JP2000266598A - 熱線検知感度検査方法およびその装置 - Google Patents
熱線検知感度検査方法およびその装置Info
- Publication number
- JP2000266598A JP2000266598A JP7217199A JP7217199A JP2000266598A JP 2000266598 A JP2000266598 A JP 2000266598A JP 7217199 A JP7217199 A JP 7217199A JP 7217199 A JP7217199 A JP 7217199A JP 2000266598 A JP2000266598 A JP 2000266598A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat ray
- heat
- sensor
- detection sensitivity
- power control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査信頼性に優れ且つ装置の小型化を図れる
ようにする。 【解決手段】 受ける熱線量の変化に基づいて検知対象
を検出する熱線センサＳの熱線検知感度検査方法であっ
て、熱線放射部３を備える外乱防止カバー１で熱線セン
サを覆った後に、電力制御部によって調節した電力を熱
線放射部にスイッチをオン・オフすることによって間欠
的に供給し、電力制御部によって調節した電力に応じた
熱線を熱線放射部から熱線センサに間欠的に照射するこ
とによって熱線量の変化を生じせしめ、熱線検知感度を
検査するようにした。
ようにする。 【解決手段】 受ける熱線量の変化に基づいて検知対象
を検出する熱線センサＳの熱線検知感度検査方法であっ
て、熱線放射部３を備える外乱防止カバー１で熱線セン
サを覆った後に、電力制御部によって調節した電力を熱
線放射部にスイッチをオン・オフすることによって間欠
的に供給し、電力制御部によって調節した電力に応じた
熱線を熱線放射部から熱線センサに間欠的に照射するこ
とによって熱線量の変化を生じせしめ、熱線検知感度を
検査するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、受ける熱線量の変
化に基づいて検知対象を検出する熱線センサの動作試験
を行うための、熱線検知感度検査方法およびその装置に
関する。
化に基づいて検知対象を検出する熱線センサの動作試験
を行うための、熱線検知感度検査方法およびその装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の熱線検知感度検査方法を示
す斜視図、図４は従来の熱線検知感度検査装置の概要を
示すブロック図である。ところで、熱線検知機能を有す
る商品は、検知機能確認を行うために動作試験を行う必
要がある。そこで、従来は、図３、図４に示すような方
法にて動作試験が行われていた。すなわち、図３におい
て、１は外乱防止カバー、２は移動熱源、Ｓは焦電素子
から構成される熱線センサである。外乱防止カバー１
は、アルミニウムのような軽い金属製の下方が開放され
た箱状のもので、上面中央には円筒１０が立設されてい
る。この円筒１０の孔１１は外乱防止カバー１の内部に
連通している。
す斜視図、図４は従来の熱線検知感度検査装置の概要を
示すブロック図である。ところで、熱線検知機能を有す
る商品は、検知機能確認を行うために動作試験を行う必
要がある。そこで、従来は、図３、図４に示すような方
法にて動作試験が行われていた。すなわち、図３におい
て、１は外乱防止カバー、２は移動熱源、Ｓは焦電素子
から構成される熱線センサである。外乱防止カバー１
は、アルミニウムのような軽い金属製の下方が開放され
た箱状のもので、上面中央には円筒１０が立設されてい
る。この円筒１０の孔１１は外乱防止カバー１の内部に
連通している。
【０００３】外乱防止カバー１は、熱線センサＳを覆っ
て感度検査をする際に、外部から不要な風が入ったり、
不要な熱線が入ったりするのを防止することによって、
熱線検知感度を精確に検査できるようにするためのもの
である。外乱防止カバー１は、熱線センサＳを覆ったと
き、円筒１０の孔１１の中心軸はセンサ部Ｓ1 の中央に
