JP2000284209A - 走査光学系 - Google Patents
走査光学系Info
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- JP2000284209A JP2000284209A JP11091360A JP9136099A JP2000284209A JP 2000284209 A JP2000284209 A JP 2000284209A JP 11091360 A JP11091360 A JP 11091360A JP 9136099 A JP9136099 A JP 9136099A JP 2000284209 A JP2000284209 A JP 2000284209A
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Abstract
採用しつつ、走査対象面上でのスポット径の変化を抑
え、不要反射光が走査対象面に達するのを防ぐ。 【解決手段】 半導体レーザー10から発したレーザー
光は、副走査方向に角度を持ってポリゴンミラー14に
入射し、反射、偏向されて、曲面ミラー15、アナモフ
ィックレンズ16、第2のミラー17を介して感光体ド
ラム18上に主走査方向に走査するスポットを形成す
る。ポリゴンミラー14の面数Nは、以下の条件のいず
れかを満たすよう定められる。 (1) 2<WN/(πf)<4 (2) 2<N|ψsy − ψEOS|/180<4 fは結像光学系の主走査方向の焦点距離、Wは走査幅、
ψsy、ψEOSは走査開始前の同期センサへの入射時、走
査終了時の偏向角(単位:degree)である。
Description
ター等の描画装置に利用される走査光学系に関し、特に
ポリゴンミラーへの入射光束の径が主走査方向において
ポリゴンミラーの単一の反射面幅よりも大きく設定され
た走査光学系、いわゆるオーバーフィルド型の走査光学
系に関する。
系は、描画装置の高速化、高精細化の要求に対する一つ
の解決手段として従来から提案されている。オーバーフ
ィルド型の走査光学系では、ポリゴンミラーの各反射面
の全面でレーザー光を反射させるため、高速化のため反
射面数を増やした場合にもポリゴンミラーの径を比較的
小さく設定することができ、ポリゴンモータに対する負
荷を少なくすることができる。
たオーバーフィルド型の走査光学系は、ポリゴンミラー
の各反射面全体で光を反射させるため、ポリゴンミラー
の回転に伴って光の入射方向に対する反射面の角度が変
化すると、入射光側から見た反射面の見かけ上の面積
(入射方向に対して垂直な平面への反射面の投影面積)が
変化し、これが結像光学系に向かう光量及び光束径の変
化をもらたす。光束径の変化はFナンバーの変化とな
り、走査対象面上でのスポット径を走査位置により変化
させるという問題が生じる。
ため、走査に用いている正規の反射面に隣接する反射面
からの反射光が走査対象面上に達する可能性があり、そ
の場合には不要反射光がノイズとなって描画性能が悪化
するという問題もある。
鑑みてなされたものであり、高速化に有利なオーバーフ
ィルド型の構成を採用しつつ、走査対象面上でのスポッ
ト径の変化を抑え、かつ、不要反射光が走査対象面に達
するのを防ぐことができる走査光学系の提供を目的とす
る。
学系は、上記の目的を達成させるため、光源から発する
光束をポリゴンミラーにより反射、偏向させ、結像光学
系を介して走査対象面上に結像させる構成において、ポ
リゴンミラーへの入射光束の径が主走査方向においてポ
リゴンミラーの単一の反射面幅よりも大きく設定され、
光源から発する光束を、その中心軸がポリゴンミラーの
回転軸及び結像光学系の光軸を含む副走査断面内で回転
軸に垂直な平面に対して傾くように入射させ、以下の条
件(1)、あるいは条件(2)のいずれかを満たすようポリ
ゴンミラーの反射面数が設定されていることを特徴とす
る。 (1) 2 < WN/(πf) < 4 (2) 2 < N|ψsy − ψEOS|/180 < 4 ここで、fは結像光学系の主走査方向の焦点距離、Wは
走査対象面上での走査幅、Nはポリゴンミラーの反射面
数、ψsyは走査開始前の同期センサへの入射時のポリゴ
ンミラーによる偏向角(単位:degree)、ψEOSは走査終了
時のポリゴンミラーによる偏向角(単位:degree)であ
る。
査断面内に含ませることにより、偏向角の変化を光軸に
対して対称にすることができ、これが非対称な場合と比
較すると、入射光側から見た反射面の見かけ上の面積の
変化幅、すなわち反射光量の変化幅とFナンバーの変化
幅とを小さくすることができる。また、上記(1)及び
(2)のいずれかの条件を満たすことにより、正規の反射
面に隣接する反射面での反射光が走査対象面上でノイズ
になるのを防ぐことができる。
向にパワーを持ちポリゴンミラーで反射された光束を反
射させる曲面ミラーと、主として副走査方向にパワーを
持ち曲面ミラーで反射された光束を透過させるアナモフ
