JP2000292451A - 電気光学サンプリングプローバ及び調整方法 - Google Patents

電気光学サンプリングプローバ及び調整方法

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JP2000292451A
JP2000292451A JP11099381A JP9938199A JP2000292451A JP 2000292451 A JP2000292451 A JP 2000292451A JP 11099381 A JP11099381 A JP 11099381A JP 9938199 A JP9938199 A JP 9938199A JP 2000292451 A JP2000292451 A JP 2000292451A
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Fumio Akikuni
文夫 秋國
Katsushi Ota
克志 太田
Tadao Nagatsuma
忠夫 永妻
Mitsuru Shinagawa
満 品川
Junzo Yamada
順三 山田
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Ando Electric Co Ltd
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ファイバの着脱を行った場合において発生
した光軸ずれを簡単に補正することができる電気光学サ
ンプリングプローバを提供する。 【解決手段】 測定対象のＩＣウエハ表面上の配線に接
し、この配線を介して電界が印加されて光学特性が変化
する電気光学素子と、内部に偏光ビームスプリッタと波
長板とフォトダイオードを有し、外部から発せられたレ
ーザ光が電気光学素子内を透過してさらに配線に対向す
る電気光学素子の表面において反射された光を分離して
電気信号に変換する電気光学サンプリング光学系モジュ
ールとを備えた電気光学サンプリングプローバにおい
て、電気光学サンプリング光学系モジュールは、レーザ
光を発する光ファイバの着脱部に設けられたレーザ光の
光軸方向を調整する光軸調整部と、フォトダイオード着
脱部に設けられた該フォトダイオードの受光面の位置を
調整する受光面調整部とを備えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定信号によっ
て発生する電界を電気光学結晶に結合させ、タイミング
信号に基づき生成された光パルスをこの電気光学結晶に
入射し、入射した光パルスの偏光状態により、被測定信
号の波形を観測する電気光学サンプリングプローバであ
って、特に、プローバの光学系を改良した電気光学サン
プリングプローバに関する。
【０００２】
【従来の技術】被測定信号によって発生する電界を電気
光学結晶に結合させ、この電気光学結晶にレーザ光を入
射し、レーザ光の偏光状態により被測定信号の波形を観
測することができる。ここでレーザ光をパルス状にし、
被測定信号をサンプリングすると非常に高い時間分解能
で測定することができる。この現象を利用した電気光学
プローバを用いたのが電気光学サンプリングプローバで
ある。
【０００３】この電気光学サンプリング（Electro−Opt
ic Sampling）プローバ（以下、ＥＯＳプローバと称す
る）は電気式プローブを用いた従来のプローバと比較し
て、 １）信号を測定する際に、グランド線を必要としないた
め、測定が容易 ２）電気光学プローバの先端が回路系から絶縁されてい
るので高入力インピーダンスを実現でき、その結果被測
定点の状態をほとんど乱すことがない ３）光パルスを利用することからＧＨｚオーダーの広帯
域測定が可能 ４）電気光学結晶をＩＣなどのウエハに接触させ、ＩＣ
ウエハ上の配線にレーザ光を集光することによって、金
属ピンを物理的に接触させることができない細い配線で
も測定が可能 といった特徴があり注目を集めている。
【０００４】従来技術におけるＥＯＳプローバの構成を
図４を参照して説明する。図４において、符号１は、Ｉ
Ｃウエハであり、外部と電源線、信号線によって接続さ
れている。符号２は、電気光学結晶でできた電気光学素
子である。符号３は、対物レンズであり、電気光学素子
２へ入射する光を集光するためのものである。符号４