達するようにされている。
て感度検査をする際に、外部から不要な風が入ったり、
不要な熱線が入ったりするのを防止することによって、
熱線検知感度を精確に検査できるようにするためのもの
である。外乱防止カバー１は、熱線センサＳを覆ったと
き、円筒１０の孔１１の中心軸はセンサ部Ｓ1 の中央に
達するようにされている。
【０００４】移動熱源２は、熱線を放射するもので、ヒ
ータが組み込まれ、図４に示すように、放射する熱線量
が温度制御装置２０によってコントロールされている。
また、移動熱源２は、図４に示すように、移動制御機構
２１からの指示に基づいて動作する移動動力源２２によ
って駆動され、円筒１０の真上を横切って通過するよう
にされている。
ータが組み込まれ、図４に示すように、放射する熱線量
が温度制御装置２０によってコントロールされている。
また、移動熱源２は、図４に示すように、移動制御機構
２１からの指示に基づいて動作する移動動力源２２によ
って駆動され、円筒１０の真上を横切って通過するよう
にされている。
【０００５】つまり、移動熱源２から放射される熱線
は、移動熱源２が円筒１０の真上を横切る瞬間にのみセ
ンサ部Ｓ1 に達する。そこで、センサ部Ｓ1 の受ける熱
線量は急峻に変化することになり、センサ部Ｓ1 は受け
る熱線量変化率に比例する電圧出力を行うことになる。
そして、このセンサ部Ｓ1 の出力電圧は、増幅部Ｓ2 に
て増幅されて比較部Ｓ3 に入力され、比較部Ｓ3 は入力
される電圧が予め定められた基準電圧以上であれば判定
部Ｓ4 に対して検知出力を行う。
は、移動熱源２が円筒１０の真上を横切る瞬間にのみセ
ンサ部Ｓ1 に達する。そこで、センサ部Ｓ1 の受ける熱
線量は急峻に変化することになり、センサ部Ｓ1 は受け
る熱線量変化率に比例する電圧出力を行うことになる。
そして、このセンサ部Ｓ1 の出力電圧は、増幅部Ｓ2 に
て増幅されて比較部Ｓ3 に入力され、比較部Ｓ3 は入力
される電圧が予め定められた基準電圧以上であれば判定
部Ｓ4 に対して検知出力を行う。
【０００６】また、従来の他の熱線検知感度検査方法と
して、熱源と熱線センサとの間に遮蔽物を設けておき、
この遮蔽物を移動させて取り去ったり再び挿入して遮蔽
したりすることによって、センサ部の受ける熱線量に変
化をつけることによって、検知出力させることが行われ
ている。
して、熱源と熱線センサとの間に遮蔽物を設けておき、
この遮蔽物を移動させて取り去ったり再び挿入して遮蔽
したりすることによって、センサ部の受ける熱線量に変
化をつけることによって、検知出力させることが行われ
ている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来の熱線検知感度検査方法にあっては、熱源を
移動したり遮蔽物を移動したりする必要があるため、熱
源の温度維持が難しいとともに熱源の制御線断線などが
生じるなどして検査信頼性に欠ける、また、移動制御機
構が必要であるため装置が大型化するという問題点があ
った。
ような従来の熱線検知感度検査方法にあっては、熱源を
移動したり遮蔽物を移動したりする必要があるため、熱
源の温度維持が難しいとともに熱源の制御線断線などが
生じるなどして検査信頼性に欠ける、また、移動制御機
構が必要であるため装置が大型化するという問題点があ
った。
【０００８】本発明は上記の問題点を解決するためにな
されたもので、その目的とするところは、検査信頼性に
優れ且つ装置の小型化が図れる、優れる、熱線検知感度
検査方法およびその装置を提供することにある。
されたもので、その目的とするところは、検査信頼性に
優れ且つ装置の小型化が図れる、優れる、熱線検知感度
検査方法およびその装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の問題点を
解決するため、請求項１記載の発明にあっては、受ける
熱線量の変化に基づいて検知対象を検出する熱線センサ
の熱線検知感度検査方法であって、熱線放射部を備える
外乱防止カバーで熱線センサを覆った後に、電力制御部
によって調節した電力を熱線放射部にスイッチをオン・
オフすることによって間欠的に供給し、電力制御部によ
って調節した電力に応じた熱線を熱線放射部から熱線セ
ンサに間欠的に照射することによって熱線量の変化を生
