JP2000277574A - Lsiチップおよびその接合試験方法 - Google Patents

Lsiチップおよびその接合試験方法

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JP2000277574A
JP2000277574A JP11077803A JP7780399A JP2000277574A JP 2000277574 A JP2000277574 A JP 2000277574A JP 11077803 A JP11077803 A JP 11077803A JP 7780399 A JP7780399 A JP 7780399A JP 2000277574 A JP2000277574 A JP 2000277574A
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JP
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bumps
lsi
lsi chip
substrate
chip
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JP11077803A
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Shinichi Kato
真一 加藤
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Casio Computer Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector

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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】専用の接合試験用LSIチップを別に製作する
ことなくLSIチップの接合試験を行なう。 【解決手段】集積回路21を内蔵したLSIチップ20
の基板接合面20aに、前記基板の複数のLSI接続端
子に対応させて形成され前記集積回路21に接続された
複数の入力バンプ22および出力バンプ23と、これら
のバンプ22,23と点対称の位置に形成された複数の
ダミーバンプ24とを設けるとともに、前記ダミーバン
プ24のうちの少なくとも所定の位置に形成された複数
のダミーバンプ24を短絡配線25を介して互いに短絡
し、このLSIチップ20をその姿勢を180度変えて
前記基板上に接合することにより、実装用としても接合
試験用としても使用することができるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、LSI(大規模
集積回路)チップおよびその接合試験方法に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】例えば液晶表示素子の基板や、配線基板
等に設けられるLSIチップは、一般に、前記基板上に
異方導電性接着剤を介して加熱圧着することにより前記
基板上に接合されている。
【0003】図4は、表示駆動用のLSIチップを備え
た液晶表示素子の斜視図であり、ここでは、TFT(薄
膜トランジスタ)をアクティブ素子としたアクティブマ
トリックス方式のものを示している。
【0004】この液晶表示素子1は、枠状のシール材4
を介して接合された一対の透明基板2,3間の前記シー
ル材4で囲まれた領域に液晶層を設けたものであり、そ
の内部構造は図示しないが、前記一対の基板2,3のう
ちの一方の基板2の内面に、行方向および列方向にマト
リックス状に配列する複数の透明な画素電極と、これら
の画素電極にそれぞれ接続された複数のTFTと、各行
のTFTにゲート信号を供給する複数のゲート配線と、
各列のTFTにデータ信号を供給する複数のデータ配線
とが設けられ、他方の基板3の内面に、前記複数の画素
電極に対向する一枚膜状の透明な対向電極が設けられて
いる。
【0005】また、前記一方の基板2は、その一側縁お
よび一端縁にそれぞれ他方の基板3の外方に突出する端
子配列部2a,2bを有しており、これらの端子配列部
2a,2bの所定の位置、つまり表示駆動用LSIチッ
プ10a,10bの接合領域に、それぞれ複数のLSI
接続端子が配列形成されている。
【0006】図5は、前記液晶表示素子1の一方の端子
