JP2000285152A - レイアウトデータの階層化処理方法、レイアウトデータの階層化処理システムおよび記録媒体 - Google Patents

レイアウトデータの階層化処理方法、レイアウトデータの階層化処理システムおよび記録媒体

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JP2000285152A
JP2000285152A JP11092697A JP9269799A JP2000285152A JP 2000285152 A JP2000285152 A JP 2000285152A JP 11092697 A JP11092697 A JP 11092697A JP 9269799 A JP9269799 A JP 9269799A JP 2000285152 A JP2000285152 A JP 2000285152A
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JP11092697A
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Shinichi Ueki
伸一 植木
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Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 レイアウトデータのデータサイズを小さく
し、記録媒体の使用量の低減およびネットワーク転送の
高速化を図る。 【解決手段】 ステップS1においてレイアウトデータ
設計を行い、階層構造を有するレイアウトデータ1を作
成する。レイアウトデータ1からセル領域情報を出力す
るとともに、ステップS2においてレイアウトデータ1
に展開処理を含む図形演算処理を行い、階層構造を有し
ないレイアウトデータ3を出力する。セル領域情報2を
参照して、レイアウトデータ3におけるパターン情報お
よびセル引用情報が同一の領域のものを1つのセル定義
としてまとめ、このセル定義を引用するセル引用を、該
当する領域に追加する。これらの処理を順次繰り返し実
行することにより、レイアウトデータ3を階層化し、新
たな階層構造を有するレイアウトデータ4を出力する。
レイアウトデータ4にEB変換処理を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、レイアウトデー
タの階層化処理方法、レイアウトデータの階層化処理シ
ステムおよび記録媒体に関し、特に、階層構造が展開さ
れたレイアウトデータに適用して好適なものである。
【0002】
【従来の技術】従来、設計されたレイアウトデータから
電子線描画装置(EB描画装置)などの描画装置に適合
した描画データに変換する場合には、次のように行われ
ていた。
【0003】すなわち、図7に示すように、まず、CA
D(Computer Aided Design) などによりレイアウトデー
タ設計101を行うことによって、階層構造を有するレ
イアウトデータ102が作成される。この階層構造を有
するレイアウトデータ102の一例を図8に示す。図8
Aに示すように、このレイアウトデータ102は、トッ
プセルから見て4つのパターンデータ102a、2つの
パターンデータ102b、および2つのパターンデータ
102cから構成されている。また、その階層構造は、
図8Bに示すように、セルトップに2つのセルAと2つ
のセルBとが引用されており、2つのセルBにそれぞれ
1つのセルCが引用されている構造である。
【0004】次に、図7に示すように、レイアウトデー
タ102に対して、展開処理を含む図形演算処理103
を行うことによって、レイアウトデータ102の階層構
造が展開される。この展開処理を行った後、デザインル
ールチェック(Design RuleCheck 、DRC)のような
演算処理が行われる。これにより、図9Aに示すよう
に、パターンデータ102a、102b、102c、1
02dを有する階層構造を有しないフラットなレイアウ
トデータ104が作成される。そして、図9Bに示すよ
うに、このときの階層構造は、セル引用がセルトップに
展開された構造となる。
【0005】その後、図7に示すように、階層構造を有
しないレイアウトデータ104に対して、EB描画装置
などのフォーマットに適合するように、EB変換処理1
05を行う。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
フラットなレイアウトデータはそのデータサイズが大き
く、これによりLSIの大規模化に伴って、レイアウト
データを保存するためのディスクなどの記録媒体の容量
が不足してしまったり、このレイアウトデータをネット
ワーク転送する際の転送時間が長時間になってしまうと
いう問題が生じていた。
【0007】したがって、この発明の目的は、レイアウ
トデータのデータサイズを小さくすることができ、ディ
スクなどの記録媒体の使用量の低減およびネットワーク
転送の高速化を図ることができるレイアウトデータの階
層化処理方法、レイアウトデータの階層化処理システム
および記録媒体を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の第1の発明は、階層構造を有し複数のセ
ル領域情報を有する第1のレイアウトデータに対して展
開処理を行うことにより作成された第2のレイアウトデ
ータを、セル領域情報を参照して階層化するようにした
ことを特徴とするレイアウトデータの階層化処理方法で
ある。
【0009】この第1の発明において、典型的には、第
2のレイアウトデータの、複数のセル領域情報のうちの
第1のセル領域情報によって指定される第1の領域のパ
ターン情報およびセル引用情報と、複数のセル領域情報
のうちの第2のセル領域情報で指定される第2の領域の
パターン情報およびセル引用情報とをそれぞれ比較し、
第1の領域のパターン情報と第2の領域のパターン情報
とが同一であり、かつ第1の領域のセル引用情報と第2
のセル領域のセル引用情報とが同一である場合に、第2
のレイアウトデータから第2の領域内のパターンデータ
およびセル引用データを削除し、第2のレイアウトデー
タにセル引用を追加する、レイアウトデータ変更処理を
有し、好適には、このレイアウトデータ変更処理を、第
2のレイアウトデータに対して、第1の領域におけると
同一のパターン情報およびセル引用情報が存在しなくな
るまで繰り返し行う。また、好適には、第1の領域内の
パターンデータおよびセル引用データをセル引用に引用
可能な第1のセル定義として第2のレイアウトデータに
追加するセル定義追加処理をさらに有する。
【0010】この発明の第2の発明は、階層構造を有し
N個のセル領域を有する第1のレイアウトデータに対し
て展開処理を行うことにより第2のレイアウトデータを
作成するとともに、第1のレイアウトデータから、N個
のセル領域に対応したN個のセル領域情報を抽出する第
1のステップと、N個のセル領域情報から基準セル領域
情報を選択する第2のステップと、第2のレイアウトデ
ータのうちの、基準セル領域情報により指定される基準
領域と、N個のセル領域情報から基準セル領域情報を除
いた(N−1)個のセル領域情報により指定される(N
−1)個の領域のそれぞれの領域とを比較することによ
って、(N−1)個のセル領域から基準領域と同一の領
域を抽出する第3のステップと、N個のセル領域情報か
ら、基準セル領域情報と同一の領域に対応するセル領域
情報とを削除する第4のステップと、第2のレイアウト
データから、同一の領域内のパターンデータおよびセル
引用データと、基準領域内のパターンデータおよびセル
引用データとを削除し、第2のレイアウトデータにセル
引用を追加し、セル引用に引用可能な、基準領域におけ
ると同一のパターンデータおよびセル引用データを有す
るセル定義を、第2のレイアウトデータに追加する第5
のステップとを有し、第2のレイアウトデータに対し
て、第2のステップから第5のステップまでを、N個の
セル領域情報がなくなるまで繰り返して行うことによ
り、第2のレイアウトデータを階層化するようにしたこ
とを特徴とするレイアウトデータの階層化処理方法であ
