JP2000263408A - 研磨方法及び光学素子 - Google Patents

研磨方法及び光学素子

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JP2000263408A JP6898499A JP6898499A JP2000263408A JP 2000263408 A JP2000263408 A JP 2000263408A JP 6898499 A JP6898499 A JP 6898499A JP 6898499 A JP6898499 A JP 6898499A JP 2000263408 A JP2000263408 A JP 2000263408A
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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】被加工面に規則的なリップルを残すことを防止
できる研磨方法を提供する。 【解決手段】小径な研磨工具84をx軸方向に揺動さ
せ、その揺動方向と直交するy方向に研磨工具84を走
査させて被加工物を研磨する研磨方法であって、研磨工
具84の揺動振幅をランダムに変化させるながら研磨を
行う。前記走査は、前記研磨工具を前記被加工物に対し
てラスター状に走査することにより行われ、また、初期
条件として前記研磨工具の揺動の最大振幅、前記研磨工
具の移動速度、揺動端部での運動条件を事前に定める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は高精度な光学素子の
製造に必要な研磨方法に関する。詳しくは高精度な光学
素子の形状が回転楕円面、楕円筒面、放物面、双曲面、
または、子線と母線の曲率半径差が比較的大きく、かつ
母線の曲率半径も比較的短いトロイダル面、または高次
の次数を持つ回転対称非球面など、従来の被加工面とほ
ぼ同等な大きさを持つ全面皿研磨工具を被加工面に対し
て相対運動させる研磨方法では加工が困難な形状の光学
素子を研磨加工する方法に関する。また、その光学素子
材料としては、石英ガラス、低熱膨張ガラス、CVD−
SiCなど、短波長光用光学素子材料が使われることが
多い。
【0002】
【従来の技術】従来、合成石英ガラス、低熱膨張ガラ
ス、CVD−SiC材は高価であるにもかかわらず、そ
の物理化学特性が優れているために高エネルギー短波長
光用ミラーとして採用されている。これらのミラーの形
状としては、平面、シリンドリカル面、球面、など単純
な形状が使用されてきたが、近年のSOR施設、エキシ
マレーザ光源等の発達により子線の曲率半径と母線の曲
率半径との差が大きく、かつ母線の曲率半径も比較的短
いトロイダル面、楕円筒面、回転楕円体面、放物面、双
曲面、そして高次の次数を持つ回転対称非球面などの複
雑な形状のミラー、レンズの要求も増してきている。こ
れらの光学素子の代表的な構造を、CVD−SiC材を
用いた場合を例に挙げて説明する。CVD−SiC材を
短波長光用のミラーとする工程は、β−SiCの焼結体
基板を、最終形状、または近似最終形状にする研削、そ
の基板にCVD法により、主にβ−SiC緻密質多結晶
膜を形成、そして、その面を再び形状創成する研削、そ
して、形状誤差、リップル(うねりのことである)、表
面粗さ等を低減し表面品質を向上する研磨からなる。
【0003】この最終工程の研磨では、通常、研磨工具
(シリンドリカル面を創成しようとする場合にはそのシ
リンドリカル面と絶対値が同じで符号が反対の(凹凸が
逆の)曲率半径を持つ研磨工具)を、CVD−SiCミ
ラー基板と相対運動をさせ、酸化クロム微粉、シリカ微
粉、ダイアモンド微粉等の研磨材を水に分散した研磨液
を介在させて研磨を行い、所定の曲率のシリンドリカル
面を鏡面に仕上げていく。
【0004】使用上、これらのミラーは高い形状精度が
要求される。しかしながら、研削により仕上げられた形
状は通常リップルと呼ばれる、周期が約1mmから10
