JP2002539426A - ガスセンサーおよびガスセンサーの動作方法 - Google Patents
ガスセンサーおよびガスセンサーの動作方法Info
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Abstract
Description
外ガスセンサーの作動原理および動作方法は良く知られたものとしてよい。
のような熱放射体、1個または複数の波長選択素子(たとえば干渉フィルターな
どの選択的放射線フィルター)である吸収部、および光信号を電気測定信号に変
換する1個または複数の放射線検出器を含んでいる。このような検出器は従来技
術から多くのものが知られている。もっとも良く使用されるタイプの検出器は、
なかでも焦電性検出器、半導体(たとえばPbSe基体上の)熱親和性検出器お
よび空気式検出器である。
変化に基づくものであり、この圧力変化はマイクロフォンによって検出される。
この加熱は、測定対象の測定ガス分子による放射源の放射エネルギーの吸収によ
ってもたらされる。従来技術に相当する実施形態は独国特許195 25 70
3 Alに開示されている。
続的に、または電圧をパルス化して間欠的に動作される。どちらの場合も、信号
は一般に位相を感知できる電子技術(ロックイン技術)またはそれぞれにRMS
(自乗平均)変換器によって検出される。
熱放射源または赤外線発光放射源(たとえばダイオード、レーザーダイオード、
赤外線レーザー)を動作するためのエネルギー供給装置と、赤外光線の経路に配
置した少なくとも1個の測定部分と、電気的測定信号を送る少なくとも1個の検
出器と、電流または電圧パルスのパルス持続時間を制御する1個のスイッチ素子
とを備える赤外ガスセンサーに関する。本発明はさらにこのようなセンサーの動
作方法に関する。
、熱放射体である放射源のパルス持続時間は、測定変換器の出口における放射線
検出器の測定信号の最大値に従って制御される。本明細書では、センサーの応答
曲線または測定変換器の測定信号の経過から経験的あるいは数学的にこの最大値
を得ること、およびこの最大値が確実にパルス持続時間内にあるように熱放射体
へのエネルギー供給を遮断することによってパルス持続時間を制御することを提
案している。さらにこの応答曲線の経過を、応答曲線の最大値に達した時にエネ
ルギー供給または電流パルスをそれぞれ遮断する最大値検出器によってモニター
することを提案している。このガスセンサーについては、エネルギー供給のパル
ス時間対パルス中断時間の比として1以下、好ましくは0.1から0.5の間の
値が達成できる。
サーを作成することにある。
特許請求項9の特徴によって達成される。従属請求項には有利な展開を挙げてあ
る。
に達するまでの時間よりパルス持続時間が短くなるように制御される。これは測
定値として使用される検出器信号の最大勾配 によってもたらされる。この信号の最大勾配には、実質的に最大値より早い時間
τ´に到達し、τ´<<τMAXである。そのためこの測定過程において放射源
のパルスがオンになっている時間τ0はこれまでのものすべてより実質的に短く
τ´≦τ0<<τMAXにできる。したがって、実現可能なパルス時間対パルス
中断時間の比は0.01以下である。
3秒から数分の間で選択することができ、これによってバッテリー(たとえば、
標準AAバッテリー)を交換しなくとも半年以上の動作時間を達成することがで
きる。
子として放射線検出器とたとえばマイクロフォンのような音響検出器の両方を備
えて行なうことができる。複数の検出器、たとえば放射線検出器とマイクロフォ
ンで同時に、複数の信号を発生することができ、本発明にしたがった測定は、2
つの信号の少なくとも1つに対して、または複数の信号に対して、あるいは信号
すべてに対してそれぞれ実施される。複数の信号を発生する場合は、測定精度を
さらに改良することができる。
きる、たとえば白熱灯、熱薄膜放射体、発光ダイオードなどである。
た後の特定の時間τにおける検出器信号の測定値をセンサー信号として使用して
おり、この時間τは検出器信号の最大値に達する時間τMAXより短く、τ<τ MAX となる。このτは検出器信号の勾配が最大値に達する時間τ´とτMAX の間にある、すなわち、τ´≦τ<τMAXであることが好ましい。時間τにお
ける測定値として、検出器信号UD(τ)の瞬時値とその一次微分係数の瞬時値 の両方を使用することができる。
ン後の、検出器信号U″が特定のレベルに到達する時間または検出器信号から特
定の間隔に到達する時間を測定値として使用することも可能である。
とも可能である。
のガスセンサーの動作方法は非常に有利である。本明細書では最大勾配は最大値
検出器を利用して測定時間をとらずに測定することができる。
用して求めることができる。
分値の測定はさらに可能性のある測定方法である。
り短い(τ<τ0)特定の時間τまでの時間区間にわたる積分値 であることが好ましい。
。
る。
たは音響検出器の測定信号が最大(τMAX)に達するのに要する時間より短く
なるように電流または電圧パルスをオフにするようなやり方で行なわれる。この
方法の好ましい実施形態は、t=0となる電流または電圧パルスの時間とτMA X の間にある時間τに対し、電流または電圧パルスの時間tがτに等しくなった
後でオフになる電流または電圧パルスの中にある。特に、電流または電圧パルス