ィックレンズとから構成される。
系の実施形態を説明する。実施形態の装置は、レーザー
プリンターに使用されるレーザー走査ユニットであり、
入力される描画信号にしたがってON/OFF変調されたレー
ザー光を感光体ドラム上で走査させ、静電潜像を形成す
る反射型の走査光学系である。
光学系の構成を示す斜視図である。半導体レーザー10
から発した発散光であるレーザー光は、コリメートレン
ズ11により平行光とされ、シリンドリカルレンズ12
により副走査方向にのみ収束される。シリンドリカルレ
ンズ12を介したレーザー光は、第1の平面ミラー13
により反射されて副走査方向に角度を持ってポリゴンミ
ラー14に入射する。
射、偏向されたレーザー光は、曲面ミラー15により再
びポリゴンミラー14側に反射され、ポリゴンミラー1
4の図中上側に配置されたアナモフィックレンズ16を
透過する。アナモフィックレンズ16を透過したレーザ
ー光は、第2のミラー17により反射され、二点鎖線で
示した感光体ドラム18上にドラムの母線方向である主
走査方向に走査するスポットを形成する。曲面ミラー1
5とアナモフィックレンズ16とが結像光学系を構成し
ている。
4の回転軸14b及び結像光学系を構成する曲面ミラー
15及びアナモフィックレンズ16の光軸を含む平面を
「副走査断面」として定義する。また、「主走査方向」
は、光路上のそれぞれの位置で走査対象面上でのスポッ
トの走査方向に相当する方向、「副走査方向」はそれぞ
れの位置で主走査方向に直交する方向として定義され
る。
リンドリカルレンズ12によりポリゴンミラー14の反
射面14aの近傍で一旦結像し、主としてアナモフィッ
クレンズ16のパワーにより感光体ドラム18上に再結
像する。この構成により、反射面14aの面倒れ誤差に
よる感光体ドラム18上での走査線のずれを防止するこ
とができる。
方向の径は、ポリゴンミラー14の単一の反射面14a
の幅よりも大きく設定され、いわゆるオーバーフィルド
型の構成を採用している。半導体レーザー10から発す
る光束は、その中心軸が副走査断面内で回転軸14bに
垂直な平面に対して傾いて入射する。
る偏向角(走査角)の範囲が80゜である場合、これを入
射光束の中心軸を基準として±40゜の範囲に対称に振
り分けることができ、反射光束の光束径の変化幅は約6
%に止まる。一方、ポリゴンミラーへの入射光束の中心
軸がポリゴンミラーの回転軸に対して垂直な平面内に含
まれるような構成では、80゜の偏向角は入射光束の中
心軸を基準として一方側、例えば+20゜〜+100゜
の非対称な範囲に振り分けられ、反射光束の光束径の変
化幅は約35%にも達する。したがって、ポリゴンミラ
ーへの入射光の中心軸を副走査断面内に含ませること
は、オーバーフィルド型の走査光学系にとっては光量変
化、Fナンバー変化を抑えるために重要である。
ンズ16との間には、走査範囲外の光束を同期検出光と
して分離する分離ミラー40が配置されており、この分
離ミラー40により反射された同期検出光は、副走査方
向に収束パワーを有する同期検出用シリンドリカルレン
ズ41を介して同期センサ42上に集光する。同期検出
光は、レーザー光が入射するポリゴンミラー14の反射
面が切り替わる毎に、ドラム18上のレーザー光が走査
範囲に入る手前で同期センサ42に入射し、同期センサ
42からは一走査毎の書き始めタイミングを決める同期
信号が出力される。
では、ポリゴンミラー14の反射面数は6面である。こ
の面数は、以下の条件(1)、あるいは条件(2)のいずれ
かを満たす範囲で任意に定めることができる。 (1) 2 < WN/(πf) < 4 (2) 2 < N|ψsy − ψEOS|/180 < 4 ここで、fは結像光学系の主走査方向の焦点距離、Wは
走査対象面上での走査幅、Nはポリゴンミラーの反射面
数、ψsyは走査開始前の同期センサへの入射時のポリゴ
ンミラーによる偏向角(単位:degree)、ψEOSは走査終了
時のポリゴンミラーによる偏向角(単位:degree)であ
る。なお、偏向角は、主走査方向の平面内において、入
射光束の中心軸と、感光体ドラム18上での走査中心に
向かう光束の中心軸とのなす角度であり、走査開始位置
側への角度をプラス、走査終了位置側への角度をマイナ
スとして符号をとる。上記の条件(1)及び(2)のいずれ
かを満たすことにより、ポリゴンミラーの正規の反射面
に隣接する反射面での反射光が走査対象面上でノイズに
なるのを防ぐことができる。
副走査断面内においてなす角を分離角度と定義すると、
ポリゴンミラー14における分離角度はθ1、曲面ミラ
ー15による分離角度はθ2で表される。このようにポ
リゴンミラー14、曲面ミラー15において光束を副走
査方向に分離する場合、それぞれの分離角度が偏向角の
変化に伴って変化するため、これらの変化がそれぞれ感
光体ドラム18上での走査線の湾曲の原因となる。ま
た、ポリゴンミラー14への入射光束と反射光束とが副