配列部2aのLSIチップ接合領域の拡大図であり、こ
の端子配列部2bのLSIチップ接合領域に、複数のL
SI接続端子6,7が配列形成されている。
【0007】これらのLSI接続端子6,7のうちの所
定数の端子6は、この端子配列部2aに設けられるLS
Iチップ10aが出力するデータ信号が入力されるデー
タ信号入力端子であり、他の複数のLSI接続端子7
は、前記LSIチップ10aにその制御信号を供給する
ための制御信号供給端子である。
【0008】なお、図5ではLSI接続端子6,7の配
列を簡略化して示しているが、LSI接続端子6,7の
うちのデータ信号入力端子6は、液晶表示素子1のデー
タ配線数と同数配列形成され、制御信号供給端子7は、
前記LSIチップ10Bへの制御信号の供給に必要な数
配列形成されている。
【0009】前記複数のデータ信号入力端子6には、前
記複数のデータ配線4がそれぞれつながっており、ま
た、前記複数の制御信号供給端子7には、複数の制御信
号供給配線8がつながっている。
【0010】これらの制御信号供給配線7は、図4に示
したように、基板縁に導出されており、その導出端にお
いて、フラットケーブル12を介して図示しない制御信
号供給回路に接続される。
【0011】また、この端子配列部2aには、図5に示
したように、この端子配列部2aに設けられる前記LS
Iチップ10aの複数の角部に対応させて、このLSI
チップ10aを所定の接合位置に位置決めするための位
置決めマーク9が形成されている。
【0012】この端子配列部2aに設けられるLSIチ
ップ10aは、入力信号に応じてデータ信号を出力する
集積回路を内蔵しており、図には示していないが、前記
基板2との接合面に、前記集積回路に接続された複数の
入力バンプおよび出力バンプと、複数のダミーバンプと
を有している。
【0013】なお、前記複数の入力バンプは前記複数の
制御信号供給端子7に対応させて形成され、前記複数の
出力バンプは前記複数のデータ信号入力端子6に対応さ
せて形成されており、複数のダミーバンプは、前記入力
バンプおよび出力バンプの配列領域を除く領域に、LS
Iチップ10aを基板2上に接合する際の加圧バランス
をとるために設けられている。
【0014】そして、このLSIチップ10aは、その
複数の角部を前記複数の位置決めマーク9に合わせるこ
とにより前記複数の入力バンプおよび出力バンプがそれ
ぞれ前記複数の制御信号供給端子7およびデータ信号入
力端子6に対向するように位置決めして基板2上に載置
され、異方導電性接着剤11を介して基板2上に加熱圧
着することにより前記基板2上に接合されている。
【0015】なお、前記異方導電性接着剤11は、熱可
塑性樹脂中に導電性粒子を混入させたものであり、この
異方導電性接着剤11としては、一般に、フィルム状に
形成されたものが用いられている。
【0016】また、図示しないが、前記液晶表示素子1
の他方の端子配列部2bに配列形成されたLSI接続端
子は、この端子配列部2bに設けられるLSIチップ1
0bが出力するゲート信号が入力される複数のゲート信
号入力端子と、前記LSIチップ10bにその制御信号
を供給するための複数の制御信号供給端子であり、前記
複数のゲート信号入力端子には、前記複数のゲート配線
がそれぞれつながり、前記複数の制御信号供給端子に
は、図4に示したフラットケーブル12を介して前記図
示しない制御信号供給回路に接続される複数の制御信号
供給配線8′がつながっている。なお、この端子配列部
2bにも、前記LSIチップ10bを所定の接合位置に
位置決めするための位置決めマークが形成されている。
【0017】この端子配列部2bに設けられるLSIチ
ップ10bは、入力信号に応じてゲート信号を出力する
集積回路を内蔵しており、図には示していないが、前記
基板2との接合面に、前記集積回路に接続された複数の
入力バンプおよび出力バンプと、複数のダミーバンプと
を有している。
【0018】このLSIチップ10bも、前記複数の入
力バンプおよび出力バンプがそれぞれ前記複数の制御信
号供給端子およびゲート信号入力端子に対向するように
位置決めして基板2上に載置され、異方導電性接着剤1
1を介して基板2上に加熱圧着することにより前記基板
2上に接合されている。
【0019】なお、図は省略しているが、前記液晶表示
素子1の2つの端子配列部2a,2bのうち、いずれか
一方の端子配列部には、前記データ信号またはゲート信
号の入力端子および制御信号供給端子と並べて対向電極