じせしめ、熱線検知感度を検査するようにしたことを特
徴とする方法である。
解決するため、請求項１記載の発明にあっては、受ける
熱線量の変化に基づいて検知対象を検出する熱線センサ
の熱線検知感度検査方法であって、熱線放射部を備える
外乱防止カバーで熱線センサを覆った後に、電力制御部
によって調節した電力を熱線放射部にスイッチをオン・
オフすることによって間欠的に供給し、電力制御部によ
って調節した電力に応じた熱線を熱線放射部から熱線セ
ンサに間欠的に照射することによって熱線量の変化を生
じせしめ、熱線検知感度を検査するようにしたことを特
徴とする方法である。
【００１０】請求項２記載の発明にあっては、熱線を熱
線センサへ照射する熱線放射部と、この熱線放射部への
電力供給を制御する電力制御部と、電力制御部からの電
力供給を開始したり停止したりするスイッチとを設けた
ことを特徴とするものである。
線センサへ照射する熱線放射部と、この熱線放射部への
電力供給を制御する電力制御部と、電力制御部からの電
力供給を開始したり停止したりするスイッチとを設けた
ことを特徴とするものである。
【００１１】請求項３記載の発明にあっては、検査時に
熱線放射部を覆うとともに熱線センサを覆う外乱防止カ
バーを設けたことを特徴とするものである。
熱線放射部を覆うとともに熱線センサを覆う外乱防止カ
バーを設けたことを特徴とするものである。
【００１２】請求項４記載の発明にあっては、前記熱線
放射部は熱線を放出する白熱ランプであり、前記電力制
御部は白熱ランプに供給する電力を商用電源を移相制御
することによって制御するものであることを特徴とする
ものである。
放射部は熱線を放出する白熱ランプであり、前記電力制
御部は白熱ランプに供給する電力を商用電源を移相制御
することによって制御するものであることを特徴とする
ものである。
【００１３】請求項５記載の発明にあっては、前記熱線
放射部はビーム状の熱線を照射するものであることを特
徴とするものである。
放射部はビーム状の熱線を照射するものであることを特
徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る熱線検知感度
検査方法およびその装置の一実施の形態を図１および図
２に基づいて詳細に説明する。図１は熱線検知感度検査
方法を示す斜視図、図２は熱線検知感度検査装置の概要
を示すブロック図である。なお、図１および図２におい
て、従来の技術で図３および図４を用いて説明した部分
と同じ箇所には同じ符号を付してある。
検査方法およびその装置の一実施の形態を図１および図
２に基づいて詳細に説明する。図１は熱線検知感度検査
方法を示す斜視図、図２は熱線検知感度検査装置の概要
を示すブロック図である。なお、図１および図２におい
て、従来の技術で図３および図４を用いて説明した部分
と同じ箇所には同じ符号を付してある。
【００１５】図１において、１は外乱防止カバー、３は
熱線放射部に相当する熱源、Ｓは焦電素子から構成され
る熱線センサである。外乱防止カバー１は、アルミニウ
ムのような軽い金属製の下方が開放された箱状のもの
で、上面中央には丸い取付孔１３が設けられ、取付孔１
３の周縁近傍には４つのねじ孔１４，…１４が設けられ
ている。
熱線放射部に相当する熱源、Ｓは焦電素子から構成され
る熱線センサである。外乱防止カバー１は、アルミニウ
ムのような軽い金属製の下方が開放された箱状のもの
で、上面中央には丸い取付孔１３が設けられ、取付孔１
３の周縁近傍には４つのねじ孔１４，…１４が設けられ
ている。
【００１６】熱源３は、これに限定されるものではない
が、例えば白熱ランプ３０と、白熱ランプ３０を取り付
けるためのソケット３１とから構成される。ソケット３
１は下方に鍔部３１ａを備える。ソケット押さえ板１５
は、丸いソケット孔１５ａと、４つのねじ止め孔１５
ｂ，…１５ｂとを備える。ソケット３１上部の円筒状部
はソケット孔１５ａに挿入される。そして、ソケット押
さえ板１５を外乱防止カバー１の上面に、ねじ孔１４，
…１４とねじ止め孔１５ｂ，…１５ｂとを合わせるよう
に載置して、ねじ孔１４，…１４とねじ止め孔１５ｂ，
…１５ｂとを用いてねじ止めする。すると、鍔部３１ａ
が外乱防止カバー１の上面とソケット押さえ板１５とで
挟持され、ソケット３１は固定される。ソケット３１か
らはリード線Ｌが引き出される。