mm程度のうねりを持つ。また、形状精度も研削加工の
みでは達成することは困難である。そして、子線の曲率
半径と母線の曲率半径との差が大きく、かつ母線の曲率
半径も比較的短いトロイダル面、楕円筒面、回転楕円体
面、放物面、双曲面、そして高次の次数を持つ回転対称
非球面などの複雑な形状では、研磨加工では研削の形状
精度を維持することさえも困難であり、設計要求形状に
対する誤差形状を測定し、その誤差形状を選択的に研磨
除去するプロセスを繰り返す修正研磨法で、徐々に形状
精度を高める手段が通常では取られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】高精度な形状精度を要
求される、子線の曲率半径と母線の曲率半径との差が大
きく、かつ母線の曲率半径も比較的短いトロイダル面、
楕円筒面、回転楕円体面、放物面、双曲面、そして高次
の次数を持つ回転対称非球面などの複雑な形状の光学素
子の加工には、仕上げの研磨に習熟した加工者が酸化セ
リウム、酸化ジルコニウム、コロイダルシリカ、酸化ク
ロム、ダイアモンドなどの研磨材と被加工面よりも小径
な研磨工具を用いて、研磨面の形状状態を測定しながら
細かく研磨工具、研磨条件を設定し、加工を進め(形状
測定と部分修正研磨を交互に行う)ていた。このため、
加工時間も長くなり、また、加工コストも高いものとな
っている。そして、従来のこのような小径な研磨工具を
用いる修正研磨法では、特にリップルの除去修正が困難
であり、形状精度の絶対値は小さくなるにもかかわら
ず、多数のリップルのために設計値の光学性能が発揮さ
れない非球面ミラー、レンズなどが製作されることがあ
った。このため、例えば特開平4−256562号公報
のように、被加工面に対向してリップル周期Pの2倍以
上の直径Dを有する研磨工具が配置され、研磨工具と被
加工物との間には研磨工具に密着したアスファルトピッ
チが介在し、被加工物を研磨するにあたり研磨工具を被
加工物に押圧しながらリップル周期の2分の1以上の揺
動幅でリップルの山谷を横切る方向に毎秒1mmの平均
揺動速度以上で揺動させて研磨することでリップルを除
去し、短波長光学素子として要求される高い形状精度を
研磨により得ようとしていた。
【0006】しかし、このようなリップル除去法では図
11(a)のように被加工面に対して小さな研磨工具を
一定の条件で揺動させながら被加工面上をスパイラル走
査、またはラスター走査させるため、その走査軌跡の送
り幅がわずかに残り、新たなリップル(ラスター走査の
場合にはラスター走査の定送り量が顕著に現れやすい、
また、スパイラル走査の場合にはワーク1回転当たりの
送り量が現れやすい)となり、そのリップルの深さは小
さいにもかかわらず、一般的なリップルよりも規則的な
周期を持つために、光学素子性能を悪化させることがあ
った。
【0007】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、被加工面に規則的なリ
ップルを残すことを防止できる研磨方法及び光学素子を
提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる研磨方法は、小
径な研磨工具を1軸方向に揺動させ、その揺動方向と直
交する方向に前記研磨工具を走査させて被加工物を研磨
する研磨方法であって、前記研磨工具の揺動振幅をラン
ダムに変化させるながら研磨を行うことを特徴としてい
る。
【0009】また、この発明に係わる研磨方法におい
て、前記研磨工具の揺動振幅は、乱数発生部から発生さ
れる信号に基づいて決定されることを特徴としている。
【0010】また、この発明に係わる研磨方法におい
て、初期条件として前記研磨工具の揺動の最大振幅、前
記研磨工具の移動速度、揺動端部での運動条件を事前に
定めることを特徴としている。
【0011】また、この発明に係わる研磨方法におい
て、前記研磨工具の揺動の所定周期毎に、前記研磨工具
の揺動振幅を、前の周期の揺動振幅と異なる振幅に設定
することを特徴としている。
【0012】また、この発明に係わる研磨方法におい