用端子が形成されるとともに、この端子からシール材4
の外周の所定個所に導かれた対向電極接続用配線が設け
られており、前記液晶表示素子1の他方の基板3の内面
に設けられた対向電極は、前記シール材4の外側におい
て、一対の基板2,3の間に介在された導電性のクロス
材により前記対向電極接続用配線と電気的に導通に接続
され、この配線を介して前記対向電極用端子に接続され
ている。
【0020】そして、前記2つのLSIチップ10a,
10bのうち、前記対向電極用端子を設けた端子配列部
に設けられるLSIチップは、前記対向電極用端子に対
応する出力バンプを有し、そのバンプから前記対向電極
に印加する基準電位を所定の出力バンプから出力するよ
うに設計されている。
【0021】なお、図4および図5には、液晶表示素子
1の一方の基板2に設けられる表示駆動用LSIチップ
10a,10bの接合例を示したが、例えば配線基板に
設けられるLSIチップも、異方導電性接着剤を介して
基板上に加熱圧着することにより接合されている。
【0022】ところで、上記のように基板上に異方導電
性接着剤を介してLSIチップを接合する場合、前記基
板のLSI接続端子と前記LSIチップのバンプとの電
気的な接続状態は、使用する異方導電性接着剤の材質、
接合環境、加熱圧着時の加圧力および加熱温度等の接合
条件によって左右される。
【0023】そのため、前記LSIチップを備えた液晶
表示素子や配線基板等の製品の製造においては、その量
産に先立って、まず所定の接合条件による接合試験を行
ない、前記LSI接続端子とLSIチップとの電気的な
接続状態を評価する必要がある。
【0024】このLSIチップの接合試験は、従来、製
品に用いる実装用LSIチップと同じ外形およびバンプ
配列で、その全てのバンプを結線した回路構成の接合試
験用LSIチップを用い、この接合試験用LSIチップ
を基板上に所定の接合条件で接合し、前記基板上の複数
のLSI接続端子につながる複数の配線相互間の電気抵
抗を測定することにより行なわれている。
【0025】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記接合試験
用LSIチップを用いる従来のLSIチップの接合試験
では、新たな機種の製品の製造の度に、量産する実装用
LSIチップとは別に、前記実装用LSIチップと同じ
外形およびバンプ配列の専用の接合試験用LSIチップ
を製作する必要があり、この接合試験用LSIチップの
製作費が、製品のコストアップの要因となっている。
【0026】この発明は、実装用としても接合試験用と
しても使用することができるLSIチップを提供すると
ともに、そのLSIチップの接合試験方法を提供するこ
とを目的としたものである。
【0027】
【課題を解決するための手段】この発明のLSIチップ
は、所定の位置に配列形成された複数のLSI接続端子
と、これらの端子につながる複数の配線とが設けられた
基板上に接合されるものであり、集積回路を内蔵し、前
記基板との接合面に、前記複数のLSI接続端子に対応
させて形成され前記集積回路に接続された複数の入力バ
ンプおよび出力バンプと、これらのバンプと点対称の位
置に形成された複数のダミーバンプとを有するととも
に、前記ダミーバンプのうちの少なくとも所定の位置に
形成された複数のダミーバンプが短絡配線を介して互い
に短絡されていることを特徴とするものである。
【0028】このLSIチップは、その基板接合面に、
前記複数のLSI接続端子に対応する複数の入力バンプ
および出力バンプと、これらのバンプと点対称の位置に
形成された複数のダミーバンプとを有しているため、こ
のLSIチップを実装姿勢で前記基板上に接合したとき
は、その複数の入力バンプおよび出力バンプが前記複数
のLSI接続端子に接続され、また前記実装姿勢に対し
て180度回転させた姿勢で前記基板上に接合したとき
は、前記複数のダミーバンプが前記複数のLSI接続端
子に接続される。
【0029】そして、このLSIチップは、集積回路を
内蔵しており、この集積回路に前記複数の入力バンプと
出力バンプが接続されているため、このLSIチップを
前記実装姿勢で前記基板上に接合し、その複数の入力バ
ンプおよび出力バンプを前記複数のLSI接続端子に接
続することにより、前記複数の入力バンプからの入力信
号に応じて複数の出力バンプに信号を出力する実装用L
SIチップとして使用することができる。
【0030】また、このLSIチップは、前記ダミーバ