が、例えば白熱ランプ３０と、白熱ランプ３０を取り付
けるためのソケット３１とから構成される。ソケット３
１は下方に鍔部３１ａを備える。ソケット押さえ板１５
は、丸いソケット孔１５ａと、４つのねじ止め孔１５
ｂ，…１５ｂとを備える。ソケット３１上部の円筒状部
はソケット孔１５ａに挿入される。そして、ソケット押
さえ板１５を外乱防止カバー１の上面に、ねじ孔１４，
…１４とねじ止め孔１５ｂ，…１５ｂとを合わせるよう
に載置して、ねじ孔１４，…１４とねじ止め孔１５ｂ，
…１５ｂとを用いてねじ止めする。すると、鍔部３１ａ
が外乱防止カバー１の上面とソケット押さえ板１５とで
挟持され、ソケット３１は固定される。ソケット３１か
らはリード線Ｌが引き出される。
【００１７】このリード線Ｌは、図２に示すように、ス
イッチ４を介して電力制御部５に接続する。電力制御部
５は、これに限定されるものではないが、例えば移相制
御によって白熱ランプ３０に印加する電力を制御し、白
熱ランプ３０から放射される熱線を制御するものであ
り、所定の移相制御角に設定される。なお、電力制御部
５にあっては、熱線センサの種類によって熱線検知感度
が異なるので、操作部（図示せず）を操作することによ
って移相制御角を変化せしめ、白熱ランプ３０から放射
される熱線量を簡単に変えることができるようにされて
いる。
イッチ４を介して電力制御部５に接続する。電力制御部
５は、これに限定されるものではないが、例えば移相制
御によって白熱ランプ３０に印加する電力を制御し、白
熱ランプ３０から放射される熱線を制御するものであ
り、所定の移相制御角に設定される。なお、電力制御部
５にあっては、熱線センサの種類によって熱線検知感度
が異なるので、操作部（図示せず）を操作することによ
って移相制御角を変化せしめ、白熱ランプ３０から放射
される熱線量を簡単に変えることができるようにされて
いる。
【００１８】従って、上述のような、熱線検知感度検査
方法およびその装置にあっては、熱線センサＳのセンサ
部Ｓ1 が焦電素子のような受ける熱線量の変化に応じた
電圧出力を行うものであっても、従来のように熱源を移
動したり遮蔽物を移動したりしてセンサ部Ｓ1 の受ける
熱線量の変化を作り出す必要はなく、単にスイッチ４を
オン・オフすることでセンサ部Ｓ1 の受ける熱線量に変
化をつけることができ、従来のような移動制御機構が不
要になり検査信頼性が向上する。
方法およびその装置にあっては、熱線センサＳのセンサ
部Ｓ1 が焦電素子のような受ける熱線量の変化に応じた
電圧出力を行うものであっても、従来のように熱源を移
動したり遮蔽物を移動したりしてセンサ部Ｓ1 の受ける
熱線量の変化を作り出す必要はなく、単にスイッチ４を
オン・オフすることでセンサ部Ｓ1 の受ける熱線量に変
化をつけることができ、従来のような移動制御機構が不
要になり検査信頼性が向上する。
【００１９】また、スイッチ４を半導体スイッチにすれ
ば機械的な接点部が無くなるため、更に検査信頼性が向
上する。また、従来のように熱源を移動させないので、
熱源温度の精確な維持が容易で精度の良い検査を行うこ
とができるとともに、装置を小型化することもできる。
また、外乱防止カバー１は、熱線センサＳを覆って感度
検査をする際に、外部から不要な風が入ったり不要な熱
線が入ったりするのを防止するので、熱線検知感度を精
確に検査できるようにする。
ば機械的な接点部が無くなるため、更に検査信頼性が向
上する。また、従来のように熱源を移動させないので、
熱源温度の精確な維持が容易で精度の良い検査を行うこ
とができるとともに、装置を小型化することもできる。
また、外乱防止カバー１は、熱線センサＳを覆って感度
検査をする際に、外部から不要な風が入ったり不要な熱
線が入ったりするのを防止するので、熱線検知感度を精
確に検査できるようにする。
【００２０】なお、白熱ランプの代わりに、赤外ＬＥＤ
やハロゲンランプを用いることによってランプ切れをな
くすことができ、寿命を長くすることもできる。また、
熱線をビーム状に絞るようにすることによって消費電力
を少なくすることもできる。また、白熱ランプやハロゲ
ンランプにあっては、フィラメントの加熱による熱線放
射であるので、商用電源の位相制御によってもチラツキ
なく安定した熱線放射が可能であるものの、熱線放射部