が、パルス持続時間内の測定信号の一次微分係数の最大値においてオフになる場
合が好ましい。しかし、このセンサーに関連して前に説明した実施形態はすべて
本発明による方法において使用することができる。
り方でガス濃度を求めることもできる。つまりガス濃度は、パルス持続時間より
短い特定の時間τmessにおける測定信号の一次微分係数の値、またはパルス
持続時間より短い特定の時間τmessにおける測定信号のN次微分係数(N>
1)の値から算出することができる。このガス濃度は、さらにパルスオンの時間
t=0から始まりパルス持続時間より短い特定の時間τmessまでの時間にわ
たるこの測定信号の積分値から算出することができる。このガス濃度を求めるた
めに測定信号の一次微分係数を使用することもできる。ガス濃度を求めるこの方
法のさらに好ましい実施形態は、請求項16から19に記載した。
場合にも使用することができる。本方法はさらに、検出器信号が最大に達する前
に、ガス濃度に依存する測定信号が求められる測定方法およびその測定方法に適
した測定装置を含む。特に同じように動作させるために放射源に印加された電圧
パルスの長さを短く保って検出器の信号が最大に達しないようにすることができ
る。たとえば、焦電型検出器の場合、検出器出力信号の動的経過が、放射源の性
質よりも検出器自体の、たとえば時定数のような性質によってよりしっかりと求
められることがしばしばある。
明する。
号の形を示してある。
出器の出力信号の経過を再現したものである(オフセットは差し引いてある)。
曲線2および3は曲線1の一次または二次微分係数を示す。
焦電型検出器(村田製IRA410 QW1)の基本的な信号の形を示す。図2
に一群の曲線が示してあるが、放射源の合計パルスオン時間をパラメーターとし
て使用している。図2では焦電型検出器の出力信号は、その最大に達するまでに
放射源のスイッチング動作への反応として約2.5秒を必要としていることが認
められる。しかしながら、その検出器信号の一次微分係数が最大値に達するのは
せいぜい120ミリ秒後である(後述の図8と比較)。そのため、センサー信号
を測定するためにこの一次微分係数の最大値を使用すれば、放射源のパルスはず
っと早い時期にオフにすることができ、この結果、放射源のエネルギー消費もか
なり低減される。さらに、検出器信号は、そのような通常のレベルよりずっと早
い短い放射パルスの後に低下するが、このことはセンサーを著しく加熱すること
なくしたがってセンサーの加熱時間なしに高速スキャニングを行なえることを意
味している。
路を示している。この微分回路においては、パルス発生器3が所定の時間にセン
サー1の放射源をオンにするようにマイクロプロセッサー2がパルス発生器3を
制御する。この時間は固定値として設定したりあるいはピーク値検出器6のマイ
クロプロセッサー2へのフィードバックによって変えることもできる。このセン
サー1は放射線検出器によって測定出力信号を発生する。この出力信号は、高周
波ノイズを抑制するためのローパス4および測定出力信号を電子工学的に微分す
るための微分回路5を通る。この信号はピーク値検出器6に入力され、ここで微
分値のピーク値を格納し、場合によっては上に述べたようにピーク値到達に関す
るフィードバックをマイクロプロセッサー2へ送る。ピーク値検出器によって検
出された微分ピーク値は、センサー信号の現在の微分係数最大値を変換し測定す
るアナログ−デジタル変換器7に送られる。さらに、センサー1に含まれる温度
センサーの信号がアナログ−デジタル変換器7によって検出される。この両方の
値はその後アナログ−デジタル変換器7によってマイクロプロセッサー2へ送ら
れる。後者はその後ピーク値検出器をリセットし、該当する較正関数を利用して
測定値から測定すべきガス濃度を計算する。その後、計算結果がマイクロプロセ
ッサー2によって出力個所かまたはディスプレイ8上に表示される。
1の放射源をオンにするパルス発生器3を駆動するような加算回路を示している
。センサー1の放射線検出器の出力信号は減算回路10に送られ、センサー信号
に存在する可能性があるオフセットがセンサー信号から減算される。減算する分
の電圧はマイクロプロセッサー2によってデジタル−アナログ変換器13を経由
して減算回路10に与えられる。このようにしてオフセットをなくしたセンサー
信号は、信号をローパスフィルタリングするローパス11に送られ、それから、
アナログ−デジタル変換器12で受信されてディジタル信号に変換され、ある個
数以上の数値を合計するマイクロプロセッサー2に送られる。
10で処理した後、放射源がオンになる前の段階で依然として存在するオフセッ
トはすべてアナログ−デジタル変換器12で検出することができる。このことは
、放射源がオンになる前、アナログ−デジタル変換器12が、センサー信号のロ
ーパスフィルターリングされたオフセットを受信してこれをディジタル信号に変
換し、変換した信号も特定の個数以上の数値を合計するマイクロプロセッサー2
に送ることによってもたらされる。このアナログ−デジタル変換器12はさらに
センサー1に含まれる温度センサーの出力を測定し、この出力をマイクロプロセ
ッサー2に送ることができる。マイクロプロセッサー2は、次に、該当する較正
関数を利用して測定値から測定すべきガス濃度を計算する。
を加算することによってセンサー信号(検出器:村田製IRA410 QW1)