は、ダイクロイックミラー４ａ、ハーフミラー４ｂを備
えたプローバ本体である。符号６ａは、フォトダイオー
ドと偏光ビームスプリッタと波長板などからなるＥＯＳ
光学系モジュール（以下、ＥＯＳ光学系と称する）であ
り、符号６９は、ＥＯＳ光学系の一方の端部に取り付け
られたファイバコリメータである。
【０００５】符号７は、測定するＩＣウエハ１を照明す
るためのハロゲンランプである。符号８は、ＩＣウエハ
１上の配線に光を集光させる位置決めの確認を行う赤外
線カメラ（以下ＩＲカメラと称する）である。符号９
は、ＩＣウエハ１を吸着して固定する吸着ステージであ
り、直交したｘ軸、ｙ軸、ｚ軸方向に微動が可能であ
る。符号１０は、吸着ステージ９が取り付けられた定盤
（一部省略）である。符号１１は、外部から発せられた
レーザ光を伝播する光ファイバであり、光ファイバ端部
１１ａによってファイバコリメータ６９に固定されてい
る。この光ファイバ端部１１ａは、着脱可能であり、異
なった光ファイバ１１を使用できるようになっている。
【０００６】次に、図４を参照して、外部から発せられ
たレーザ光の光路について説明する。図４において、プ
ローバ本体４内のレーザ光の光路を符号Ａで表す。
【０００７】先ず、光ファイバ１１を介してＥＯＳ光学
系６ａへ入射したレーザ光は、ファイバコリメータ６９
によって平行光にされ、このＥＯＳ光学系６ａ内を直進
して、プローバ本体４内に入射する。さらにプローバ本
体４内を直進して、ダイクロイックミラー４ａによって
９０度折り返され、対物レンズ３によってＩＣウエハ１
上の配線上に配置された電気光学素子２の、ＩＣウエハ
１と対向する側の面に集光される。
【０００８】ここで、光ファイバ１１を介してＥＯＳ光
学系６ａへ入射するレーザ光の波長は１５５０［ｎｍ］
である。一方、ここで用いられるダイクロイックミラー
４ａの特性は、波長が１５５０［ｎｍ］の光を５％透過
し、９５％反射する特性を有している。したがって、レ
ーザ光源から発せられた光の９５％は反射して９０度折
り返される。
【０００９】電気光学素子２のＩＣウエハ１と対向する
側の表面には誘電体ミラーが蒸着されており、そこで反
射したレーザ光は、対物レンズ３によって再び平行光に
されて、同じ光路を通ってＥＯＳ光学系６ａへ戻り、Ｅ
ＯＳ光学系６ａ内のフォトダイオードへ入射する。この
ＥＯＳ光学系６ａの構成は後で詳述する。
【００１０】次に、ハロゲンランプ７とＩＲカメラ８を
使用してＩＣウエハ１の位置決めを行う場合のハロゲン
ランプ９が発する光の光路とＩＣウエハ１の位置決め動
作について説明する。図４において、ハロゲンランプ７
が発する光の光路を符号Ｂで示す。
【００１１】ここで用いられるハロゲンランプ７は、４
００［ｎｍ］〜１６５０［ｎｍ］の範囲の波長の光を発
する。ハロゲンランプ７から発せられた光は、ハーフミ
ラー４ｂによって９０度折り返され、ダイクロイックミ
ラー４ａを直進して、ＩＣウエハ１を照明する。ここで
用いられるハーフミラー４ｂは、反射光と透過光の強度
が等しくなるハーフミラーである。
【００１２】一方、ＩＲカメラ８は、対物レンズ３視野
内のハロゲンランプ７によって照明されたＩＣウエハ１
の一部を撮像して、この赤外線画像をモニタ８ａに表示
する。作業者は、モニタ８ａに表示された画像を見なが
ら吸着ステージ９を微動させて、ＩＣウエハ１上の測定
対象となる配線が視野内に入るように調整する。
【００１３】さらに作業者は、光ファイバ１１を介して
ＥＯＳ光学系６ａへ入射したレーザ光がＩＣウエハ１の
配線上の電気光学素子２の表面において反射し、さらに
ダイクロイックミラー４ａを透過した光を、ＩＲカメラ
８の画像によって確認することによって、このレーザ光
が測定しようとする配線上の電気光学素子２の表面の一
点に集光するように吸着ステージ９あるいはプローバ本
体４を調整する。このとき、ダイクロイックミラー４ａ
は、レーザ光の波長域を５％透過する特性を有している
ためにＩＲカメラ８によって、このレーザ光を確認する
ことができる。
【００１４】次に、図４に示したＥＯＳプローバを用い
て、被測定信号を測定する動作について説明する。ＩＣ
ウエハ１上の配線に電圧を加えると、その電界が電気光
学素子２へ加わり、電気光学素子２ではポッケルス効果
により屈折率が変化する現象が起きる。これにより、レ
ーザ光が電気光学素子２へ入射し、ＩＣウエハ１と対向