が赤外ＬＥＤなどの場合には直流電源を用いないと安定
した熱線放射が得られないので注意が必要である。
やハロゲンランプを用いることによってランプ切れをな
くすことができ、寿命を長くすることもできる。また、
熱線をビーム状に絞るようにすることによって消費電力
を少なくすることもできる。また、白熱ランプやハロゲ
ンランプにあっては、フィラメントの加熱による熱線放
射であるので、商用電源の位相制御によってもチラツキ
なく安定した熱線放射が可能であるものの、熱線放射部
が赤外ＬＥＤなどの場合には直流電源を用いないと安定
した熱線放射が得られないので注意が必要である。
【００２１】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、受ける熱
線量の変化に基づいて検知対象を検出する熱線センサの
熱線検知感度検査方法であって、熱線放射部を備える外
乱防止カバーで熱線センサを覆った後に、電力制御部に
よって調節した電力を熱線放射部にスイッチをオン・オ
フすることによって間欠的に供給し、電力制御部によっ
て調節した電力に応じた熱線を熱線放射部から熱線セン
サに間欠的に照射することによって熱線量の変化を生じ
せしめ、熱線検知感度を検査するようにしたので、焦電
素子のように受ける熱線量の変化に応じた出力を行うセ
ンサ部を備える熱線センサであっても、従来のような移
動制御機構が不要になり、検査信頼性が向上し、熱源の
温度維持が容易で、精度の良い検査を行うことができ、
且つ装置の小型化を図ることができる、優れる、熱線検
知感度検査方法を提供できるという効果を奏する。
線量の変化に基づいて検知対象を検出する熱線センサの
熱線検知感度検査方法であって、熱線放射部を備える外
乱防止カバーで熱線センサを覆った後に、電力制御部に
よって調節した電力を熱線放射部にスイッチをオン・オ
フすることによって間欠的に供給し、電力制御部によっ
て調節した電力に応じた熱線を熱線放射部から熱線セン
サに間欠的に照射することによって熱線量の変化を生じ
せしめ、熱線検知感度を検査するようにしたので、焦電
素子のように受ける熱線量の変化に応じた出力を行うセ
ンサ部を備える熱線センサであっても、従来のような移
動制御機構が不要になり、検査信頼性が向上し、熱源の
温度維持が容易で、精度の良い検査を行うことができ、
且つ装置の小型化を図ることができる、優れる、熱線検
知感度検査方法を提供できるという効果を奏する。
【００２２】請求項２記載の発明によれば、熱線を熱線
センサへ照射する熱線放射部と、この熱線放射部への電
力供給を制御する電力制御部と、電力制御部からの電力
供給を開始したり停止したりするスイッチとを設けたの
で、焦電素子のように受ける熱線量の変化に応じた出力
を行うセンサ部を備える熱線センサであっても、従来の
ような移動制御機構が不要になり、検査信頼性が向上
し、熱源の温度維持が容易で、精度の良い検査を行うこ
とができ、且つ装置の小型化を図ることができる、優れ
る、熱線検知感度検査装置を提供できるという効果を奏
する。
センサへ照射する熱線放射部と、この熱線放射部への電
力供給を制御する電力制御部と、電力制御部からの電力
供給を開始したり停止したりするスイッチとを設けたの
で、焦電素子のように受ける熱線量の変化に応じた出力
を行うセンサ部を備える熱線センサであっても、従来の
ような移動制御機構が不要になり、検査信頼性が向上
し、熱源の温度維持が容易で、精度の良い検査を行うこ
とができ、且つ装置の小型化を図ることができる、優れ
る、熱線検知感度検査装置を提供できるという効果を奏
する。
【００２３】請求項３記載の発明によれば、検査時に熱
線放射部を覆うとともに熱線センサを覆う外乱防止カバ
ーを設けたので、熱線センサを覆って感度検査をする際
に、外部から不要な風が入ったり不要な熱線が入ったり
するのを防止できるので、請求項２記載の発明の効果に
加えて更に、精度の良い検査を行うことができる、優れ
る、熱線検知感度検査装置を提供できるという効果を奏
する。
線放射部を覆うとともに熱線センサを覆う外乱防止カバ
ーを設けたので、熱線センサを覆って感度検査をする際
に、外部から不要な風が入ったり不要な熱線が入ったり
するのを防止できるので、請求項２記載の発明の効果に
加えて更に、精度の良い検査を行うことができる、優れ