のオフセットを算出する測定値の加算処理の経過を示している。この実施例では
アナログ−デジタル変換器は測定値を1秒当たり16000個の速度で測定する
。これらの測定結果は光源(VCH Tl 5V、60mA)がオンになる前に
もたらされる。この光源がオンになった後、約125ミリ秒の休止期間があり、
その後再び2048個の測定値がアナログ−デジタル変換器によって搬出され、
マイクロプロセッサーによって合計される。これらの値はその後、赤外実測定値
を構成する。求めるガス濃度を計算するために、これらの測定値からの差異およ
びオフセット測定値が較正関数を利用して評価される。
サー(検出器:Heimann LHi 807−TC−G2、放射源:VCH
Tl 5V、125mA、光路25mm)の較正曲線を示す。本実施例では直
線の較正関数は800ppmと1200ppmの間の範囲のCO2に対して最適
化されている。この較正曲線は図3に従って微分回路で記録された。信号強度が
CO2濃度と関係付けられ、その結果、非常に信頼性の高いCO2センサーが実
現されたことが分かる。
n LHi 807−TC−G2)の検出器信号の微分係数最大値の依存性を示
す。この実施例では放射源として小型の白熱灯(VCH Tl 5V、60mA
)が使用された。この図で分かるように、微分係数最大値は40ミリ秒から15
0ミリ秒の間の範囲で増加し、パルス持続時間は150ミリ秒以上に変わること
はない。したがって、放射源を160ミリ秒以上オンにすることはセンサーのエ
ネルギー消費量を単に増加させるだけでなく、本発明によるガス濃度に依存する
微分形の出力信号に対して寄与するものが何もない。
1)の検出器信号の一次微分係数の経過を示す。図8は、グループパラメータと
して使用される光源(VCH Tl 5V、60mA)のパルスオン時間につい
て一群の曲線を示している。この時間は20ミリ秒から630ミリ秒に及んでい
る。この検出器信号の一次微分係数最大値は、光源のパルス持続時間に対し20
ミリ秒から160ミリ秒に増加していることが分かる。パルス幅を160ミリ秒
より長くしても検出器信号の一次微分係数最大値はそれ以上増加しない。
ある。
に依存する様子を表わす図である。
数の経過を表わす図である。
変化に基づくものであり、この圧力変化はマイクロフォンによって検出される。
この加熱は、測定対象の測定ガス分子による放射源の放射エネルギーの吸収によ
ってもたらされる。従来技術に相当する実施形態は独国特許195 25 70
3 Alに開示されている。 このようにして、米国特許5608219は、試験すべきガスサンプルを含む
セルと、赤外線放射源と、放射源用電源と、赤外線センサーとおよび該センサー
に固定された測定値の評価装置を含む、赤外範囲に吸収帯を持つ少なくとも1種
類のガスを検出する装置を教示している。 欧州特許512 535は非分散型の赤外線測定により炭酸ガスを測定する携
帯型の炭酸ガスモニターを教示している。 欧州特許503 511は炭酸ガスおよび水を赤外線分析法によって分析値を
求める装置を教示している。その特許では、ガス分析計は放射源、サンプルセル
と参照セル、検出器およびガス供給を含んでいる。 米国特許5734165は、赤外線放射源が0.01Hzから10Hzのパル
ス周波数を備えた、小型ハウジング内に一体化した赤外線測光器について記載し
ている。 米国特許4914720は、非分散型の赤外測光法に基づき、ガス混合物中の
異なったガスを測定できるガス分析計について教示している。
Claims (20)
- 【請求項1】 電流または電圧パルスを備えた少なくとも1個の放射源を動
作するためのエネルギー供給装置と、赤外光線の経路に配置した少なくとも1個
の測定部分と、少なくとも1個の波長選択素子と、電気的測定信号を送る少なく
とも1個の検出素子と、該電流または電圧パルスのパルス持続時間を制御する1
個のスイッチング素子(3)とを備え、 該スイッチング素子(3)が、少なくとも1個の検出素子の少なくとも1つの
測定信号が最大(τMAX)に達するのに要する時間よりパルス持続時間が短く
なるように該電流または電圧パルスをオフにするようなやり方で該パルス持続時
間を設定する手段を有することを特徴とする赤外ガスセンサー。 - 【請求項2】 少なくとも1個の検出素子が放射線検出器および/または圧
力変換器、特にマイクロフォンであることを特徴とする請求項1に記載の赤外線
ガスセンサー。 - 【請求項3】 電流または電圧パルスがオンになる時間t=0とτMAXの
間にある特定の時間t=τ後に、該電流または電圧パルスがオフになることを特
徴とする請求項1または2に記載の赤外線ガスセンサー。 - 【請求項4】 前記測定信号がパルス持続時間内で特定の値に達したときに
前記電流または電圧パルスがオフになることを特徴とする請求項1から3の少な
くとも一項に記載の赤外線ガスセンサー。 - 【請求項5】 前記測定信号の一次微分係数がパルス持続時間内で特定の値
に達したときに前記電流または電圧パルスがオフになることを特徴とする請求項
1から4の少なくとも一項に記載の赤外線ガスセンサー。 - 【請求項6】 前記測定信号の一次微分係数がパルス持続時間内で最大値に
達したときに前記電流または電圧パルスがオフになることを特徴とする請求項1