る。
【0011】この第2の発明において、異なるセル定義
が同一のセル名を有してしまうという、いわゆるセル名
の衝突を避けるようにするために、典型的には、セル領
域情報が少なくともセル名の情報を有し、セル定義のセ
ル名を、基準セル領域情報のセル名と、第2のステップ
から第5のステップまでの繰り返しの回数に関連した数
値とから構成する。
【0012】この発明の第3の発明は、階層構造を有
し、複数のセル領域情報を有する第1のレイアウトデー
タに対して展開処理を行うことにより作成された第2の
レイアウトデータを、セル領域情報を参照して階層化す
るように構成されていることを特徴とするレイアウトデ
ータの階層化処理システムである。
【0013】この第3の発明において、典型的には、第
2のレイアウトデータを記憶するレイアウトデータ記憶
手段と、複数のセル領域情報を記憶するセル領域情報記
憶手段と、第2のレイアウトデータのうちの、複数のセ
ル領域情報から選択された第1のセル領域情報により指
定される第1の領域のパターン情報およびセル引用情報
と複数のセル領域情報のうちの第2のセル領域情報によ
り指定される第2の領域のパターン情報およびセル引用
情報とをそれぞれ比較する比較手段と、比較手段によ
り、第2の領域のうちの第1の領域のパターン情報およ
びセル引用情報と一致すると判断されたパターン情報お
よびセル引用情報を有する領域のパターンデータおよび
セル引用データを、第2のレイアウトデータから削除
し、第2のレイアウトデータにセル引用を追加するレイ
アウトデータ変更手段とを有する。また、この第3の発
明において、第1の領域のパターンデータおよびセル引
用データを、セル引用に引用可能なセル定義として第2
のレイアウトデータに追加するセル定義追加手段をさら
に有する。このとき、典型的には、異なるセル定義が同
一のセル名を有しないようにするために、セル領域情報
が少なくともセル名の情報を有し、セル定義追加手段
が、セル定義のセル名を第1のセル領域情報のセル名と
セル定義の追加を行う回数に関連した数値とから構成す
るようにする。
【0014】この発明の第4の発明は、階層構造を有
し、N個のセル領域を有する第1のレイアウトデータに
対して展開処理を行うことによって作成された第2のレ
イアウトデータを記憶するレイアウトデータ記憶手段
と、第1のレイアウトデータから抽出された、N個のセ
ル領域に対応したN個のセル領域情報を記憶するセル領
域情報記憶手段と、第2のレイアウトデータのうちの、
N個のセル領域情報から選択された基準セル領域情報に
より指定される基準領域を記憶する基準セル領域記憶手
段と、第2のレイアウトデータのうちの、N個のセル領
域情報から基準セル領域情報を除いた(N−1)個のセ
ル領域情報により指定される(N−1)個の領域の少な
くとも1つの領域を、比較対象領域として記憶する比較
対象セル領域記憶手段と、基準セル領域記憶手段に記憶
された基準領域のパターン情報およびセル引用情報と、
比較対象セル領域記憶手段に記憶された比較対象領域の
パターン情報およびセル引用情報とをそれぞれ比較し、
基準領域と比較対象領域とが同一であるか否かを判断す
る比較判定手段と、レイアウトデータ記憶手段に記憶さ
れた第2のレイアウトデータから、比較対象領域と基準
領域とを削除し、第2のレイアウトデータにセル引用を
追加するレイアウトデータ変更手段と、セル引用に引用
可能な、基準領域におけると同一のパターンデータおよ
びセル引用データを有するセル定義を、レイアウトデー
タ記憶手段に記憶された第2のレイアウトデータに追加
するセル定義追加手段とを有することを特徴とするレイ
アウトデータの階層化処理システムである。
【0015】この第4の発明において、セル定義におけ
るセル名の衝突を避けるために、典型的には、セル定義
追加手段は、セル定義のセル名を、基準セル領域情報に
含まれる基準セル領域のセル名と、セル定義の追加の回
数に関連した数値とから構成されるように作成する。
【0016】この発明の第5の発明は、階層構造を有
し、セル領域情報を有する第1のレイアウトデータに対
して展開処理を行うことによって作成された第2のレイ
アウトデータを、セル領域情報を参照して階層化するよ
うにしたレイアウトデータの階層化処理方法が記録され
ていることを特徴とする記録媒体である。
【0017】この発明の第6の発明は、階層構造を有
し、N個のセル領域を有する第1のレイアウトデータか
ら抽出された、N個のセル領域に対応するN個のセル領
域情報に対して、基準セル領域情報を選択する第1のス
テップと、第1のレイアウトデータに対して、展開処理
を行うことにより作成された第2のレイアウトデータの
うちの、基準セル領域情報により指定される基準領域
と、N個のセル領域情報から基準セル領域情報を除いた
(N−1)個のそれぞれのセル領域情報により指定され
る(N−1)個の領域におけるそれぞれの領域とを比較
することによって、(N−1)個の領域から基準領域と
同一の領域を抽出する第2のステップと、N個のセル領
域情報から、基準セル領域情報と同一の領域に対応する
セル領域情報とを削除する第3のステップと、第2のレ
イアウトデータから、同一の領域内のパターンデータお
よびセル引用データと、基準領域内のパターンデータお
よびセル引用データとを削除し、第2のレイアウトデー
タにセル引用を追加し、セル引用に引用可能な、基準セ
ル領域におけると同一のパターンデータおよびセル引用
データを有するセル定義を、第2のレイアウトデータに
追加する第4のステップとを有し、第1のステップから
第4のステップまでを、N個のセル領域情報がなくなる
まで繰り返して行うことにより、第2のレイアウトデー
タを階層化するようにしたレイアウトデータの階層化処
理方法が記録されていることを特徴とする記録媒体であ
る。
【0018】この発明において、典型的には、セル領域
情報は、少なくともセル名の情報およびセル領域の情報
を有し、好適には、セル領域情報は、セル名の情報、セ
ル配置位置の情報およびセル領域の情報を有する。ま
た、この発明において、セル名とは、セル定義とセル引
用に付けられる名称であり、セルの配置位置とは、セル
引用が配置された位置で、レイアウトデータにおけるト
ップセルから見たときの座標を表し、セルの領域は、レ
イアウトデータにおけるセルの占める領域である。
【0019】この発明において、パターン情報とは、パ
ターンデータにおける頂点の位置の座標を示し、セル引
用情報とは、セル引用データにおけるセル名とセルの配
置位置の座標を示す。また、この発明において、同一の
領域とは、複数の領域において、パターン情報およびセ
ル引用情報が相互に一致する領域である。
【0020】上述のように構成されたこの発明によるレ
イアウトデータ階層化処理方法、レイアウトデータ階層
化処理システムおよび記録媒体によれば、階層構造が展
開され、演算処理が行われたレイアウトデータを、セル
領域情報を用いて新たに階層化するようにしていること
により、階層構造を有しないレイアウトデータの圧縮を
行うことができ、そのデータサイズを小さくすることが
できる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施形態につ
いて図面を参照しながら説明する。なお、以下の一実施
形態の全図においては、同一または対応する部分には同
一の符号を付す。
【0022】まず、この発明の一実施形態によるレイア
ウトデータの階層化処理方法を含む、レイアウトデータ
の処理について説明する。図1にこの一実施形態による
レイアウトデータに対する処理のフローチャートを示
す。
【0023】図1に示すように、この一実施形態による
レイアウトデータの処理においては、まず、ステップS
1において、CADなどを用いてレイアウトデータ設計
を行う。これにより、階層構造を有するレイアウトデー
タ1が作成され、出力される。この階層構造を有するレ
イアウトデータ1はセル領域情報リスト2を有する。な
お、このセル領域情報リスト2は、セル名の情報、セル
配置位置の情報およびセル領域の情報から構成されるセ
ル領域情報が複数含まれている。
【0024】次に、階層構造を有するレイアウトデータ
1から全てのセル領域情報リスト2を複写して出力す
る。これとともに、ステップS2において、階層構造を