走査方向に分離される場合、偏向角の変化に伴って線像
の方向が変化し、この方向の変化により、感光体ドラム
18上に形成されるスポットにスキュー歪みと呼ばれる
収差が発生する。
ラー15とで発生する走査線の湾曲を互いに打ち消し合
わせることにより、結果として感光体ドラム18上での
走査線の湾曲の発生を抑えると共に、アナモフィックレ
ンズ16を副走査方向にオフセットさせることにより、
スキュー歪みを補正している。主として副走査方向にパ
ワーを持つアナモフィックレンズ16をオフセットさせ
ると、走査範囲の両端近くにおいてアナモフィックレン
ズ16は副走査方向に対して傾いた方向の屈折作用をレ
ーザー光に与える。この作用を利用することにより、レ
ーザー光のスキュー歪みを補正することができる。
の具体的な数値構成例を2例説明する。
光学系の構成を示し、図2はポリゴンミラー14よりド
ラム18側を示す主走査方向の説明図、図3はシリンド
リカルレンズ12よりドラム18側を示す副走査方向の
説明図である。実施例1の具体的な数値構成は表1に示
される。面番号1,2はシリンドリカルレンズ12、面
番号3はポリゴンミラー14、面番号4は曲面ミラー1
5、面番号5,6はそれぞれアナモフィックレンズ16
の第1面、第2面を示している。
ラー14の内接円の直径(単位:mm)、sは基準軸(走査範
囲の中心に達する光束の中心軸)に対するアナモフィッ
クレンズ16の光軸のオフセット量(単位:mm、符号はポ
リゴンミラー側がマイナス)、ryは各面の主走査方向の
曲率半径(単位:mm)、rzは各面の副走査方向の曲率半径
(単位:mm、回転対称面についてはry=rzなので省
略)、dは各面の光軸に沿った間隔(単位:mm)、nは各レ
ンズの屈折率である。第6面のdは、アナモフィックレ
ンズ16の第2面から感光体ドラム18までの距離を示
す。
16の第1面は、回転対称な非球面であり、アナモフィ
ックレンズ16の第2面はトーリック面である。回転対
称非球面は、光軸からの高さがyとなる非球面上の座標
点の非球面の光軸上での接平面からの距離(サグ量)を
X、非球面の光軸上での曲率(1/ry)をC、円錐係数を
κ、4次、6次、8次の非球面係数をA4、A6、A8と
して、以下の式(3)で表される。 (3) X=Cy2/(1+√(1-(1+κ)C2y2))+A4y4+
A6y6+A8y8
は、光軸からの主走査方向の高さをyとして、上記の式
(3)で示される主走査方向の曲線を、この曲線と光軸と
の交点から距離rz(符号は感光体ドラム18側がプラ
ス)の位置で光軸に直交する主走査方向に対して平行な
直線回りに回転させた軌跡として定義される。なお、表
1における非球面の曲率半径は光軸上の曲率半径であ
る。非球面及び非円弧曲線を規定する円錐係数と非球面
係数は、表2に示される。
面14aの主走査方向における幅は2.7mm、これに
対して入射光束の主走査方向の径は6.0mmである。
差を示し、図4は像高Yにおける実際の像高とY=Kψ
で求められる偏向角ψに対する理想像高Yとの誤差を示
す直線性誤差、図5は像面湾曲でMが主走査方向、Sが
副走査方向を示し、図6はボウと呼ばれる走査線湾曲
(走査中心を通る主走査方向の直線を基準とした像高Y
におけるスポットの副走査方向のずれ量)を示す。各図
の縦軸は像高、横軸は収差量を示す。単位はいずれもm
mである。
光学系の主走査方向、副走査方向の説明図である。実施
例2の具体的な数値構成は表3に示される。面番号と光
学要素との関係は実施例1と同一である。
ズ16の第1面は実施例1と同様の回転対称非球面であ
るのに対し、曲面ミラー15及びアナモフィックレンズ
16の第2面は回転非対称な特殊な非球面である。これ
らの特殊な非球面は、光軸を通る主走査方向の断面形状
が前記の(1)式で表される非円弧曲線であり、光軸から
主走査方向に距離y離れた位置での副走査方向の断面
は、以下の(4)式で表される曲率Cz(y)を有する円弧で
表される。 (4) Cz(y)=Cz0 + AS2・y2 + AS4・y4 + A
S6・y6
rz、曲率をCz0(=1/rz)、光軸から主走査方向にy
離れた位置での副走査方向の曲率半径をrz(y)(=1/
Cz(y))、2次、4次、6次の副走査曲率係数をAS2、
AS4、AS6とする。すなわち、これらの曲面は、副走
査方向において(4)式で表される曲率を持つ円弧が、前
記の非円弧曲線に接するように連続的に配置された面と
して定義される。
1面を定義する円錐係数、非球面係数、及び回転非対称
な曲面ミラー15とアナモフィックレンズ16の第2面
との主走査方向の形状を定義する円錐係数、非球面係数
は、それぞれ表4に示される。そして、曲面ミラー15
とアナモフィックレンズ16の第2面の副走査方向の形
状を定義する副走査曲率係数は表5に示されている。
面14aの主走査方向における幅は4.0mm、これに
対して入射光束の主走査方向の径は10.0mmであ
る。図9〜図11は、実施例2の走査光学系の収差を示