から5の少なくとも一項に記載の赤外ガスセンサー。 - 【請求項7】 パルスがオンになる時間t=0から始まる時間区間にわたる
前記測定信号の積分値がパルス持続時間内で特定の値に達した時に前記電流また
は電圧パルスがオフになることを特徴とする請求項1から6の少なくとも一項に
記載の赤外線ガスセンサー。 - 【請求項8】 前記スイッチング素子が、パルス時間対パルス中断時間の比
が0.01以下に設定されるように動作することを特徴とする請求項1から7の
少なくとも一項に記載の赤外線ガスセンサー。 - 【請求項9】 少なくとも1個の検出素子の測定信号が最大(τMAX)に
達するのに用いられる時間よりパルス持続時間が短くなるように電流または電圧
パルスをオフにすることを特徴とする請求項1から8の少なくとも一項に記載の
赤外線ガスセンサーの動作方法。 - 【請求項10】 電流または電圧パルスの時間t=0とτMAXの間にある
特定の時間t=τ後に、該電流または電圧パルスがオフになることを特徴とする
請求項9に記載の方法。 - 【請求項11】 前記測定信号の一次微分係数がパルス持続時間内で最大値
に達したときに前記電流または電圧パルスがオフになることを特徴とする請求項
9または10に記載の方法。 - 【請求項12】 ガス濃度を求めるために、パルス持続時間より短い特定の
時間τmessにおける測定信号の値を用いることを特徴とする請求項9から1
1の少なくとも一項に記載の方法。 - 【請求項13】 ガス濃度を求めるために、パルス持続時間より短い特定の
時間τmessにおける測定信号の一次微分係数の値を用いることを特徴とする
請求項9から11の少なくとも一項に記載の方法。 - 【請求項14】 ガス濃度を求めるために、パルス持続時間より短い特定の
時間τmessにおける測定信号のN次微分係数(N>1)の値を用いることを
特徴とする請求項9から13の少なくとも一項に記載の方法。 - 【請求項15】 ガス濃度を求めるために、パルスオンの時点t=0から始
まりパルス持続時間より短い特定の時間τmessまでの時間にわたる前記測定
信号の積分値を使用することを特徴とする請求項9から14の少なくとも一項に
記載の方法。 - 【請求項16】 ガス濃度を求めるために、前記測定信号の一次微分係数の
最大値を使用することを特徴とする請求項9から15の少なくとも一項に記載の
方法。 - 【請求項17】 ガス濃度を求めるために、前記測定信号のN次微分係数(
N>1)または前記測定信号の積分値の測定信号が特定の値に達した時間の少な
くともひとつを使用することを特徴とする請求項9から16の少なくとも一項に
記載の方法。 - 【請求項18】 ガス濃度を求めるために、前記測定信号の一次微分係数が
最大値に達した時間を使用することを特徴とする請求項9から17の少なくとも
一項に記載の方法。 - 【請求項19】 ガス濃度を求めるために、前記測定信号の二次微分係数が
最初にゼロになる時間を使用することを特徴とする請求項9から18の少なくと
も一項に記載の方法。 - 【請求項20】 請求項11から19に記載の方法から選択される少なくと
も2つの異なった方法により少なくとも2つの評価結果を得るための同一の測定
信号が評価され、ガス濃度がこの少なくとも2つの評価結果から求められること
を特徴とする赤外ガスセンサーの動作方法。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
GB0117376D0 (en) * | 2001-07-17 | 2001-09-05 | Amersham Pharm Biotech Uk Ltd | Thermocouple device |
DE10221708B4 (de) * | 2002-05-16 | 2004-09-30 | Infratec Gmbh Infrarotsensorik Und Messtechnik | Verfahren zur Bestimmung der Konzentration von Gasen und Dämpfen und nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator zur Durchführung des Verfahrens |
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WO2007064370A2 (en) * | 2005-08-04 | 2007-06-07 | Airware Inc. | Ultra low cost ndir gas sensors |
US8253942B2 (en) * | 2007-09-27 | 2012-08-28 | Scott Technologies, Inc. | Optical gas detector |
DE102009001627A1 (de) * | 2009-03-18 | 2010-09-23 | Robert Bosch Gmbh | Auswertevorrichtung zur Auswertung von Messsignalen, Messvorrichtung und Verfahren zur Aufnahme und Auswertung von Messsignalen |