する側の表面において反射され、再び同じ経路を戻り、
電気光学素子２から出射するときに光の偏光状態が変化
する。そして、この偏光状態が変化したレーザ光は、再
びＥＯＳ光学系６ａに入射する。
【００１５】ＥＯＳ光学系６ａへ入射した光は、ＥＯＳ
光学系６ａ内において、上記偏光状態の変化を光強度の
変化に変換し、この光強度変化をフォトダイオードによ
って受光して電気信号に変換して、この電気信号を信号
処理部（図示せず）において信号処理することによっ
て、ＩＣウエハ１上の配線に加わる電気信号を測定する
ことができる。
【００１６】次に、図４に示すＥＯＳ光学系６ａの構成
を説明する。図５は、ＥＯＳ光学系６ａの詳細な構成を
示した図である。図５において、符号６１、６４は、１
／２波長板であり、符号６２は１／４波長板である。符
号６３、６６は偏光ビームスプリッタであり、符号６５
は、ファラディー素子である。この１／２波長板６１、
６４と、１／４波長板６２と、偏光ビームスプリッタ６
３、６６と、ファラディー素子６５によって構成される
光学系を光アイソレータ６０という。符号６７、６８
は、レーザ光を受光するフォトダイオードであるり、こ
の２つのフォトダイオード６７、６８の差動出力信号が
測定した結果の信号となる。なお、１／２波長板６１及
び１／４波長板６２は、２つのフォトダイオード６７、
６８へ入射する光のバランスを調整するものである。
【００１７】次に、ＥＯＳ光学系６ａによって、ＩＣウ
エハ１上の配線の電気信号を測定する動作を説明する。
ＥＯＳ光学系６ａは、光ファイバ１１によって、外部の
光源からレーザ光が供給される。このレーザ光は、ファ
イバコリメータ６９によって平行光に変換される。次
に、この平行光はプローバ本体４内のダイクロイックミ
ラー４ａによって９０度折り返されて、対物レンズ３に
よって集光される。集光されたレーザ光は、電気光学素
子２を透過してＩＣウエハ１上の配線と対向する電気光
学素子２の表面に到達する。
【００１８】このとき配線に加わる電圧によって、その
電界が電気光学素子２へ加わり、電気光学素子２では、
ポッケルス効果により屈折率が変化する現象が起きる。
これにより、電気光学素子２へ入射したレーザ光が電気
光学素子２を伝搬するときに光の偏光状態が変化する。
そして、この偏光状態が変化したレーザ光は、ＩＣウエ
ハ１の配線上の電気光学素子２の表面のミラーによって
反射され、電気光学素子２へ入射したときと同じ光路を
逆に進み、ＥＯＳ光学系６ａへ入射する。このレーザ光
は、光アイソレータ６０によって分離され、フォトダイ
オード６７、６８へ入射し、電気信号に変換される。
【００１９】測定点（ＩＣウエハ１上の配線）の電圧の
変化にともなって、電気光学素子２による偏光状態の変
化がフォトダイオード６７とフォトダイオード６８の出
力差になり、この出力差を検出することによって、ＩＣ
ウエハ１上の配線に伝わる電気信号を測定することがで
きる。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術の電気光学サンプリングプローバにあっては、図４に
示すようにファイバコリメータ６９から発せられた平行
光がフォトダイオード６７、６８へ入射するまでの光路
長が長く、さらに光学系を構成する光学部品の数も多
く、光軸がずれ易いために正確な測定ができないという
問題がある。
【００２１】また、ＩＣウエハ１の表面に配置された電
気光学素子２のＩＣウエハ１と対向する側の面において
反射した光をフォトダイオード６７、６８によって受光
する構成であるために、測定対象であるＩＣウエハ１あ
るいは電気光学素子２を取り替えることにより、このＩ
Ｃウエハ１あるいは電気光学素子２と光学系との位置関
係が変化して結果的に光軸がずれるという問題がある。
【００２２】さらに、光ファイバ端部１１ａを着脱する
ことによって、ファイバコリメータ６９から発せられる
平行光の出射方向がずれてしまうという問題がある。
【００２３】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、測定対象のＩＣウエハ１あるいは電気光学素
子２を取り替えた場合や光ファイバの着脱を行った場合
において発生した光軸ずれを簡単に補正することができ
る電気光学サンプリングプローバを提供することを目的
とする。