ンプのうちの少なくとも所定の位置に形成された複数の
ダミーバンプが短絡配線を介して互いに短絡されている
ため、このLSIチップを前記実装姿勢に対して180
度回転させた姿勢で前記基板上に接合すると、前記複数
のLSI接続端子のうちの前記短絡された複数のダミー
バンプと接続された複数のLSI接続端子同士が、前記
ダミーバンプおよび短絡配線を介して短絡される。
【0031】したがって、この状態で、前記短絡された
複数のLSI接続端子につながる配線相互間の電気抵抗
を測定すれば、前記複数のLSI接続端子と前記LSI
チップとの電気的な接続状態を評価する接合試験を行な
うことができる。
【0032】このように、この発明のLSIチップは、
その姿勢を180度変えて前記基板上に接合することに
より、実装用としても接合試験用としても使用すること
ができるものであり、したがって、このLSIチップを
用いることにより、専用の接合試験用LSIチップを別
に製作することなくLSIチップの接合試験を行なうこ
とができる。
【0033】また、この発明のLSIチップの接合試験
方法は、所定の位置に配列形成された複数のLSI接続
端子と、これらの端子につながる複数の配線とが設けら
れた基板上に、集積回路を内蔵し、前記基板との接合面
に、前記複数のLSI接続端子に対応する複数の入力バ
ンプおよび出力バンプと、これらのバンプと点対称の位
置に形成された複数のダミーバンプとを有するととも
に、前記ダミーバンプのうちの少なくとも所定の位置に
形成された複数のダミーバンプが短絡配線を介して互い
に短絡されたLSIチップを、前記ダミーバンプを前記
LSI接続端子に対応させて接合し、前記短絡配線を介
して互いに短絡されている前記複数のダミーバンプと接
続された前記複数のLSI接続端子につながっている前
記複数の配線相互間の電気抵抗を測定することにより、
前記複数のLSI接続端子と前記LSIチップとの電気
的な接続状態を評価することを特徴とするものである。
【0034】すなわち、このLSIチップの接合試験方
法は、姿勢を180度変えて基板上に接合することによ
り実装用としても接合試験用としても使用することがで
きるLSIチップを用い、このLSIチップを、その複
数のダミーバンプを前記複数のLSI接続端子に対応さ
せて接合し、前記短絡配線を介して互いに短絡されてい
る前記複数のダミーバンプと接続された前記複数のLS
I接続端子につながっている前記複数の配線相互間の電
気抵抗を測定することにより、前記複数のLSI接続端
子と前記LSIチップとの電気的な接続状態を評価する
ものであり、この試験方法によれば、専用の接合試験用
LSIチップを別に製作することなくLSIチップの接
合試験を行なうことができる。
【0035】
【発明の実施の形態】この発明のLSIチップは、上記
のように、集積回路を内蔵し、基板との接合面に、前記
複数のLSI接続端子に対応させて形成され前記集積回
路に接続された複数の入力バンプおよび出力バンプと、
これらのバンプと点対称の位置に形成された複数のダミ
ーバンプとを有するとともに、前記ダミーバンプのうち
の少なくとも所定の位置に形成された複数のダミーバン
プが短絡配線を介して互いに短絡されているものであ
り、その姿勢を180度変えて前記基板上に接合するこ
とにより、実装用としても接合試験用としても使用する
ことができるため、このLSIチップを用いることによ
り、専用の接合試験用LSIチップを別に製作すること
なくLSIチップの接合試験を行なうことができる。
【0036】この発明のLSIチップにおいて、前記短
絡配線は、チップ内部に設けられているのが好ましく、
このようにすることにより、例えば前記基板に形成され
た前記LSI接続端子につながる配線がLSIチップ接
合領域内を通っている場合でも、その配線と前記LSI
チップの短絡配線との誤短絡を防ぐことができる。
【0037】また、この発明のLSIチップの接合試験
方法は、上記姿勢を180度変えて基板上に接合するこ
とにより実装用としても接合試験用としても使用するこ
とができるLSIチップを用い、所定の位置に配列形成
された複数のLSI接続端子と、これらの端子につなが
る複数の配線とが設けられた基板上に、前記LSIチッ
プを、その複数のダミーバンプを前記複数のLSI接続
端子に対応させて接合し、前記短絡配線を介して互いに
短絡されている前記複数のダミーバンプと接続された前
記複数のLSI接続端子につながっている前記複数の配
線相互間の電気抵抗を測定することにより、前記複数の