有するレイアウトデータ1に対して、階層構造の展開処
理を含む図形演算処理を行う。これにより、階層構造を
有するレイアウトデータ1の階層構造が展開されて、階
層構造を有しないレイアウトデータ3が作成され、出力
される。その後、ステップS3に移行する。
【0025】ステップS3においては、セル領域情報リ
スト2を参照して、レイアウトデータの階層化処理を行
うことにより、階層構造を有しないレイアウトデータ3
を階層化する。これによって、新たな階層構造を有する
レイアウトデータ4が作成され、出力される。なお、こ
のレイアウトデータの階層化処理方法については後述す
る。その後、ステップS4において、新たな階層構造を
有するレイアウトデータ4に対して、EB変換処理が行
われ、EB描画装置に適合するフォーマットに変換され
る。
【0026】次に、上述のステップS3におけるレイア
ウトデータの階層化処理方法について説明する。
【0027】まず、この発明の一実施形態によるレイア
ウトデータの階層化処理を行うための階層化処理システ
ムについて説明する。図2に、この一実施形態によるレ
イアウトデータの階層化処理システムを示す。
【0028】図2に示すように、この一実施形態による
レイアウトデータの階層化処理システム10は、レイア
ウトデータ記憶領域11、セル領域情報リスト記憶領域
12、基準セル領域情報記憶領域13、比較対象セル領
域情報記憶領域14、比較判定処理部15、複写制御部
16、レイアウトデータ制御部17、変数記憶領域1
8、およびセル領域情報読出部19を有して構成されて
いる。
【0029】レイアウトデータ記憶領域11は、階層化
処理システム10に入力された階層構造を有しないレイ
アウトデータ3を記憶するための領域である。また、セ
ル領域情報リスト記憶領域12は、階層化処理システム
10に入力されたセル領域情報リスト2を記憶するため
のものである。
【0030】また、基準セル領域情報記憶領域13およ
び比較対象セル領域情報記憶領域14は、それぞれレイ
アウトデータ記憶領域11に記憶されている階層構造を
有しないレイアウトデータ3のうちの、指定された領域
のパターンデータおよびセル引用データの複写を記憶す
るためのものである。基準セル領域記憶領域13には、
後述する比較判定処理において基準となる領域の情報が
記憶され、比較対象セル領域情報記憶領域14に、その
基準となる領域と比較される対象の領域の情報が記憶さ
れるように構成されている。
【0031】また、比較判定処理部15は、基準セル領
域情報記憶領域13に記憶された領域のパターン情報お
よびセル引用情報と、比較対象セル領域情報記憶領域1
4に記憶された領域のパターン情報およびセル引用情報
とをそれぞれ互いに比較し、それらが互いに一致するか
否かの判定を行うためのものである。なお、比較は、基
準セル領域情報記憶領域13および比較対象セル領域情
報記憶領域14に記憶されたそれぞれの領域のうちの、
領域の原点などの1点の位置を基準にして行われる。
【0032】また、複写制御部16は、セル領域情報リ
スト記憶領域12から読みだされたセル領域情報により
指定された領域を、レイアウトデータ記憶領域11から
抽出して、基準セル領域情報記憶領域13、または比較
対象セル領域情報記憶領域14に複写するためのもので
ある。
【0033】また、レイアウトデータ制御部17は、比
較判定処理部15による比較判定の結果に基づいて、レ
イアウトデータ記憶領域11に記憶されている階層構造
を有しないレイアウトデータ3に対して、セル定義の追
加の処理、パターンデータおよびセル引用データの削除
の処理、およびセル引用の追加の処理のうちから必要な
処理を行うためのものである。
【0034】また、変数記憶領域18は、上述のセル定
義の追加の際にセル名に付加するセル名ID変数、セル
定義を追加するか否かの判断を行うために用いるセル定
義フラグ変数、および追加セル名変数を記憶するための
ものであり、レイアウトデータ制御部17によって読み
だされたり、書き込んだりすることができるように構成
されている。
【0035】また、セル領域情報読出部19は、セル領
域情報リスト記憶領域12に記憶されているセル領域情
報リスト2から所定のセル領域情報を読みだすためのも
のである。そして、上述したように、このセル領域情報
読出部19により読みだされたセル領域情報を参照し
て、レイアウトデータ記憶領域11から、基準セル領域
情報記憶領域13および比較対象セル領域情報記憶領域
14に複写される、階層構造を有しないレイアウトデー
タ3のうちの所定の領域が指定される。
【0036】次に、上述のように構成されたレイアウト
データの階層化処理システム10を用いた、この発明の
一実施形態によるレイアウトデータの階層化処理方法に
ついて説明する。図3に、この発明の一実施形態による
レイアウトデータの階層化処理方法を示すフローチャー
トを示し、図4に、この発明の一実施形態による階層化
処理が行われる、階層構造を有しないレイアウトデータ
3およびセル領域情報リスト2を示す。
【0037】図3に示すように、この一実施形態による
レイアウトデータの階層化処理方法においては、まず、
ステップST1において、図4Aに示す階層構造を有し
ないレイアウトデータ3およびセル領域情報リスト2を
レイアウトデータの階層化処理システム10に入力す
る。次に、ステップST2において、変換記憶領域18
に記憶されるセル名IDのID変数を0に設定する。そ
の後、ステップST3に移行する。
【0038】ステップST3においては、セル領域情報
リスト記憶領域12の内部に、セル領域情報リスト2の
うちの少なくとも一部のセル領域情報が記憶されている
か否かの判定を行う。この一実施形態においては、図4
Bに示すように、階層構造を有しないレイアウトデータ
3がレイアウトデータ記憶領域11に記憶されており、
セル領域情報リスト2がセル領域情報リスト記憶領域1
2に記憶されているので、ステップST4に移行する。
【0039】ステップST4においては、セル領域情報
リスト2から1番目のセル領域情報21(セル名:セル
A、セル配置位置:(A1Xa、A1Ya)、セル領
域:〔A1Xa、A1Ya〕−−〔A1Xb、A1Y
b〕)を基準セル領域情報として選択する。
【0040】次に、レイアウトデータ記憶領域11に記
憶されている階層構造を有しないレイアウトデータ3の
うちの、セル領域情報21で指定された領域21a
(〔A1Xa、A1Ya〕−−〔A1Xb、A1Y
b〕)内にあるパターンデータおよびセル引用データ
を、複写制御部16により基準セル領域記憶領域13に
複写する。このパターンデータおよびセル引用データの
複写の際には、後に行われる比較のために、セル領域情
報21のセル配置位置(A1Xa、A1Ya)の点を原
点とした基準にして座標を移動しておく。次に、セル定
義フラグをOFFにした後、ステップST5に移行す
る。
【0041】ステップST5においては、セル領域情報
リスト2の中のセル領域情報の個数Nを算出して設定す
るとともに、カウンタiの値を2に設定する。この一実
施形態においては、図4Bに示すように、セル領域情報
リスト2には、セル領域情報が6個含まれているため、
N=6とする。その後、ステップST6に移行する。
【0042】ステップST6においては、カウンタiと
セル領域情報リスト2に含まれるセル領域情報の個数N
との比較を行い、カウンタiの値がセル領域情報リスト
2の個数N以下であるか否かの判定を行う。この段階に
おいては、i=2、N=6であり、カウンタiはセル領
域情報の個数N以下(i≦N)であるので、ステップS
T7に移行する。
【0043】ステップST7においては、セル領域情報
リスト2のうちのi番目のセル領域情報を、比較対象セ
ル領域情報として設定する。この段階においてはi=2
であるため、セル領域情報リスト2の中の2番目のセル
領域情報22(セル名:セルA、セル配置位置:(A2
Xa、A2Ya)、セル領域:〔A2Xa、A2Ya〕
−−〔A2Xb、A2Yb〕)を比較対象セル領域情報
とする。次に、複写制御部16により、レイアウトデー
タ記憶領域11に記憶された第2のレイアウトデータの
うちの、セル領域情報22により指定された領域22a
(〔A2Xa、A2Ya〕−−〔A2Xb、A2Y