【００２４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、測定対象のＩＣウエハ表面上の配線に接し、この配
線を介して電界が印加されて光学特性が変化する電気光
学素子と、内部に偏光ビームスプリッタと波長板とフォ
トダイオードを有し、外部から発せられたレーザ光が前
記電気光学素子内を透過してさらに前記配線に対向する
前記電気光学素子の表面において反射された光を分離し
て電気信号に変換する電気光学サンプリング光学系モジ
ュールとを備えた電気光学サンプリングプローバにおい
て、前記電気光学サンプリング光学系モジュールは、前
記レーザ光を発する光ファイバの着脱部に設けられ、前
記レーザ光の光軸方向を調整する光軸調整部と、前記フ
ォトダイオード着脱部に設けられ、該フォトダイオード
の受光面の位置を調整する受光面調整部とを備えたこと
を特徴とする。
【００２５】請求項２に記載の発明は、前記光軸調整部
は、直交する３軸方向の微動ステージ及び２軸のあおり
ステージとから構成されることを特徴とする。
【００２６】請求項３に記載の発明は、前記受光面調整
部は、直交する２軸の微動ステージによって構成される
ことを特徴とする。
【００２７】請求項４に記載の発明は、測定対象のＩＣ
ウエハ表面上の配線に接し、この配線を介して電界が印
加されて光学特性が変化する電気光学素子と、内部に偏
光ビームスプリッタと波長板とフォトダイオードを有
し、外部から発せられたレーザ光が前記電気光学素子内
を透過してさらに前記配線に対向する前記電気光学素子
の表面において反射された光を分離して電気信号に変換
する電気光学サンプリング光学系モジュールとを備えた
電気光学サンプリングプローバにおける光軸の調整方法
であって、前記調整方法は、前記レーザ光を発する光フ
ァイバを直交する２軸方向へ移動することにより、前記
レーザ光の発する平面上の位置を調整する過程と、前記
光ファイバの光軸方向へ該光ファイバを移動して、前記
電気光学サンプリング光学系モジュールから出射する平
行光の状態を調整する過程と、前記直交する２軸のそれ
ぞれについて軸回りに回転するすることにより、前記平
面の傾きを調整する過程と、前記フォトダイオードを直
交する２軸方向へ移動して受光面の位置を調整する過程
とを有することを特徴する。
【００２８】請求項５に記載の発明は、前記調整方法
は、それぞれの調整過程において、フォトダイオードの
出力信号が最大になるように調整することを特徴とす
る。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態による
電気光学サンプリングプローバを図面を参照して説明す
る。図１は同実施形態におけるＥＯＳ光学系６ａの構成
を示した正面図である。図２は、図１に示すＥＯＳ光学
系６ａの側面図であり、図３はＥＯＳ光学系６ａの平面
図である。図１において、図５に示す従来のプローバと
同一の光学部品には同一の符号を付し、その説明を省略
する。この図に示すプローバが従来技術と異なる点は、
ＥＯＳ光学系６ａを構成する光学部品の調整機構を設け
た点である。
【００３０】図１において、符号１２は光ファイバ端部
１１ａを着脱する光ファイバ着脱部である。この光ファ
イバ着脱部１２は、図１の符号Ａで示す面に固定されて
おり、この面Ａは、光ファイバ端部１１ａを光ファイバ
着脱部１２に取り付けた場合、光ファイバ端部１１ａか
ら発せられる光の光軸と垂直になるようになっている。
また、光ファイバ着脱部１２は、直交する３軸の微動ス
テージに固定されている。符号１１ｂは、図１の紙面の
水平方向に光ファイバ着脱部１２を微動させる回転ツマ
ミである。符号１１ｃは、図１の紙面の垂直（上下）方
向に光ファイバ着脱部１２を微動させる回転ツマミであ
る。この回転ツマミ１１ｃを回転すると、光ファイバ端
部１１ａから発せられる光の光軸方向に光ファイバ着脱
部１２を微動するため、コリメータ６９との距離を変化
させることができる。これによって、光のコリメート状
態を調整することができる。
【００３１】図２に示す符号１１ｄは、図２の紙面の水
平（左右）方向に光ファイバ着脱部１２を微動させる回
転ツマミである。
【００３２】回転ツマミ１１ｂ、１１ｄをそれぞれ回転
することによって、光ファイバ着脱部１２を面Ａに平行
な面上の位置を調整することができる。また、回転ツマ
ミ１１ｃを回転することによって、光軸方向の位置を調