LSI接続端子と前記LSIチップとの電気的な接続状
態を評価するものであり、この試験方法によれば、専用
の接合試験用LSIチップを別に製作することなくLS
Iチップの接合試験を行なうことができる。
【0038】この発明のLSIチップの接合試験方法に
おいて、前記LSIチップは、異方導電性接着剤を介し
て前記基板上に加熱圧着することにより前記基板上に接
合すればよく、このようにすることにより、前記基板上
にLSIチップを実装したときと同じ条件で接合試験を
行なうことができる。
【0039】
【実施例】図1〜図3はこの発明の一実施例を示してお
り、図1はLSIチップ20の斜視図である。
【0040】このLSIチップ20は樹脂モールド型の
ものであり、図1のように、半導体集積回路21を内蔵
し、基板接合面20aに、前記集積回路21に図示しな
いリードを介して接続された複数の入力バンプ22およ
び複数の出力バンプ23を有するともに、これらの入出
力バンプ22,23と点対称の位置に、このLSIチッ
プ20を基板上に接合する際の加圧バランスおよび接合
試験のための複数のダミーバンプ24を有している。
【0041】なお、図では、入力バンプ22と出力バン
プ23とダミーバンプ24とを区別しやすくするため
に、出力バンプ23を塗りつぶし、ダミーバンプ24に
平行斜線を施している。
【0042】この実施例のLSIチップ20は、図4に
示した液晶表示素子1の一方の基板2に形成された2つ
の端子配列部2a,2bのうちの一方(一側縁)の端子
配列部2aに設けられるものであり、内蔵された集積回
路21は、前記複数の入力バンプ22からの入力信号に
応じて複数の出力バンプ23にデータ信号を出力する。
【0043】また、このLSIチップ20の複数の入力
バンプ22は、前記端子配列部2aに図5に示したよう
に配列形成されているLSI接続端子6,7のうちの複
数の制御信号供給端子7にそれぞれ対応させて形成さ
れ、前記複数の出力バンプ23は、他の複数のデータ信
号入力端子6にそれぞれ対応させて形成されている。
【0044】なお、図5ではLSI接続端子6,7の配
列を簡略化して示しており、それに合わせて図1でもバ
ンプ配列を簡略化して示しているが、前記LSI接続端
子6,7のうちのデータ信号入力端子6と、それに対応
するLSIチップ20の出力バンプ23は、液晶表示素
子のデータ配線数と同数配列形成され、前記制御信号供
給端子7と、それに対応するLSIチップ20の入力バ
ンプ22は、LSIチップ20への制御信号の供給に必
要な数配列形成されている。
【0045】また、前記LSIチップ20のダミーバン
プ24は、前記入力バンプ22および出力バンプ23の
配列領域を除く余白領域に配列形成されており、したが
って、このダミーバンプ24の数は、前記入力バンプ2
2および出力バンプ23の総数よりも少ないが、これら
のダミーバンプ24は、その配列領域と点対称の領域
(LSIチップ20の中心を境にして反対側の領域)に
配列されている入力バンプ22および出力バンプ23に
対して点対称の位置、つまりLSIチップ20の中心を
境にして正反対の方向で且つ前記中心から同じ距離の位
置にある。
【0046】そして、これらのダミーバンプ24のうち
の少なくとも所定の位置に形成された複数のダミーバン
プ24は、チップ内部に設けられた短絡配線25を介し
て互いに短絡されている。
【0047】なお、この実施例では、図1に示したよう
に、LSIチップ20の出力バンプ23が配列された側
縁に沿って配列している複数の入力バンプ22に対して
点対称の位置にあるダミーバンプ24を互いに短絡さ
せ、他の入力バンプ22および出力バンプ23に対して
点対称の位置にあるダミーバンプ24は、他のダミーバ
ンプ24と短絡しない独立バンプとしている。
【0048】このLSIチップ20は、その基板接合面
20aに、前記基板2に配列形成された複数の制御信号
供給端子7およびデータ信号入力端子6に対応する複数
の入力バンプ22および出力バンプ23と、これらのバ
ンプ22,23と点対称の位置に形成された複数のダミ
ーバンプ24とを有しているため、このLSIチップ2
0を正規の実装姿勢で基板2上に接合したときは、その
複数の入力バンプ22および出力バンプ23が前記複数
の制御信号供給端子7およびデータ信号入力端子6に接
続され、また前記実装姿勢に対して180度回転させた
姿勢で前記基板2上に接合したときは、前記複数のダミ
ーバンプ24が前記複数の制御信号供給端子7およびデ