b〕)内にあるパターンデータおよびセル引用データ
を、レイアウトデータ記憶領域11から比較対象セル領
域記憶領域14に複写する。この複写の際には、後に行
われる比較のために、セル領域情報22のセル配置位置
(A2Xa、A2Ya)の点を原点とした基準にして座
標を移動しておく。その後、ステップST8に移行す
る。
【0044】ステップST8においては、比較判定処理
部15において、基準セル領域記憶領域13に記憶され
ている領域内のパターン情報およびセル引用情報と、比
較対象セル領域記憶領域14に記憶されている領域内の
パターン情報およびセル引用情報とをそれぞれ比較す
る。このとき、パターン情報においてはパターンの頂点
の座標について、セル引用情報においてはセル引用のセ
ル名とセル引用の配置位置の座標とについて、全ての比
較を行う。その後、ステップST9に移行する。
【0045】ステップST9においては、ステップST
8において行われた比較の結果が一致であるか否かの判
定を行う。この段階においては、図4Bに示すように、
基準セル領域情報としてのセル領域情報21により指定
された領域21a内のパターン情報およびセル引用情報
と、比較対象セル領域情報としてのセル領域情報22に
より指定された領域22a内のパターン情報およびセル
引用情報とがそれぞれ一致しているため、ステップST
10に移行する。
【0046】ステップST10においては、セル定義フ
ラグがOFFである場合に、セル名IDのID変数に1
を加算した後、基準セル領域情報21を参照して、レイ
アウトデータ変更処理とセル定義追加処理とを行う。こ
こで、レイアウトデータ変更処理とは、レイアウトデー
タ記憶領域11に記憶されている階層構造を有しないレ
イアウトデータ3から、セル領域情報リスト2のうちの
所定のセル領域情報によって指定された領域内のパター
ンデータおよびセル引用データを削除するとともに、セ
ル領域情報の配置位置に追加セル名を持つセル引用を追
加する処理である。また、セル定義追加処理とは、基準
セル領域情報記憶領域13に複写されたパターンデータ
およびセル引用データを、レイアウトデータ記憶領域1
1にセル定義として追加する処理である。この段階にお
いては、セル定義フラグはOFFであるので、レイアウ
トデータ変更処理とセル定義追加処理とを行う。これに
よって、図5Aに示すように、階層構造を有しないレイ
アウトデータ3に、セル領域情報21によって指定され
た領域21a内のパターンデータ3a、3bが、追加セ
ル名を持つ第1のセル定義27として追加される。な
お、このようなセル定義の追加セル名は、基準セル領域
情報としてのセル領域情報のセル名にセル名IDのID
変数を付加したものとし、パターンデータおよびセル引
用データの座標値は、基準セル領域記憶領域13に記憶
されている領域の座標値と同一のものとする。すなわ
ち、この一実施形態においては、第1のセル定義27の
追加セル名を、セル領域情報21におけるセル名(セル
A)にID変数(1)を付加した「セルA−1」とす
る。これとともに、レイアウトデータ記憶領域11に記
憶された階層構造を有しないレイアウトデータ3から、
セル領域情報21によって指定された領域21a内のパ
ターンデータ3a、3bが削除され、セル領域情報21
の配置位置に、この追加セル名を持つセル引用32が追
加される。その後、セル定義フラグをONにし、ステッ
プST11に移行する。
【0047】ステップST11においては、比較対象セ
ル領域情報と追加セル名とを参照して、レイアウトデー
タ変更処理を実行する。この段階においては、階層構造
を有しないレイアウトデータ3のうちのセル領域情報2
2が指定する領域内のパターンデータおよびセル引用デ
ータを削除するとともに、比較対象セル領域情報22の
セル配置位置(A2Xa、A2Ya)に、第1のセル定
義27と同一の追加セル名「セルA−1」を持つセル引
用32を追加する。その後、ステップST12に移行す
る。
【0048】ステップST12においては、カウンタi
の値に1を加算する。これによって、この段階において
は、カウンタiはi=3となる。その後、ステップST
6に移行する。
【0049】ステップST6においては、カウンタiが
セル領域情報の個数N以下であるか否かの判定を行う。
この段階においては、i=3、N=6でありi≦Nであ
るため、ステップST7に移行する。
【0050】ステップST7においては、比較対象セル
領域情報として、セル領域情報リスト2のうちのi番目
のセル領域情報を設定する。この段階においてはi=3
であるため、セル領域情報リスト2の中の3番目のセル
領域情報23(セル名:セルB、セル配置位置:(B1
Xa、B1Ya)、セル領域:〔B1Xa、B1Ya〕
−−〔B1Xb、B1Yb〕)を比較対象セル領域情報
とする。次に、複写制御部16により、セル領域情報2
3により指定された領域23a(〔1Xa、B1Ya〕
−−〔B1Xb、B1Yb〕)内にあるパターンデータ
およびセル引用データを、レイアウトデータ記憶領域1
1から比較対象セル領域記憶領域14に複写する。この
複写の際には、セル領域情報23のセル配置位置(B1
Xa、B1Ya)の点を原点とした基準にして座標を移
動しておく。その後、ステップST8に移行する。
【0051】ステップST8においては、比較判定処理
部15において、基準セル領域記憶領域13に記憶され
ている領域内のパターン情報およびセル引用情報と、比
較対象セル領域記憶領域14に記憶されている領域内の
パターン情報およびセル引用情報とをそれぞれ比較す
る。その後、ステップST9に移行する。
【0052】ステップST9においては、ステップST
8において行われた比較の結果が一致であるか否かの判
定を行う。図4Bに示すように、この段階においては、
セル領域情報21により指定された領域21a内のパタ
ーン情報およびセル引用情報と、比較対象セル領域情報
としてのセル領域情報23により指定された領域23a
内のパターン情報およびセル引用情報とは互いに異な
り、一致しないため、ステップST12に移行する。
【0053】ステップST12においては、カウンタi
の値に1を加算する。これによって、この段階において
はカウンタiはi=4となる。その後、ステップST6
に移行する。
【0054】ステップST6においては、カウンタiが
セル領域情報リスト2におけるセル領域情報の個数N以
下であるか否かの判定を行う。この段階においては、i
=4、N=6でありi≦Nであるため、ステップST7
に移行する。
【0055】ステップST7においては、比較対象セル
領域情報として、セル領域情報リスト2のうちのi番目
のセル領域情報を設定する。この段階においてはi=4
であるため、セル領域情報リスト2の中の4番目のセル
領域情報24(セル名:セルB、セル配置位置:(B2
Xa、B1Ya)、セル領域:〔B2Xa、B1Ya〕
−−〔B2Xb、B1Yb〕)を比較対象セル領域情報
とする。次に、複写制御部16により、セル領域情報2
4により指定された領域24a(〔B2Xa、B1Y
a〕−−〔B2Xb、B1Yb〕)内にあるパターンデ
ータおよびセル引用データを、レイアウトデータ記憶領
域11から比較対象セル領域記憶領域14に複写する。
この複写の際には、比較対象セル領域情報24のセル配
置位置(B2Xa、B1Ya)の点を原点とした基準に
して座標を移動しておく。その後、ステップST8に移
行する。
【0056】ステップST8においては、比較判定処理
部15において、基準セル領域記憶領域13に記憶され
ている領域内のパターン情報およびセル引用情報と、比
較対象セル領域記憶領域14に記憶されている領域内の
パターン情報およびセル引用情報とをそれぞれ比較す
る。その後、ステップST9に移行する。
【0057】ステップST9においては、ステップST
8において行われた比較の結果が一致であるか否かの判
定を行う。図4Bに示すように、この段階においては、
基準セル領域情報としてのセル領域情報21により指定
された領域21a内のパターン情報およびセル引用情報
と、比較対象セル領域情報としてのセル領域情報24に
より指定された領域24a内のパターン情報およびセル
引用情報とは互いに異なり、一致しないため、ステップ
ST12に移行する。