整することができる。
【００３３】図３に示す符号１１ｅ、１１ｆは、光ファ
イバ端部１１ａから発せられる光の光軸を図３の紙面の
垂直（上下）、水平（左右）方向へ振るためのあおりス
テージを調整する回転ツマミである。
【００３４】また、図１、２に示す符号２２ａ、２３ａ
は、フォトダイオード６７、６８を図１の紙面に対して
垂直方向（図２の水平方向）に微動させる回転ツマミあ
る。
【００３５】さらに、図１、３に示す符号２２ｂ、２３
ｂは、フォトダイオード６７、６８をそれぞれ図１の紙
面の垂直（上下）方向に微動させる回転ツマミである。
【００３６】なお、図２に示す回転ツマミ２４、２５
は、図１に示す１／２波長板６１、１／４波長板６２を
光軸周りに回転して、この１／２波長板、１／４波長板
を透過する光の光量を調整するための回転ツマミであ
る。
【００３７】次に、図１、２、３を参照して、ＥＯＳ光
学系６ａの調整を行う手順を説明する。まず、光ファイ
バ端部１１ａを光ファイバ着脱部１２へ取り付ける。次
に、回転ツマミ１１ｂを回転して微動ステージを移動さ
せ、光ファイバ着脱部１２を図１の紙面の水平方向の位
置を調整する。次に、回転ツマミ１１ｄを回転して微動
ステージを移動させ、光ファイバ着脱部１２を図２の紙
面の水平方向の位置を調整する。この調整によって、光
ファイバ着脱部１２を平面上で移動させることになる。
【００３８】次に、回転ツマミ１１ｃを回転して微動ス
テージを移動させ、光ファイバ着脱部１２を図１の紙面
の垂直方向の位置を調整する。この調整によって、ファ
イバコリメータ６９との距離が変化して、光のコリメー
ト状態を調整することができる。
【００３９】次に、回転ツマミ１１ｅ、１１ｆを回転し
て、あおりステージをあおることによって光の光軸の傾
きを調整する。
【００４０】この調整によって、光ファイバ端部１１ａ
から発せられた光を確実に電気光学素子２へ入射させる
ことができる。また、この調整を行う場合、フォトダイ
オード６７、６８から出力される電流が最大になるよう
に、光ファイバ着脱部１２の位置の調整を行う。
【００４１】次に、回転ツマミ２２ａ、２３ａ、２２
ｂ、２３ｂをそれぞれ回転することによって、フォトダ
イオード６７、６８の受光面を微動させ、フォトダイオ
ード６７、６８から出力される電流が最大になるように
調整する。
【００４２】この調整によって、ＩＣウエハ１が多少傾
いて配置されていても、電気光学素子２に設けられたミ
ラーにより反射した反射光を確実にフォトダイオード６
７、６８へ入射させることができる。
【００４３】最後に、回転ツマミ２４、２５をそれぞれ
回転することによって、１／２波長板６１、１／４波長
板６２を光軸周りに回転させ、フォトダイオード６７、
６８のそれぞれから出力される電流値が等しくなるよう
に調整する。
【００４４】このように、光ファイバを着脱することに
よって発生した光軸ずれを、調整手順に従って調整する
ことによって、光軸のずれを簡単に補正することができ
る。
【００４５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、電気光学サンプリング光学系モジュール内に、レー
ザ光を発する光ファイバの着脱部に設けられ、レーザ光
の光軸方向を調整する光軸調整部と、フォトダイオード
着脱部に設けられ、このフォトダイオードの受光面の位
置を調整する受光面調整部と備えたため、測定対象のＩ
Ｃウエハを取り替えた場合や光ファイバの着脱を行った
場合において発生した光軸ずれを簡単に補正することが
できるという効果が得られる。
【００４６】また、この発明によれば、フォトダイオー
ドの出力信号を確認しながら、順に各調整部の調整を行
うようにしたため、光ファイバの光軸を最適な位置にす
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態における電気光学サンプリ
ング光学系モジュール６ａの構成を示す正面図である。
【図２】本発明の一実施形態における電気光学サンプリ
ング光学系モジュール６ａの構成を示す側面図である。
【図３】本発明の一実施形態における電気光学サンプリ
ング光学系モジュール６ａの構成を示す平面図である。
【図４】従来技術による電気光学サンプリングプローバ
の構成を示す図である。
【図５】従来技術によるＥＯＳ光学系モジュール６ａの
構成を示す図である。