ータ信号入力端子6に接続される。
【0049】図2は、前記LSIチップ20を正規の実
装姿勢で前記基板2上に接合したときのバンプ接続状態
を示しており、このときは、LSIチップ20の複数の
入力バンプ22および出力バンプ23が前記複数の制御
信号供給端子7およびデータ信号入力端子6に接続さ
れ、ダミーバンプ24は、前記制御信号供給端子7およ
びデータ信号入力端子6のいずれにも接続されない状態
にある。
【0050】また、図3は、前記LSIチップ20を前
記実装姿勢に対して180度回転させた姿勢で前記基板
2上に接合したときのバンプ接続状態を示しており、こ
のときは、前記複数の制御信号供給端子7およびデータ
信号入力端子6のうち、前記実装姿勢でLSIチップ2
0を接合したときのダミーバンプ24の位置に対して点
対称の位置関係にある複数の端子6,7に前記複数のダ
ミーバンプ24が接続される。
【0051】そして、このLSIチップ20は、集積回
路21を内蔵しており、この集積回路21に前記複数の
入力バンプ22と出力バンプ23が接続されているた
め、このLSIチップ20を図2に示した実装姿勢で基
板2上に接合し、その複数の入力バンプ22および出力
バンプ23を前記複数の制御信号供給端子7およびデー
タ信号入力端子6に接続することにより、前記複数の入
力バンプ22からの入力信号に応じて複数の出力バンプ
23にデータ信号を出力する実装用LSIチップとして
使用することができる。
【0052】また、このLSIチップ20は、前記ダミ
ーバンプ24のうちの少なくとも所定の位置に形成され
た複数のダミーバンプ24が短絡配線25を介して互い
に短絡されているため、このLSIチップ20を前記実
装姿勢に対して180度回転させた姿勢で前記基板2上
に接合すると、図3に示したように、前記複数の制御信
号供給端子7およびデータ信号入力端子6のうちの前記
短絡された複数のダミーバンプ24と接続された複数の
制御信号供給端子7,7同士が、前記ダミーバンプ24
および短絡配線25を介して短絡される。
【0053】したがって、この状態で、前記短絡された
複数の制御信号供給端子7,7につながる配線8.8相
互間の電気抵抗を測定すれば、前記複数の制御信号供給
端子7,7と前記LSIチップ20との電気的な接続状
態を評価する接合試験を行なうことができる。
【0054】このように、前記LSIチップ20は、そ
の姿勢を180度変えて基板2上に接合することによ
り、実装用としても接合試験用としても使用することが
できるものであり、したがって、このLSIチップ20
を用いることにより、専用の接合試験用LSIチップを
別に製作することなくLSIチップの接合試験を行なう
ことができる。
【0055】また、この実施例のLSIチップ20は、
前記複数のダミーバンプ24を短絡させるための短絡配
線25をチップ内部に設けているため、例えば前記基板
2に形成されたLSI接続端子(データ信号入力端子お
よび制御信号供給端子)6,7につながる配線4,8が
LSIチップ接合領域内を通っている場合でも、その配
線と前記LSIチップ20の短絡配線との誤短絡を防ぐ
ことができる。
【0056】上記LSIチップ20を用いたLSIチッ
プの接合試験は、次のようにして行なう。
【0057】まず、前記基板2のLSIチップ接合領域
または前記LSIチップ20の基板接合面20aのいず
れかに、前記LSIチップ20とほぼ同じ面積のホット
メルト型異方導電性接着剤(図示せず)を被着させ、そ
の後、前記LSIチップ20を、正規の実装姿勢に対し
て180度回転させた姿勢で基板2上に載置し、その複
数の角部を前記基板2に形成された複数の位置決めマー
ク9に合わせることにより、そのダミーバンプ24が前
記基板2のデータ信号入力端子6および制御信号供給端
子7に対向するように位置決めする。
【0058】次に、前記位置決め状態で、前記LSIチ
ップ20を前記異方導電性接着剤を介して基板2上に加
熱圧着することにより、このLSIチップ20を前記基
板2上に接合する。
【0059】この後は、前記LSIチップ20の前記短
絡配線25を介して互いに短絡されている複数のダミー
バンプ24に接続された複数の制御信号供給端子7,7
につながっている複数の制御信号供給配線8,8相互間
の電気抵抗を、適当な測定装置により測定することによ
り、前記複数の制御信号供給端子7と前記LSIチップ
20との電気的な接続状態を評価する。
【0060】なお、上述したように、前記LSIチップ