【0058】ステップST12においては、カウンタi
の値に1を加算する。これによって、カウンタiの値は
i=5となる。その後、ステップST6に移行する。
【0059】ステップST6においては、カウンタiが
セル領域情報の個数N以下であるか否かの判定を行う。
この段階においては、i=5、N=6でありi≦Nであ
るため、ステップST7に移行する。
【0060】ステップST7においては、比較対象セル
領域情報として、セル領域情報リスト2のうちのi番目
のセル領域情報を設定する。この段階においてはi=5
であるため、セル領域情報リスト2の中の5番目のセル
領域情報25(セル名:セルC、セル配置位置:(C1
Xa、B1Ya)、セル領域:〔C1Xa、C1Ya〕
−−〔C1Xb、B1Yb〕)を比較対象セル領域情報
とする。次に、複写制御部16により、セル領域情報2
5により指定された領域(〔C1Xa、C1Ya〕−−
〔C1Xb、B1Yb〕)内にあるパターンデータおよ
びセル引用データを、レイアウトデータ記憶領域11か
ら比較対象セル領域記憶領域14に複写する。この複写
の際には、セル領域情報25のセル配置位置(C1X
a、C1Ya)の点を原点とした基準にして座標を移動
しておく。その後、ステップST8に移行する。
【0061】ステップST8においては、上述と同様に
して、比較判定処理部15において、基準セル領域記憶
領域13に記憶されている領域内のパターン情報および
セル引用情報と、比較対象セル領域記憶領域14に記憶
されている領域内のパターン情報およびセル引用情報と
をそれぞれ比較する。その後、ステップST9に移行す
る。
【0062】ステップST9においては、ステップST
8において行われた比較の結果が一致であるか否かの判
定を行う。図4Bに示すように、この段階においては、
基準セル領域情報21により指定された領域21a内の
パターン情報およびセル引用情報と、比較対象セル領域
情報25により指定された領域内のパターン情報および
セル引用情報とはそれぞれ互いに異なり、一致しないた
め、ステップST12に移行する。
【0063】ステップST12においては、カウンタi
の値に1を加算する。これによって、この段階において
は、カウンタiはi=6となる。その後、ステップST
6に移行する。
【0064】ステップST6においては、カウンタiが
セル領域情報リスト2におけるセル領域情報の個数N以
下であるか否かの判定を行う。この段階においては、i
=6、N=6でありi≦Nであるため、ステップST7
に移行する。
【0065】ステップST7においては、比較対象セル
領域情報として、セル領域情報リスト2のうちのi番目
のセル領域情報を設定する。この段階においてはi=6
であるため、セル領域情報リスト2の中の6番目のセル
領域情報26(セル名:セルC、セル配置位置:(C2
Xa、C1Ya)、セル領域:〔C2Xa、C1Ya〕
−−〔C2Xb、B1Yb〕)を比較対象セル領域情報
とする。次に、複写制御部16により、セル領域情報2
6により指定された領域(〔C1Xa、C1Ya〕−−
〔C1Xb、B1Yb〕)内にあるパターンデータおよ
びセル引用データを、レイアウトデータ記憶領域11か
ら比較対象セル領域記憶領域14に複写する。この複写
の際には、比較対象セル領域情報26のセル配置位置
(C1Xa、C1Ya)の点を原点とした基準にして座
標を移動しておく。その後、ステップST8に移行す
る。
【0066】ステップST8においては、比較判定処理
部15において、基準セル領域記憶領域13に記憶され
ている領域内のパターン情報およびセル引用情報と、比
較対象セル領域記憶領域14に記憶されている領域内の
パターン情報およびセル引用情報とをそれぞれ比較す
る。その後、ステップST9に移行する。
【0067】ステップST9においては、ステップST
8において行われた比較の結果が一致であるか否かの判
定を行う。図4Bに示すように、この段階においては、
セル領域情報21により指定された領域内のパターン情
報およびセル引用情報と、セル領域情報26により指定
された領域内のパターン情報およびセル引用情報とは互
いに異なり、一致しないため、ステップST12に移行
する。
【0068】ステップST12においては、カウンタi
の値に1を加算する。これによって、この段階において
は、カウンタiはi=7となる。その後、ステップST
6に移行する。
【0069】ステップST6においては、カウンタiが
セル領域情報の個数N以下であるか否かの判定を行う。
この段階においては、i=7、N=6でありi>Nであ
るため、ステップST13に移行する。
【0070】ステップST13においては、基準セル領
域情報としてのセル領域情報21を、セル領域情報リス
ト記憶領域12から削除することにより、セル領域情報
リスト2から削除する。このとき、セル領域情報リスト
2にはセル領域情報が4個残される。
【0071】このステップST13が終了した段階にお
いては、図5Aに示すように、パターンデータ3aを2
つ有する第1のセル定義27がレイアウトデータ記憶領
域11に記憶され、階層構造を有しないレイアウトデー
タ3に追加されているとともに、図5Bに示すように、
階層構造は、セルトップ31が追加セル名「セルA−
1」のセル引用32を2個引用した構造となっている。
また、階層化が行われている、階層構造を有しないレイ
アウトデータ3は、2つのパターンデータを有する1つ
の第1のセル定義27と2つのセル引用32とを有し、
パターンデータとして、6つのパターンを有して構成さ
れている。
【0072】次に、セル領域情報リスト2のうちの残さ
れた4個のセル領域情報を参照して、上述と同様の階層
化処理を順次繰り返し行う。これによって、図6Aに示
すように、階層構造を有しないレイアウトデータ3にお
いて、セルBの配置位置に「セルB−2」の追加セル名
を持つセル引用33が追加されるとともに、追加セル名
が「セルB−2」のパターンデータ3fおよびパターン
データ3eを含む第2のセル定義28が追加される。
【0073】この段階において、階層構造を有しないレ
イアウトデータ3が階層化され、2つのパターンデータ
3a、3bを有し追加セル名が「セルA−1」の第1の
セル定義27、および2つのパターンデータ3f、3e
を有し追加セル名が「セルB−2」の第2のセル定義2
8が追加されるとともに、セルトップ31に追加セル名
が「セルA−1」の2つのセル引用32と、追加セル名
が「セルB−2」の2つのセル引用33とが引用されて
いる、新たな階層構造を有するレイアウトデータ4が作
成される。
【0074】上述した第2のセル定義28が追加され、
基準セル領域情報が削除された後、ステップST3に移
行する。この段階においては、セル領域情報リスト2に
は2個のセル領域情報(セル名「セルC」)が残されて
いるため、ステップST4に移行する。
【0075】ステップST4においては、セル領域情報
リスト2から1番目のセル領域情報25(セル名:セル
C、セル配置位置:(C1Xa、C1Ya)、セル領
域:〔C1Xa、C1Ya〕−−〔C1Xb、B1Y
b〕)を基準セル領域情報として選択する。
【0076】次に、レイアウトデータ記憶領域11に記
憶されている階層構造を有しないレイアウトデータ3の
うちの、セル領域情報25で指定された領域(〔C1X
a、C1Ya〕−−〔C1Xb、B1Yb〕)内にある
パターンデータおよびセル引用データを、複写制御部1
6により基準セル領域記憶領域13に複写する。次にセ
ル定義フラグをOFFにした後、ステップST5に移行
する。
【0077】ステップST5においては、セル領域情報
の個数Nを算出して設定するとともにカウンタiの値を
2に設定する。この段階においては、セル領域情報リス
ト2内には、セル領域情報が2個含まれているため、N
=2とする。その後、ステップST6に移行する。
【0078】ステップST6においては、i=2、N=
2でありi≦Nであるため、ステップST7に移行す
る。
【0079】ステップST7においては、セル領域情報
リスト2のうちの2番目のセル領域情報26(セル名:
セルC、セル配置位置:(C2Xa、C1Ya)、セル
領域:〔C2Xa、C1Ya〕−−〔C2Xb、B1Y
b〕)を比較対象セル領域情報とする。ところが、上述