る、熱線検知感度検査装置を提供できるという効果を奏
する。
【００２４】請求項４記載の発明によれば、熱線放射部
は熱線を放出する白熱ランプであり、電力制御部は白熱
ランプに供給する電力を商用電源を移相制御することに
よって制御するものであるので、請求項２記載または請
求項３記載の発明の効果に加えて更に、小型で且つ簡単
な構成で供給電力を調節することができる、優れる、熱
線検知感度検査装置を提供できるという効果を奏する。
は熱線を放出する白熱ランプであり、電力制御部は白熱
ランプに供給する電力を商用電源を移相制御することに
よって制御するものであるので、請求項２記載または請
求項３記載の発明の効果に加えて更に、小型で且つ簡単
な構成で供給電力を調節することができる、優れる、熱
線検知感度検査装置を提供できるという効果を奏する。
【００２５】請求項５記載の発明によれば、熱線放射部
はビーム状の熱線を照射するものであるので、請求項２
記載または請求項３記載の発明の効果に加えて更に、熱
線の無駄がなく消費電力を少なくできる、優れる、熱線
検知感度検査装置を提供できるという効果を奏する。
はビーム状の熱線を照射するものであるので、請求項２
記載または請求項３記載の発明の効果に加えて更に、熱
線の無駄がなく消費電力を少なくできる、優れる、熱線
検知感度検査装置を提供できるという効果を奏する。
【図１】本発明に係る一実施の形態の熱線検知感度検査
方法を示す斜視図である。
方法を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る一実施の形態の熱線検知感度検査
装置の概要を示すブロック図である。
装置の概要を示すブロック図である。
【図３】従来の熱線検知感度検査方法を示す斜視図であ
る。
る。
【図４】従来の熱線検知感度検査装置の概要を示すブロ
ック図である。
ック図である。
１ 外乱防止カバー ３ 熱線放射部 ４ スイッチ ５ 電力制御部 Ｓ 熱線センサ
Claims (5)
- 【請求項１】 受ける熱線量の変化に基づいて検知対象
を検出する熱線センサの熱線検知感度検査方法であっ
て、熱線放射部を備える外乱防止カバーで熱線センサを
覆った後に、電力制御部によって調節した電力を熱線放
射部にスイッチをオン・オフすることによって間欠的に
供給し、電力制御部によって調節した電力に応じた熱線
を熱線放射部から熱線センサに間欠的に照射することに
よって熱線量の変化を生じせしめ、熱線検知感度を検査
するようにしたことを特徴とする熱線検知感度検査方
法。 - 【請求項２】 熱線を熱線センサへ照射する熱線放射部
と、この熱線放射部への電力供給を制御する電力制御部
と、電力制御部からの電力供給を開始したり停止したり
するスイッチとを設けたことを特徴とする熱線検知感度
検査装置。 - 【請求項３】 検査時に熱線放射部を覆うとともに熱線
センサを覆う外乱防止カバーを設けたことを特徴とする
請求項２記載の熱線検知感度検査装置。 - 【請求項４】 前記熱線放射部は熱線を放出する白熱ラ
ンプであり、前記電力制御部は白熱ランプに供給する電
力を商用電源を移相制御することによって制御するもの
であることを特徴とする請求項２記載または請求項３記
載の熱線検知感度検査装置。 - 【請求項５】 前記熱線放射部はビーム状の熱線を照射
するものであることを特徴とする請求項２記載または請
求項３記載の熱線検知感度検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7217199A JP2000266598A (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | 熱線検知感度検査方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7217199A JP2000266598A (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | 熱線検知感度検査方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000266598A true JP2000266598A (ja) | 2000-09-29 |
Family