て、前記走査は、前記研磨工具を前記被加工物に対して
ラスター状に走査することにより行われることを特徴と
している。
【0013】また、本発明に係わる光学素子は、研磨加
工された光学素子であって、微小な凹凸の研磨痕跡がラ
ンダムに分布していることを特徴としている。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【0015】本発明の一実施形態は高脆性多結晶材料で
あるCVD−SiCや高価格材料である合成石英ガラ
ス、低熱膨張ガラスを高い信頼性で形状を高精度に研磨
する方法を提供するものである。詳しくは、今まで被加
工物の光学性能に悪影響を与えていた一定周期で形成さ
れる残存リップルをその深さを小さくさせるだけではな
くその周期を一定値に収束することなく発散させること
で被加工物を高精度に研磨し、高度な光学性能を発揮さ
せるものである。また、本実施形態の研磨方法は、シリ
ンドリカル面、子線、母線の曲率半径差が比較的小さな
トロイダル面などの、面上の位置による曲率半径変化が
少ない非球面ばかりではなく、面上の位置により曲率半
径が大きく変化するような、子線方向の曲率半径が無限
大である楕円筒面、そして回転楕円体面などの複雑な形
状、また子線の曲率半径と母線の曲率半径との差が大き
く、かつ母線の曲率半径も比較的短いトロイダル面、放
物面、双曲面、そして高次の次数を持つ回転対称非球面
などにも適用できる汎用性の高い新規な研磨法である。
【0016】本実施形態の特徴は、図11(b)に示す
ようにこれら複雑な形状の被加工面に対して小径な研磨
工具を1軸方向に揺動し、その揺動と直行する方向に研
磨工具を走査し、その走査パターンがたとえばラスター
パターンである研磨時に、研磨工具の揺動振幅を一定と
せずに乱数発生部による信号に基づいてランダムに変化
させ制御することにある。本実施形態は、リップルの除
去修正を目的としたラスター走査の走査速度が一定であ
り、ラスター走査の送り量が一定であるときに、小径研
磨工具の揺動振幅を乱数発生部によりランダムな振幅と
する。これにより、通常の一定揺動振幅での研磨ではラ
スター走査の送り量に関連したいわゆる一定周期状のリ
ップルがその高さは低くとも残存しやすかったが、本方
法によれば規則的なリップルは残存せず、また、その高
さも低くなる。
【0017】なお、本実施形態を実現するためには、例
えば特開平6−134666号公報に開示されているよ
うな、揺動幅を自在に設定できる研磨ヘッドが必要であ
る。この研磨装置は、被加工物に研磨液をかけ流す、ま
たは被加工物を研磨液中に設置し、被加工物よりも小さ
い径をもつ研磨工具を被加工物に任意の荷重で押しつ
け、かつ被加工物に対して研磨工具を相対運動させて被
加工物から必要な部分を研磨除去する加工に使用し、研
磨工具、研磨工具の保持手段及び荷重を発生する手段が
固定された、アクチュエータを駆動源とする移動軸を有
する。また、移動軸の現在位置を検出する位置検出手段
と、目標位置を設定する位置設定手段と、移動軸を駆動
する制御手段とを有し、位置検出手段からの位置信号と
位置設定手段の値とを比較し、この比較結果に基づいて
移動軸の目標位置を演算し、この演算結果により制御手
段へ制御信号を送る演算器を有する。
【0018】そして、本実施形態の研磨装置では、位置
設定手段に乱数発生部により次の周期の振幅をランダム
に決定する次周期決定手段が設けてあり、事前に入力さ
れた研磨工具の揺動の最大振幅を1とし、また、乱数発
生部から発生する乱数の最大値を同様に1として、次周
期以降の揺動の振幅をランダムに決めるために乱数発生
部から発生する乱数の大きさを最大振幅に対して比例配
分する。こうすることによって次周期以降の研磨工具の
揺動振幅を定める。このとき、単位時間毎の除去量を一
定にするために、揺動端部(揺動運動のターン部分)以
外の研磨工具の揺動速度を一定とし(以下、この値を研
磨工具の揺動速度と呼ぶ、また、この値は初期値として
入力される)、揺動端部での運動パターンを数種類記憶
しておき、研磨工具の揺動速度、研磨工具の揺動の最大