の「セルB−2」のセル引用情報に置き換えられている
ため、この比較対象セル領域情報としてのセル領域情報
26により指定された領域(〔C2Xa、C1Ya〕−
−〔C2Xb、B1Yb〕)内にはパターンデータおよ
びセル引用データが存在していない。そのため、ステッ
プST8において比較を行ったとしても、ステップST
9において比較の結果は一致しないため、ステップST
12に移行する。そして、ステップST12において、
iの値に1を加算してi=3とする。その後、ステップ
ST6に移行する。
【0080】ステップST6においては、i=3、N=
2でありi>Nであるため、ステップST13に移行す
る。ステップST13においては、基準セル領域情報と
してのセル領域情報25をセル領域情報リスト記憶領域
12から削除することにより、セル領域情報リスト2か
ら削除する。このとき、セル領域情報リスト2にはセル
領域情報が1個残される。その後、ステップST3に移
行する。
【0081】ステップST3においては、セル領域情報
リスト2にセル領域情報が1個(セル領域情報26)残
されているため、ステップST4に移行し、基準セル領
域情報リスト2から1番目のセル領域情報26(セル
名:セルC、セル配置位置:(C2Xa、C1Ya)、
セル領域:〔C2Xa、C1Ya〕−−〔C2Xb、B
1Yb〕)を基準セル領域情報として選択する。
【0082】次に、レイアウトデータ記憶領域11に記
憶されている階層構造を有しないレイアウトデータ3の
うちの、セル領域情報26で指定された領域(〔C2X
a、C1Ya〕−−〔C2Xb、B1Yb〕)内にある
パターンデータおよびセル引用データを、複写制御部1
6により基準セル領域記憶領域13に複写する。ここ
で、上述したように、セル領域情報26で指定された領
域内にはパターンデータおよびセル引用データは存在し
ていないため、基準セル領域記憶領域13に複写された
データは空のデータである。次に、セル定義フラグをO
FFにした後、ステップST5に移行する。
【0083】ステップST5においては、セル領域情報
の個数Nを算出して設定するとともに、カウンタiの値
を2に設定する。この段階においては、セル領域情報リ
スト2には、セル領域情報が1個含まれているため、N
=1とする。その後、ステップST6に移行する。
【0084】ステップST6においては、i=2、N=
1でありi>Nであるため、ステップST13に移行す
る。
【0085】ステップST13においては、基準セル領
域情報としてのセル領域情報26を、セル領域情報リス
ト記憶領域12から削除することにより、セル領域情報
リスト2から削除する。これによって、セル領域情報リ
スト2からセル領域情報が全て削除される。その後、ス
テップST3に移行する。
【0086】ステップST3においては、セル領域情報
リスト記憶領域12の内部に、セル領域情報リスト2の
少なくとも一部のセル領域情報が存在するか否かの判定
が行われる。この段階においては、上述したようにセル
領域情報リスト2から全てのセル領域情報が削除され、
セル領域情報リスト記憶領域12にセル領域情報は存在
せず、空になっているため、ステップST14に移行す
る。
【0087】ステップST14においては、上述のよう
にして階層化された新たな階層構造を有するレイアウト
データ4を、階層化処理システム10のレイアウトデー
タ記憶領域11から出力する。
【0088】以上により、階層構造を有しないレイアウ
トデータの階層化処理が終了する。
【0089】そして、この新たな階層構造を有するレイ
アウトデータに対してフォーマット変換などのEB変換
処理を行うことによって、レイアウトデータをEB描画
データに変換し、このEB描画データをEB描画装置に
供給して従来公知の方法によりこのEB描画データに基
づいたパターンを描画する。
【0090】ここで、本発明者は、上述のレイアウトデ
ータの階層化処理方法を用いて、0.35μmプロセス
における8M−SRAMのLOCレイヤにおけるレイア
ウトデータの階層化処理を行い、階層化処理が行われる
前のレイアウトデータのデータサイズと、階層化処理を
行った後のレイアウトデータのデータサイズとの比較を
行った。なお、この比較に用いられたLOCレイヤは、
レイアウトデータを構成する複数レイヤのうちの1つの
レイヤである。この比較によれば、階層化処理が行われ
る前の階層構造を有しないレイアウトデータのデータサ
イズが約1923MBであったのに対し、階層化処理が
行われた後のレイアウトデータは約98MBとなり、デ
ータサイズを約1/20に縮小することができることが
示された。また、本発明者は、このレイアウトデータの
階層化処理においては、メモリ部の繰り返しを構成する
約100万個のセル領域において、約200個の頂点の
複数のパターンを1つのセルにまとめた部分に著しい圧
縮が行われたことを知見し、この一実施形態によるレイ
アウトデータの階層化処理方法によれば、レイアウトデ
ータを大幅に圧縮することができることが確認された。
【0091】以上説明したように、この一実施形態によ
るレイアウトデータの階層化処理方法によれば、階層構
造を有しないレイアウトデータ3のうち、セル領域情報
リスト記憶領域12に記憶されているセル領域情報リス
ト2のうちの2つのセル領域情報により指定された2つ
の領域において、それらのパターン情報およびセル引用
情報がそれぞれ互いに一致する場合に、指定された領域
内のパターンデータとセル引用データとを削除して、階
層構造を有しないレイアウトデータ3にセル定義を追加
するとともに、新しいセル引用を追加する処理を、セル
領域情報リスト2のうちの全てのセル領域情報に対して
繰り返し行っていることにより、図形演算が行われ階層
構造を有しないレイアウトデータ3を、新たに階層化す
ることができるので、図形演算処理が行われたレイアウ
トデータの圧縮を行うことができ、そのデータサイズの
大幅な縮小化を図ることができる。そのため、レイアウ
トデータを記録するディスクなどの記録媒体の使用量を
大幅に低減することができるとともに、このレイアウト
データのネットワーク転送を行う際に、その処理速度の
高速化を図ることができる。
【0092】以上、この発明の一実施形態について具体
的に説明したが、この発明は、上述の一実施形態に限定
されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各
種の変形が可能である。
【0093】例えば、上述の一実施形態において挙げた
数値はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異な
る数値を用いてもよい。
【0094】例えば、上述の一実施形態においては、基
準セル領域情報と比較する比較対象セル領域は、セル領
域情報リストの中の全てのセル領域情報であったが、セ
ル領域情報リストからセル名が同一のセル領域情報リス
トを新たに作成し、階層構造を有しないレイアウトデー
タ3のうちの、同一のセル名ごとのセル領域間で比較を
行うことも可能である。このとき、階層構造を有しない
レイアウトデータ3のうちの、互いに異なるセル名を有
する2つのセル領域情報により指定される2つの領域ど
うしを比較することがないため、階層化処理における処
理速度の向上を図ることができる。
【0095】また、例えば上述の一実施形態において
は、セル領域情報リスト2のうちのセル領域情報の並び
順は、階層構造を有するレイアウトデータ1におけるも
のを使用しているが、セル領域情報リスト2のセル領域
情報の並び順を、同一のセル名を持つセル領域情報の個
数の多い順に並べ替えたセル領域情報リストを作成する
ことも可能である。このように、同一のセル名を持つセ
ル領域情報の個数が多い順にすることにより、まとめら
れるセルの数を多くすることができるため、レイアウト
データの階層化において、レイアウトデータのデータサ
イズをより圧縮することができる。
【0096】また、例えば上述の一実施形態において
は、セル領域の形状を矩形(長方形)としたが、セル領
域として、パターンデータの最大値となる矩形領域、パ
ターンデータのアウトラインを囲む多角形領域、パター
ンデータの集まりごとの領域をリストにしたものなどを
用いることも可能である。