20ダミーバンプ24の数は、入力バンプ22および出
力バンプ23の総数よりも少ないため、LSIチップ2
0を実装姿勢に対して180度回転させた姿勢で基板2
上に接合すると、前記ダミーバンプ24と点対称の位置
にある入力バンプ22および出力バンプ以外の入出力バ
ンプ22,23が図3のようにデータ信号入力端子6ま
たは制御信号供給端子7に接続されるが、前記配線相互
間の電気抵抗の測定は、互いに短絡されている複数のダ
ミーバンプ24に接続された制御信号供給端子7につな
がっている制御信号供給配線8について行なわれるた
め、前記入出力バンプ22,23とデータ信号入力端子
6または制御信号供給端子7とが接続されても、接合試
験の上での問題は生じない。
【0061】前記接合試験に使用された液晶表示素子お
よびその基板2に接合されたLSIチップ20は、資料
として保存するか、あるいは廃棄処分する。
【0062】すなわち、このLSIチップの接合試験方
法は、姿勢を180度変えて基板2上に接合することに
より実装用としても接合試験用としても使用することが
できるLSIチップ20を用い、このLSIチップ20
を、その複数のダミーバンプ24を前記基板2の複数の
LSI接続端子(データ信号入力端子および制御信号供
給端子)6,7に対応させて接合し、前記短絡配線25
を介して互いに短絡された複数のダミーバンプ24が対
応する複数の制御信号供給端子7,7につながっている
複数の制御信号供給配線8,8相互間の電気抵抗を測定
することにより、前記複数の制御信号供給端子7と前記
LSIチップ20との電気的な接続状態を評価するもの
であり、この試験方法によれば、専用の接合試験用LS
Iチップを別に製作することなくLSIチップの接合試
験を行なうことができる。
【0063】また、この実施例のLSIチップの接合試
験方法においては、前記LSIチップ20を、図示しな
い異方導電性接着剤を介して前記基板2上に加熱圧着す
ることにより前記基板2上に接合しているため、前記基
板2上に前記LSIチップ20を実装したときと同じ条
件で接合試験を行なうことができる。
【0064】なお、上記実施例のLSIチップ20は、
実装姿勢に対して180度回転させた姿勢で基板2上に
接合したときに制御信号供給端子7に接続されるダミー
バンプ24のうちの複数のバンプ24を短絡させたもの
であるが、短絡させるダミーバンプ24の組合わせは任
意でよい。
【0065】すなわち、例えば、データ信号入力端子6
に接続される複数のダミーバンプ24を互いに短絡させ
れば、そのダミーバンプ24と接続された複数のデータ
信号入力端子6,6につながるデータ配線5,5相互間
の電気抵抗を測定することにより、複数のデータ信号入
力端子6とLSIチップ20との電気的な接続状態を評
価することができ、全てのダミーバンプ24を互いに短
絡させれば、全てのダミーバンプ24と接続されたデー
タ信号入力端子6および制御信号供給端子7につながる
配線5,8相互間の電気抵抗を測定することにより、前
記データ信号入力端子6および制御信号供給端子7とL
SIチップ20との電気的な接続状態を評価することが
できる。
【0066】また、上記実施例のLSIチップ20は、
図4に示した液晶表示素子1の一方の基板2に形成され
た2つの端子配列部2a,2bのうちの一方(一側縁)
の端子配列部2aに設けられるものであるが、この発明
は、前記液晶表示素子1の他方(一端縁)の端子配列部
2bに設けられるゲート信号出力用のLSIチップや、
配線基板等に設けられるLSIチップに広く適用するこ
とができる。
【0067】
【発明の効果】この発明のLSIチップは、集積回路を
内蔵し、基板との接合面に、前記複数のLSI接続端子
に対応させて形成され前記集積回路に接続された複数の
入力バンプおよび出力バンプと、これらのバンプと点対
称の位置に形成された複数のダミーバンプとを有すると
ともに、前記ダミーバンプのうちの少なくとも所定の位
置に形成された複数のダミーバンプが短絡配線を介して
互いに短絡されているものであり、その姿勢を180度
変えて前記基板上に接合することにより、実装用として
も接合試験用としても使用することができるため、この
LSIチップを用いることにより、専用の接合試験用L
SIチップを別に製作することなくLSIチップの接合
試験を行なうことができる。
【0068】この発明のLSIチップにおいて、前記短
絡配線は、チップ内部に設けられているのが好ましく、
このようにすることにより、例えば前記基板に形成され