振幅ごとに、揺動端部での運動パターンを選択すること
で、移動軸の基本的な揺動条件を変更することができ
る。
【0019】さらに、本実施形態の研磨装置は、荷重を
発生する手段においてはアクチュエータを駆動源とする
移動機構を有し、この移動機構の位置を検出し位置信号
を出力する検出器と、アクチュエータを駆動する制御手
段とを有し、検出器からの位置信号をもとに移動機構の
出力を演算し制御手段へ制御信号を送る演算器を有する
ことが可能である。
【0020】本実施形態は、研磨面上のX軸、Y軸、Z
軸上を研磨工具が移動するように研磨工具を移動制御す
る。
【0021】また、本実施形態は、アクチュエータを駆
動源とした移動軸を使用し、この移動軸の現在位置を検
出した検出器から出力される位置信号と位置設定手段の
値とを比較し、この比較結果に基づいて移動軸の移動量
を演算、制御するのであるから、研磨工具の運動、すな
わち移動軸の運動(揺動の最大振幅、揺動速度、端部で
の運動パターン)について、自由度を大きくとれる。す
なわち、これらのパラメータを入力するだけで移動軸の
運動を変更することが可能であり、研磨工具のサイズの
変更に伴う移動軸の運動を容易に変更することができ
る。
【0022】さらに本実施形態は、アクチュエータを駆
動源とした荷重のための移動機構を有し、この移動機構
の現在位置を検出した検出器から出力される位置信号を
もとに移動機構の移動量を演算することで、移動機構の
移動方向に発生する合力を一定に保つ。
【0023】つぎに、本実施形態の具体的な内容につい
て図面を参照して説明する。
【0024】図1は本発明の研磨装置の一実施形態を示
す斜視図、図2は図1中の研磨ヘッド1を示す図であ
り、(a)は縦断面図、(b)は(a)のA−A線に沿
った横断面図、図3は図2中のリニアモータ5aを示す
説明図である。
【0025】図1は本発明の研磨方法を実施するための
研磨装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【0026】図1において、50はベッドであり、ベッ
ド50上にはベッド50に対して相対的にy方向に往復
移動可能なyテーブル52が取り付けられている。54
はyテーブル52の移動を駆動するためのモータであ
り、モータ54にはエンコーダ56が付設されており、
エンコーダ56によりyテーブル52のy方向移動量が
検出される。yテーブル52上にはyテーブル52に対
して直交方向に相対的に往復移動可能なxテーブル58
が取り付けられている。60はxテーブル58の移動を
駆動するためのモータであり、モータ60にはエンコー
ダ62が付設されており、エンコーダ62によりxテー
ブル58のx方向移動量が検出される。
【0027】xテーブル58上には研磨槽64が固設さ
れている。研磨槽64中には支持体66が固定されてお
り、支持体66には軸68により被研磨物保持体70が
取り付けられている。保持体70はL字形状をなしてお
り、その垂直面部分に軸68が接続されている。軸68
はx軸方向を向いていて、従って保持体70はx軸のま
わりに回動可能である。支持体66にはモータ72が取
り付けられており、その駆動回転軸は軸68に結合され
ている。
【0028】一方、xテーブル58には研磨槽64の外
側にコラム74が固定されている。コラム74には上下
方向すなわちz方向のガイド76が形成されており、ガ
イド76に沿って上下方向に往復移動可能なように研磨
工具ヘッド保持体78が取り付けられている。保持体7
8にはx方向に1軸揺動可能な研磨ヘッド80が支持さ
れている。研磨ヘッド80の揺動軸82の下端には研磨
工具84が取り付けられている。保持体78にはモータ
86が取り付けられており、その駆動回転軸は研磨ヘッ
ド80に接続されていて、研磨ヘッド80のy軸のまわ
りの回動を駆動することができる。88は保持体78を
ガイド76に沿って上下方向に移動させるための駆動手
段たるエアシリンダーであり、エアシリンダー88のロ
ッド90の先端が保持体78と連結されている。92は