US10207810B2 (en) * | 2016-03-21 | 2019-02-19 | Rosemount Aerospace Inc. | Optically detecting cloud metrics using sampled analog measurements of light reflection |
FR3066023B1 (fr) | 2017-05-04 | 2019-06-28 | Elichens | Dispositif et procede de mesure et de suivi de la quantite ou concentration d’un composant dans un fluide |
US10551356B2 (en) * | 2017-10-23 | 2020-02-04 | Infineon Technologies Ag | Photoacoustic gas sensor and method |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10509800A (ja) * | 1994-12-02 | 1998-09-22 | ガス テック オーストラリア ピーティワィ リミテッド | ガス検知器 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3043332A1 (de) | 1980-11-17 | 1982-07-01 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Nichtdispersiver infrarot-gasanalysator |
US4914720A (en) | 1986-12-04 | 1990-04-03 | Cascadia Technology Corporation | Gas analyzers |
US5070244A (en) | 1990-05-07 | 1991-12-03 | The University Of Sydney | Gas detection by infrared absorption |
US5340987A (en) * | 1991-03-15 | 1994-08-23 | Li-Cor, Inc. | Apparatus and method for analyzing gas |
DE4111187C2 (de) | 1991-04-06 | 1994-11-24 | Lfe Lab Fuer Ind Forschung Gmb | Verfahren zur Messung des optischen Absorptionsvermögens von Proben unter Eliminierung des Anzeigefehlers hinsichtlich gas-physikalischer Eigenschaften und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
FI921924A (fi) * | 1991-05-08 | 1992-11-09 | Nellcor Inc | Portabel koldioxidmonitor |
DE4119346C2 (de) | 1991-06-12 | 2000-12-07 | Klaus Nonnenmacher | Verfahren zur Bestimmung der Konzentration von Gasen, insbesondere von Ozon, und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
FR2712390B1 (fr) * | 1993-11-12 | 1996-02-09 | Saphir | Dispositif de détection de gaz par absorption infrarouge. |
US5464983A (en) | 1994-04-05 | 1995-11-07 | Industrial Scientific Corporation | Method and apparatus for determining the concentration of a gas |
JPH0815128A (ja) * | 1994-06-27 | 1996-01-19 | Horiba Ltd | 自動周波数調整装置 |
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Patent Citations (1)
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---|---|---|---|---|
JPH10509800A (ja) * | 1994-12-02 | 1998-09-22 | ガス テック オーストラリア ピーティワィ リミテッド | ガス検知器 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011203004A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 量子型赤外線ガス濃度計 |
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