型を用意し、
前記成形型の各スペーサ形成孔に、ガラスを含有し軟化温度の低い第2材料を充填し、
前記充填された第2材料を硬化させた後、前記成形型から離型し前記グリッドに接合した状態で前記グリッド上に配置し、
ベース部の外面を、ガラスを含有し前記第2材料の軟化温度よりも高い軟化温度を有した第1材料により被覆し、焼成して複数のスペーサを形成し、
前記スペーサを前記第1材料の軟化温度未満でかつ前記第2材料の軟化温度以上の温度に加熱した状態で、前記複数のスペーサの先端に当接した押圧板により、前記複数のスペーサをその高さ方向に押圧し共通の高さに成形することを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 画像表示面が形成された第1基板と、前記第1基板と所定の隙間を置いて対向配置されているとともに前記画像表示面を励起する複数の電子放出源が設けられた第2基板と、それぞれ前記電子放出源に対向した複数の電子ビーム通過孔を有し、前記第1および第2基板に対向して第1および第2基板間に設けられた板状のグリッドと、それぞれ絶縁物質で形成され前記グリッド上に設けられているとともに、前記第1基板および第2基板の少なくとも一方に当接した端部を有し、前記第1および第2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサと、を備えた画像表示装置の製造方法において、
複数の電子ビーム通過孔を備えた板状のグリッドを用意し、
ガラスを含有したスペーサ形成材料により前記グリッド上に複数のスペーサを形成し、
前記スペーサを前記スペーサ形成材料の軟化温度以上の温度に加熱した状態で、絶縁性の剥離剤が塗布された押圧板を前記複数のスペーサの先端に当接させ、この押圧板により複数のスペーサをその高さ方向に押圧し共通の高さに成形することを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 前記第1および第2材料として、紫外線硬化性を有した絶縁性ガラスペーストを用い、前記第1および第2材料の硬化は、紫外線を照射して硬化することを特徴とする請求項8又は9に記載の画像表示装置の製造方法。
- 前記スペーサの押圧は、2枚の押圧板間に前記スペーサおよび所定厚さの隙間規制部材を配置し、前記スペーサ部材を前記2枚の押圧板間に挟持することを特徴とする請求項8ないし12のいずれか1項に記載の画像表示装置の製造方法。
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