制御装置であり、エンコーダ56,62からのyテーブ
ル移動量およびxテーブル移動量が入力され、モータ5
4,60,72,86、研磨ヘッド80中の不図示の研
磨ヘッド駆動モータ、およびエアシリンダー88または
その動きを代換するモータを駆動する。
【0029】上述した研磨装置を用いて研磨を行う際に
は、保持体70上に被加工物100を積載固定する。被
加工物100は適切な前加工により所定の表面粗さ、形
状精度に仕上げられている。
【0030】次に、図2(a),(b)に示すように、
研磨ヘッド80の基準フレーム18はアングル形状で、
その端部は、保自体78に接続されている。基準フレー
ム18の内側には、リニアモータ5aがネジなどの固着
手段によって取り付けられている。
【0031】リニアモータ5aについて説明する。図2
に示すように、基準フレーム18にテーブルベース34
が固定されている。テーブルベース34には、図3に示
すように、矩形の板のヨーク23aが固定されている。
ヨーク23aにはテーブルガイド19aのレール部が固
定され、テーブルガイド19aの可動部とコイル20a
がリニアモータテーブル10aに固定されている。コイ
ル20aは、通電時にはヨーク23aに固定されたマグ
ネット22aと磁気回路を形成する。ヨークバー21a
は、角柱形状の磁性体でヨーク23aの内側に固定さ
れ、コイル20aを貫通している。コイル20aに流す
電流によって、リニアモータテーブル10aは図2にお
けるB方向およびその逆方向に移動可能である。光学式
のリニアスケールヘッド12aはリニアモータテーブル
10aにブラケット46を介して装着され、また、スケ
ール13aはヨーク23aに固定され、リニアモータテ
ーブル10aの位置を検出する。リニアモータテーブル
10aには原点リファレンス14aおよびリミットリフ
ァレンス16aが装着されている。原点検出器15aお
よびリミット検出器17aは公知のフォトスイッチで、
テーブルベース34の側面に装着されたセンサプレート
45に固定されており、リニアモータテーブル10aの
原点およびリミットを検出する。リニアモータテーブル
10aには、荷重を発生する定圧機構2が固定されてい
る。また、定圧機構2にはその下方に、研磨工具84を
保持する研磨工具保持機構3が装着されている。
【0032】定圧機構2において、定圧ベース36はリ
ニアモータテーブル10aにネジで固定され、さらに荷
重軸ガイド(公知のリニアガイド)32のレール、ブロ
ック37が固定されている。荷重軸28は荷重軸ガイド
32の可動部に固定され、ブロック37に設けられた穴
を貫通し、図2におけるC方向およびその逆方向に移動
可能である。
【0033】定圧ベース36にはボイスコイルモータ
(VCM)27のマグネット29、および変位計ブラケ
ット47が固定されている。変位計リファレンス26が
マグネット29を貫通して荷重軸28に固定され、変位
計ブラケット47に固定された変位計25が加工中に生
じる荷重軸28の上下方向変位を検出する。荷重軸28
には一端をブロック37に固定された荷重スプリング3
1が圧縮装着されている。さらに荷重軸28の上部には
VCM27のボビン30が固定され、VCM27に通電
することにより、スプリング31とともに研磨荷重を発
生する。研磨工具84の保持部は磁性体で構成され、研
磨工具保持機構に設けられたマグネットにより吸引固定
されている。
【0034】次に、揺動運動の制御について説明する。
【0035】図4は本実施形態中の研磨ヘッドの揺動を
制御する制御部を示すブロック図、図5乃至図7は揺動
の制御を説明するための図であり、図5はランダムな揺
動振幅を示す説明図、図6は位置および時刻を示す説明
図、図7はインデックス42の内容を示す説明図であ
る。
【0036】図4に示すようにリニアモータ5aはコン
トロールボックス40のアンプ41aにより電流I1s
が与えられて移動する。図6に示すように、リニアモー
ターテーブル10aの位置P1,P2は、単位時間(2
ms)毎に、すなわち時刻t1,t2,…でリニアスケ