し、図9は直線性誤差、図10は像面湾曲、図11は走
査線湾曲を示す。
に、いずれも上記の条件(1)及び(2)を共に満たしてい
る。 実施例1 実施例2 (1) WN/(πf) 2.96 3.82 (2) N|ψsy − ψEOS|/180 3.17 3.95
ば、条件(1)、(2)のいずれかを満たすことにより、高
速化に有利なオーバーフィルド型の構成を採用しつつ、
走査対象面上でのスポット径の変化を抑え、かつ、不要
反射光が走査対象面に達するのを防ぐことができる。
成を示す斜視図。
ミラーよりドラム側の構成を示す主走査方向の説明図。
リカルレンズよりドラム側の構成を示す副走査方向の説
明図。
ラフ。
フ。
ラフ。
ミラーよりドラム側の構成を示す主走査方向の説明図。
リカルレンズよりドラム側の構成を示す副走査方向の説
明図。
ラフ。
ラフ。
グラフ。
Claims (3)
- 【請求項1】 光源から発する光束をポリゴンミラーに
より反射、偏向させ、結像光学系を介して走査対象面上
に結像させる走査光学系において、 前記ポリゴンミラーへの入射光束の径が主走査方向にお
いて前記ポリゴンミラーの単一の反射面幅よりも大きく
設定され、前記光源から発する光束を、その中心軸が前
記ポリゴンミラーの回転軸及び前記結像光学系の光軸を
含む副走査断面内で前記回転軸に垂直な平面に対して傾
くように入射させ、以下の条件(1)を満たすよう前記ポ
リゴンミラーの反射面数が設定されていることを特徴と
する走査光学系。 (1) 2 < WN/(πf) < 4 ここで、fは結像光学系の主走査方向の焦点距離、 Wは走査対象面上での走査幅、 Nはポリゴンミラーの反射面数である。 - 【請求項2】 請求項1に記載の走査光学系において、
前記条件(1)に代えて以下の条件(2)を満たすことを特
徴とする走査光学系。 (2) 2 < N|ψsy − ψEOS|/180 < 4 ここで、Nはポリゴンミラーの反射面数、 ψsyは走査開始前の同期センサへの入射時のポリゴンミ
ラーによる偏向角(単位:degree)、 ψEOSは走査終了時のポリゴンミラーによる偏向角(単
位:degree)である。 - 【請求項3】 前記結像光学系は、主として主走査方向
にパワーを持ち前記ポリゴンミラーで反射された光束を
反射させる曲面ミラーと、主として副走査方向にパワー
を持ち前記曲面ミラーで反射された光束を透過させるア
ナモフィックレンズとを備えることを特徴とする請求項
1または2に記載の走査光学系。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11091360A JP2000284209A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 走査光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11091360A JP2000284209A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 走査光学系 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000284209A true JP2000284209A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=14024230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11091360A Withdrawn JP2000284209A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 走査光学系 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000284209A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013029753A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Kyocera Document Solutions Inc | 光走査装置及びこれを用いた画像形成装置 |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP11091360A patent/JP2000284209A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013029753A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Kyocera Document Solutions Inc | 光走査装置及びこれを用いた画像形成装置 |
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