【符号の説明】
１・・・ＩＣウエハ、 ２・・・電気光学素子、 ３・・・対物レンズ、 ４・・・プローバ本体、 ４ａ・・・ダイクロイックミラー、 ４ｂ・・・ハーフミラー、 ６ａ・・・ＥＯＳ光学系モジュール、 ６９・・・ファイバコリメータ、 ７・・・ハロゲンランプ、 ８・・・ＩＲカメラ（赤外線カメラ）、 ８ａ・・・モニタ、 ９・・・吸着ステージ、 １０・・・定盤、 １１・・・光ファイバ、 １１ａ・・・光ファイバ端部、 １１ｂ、１１ｃ、１１ｄ・・・回転ツマミ、 １２・・・光ファイバ着脱部 ２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ・・・回転ツマミ、 ２４、２５・・・回転ツマミ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 克志 東京都大田区蒲田４丁目19番７号 安藤電 気株式会社内 (72)発明者 永妻 忠夫 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 品川 満 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 山田 順三 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 測定対象のＩＣウエハ表面上の配線に接
    し、この配線を介して電界が印加されて光学特性が変化
    する電気光学素子と、 内部に偏光ビームスプリッタと波長板とフォトダイオー
    ドを有し、外部から発せられたレーザ光が前記電気光学
    素子内を透過してさらに前記配線に対向する前記電気光
    学素子の表面において反射された光を分離して電気信号
    に変換する電気光学サンプリング光学系モジュールと、 を備えた電気光学サンプリングプローバにおいて、 前記電気光学サンプリング光学系モジュールは、 前記レーザ光を発する光ファイバの着脱部に設けられ、
    前記レーザ光の光軸方向を調整する光軸調整部と、 前記フォトダイオード着脱部に設けられ、該フォトダイ
    オードの受光面の位置を調整する受光面調整部と、 を備えたことを特徴とする電気光学サンプリングプロー
    バ。
  2. 【請求項２】 前記光軸調整部は、 直交する３軸方向の微動ステージ及び２軸のあおりステ
    ージとから構成されることを特徴とする請求項１に記載
    の電気光学サンプリングプローバ。
  3. 【請求項３】 前記受光面調整部は、直交する２軸の微
    動ステージによって構成されることを特徴とする請求項
    １に記載の電気光学サンプリングプローバ。
  4. 【請求項４】 測定対象のＩＣウエハ表面上の配線に接
    し、この配線を介して電界が印加されて光学特性が変化
    する電気光学素子と、 内部に偏光ビームスプリッタと波長板とフォトダイオー
    ドを有し、外部から発せられたレーザ光が前記電気光学
    素子内を透過してさらに前記配線に対向する前記電気光
    学素子の表面において反射された光を分離して電気信号
    に変換する電気光学サンプリング光学系モジュールとを
    備えた電気光学サンプリングプローバにおける光軸の調
    整方法であって、 前記調整方法は、 前記レーザ光を発する光ファイバを直交する２軸方向へ
    移動することにより、前記レーザ光の発する平面上の位
    置を調整する過程と、 前記光ファイバの光軸方向へ該光ファイバを移動して、
    前記電気光学サンプリング光学系モジュールから出射す
    る平行光の状態を調整する過程と、 前記直交する２軸のそれぞれについて軸回りに回転する
    することにより、前記平面の傾きを調整する過程と、 前記フォトダイオードを直交する２軸方向へ移動して受
    光面の位置を調整する過程と、 を有することを特徴する電気光学サンプリングプローバ
    における光軸の調整方法。
  5. 【請求項５】 前記調整方法は、 それぞれの調整過程において、フォトダイオードの出力
    信号が最大になるように調整することを特徴とする請求
    項４に記載の電気光学サンプリングプローバにおける光
    軸の調整方法。
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