ールヘッド12aによって検出される。時刻t1,t
2,…でのリニアモータテーブル10aの位置P1,P
2…は、それぞれ位置信号P1a’としてコントローラ
40aに入力される。コントローラ40aは、事前に入
力されている研磨工具の揺動速度、指定最大振幅と、乱
数発生部により演算された乱数値から算出された予定揺
動幅から、一周期以前に予め算出した単位時間毎の揺動
周期の1周期分の目標位置が格納されている、たとえば
インデックス42a(メモリ)の値P1aと、位置信号
P1a’とを比較し、その差がゼロになるように、アン
プ41aに制御信号C1aを入力することにより、PI
D制御を行う。アンプ41aが制御信号C1aに基づ
き、リニアモータ5aに電流I1aを与えて、リニアモ
ータ5aの軌跡が制御される。これにより、荷重軸28
および研磨工具84は、図5、図6に示すように、揺動
幅W1、周期T1で揺動する。ただし、揺動動作前に
は、原点を検出するようリニアモータテーブル10aを
駆動する。原点を検出する(原点検出器15aのスリッ
トを原点リファレンス14aが通過する)と同時に、ス
ケールの現在値カウンター43aをリセットし、ゼロと
する。
【0037】インデックス42には、メモリ領域が複数
箇所(a,b,c…)ある。事前に入力されている研磨
工具の揺動速度、指定最大振幅と、揺動端部での運動パ
ターン(例えば、正弦状、矩形状、台形状、三角状な
ど)と、乱数発生部により演算された揺動幅ファクタか
ら算出される予定揺動幅から、メモリ領域の複数箇所
に、順番に一周期以前に予め算出した単位時間毎の揺動
周期の1周期分の目標位置が格納されており、そのそれ
ぞれに単位時間毎の、図7に示す時刻t1,t2,・・
・とその目標位置P1,P2,・・・が記憶されてい
る。したがって、実際の研磨加工時にはすでに計算の終
了しているたとえばインデックス42aを読み、コント
ローラ40aは、次周期、または次次周期の揺動振幅が
ランダムに変更された揺動1周期分の図7に示す時刻t
1,t2,・・・とその目標位置P1,P2,・・・を
前もって計算しインデックス42の使われていない他の
領域の部分、たとえばインデックス42b、インデック
ス42cに書き込んでいる。
【0038】次に、荷重の制御について説明する。
【0039】図8は本実施形態中の研磨ヘッドの荷重を
制御する制御部を示すブロック図である。図8に示すよ
うに、VCM27はコントロールボックス40のアンプ
41cにより電流I1cが与えられて推力を発生する。
変位計25で検出された荷重軸28の位置は、位置信号
P1cとしてバッファ43cを介してコントローラ40
cに入力される。コントローラ40cでは位置信号P1
cから荷重スプリング31の反力の変化を演算し、予め
設定された荷重との差がゼロとなるように、アンプ41
cに制御信号C1cを入力することにより、PID制御
を行う。アンプ41cが制御信号C1cに基づきVCM
27に電流I1cを与えて、VCM27により発生され
る推力が制御され、常に設定された荷重に保たれる。な
お、変位センサ25に代えて荷重センサを用いても良
い。
【0040】次に荷重の補正について説明する。
【0041】図9(a),(b)は荷重の補正の概要を
示す説明図、図10はこの補正のフローチャートであ
る。例えば、図9(a)に示すように、初期設定が、荷
重スプリングのバネ加圧力400gf、VCM27の作
用推力100gfで、研磨工具4の加圧力が500gf
であり、被加工物100からの反力が500gfとし
て、研磨工具84をX,Y軸面内で走査したとする。こ
のときに何らかの原因により図9(b)に示すように研
磨工具84の位置が変化量δだけ変位したときに、荷重
スプリング31のバネ加圧力が450gfに変わる。こ
の時、コントロールボックス40では、VCM27の位
置を変位計25からの位置信号P1cとして検出し、そ
の値に応じてVCMの作用推力を補正し、この場合には
50gfとすることで、研磨工具84のトータルの加圧
力を一定となるように制御する。
【0042】コントロールボックス40での補正につい