【0097】また、例えば上述の一実施形態において
は、レイアウトデータはレイヤを有していなかったが、
レイアウトデータのパターンが複数レイヤを有すること
も可能である。そして、このときには、パターン情報の
比較の際に、頂点の座標に加えてレイヤ番号の比較も行
うようにする。
【0098】また、例えば上述の一実施形態において、
セル定義を展開したときに、同じ配置位置に同じサイズ
のパターンが重なる可能性がある場合には、セル領域が
重なる部分を、あらかじめセル領域情報から取り除くよ
うにすることも可能である。これにより、セル定義を展
開したときに、パターンが重なるのを防止することがで
きる。
【0099】また、例えば上述の一実施形態において、
階層化処理システム10に入力されるレイアウトデータ
の一部が階層構造を有することも可能であり、このと
き、セル領域情報リストに階層構造になっていない部分
のセル領域情報が含まれている場合には、セルの階層構
造を追加する。
【0100】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によるレ
イアウトデータの階層化処理方法、レイアウトデータの
階層化処理システムおよび記録媒体によれば、階層構造
を有しセル領域情報を有する第1のレイアウトデータに
対して展開処理を行うことにより作成された第2のレイ
アウトデータを、セル領域情報を参照して階層化するよ
うにしていることにより、展開処理が行われたレイアウ
トデータを圧縮し、そのデータサイズの縮小化を図るこ
とができるので、レイアウトデータを記録するディスク
などの記録媒体の使用量を低減することができるととも
に、ネットワーク転送の高速化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態によるレイアウトデータ
設計からEB変換処理までを示すフローチャートであ
る。
【図2】この発明の一実施形態によるレイアウトデータ
の階層化処理システムの構成を示すブロック図である。
【図3】この発明の一実施形態によるレイアウトデータ
の階層化処理方法を説明するためのフローチャートであ
る。
【図4】この発明の一実施形態による階層化処理が行わ
れるレイアウトデータとセル領域情報を示す略線図であ
る。
【図5】この発明の一実施形態によるレイアウトデータ
の階層化方法を説明するための略線図である。
【図6】この発明の一実施形態によるレイアウトデータ
の階層化方法を説明するための略線図である。
【図7】従来技術によるレイアウトデータ設計からEB
変換処理までを示すフローチャートである。
【図8】階層構造を有するレイアウトデータを示す略線
図である。
【図9】展開された階層構造を有しないレイアウトデー
タを示す略線図である。
【符号の説明】 1・・・階層構造を有するレイアウトデータ、2・・・
セル領域情報リスト、3・・・階層構造を有しないレイ
アウトデータ、4・・・新たな階層構造を有するレイア
ウトデータ、11・・・レイアウトデータ記憶領域、1
2・・・セル領域情報リスト記憶領域、15・・・比較
判定処理部、17・・・レイアウトデータ制御部、2
1、22、23、24、25、26・・・セル領域情報

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 階層構造を有し複数のセル領域情報を有
    する第1のレイアウトデータに対して展開処理を行うこ
    とにより作成された第2のレイアウトデータを、上記セ
    ル領域情報を参照して階層化するようにしたことを特徴
    とするレイアウトデータの階層化処理方法。
  2. 【請求項2】 上記第2のレイアウトデータの、上記複
    数のセル領域情報のうちの第1のセル領域情報によって
    指定される第1の領域のパターン情報およびセル引用情
    報と、上記複数のセル領域情報のうちの第2のセル領域
    情報で指定される第2の領域のパターン情報およびセル
    引用情報とをそれぞれ比較し、上記第1の領域のパター
    ン情報と上記第2の領域のパターン情報とが同一であ
    り、かつ上記第1の領域のセル引用情報と上記第2のセ
    ル領域のセル引用情報とが同一である場合に、上記第2
    のレイアウトデータから上記第2の領域内のパターンデ
    ータおよびセル引用データを削除し、上記第2のレイア
    ウトデータにセル引用を追加する、レイアウトデータ変
    更処理を有することを特徴とする請求項1記載のレイア
    ウトデータの階層化処理方法。
  3. 【請求項3】 上記レイアウトデータ変更処理を、上記
    第2のレイアウトデータに対して、上記第1の領域にお
    けると同一のパターン情報およびセル引用情報が存在し
    なくなるまで繰り返し行うようにしたことを特徴とする
    請求項2記載のレイアウトデータの階層化処理方法。
  4. 【請求項4】 上記第1の領域内のパターンデータおよ
    びセル引用データを上記セル引用に引用可能な第1のセ
    ル定義として上記第2のレイアウトデータに追加するセ
    ル定義追加処理を有することを特徴とする請求項2記載
    のレイアウトデータの階層化処理方法。
  5. 【請求項5】 上記セル領域情報が、少なくともセル名
    の情報およびセル領域の情報を有することを特徴とする
    請求項1記載のレイアウトデータの階層化処理方法。
  6. 【請求項6】 上記セル領域情報が、セル名の情報、セ
    ル配置位置の情報およびセル領域の情報を有することを
    特徴とする請求項1記載のレイアウトデータの階層化処
    理方法。
  7. 【請求項7】 階層構造を有しN個のセル領域を有する
    第1のレイアウトデータに対して展開処理を行うことに
    より第2のレイアウトデータを作成するとともに、上記
    第1のレイアウトデータから、上記N個のセル領域に対
    応したN個のセル領域情報を抽出する第1のステップ
    と、 上記N個のセル領域情報から基準セル領域情報を選択す
    る第2のステップと、 上記第2のレイアウトデータのうちの、上記基準セル領
    域情報により指定される基準領域と、上記N個のセル領
    域情報から上記基準セル領域情報を除いた(N−1)個
    のセル領域情報により指定される(N−1)個の領域の
    それぞれの領域とを比較することによって、上記(N−
    1)個のセル領域から上記基準領域と同一の領域を抽出
    する第3のステップと、 上記N個のセル領域情報から、上記基準セル領域情報と
    上記同一の領域に対応するセル領域情報とを削除する第
    4のステップと、 上記第2のレイアウトデータから、上記同一の領域内の
    パターンデータおよびセル引用データと、上記基準領域
    内のパターンデータおよびセル引用データとを削除し、
    上記第2のレイアウトデータにセル引用を追加し、上記
    セル引用に引用可能な、上記基準領域におけると同一の
    パターンデータおよびセル引用データを有するセル定義
    を、上記第2のレイアウトデータに追加する第5のステ
    ップとを有し、 上記第2のレイアウトデータに対して、上記第2のステ
    ップから上記第5のステップまでを、上記N個のセル領
    域情報がなくなるまで繰り返して行うことにより、上記
    第2のレイアウトデータを階層化するようにしたことを
    特徴とするレイアウトデータの階層化処理方法。
  8. 【請求項8】 上記セル領域情報が少なくともセル名の
    情報を有し、上記セル定義のセル名を、上記基準セル領
    域情報のセル名と、上記第2のステップから上記第5の
    ステップまでの繰り返しの回数に関連した数値とから構
    成するようにしたことを特徴とする請求項7記載のレイ
    アウトデータの階層化処理方法。
  9. 【請求項9】 上記セル領域情報が、少なくともセル名
    の情報およびセル領域の情報を有していることを特徴と
    する請求項7記載のレイアウトデータの階層化処理方
    法。
  10. 【請求項10】 上記セル領域情報が、セル名の情報、
    セル配置位置の情報およびセル領域の情報を有している