ID=13481527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7217199A Pending JP2000266598A (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | 熱線検知感度検査方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000266598A (ja) |
-
1999
- 1999-03-17 JP JP7217199A patent/JP2000266598A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR960013995B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 기판의 표면온도 측정 방법 및 열처리 장치 | |
| JP2850816B2 (ja) | バンプ接合検査装置及び検査方法 | |
| JPH1026557A (ja) | 熱処理システムの赤外パイロメータの校正方法及び装置 | |
| US4617821A (en) | Gas detecting device | |
| JP2604754B2 (ja) | 分光光度計 | |
| KR101533588B1 (ko) | 발광 소자 불량 검출 장치 및 방법 | |
| JP2000266598A (ja) | 熱線検知感度検査方法およびその装置 | |
| JP2002539426A (ja) | ガスセンサーおよびガスセンサーの動作方法 | |
| US7026609B2 (en) | Method and apparatus for time-phased constant IR energy delta source | |
| JP4216437B2 (ja) | 降雪センサ | |
| JP2004213955A (ja) | 照明装置 | |
| JPH03278524A (ja) | 半導体基板加熱装置 | |
| JP2000218151A (ja) | 真空装置 | |
| JP3425627B2 (ja) | 標準光源およびその制御方法 | |
| US4339201A (en) | Temperature control system for an element analyzer | |
| JP3360560B2 (ja) | 赤外線厚さ計の赤外線光源 | |
| JPH01235390A (ja) | 半導体レーザの温度制御方式 | |
| JPH0623920Y2 (ja) | 熱処理炉 | |
| JP2000114195A (ja) | 基板処理装置、基板処理装置の放射温度計のキャリブレーションに使用する治具および放射温度計のキャリブレーション方法 | |
| US20240145274A1 (en) | Low temperature measurement of semiconductor substrates | |
| JP4096143B2 (ja) | 照明制御装置 | |
| JPH0529428A (ja) | 半導体素子の検査装置 | |
| JP2003106901A (ja) | 放射温度計用安定光源、放射温度計のキャリブレーション方法及び放射温度計を用いた半導体製造装置 | |
| JPH0191264U (ja) | ||
| CA2449153C (en) | Method and apparatus for time-phased constant ir energy delta source |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040304 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040406 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040531 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040803 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050111 |