た前記LSI接続端子につながる配線がLSIチップ接
合領域内を通っている場合でも、その配線と前記LSI
チップの短絡配線との誤短絡を防ぐことができる。
【0069】また、この発明のLSIチップの接合試験
方法は、上記姿勢を180度変えて基板上に接合するこ
とにより実装用としても接合試験用としても使用するこ
とができるLSIチップを用い、所定の位置に配列形成
された複数のLSI接続端子と、これらの端子につなが
る複数の配線とが設けられた基板上に、前記LSIチッ
プを、その複数のダミーバンプを前記複数のLSI接続
端子に対応させて接合し、前記短絡配線を介して互いに
短絡されている前記複数のダミーバンプと接続された前
記複数のLSI接続端子につながっている前記複数の配
線相互間の電気抵抗を測定することにより、前記複数の
LSI接続端子と前記LSIチップとの電気的な接続状
態を評価するものであり、この試験方法によれば、専用
の接合試験用LSIチップを別に製作することなくLS
Iチップの接合試験を行なうことができる。
【0070】この発明のLSIチップの接合試験方法に
おいて、前記LSIチップは、異方導電性接着剤を介し
て前記基板上に加熱圧着することにより前記基板上に接
合すればよく、このようにすることにより、前記基板上
にLSIチップを実装したときと同じ条件で接合試験を
行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示すLSIチップ斜視
図。
【図2】前記LSIチップを実装姿勢で基板上に接合し
たときのバンプ接続状態を示す図。
【図3】前記LSIチップを実装姿勢に対して180度
回転させた姿勢で基板上に接合したときのバンプ接続状
態を示す図。
【図4】LSIチップを備えた液晶表示素子の斜視図。
【図5】前記液晶表示素子の一方の端子配列部のLSI
チップ接合領域の拡大図。
【符号の説明】
2…基板 5,6…LSI接続端子 4,7…配線 20…LSIチップ 20a…基板接合面 21…集積回路 22…入力バンプ 23…出力バンプ 24…ダミーバンプ 25…短絡配線

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】所定の位置に配列形成された複数のLSI
    接続端子と、これらの端子につながる複数の配線とが設
    けられた基板上に接合されるLSIチップにおいて、 集積回路を内蔵し、前記基板との接合面に、前記複数の
    LSI接続端子に対応させて形成され前記集積回路に接
    続された複数の入力バンプおよび出力バンプと、これら
    のバンプと点対称の位置に形成された複数のダミーバン
    プとを有するとともに、前記ダミーバンプのうちの少な
    くとも所定の位置に形成された複数のダミーバンプが短
    絡配線を介して互いに短絡されていることを特徴とする
    LSIチップ。
  2. 【請求項2】前記短絡配線はチップ内部に設けられてい
    ることを特徴とする請求項1に記載のLSIチップ。
  3. 【請求項3】所定の位置に配列形成された複数のLSI
    接続端子と、これらの端子につながる複数の配線とが設
    けられた基板上に、集積回路を内蔵し、前記基板との接
    合面に、前記複数のLSI接続端子に対応する複数の入
    力バンプおよび出力バンプと、これらのバンプと点対称
    の位置に形成された複数のダミーバンプとを有するとと
    もに、前記ダミーバンプのうちの少なくとも所定の位置
    に形成された複数のダミーバンプが短絡配線を介して互
    いに短絡されたLSIチップを、前記ダミーバンプを前
    記LSI接続端子に対応させて接合し、前記短絡配線を
    介して互いに短絡されている前記複数のダミーバンプと
    接続された前記複数のLSI接続端子につながっている
    前記複数の配線相互間の電気抵抗を測定することによ
    り、前記複数のLSI接続端子と前記LSIチップとの
    電気的な接続状態を評価することを特徴とするLSIチ
    ップの接合試験方法。
  4. 【請求項4】前記LSIチップは、異方導電性接着剤を
    介して前記基板上に加熱圧着することにより前記基板上
    に接合することを特徴とする請求項3に記載のLSIチ
    ップの接合試験方法。
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