    ことを特徴とする請求項7記載のレイアウトデータの階
    層化処理方法。
  11. 【請求項11】 階層構造を有し、複数のセル領域情報
    を有する第1のレイアウトデータに対して展開処理を行
    うことにより作成された第2のレイアウトデータを、上
    記セル領域情報を参照して階層化するように構成されて
    いることを特徴とするレイアウトデータの階層化処理シ
    ステム。
  12. 【請求項12】 上記第2のレイアウトデータを記憶す
    るレイアウトデータ記憶手段と、上記複数のセル領域情
    報を記憶するセル領域情報記憶手段と、上記第2のレイ
    アウトデータのうちの、上記複数のセル領域情報から選
    択された第1のセル領域情報により指定される第1の領
    域のパターン情報およびセル引用情報と上記複数のセル
    領域情報のうちの第2のセル領域情報により指定される
    第2の領域のパターン情報およびセル引用情報とをそれ
    ぞれ比較する比較手段と、上記比較手段により、上記第
    2の領域のうちの上記第1の領域のパターン情報および
    セル引用情報と一致すると判断されたパターン情報およ
    びセル引用情報を有する領域のパターンデータおよびセ
    ル引用データを、上記第2のレイアウトデータから削除
    し、上記第2のレイアウトデータにセル引用を追加する
    レイアウトデータ変更手段とを有することを特徴とする
    請求項11記載のレイアウトデータの階層化処理システ
    ム。
  13. 【請求項13】 上記第1の領域の上記パターンデータ
    および上記セル引用データを、上記セル引用に引用可能
    なセル定義として上記第2のレイアウトデータに追加す
    るセル定義追加手段を有することを特徴とする請求項1
    2記載のレイアウトデータの階層化処理システム。
  14. 【請求項14】 上記セル領域情報が少なくともセル名
    の情報を有し、上記セル定義追加手段が、上記セル定義
    のセル名を上記第1のセル領域情報のセル名と上記セル
    定義の追加を行う回数に関連した数値とから構成するよ
    うにしたことを特徴とする請求項13記載のレイアウト
    データの階層化処理システム。
  15. 【請求項15】 上記セル領域情報が、少なくともセル
    名の情報およびセル領域の情報を有していることを特徴
    とする請求項11記載のレイアウトデータの階層化処理
    システム。
  16. 【請求項16】 上記セル領域情報が、セル名の情報、
    セル配置位置の情報およびセル領域の情報を有している
    ことを特徴とする請求項11記載のレイアウトデータの
    階層化処理システム。
  17. 【請求項17】 階層構造を有し、N個のセル領域を有
    する第1のレイアウトデータに対して展開処理を行うこ
    とによって作成された第2のレイアウトデータを記憶す
    るレイアウトデータ記憶手段と、 上記第1のレイアウトデータから抽出された、上記N個
    のセル領域に対応したN個のセル領域情報を記憶するセ
    ル領域情報記憶手段と、 上記第2のレイアウトデータのうちの、上記N個のセル
    領域情報から選択された基準セル領域情報により指定さ
    れる基準領域を記憶する基準セル領域記憶手段と、 上記第2のレイアウトデータのうちの、上記N個のセル
    領域情報から上記基準セル領域情報を除いた(N−1)
    個のセル領域情報により指定される(N−1)個の領域
    の少なくとも1つの領域を、比較対象領域として記憶す
    る比較対象セル領域記憶手段と、 上記基準セル領域記憶手段に記憶された上記基準領域の
    パターン情報およびセル引用情報と、上記比較対象セル
    領域記憶手段に記憶された上記比較対象領域のパターン
    情報およびセル引用情報とをそれぞれ比較することによ
    って、上記基準領域と上記比較対象領域とが同一である
    か否かを判断する比較判定手段と、 上記レイアウトデータ記憶手段に記憶された上記第2の
    レイアウトデータから、上記比較対象領域と上記基準領
    域とを削除し、上記第2のレイアウトデータにセル引用
    を追加するレイアウトデータ変更手段と、 上記セル引用に引用可能な、上記基準領域におけると同
    一のパターンデータおよびセル引用データを有するセル
    定義を、上記レイアウトデータ記憶手段に記憶された上
    記第2のレイアウトデータに追加するセル定義追加手段
    とを有することを特徴とするレイアウトデータの階層化
    処理システム。
  18. 【請求項18】 上記セル領域情報が、少なくともセル
    名の情報およびセル領域の情報を有することを特徴とす
    る請求項17記載のレイアウトデータの階層化処理シス
    テム。
  19. 【請求項19】 上記セル領域情報が、セル名の情報、
    セル配置位置の情報およびセル領域の情報を有すること
    を特徴とする請求項17記載のレイアウトデータの階層
    化処理システム。
  20. 【請求項20】 上記セル定義追加手段が、上記セル定
    義のセル名を、上記基準セル領域情報に含まれる上記基
    準セル領域のセル名と、上記セル定義の追加の回数に関
    連した数値とから構成されるように作成するようにした
    ことを特徴とする請求項17記載のレイアウトデータの
    階層化処理システム。
  21. 【請求項21】 階層構造を有しセル領域情報を有する
    第1のレイアウトデータに対して展開処理を行うことに
    よって作成された第2のレイアウトデータを、上記セル
    領域情報を参照して階層化するようにしたレイアウトデ
    ータの階層化処理方法が記録されていることを特徴とす
    る記録媒体。
  22. 【請求項22】 階層構造を有しN個のセル領域を有す
    る第1のレイアウトデータから抽出された、上記N個の
    セル領域に対応するN個のセル領域情報に対して、基準
    セル領域情報を選択する第1のステップと、 上記第1のレイアウトデータに対して、展開処理を行う
    ことにより作成された第2のレイアウトデータのうち
    の、上記基準セル領域情報により指定される基準領域
    と、上記N個のセル領域情報から上記基準セル領域情報
    を除いた(N−1)個のそれぞれのセル領域情報により
    指定される(N−1)個の領域におけるそれぞれの領域
    とを比較することによって、上記(N−1)個の領域か
    ら上記基準領域と同一の領域を抽出する第2のステップ
    と、 上記N個のセル領域情報から、上記基準セル領域情報と
    上記同一の領域に対応するセル領域情報とを削除する第
    3のステップと、 上記第2のレイアウトデータから、上記同一の領域内の
    パターンデータおよびセル引用データと、上記基準領域
    内のパターンデータおよびセル引用データとを削除し、
    上記第2のレイアウトデータにセル引用を追加し、上記
    セル引用に引用可能な、上記基準セル領域におけると同
    一のパターンデータおよびセル引用データを有するセル
    定義を、上記第2のレイアウトデータに追加する第4の
    ステップとを有し、 上記第1のステップから上記第4のステップまでを、上
    記N個のセル領域情報がなくなるまで繰り返して行うこ
    とにより、上記第2のレイアウトデータを階層化するよ
    うにしたレイアウトデータの階層化処理方法が記録され
    ていることを特徴とする記録媒体。
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JP2005521071A (ja) * 2001-07-13 2005-07-14 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 階層データのキャッシュされたセルを用いるパターン生成方法及び装置
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