JP2011203004A - 量子型赤外線ガス濃度計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】信号処理部120は、量子型赤外線センサからのセンサ信号を増幅する増幅器121a,121bを介して入力され、センサ信号から赤外線光源のオフレベル値を保持する。減算器123a,123bは、信号処理部により保持されたオフレベル値と増幅器を介して入力する信号とを減算する。区間設定器126は、赤外線光源の電源制御信号とこの電源制御信号から赤外線光源が赤外線を出力している区間を設定する。積算器124a,124bは、減算器からの信号を区間設定器の信号に基づいて積算する。演算器125は、測定対象ガスの吸収帯の透過光量の信号と測定対象ガスの吸収のない波長帯域の透過光量の信号に基づいて、それぞれの積算器の出力信号の比を演算する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明に係る量子型赤外線ガス濃度計の実施例1を説明するために構成図である。この量子型赤外線ガス濃度計は、1光源2波長比較NDIRガス濃度計で、量子型赤外線センサ12を備えている。この量子型赤外線センサ12は、複数の量子型赤外線センサ素子13a,13bからなり、複数の光学フィルタ14a,14bは、量子型赤外線センサ素子13a,13bに対して赤外線光源側に設けられ、各々異なる特定の波長帯域の赤外線を選択的に透過するもので、測定するガスの吸収特性に合わせた光学フィルタ14bと、参照光として、例えば、ガスや水蒸気による吸収の少ない約3.9μm近傍の波長の赤外線を透過させる光学フィルタ14aで2波長を選択し、選択された赤外線は、それぞれ量子型赤外線センサ素子13a及び13bにより検出される。この場合、測定された参照光の吸収特性との比較によって、光源15の劣化や、サンプルセル11の汚れ等による出力信号の経時変化を補正することができる。
図3は、本発明に係る量子型赤外線ガス濃度計の実施例2を説明するために構成図で、上述した実施例1の減算器の出力をA/D変換器を用いて信号をデジタル化し、以降の後段を演算した構成である。演算は、CPUなどの演算器で処理をしても良い。
2 サーモパイル
3 光源駆動部
4 増幅器
5 A/D変換器
6 制御部
7 操作部
8 RAM
9 ROM
10 表示部
11 サンプルセル
12 量子型赤外線センサ
13a,13b 量子型赤外線センサ素子
14a,14b 光学フィルタ
15 赤外線光源
20 光源駆動部
21 信号切換器
101 モールド樹脂
102a,102b センサ電極端子
103a,103b センサ素子部
104a,104b パッド電極
105 基板
106 第1のn型のInSbコンタクト層
107 π型のInSb吸収層
108 p型のAlInSbバリア層
109 第2のp型のInSbコンタクト層
110 パッシベーション層
111a 第1の素子部電極
111b 第2の素子部電極
112 保護膜
113 ワイヤーボンディング
120 信号処理部
120a,120b オフレベル保持回路
121a,121b 増幅器
123a,123b 減算器
124a,124b 積算器
125 演算器
126 区間設定器
127a,127b A/D変換器
128 デジタル処理部
Claims (5)
- 測定対象ガスの流路を構成するサンプルセル内の一端に赤外線光源を配置するとともに、前記サンプルセル内の他端に量子型赤外線センサを配置して、前記測定対象ガスの吸収帯の透過光量の信号と前記測定対象ガスの吸収のない波長帯の透過光量の信号に基づいてガスの濃度の定量を行うようにした量子型赤外線ガス濃度計において、
前記量子型赤外線センサからのセンサ信号を増幅する増幅器を介して入力され、前記センサ信号から前記赤外線光源のオフレベル値を保持する信号処理部と、
該信号処理部により保持された前記オフレベル値と前記増幅器を介して入力する信号とを減算する減算手段と、
前記赤外線光源の電源制御信号と該電源制御信号から前記赤外線光源が赤外線を出力している区間を設定する区間設定手段と、
前記減算手段からの信号を前記区間設定手段の信号に基づいて積算する積算手段と、
前記測定対象ガスの吸収帯の透過光量の信号と前記測定対象ガスの吸収のない波長帯域の透過光量の信号に基づいて、それぞれの前記積算手段の出力信号の比を演算する演算手段と
を備えたことを特徴とする量子型赤外線ガス濃度計。 - 前記減算手段からの信号をデジタル信号へ変換するA/D変換器を介して、後段の信号処理をデジタル的に処理することを特徴とする請求項1に記載の量子型赤外線ガス濃度計。
- 前記区間設定手段による積算区間が、前記赤外線光源の電源オン区間であることを特徴とする請求項1又は2に記載の量子型赤外線ガス濃度計。
- 前記区間設定手段による積算区間が、前記赤外線光源の光量上昇と降下時間により予め設定した区間であることを特徴とする請求項1又は2に記載の量子型赤外線ガス濃度計。
- 前記サンプルセル内の他端に温度センサを配置し、前記演算手段の信号を前記温度センサからの信号に基づいて補正する手段を備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の量子型赤外線ガス濃度計。
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