て説明する。
【0043】図10において、まず、荷重軸28の基準
位置での荷重スプリング31の反力F0および、バネ定
数kとVCMの推力定数Cを入力する(ステップ11
1)。次に、変位計25で荷重軸28の現在位置(荷重
スプリング31の変位δ)を読み込む(ステップ11
2)。読み込んだ現在位置と荷重軸28の基準位置との
位置差ΔZとバネ定数kより、この現在位置でのスプリ
ング反力を Fs=F0+k・ΔZ として計算する(ステップ113)。つぎに、目標押し
付け力Fとスプリング反力Fsとの差Fv(F=Fs+
Fv)をVCM27が発生するように指令する。すなわ
ち、VCM27の推力定数Cより、VCM電流I(図8
の電流I1cに相当する)を Fv=C・I としてVCM27に与える(ステップ114)。ステッ
プ112〜114の計算および指令を研磨が終了するま
で行い(ステップ115)、研磨が終了したら、VCM
27に推力ゼロ指定を与える(ステップ116)。
【0044】以上説明したように、小径な研磨工具を1
軸方向に揺動し、その揺動と直行する方向に研磨工具を
走査し、その走査パターンがラスターパターンである研
磨時に、研磨工具の揺動振幅を一定とせずに乱数発生器
による信号に基づいてランダムに変化させ制御すること
により、被加工面に規則的なリップルを残すことを防止
できる。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被加工面に規則的なリップルを残すことを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の研磨装置の一実施形態を示す斜視図で
ある。
【図2】図1中の研磨ヘッドを示す図であり、(a)は
縦断面図、(b)は(a)のA−A線に沿った横断面図
である。
【図3】図2中のリニアモータの構造を示す説明図であ
る。
【図4】研磨ヘッドの荷重を制御する制御部を示すブロ
ック図である。
【図5】研磨ヘッドの揺動幅を示す説明図である。
【図6】研磨ヘッドの位置および時刻を示す説明図であ
る。
【図7】インデックスの内容を示す説明図である。
【図8】研磨ヘッドの荷重を制御する制御部を示すブロ
ック図である。
【図9】荷重の補正の概要を示す説明図である。
【図10】図9の補正動作のフローチャートである。
【図11】従来の研磨法による被加工物上での研磨工具
の揺動軌跡と、本発明による研磨工具の揺動軌跡の説明
図である。
【符号の説明】
2 定圧機構 3 工具保持機構 5a リニアモータ 10a リニアモータテーブル 12a リニアスケールヘッド 13a スケール 14a 原点リファレンス 15a 原点センサ 16a リミットリファレンス 17a リミットセンサ 18 基準フレーム 19a テーブルガイド 20a コイル 21a ヨークバー 22a マグネット 23a ヨーク 24 カバー 25 変位計 26 変位計リファレンス 27 ボイスコイルモータ(VCM) 28 荷重軸 29 マグネット 30 ボビン 31 荷重スプリング 32 荷重軸ガイド 33 研磨アーム取付部 36 定圧ベース 37 ブロック 40 コントロールボックス 40a コントローラ 41a アンプ 42 インデックス 43a 現在値カウンタ 43b 現在値カウンタ 45 センサプレート 46 ブラケット 47 変位計ブラケット 84 研磨工具 100 被加工物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3C049 AA04 AA11 AB05 BA02 BB06 3C058 AA07 AA11 AA12 AA14 AB01 BA02 BA05 BA07 BB06 BC01 BC02 CA01 CA03 CA06 CB02

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 小径な研磨工具を1軸方向に揺動させ、
    その揺動方向と直交する方向に前記研磨工具を走査させ
    て被加工物を研磨する研磨方法であって、 前記研磨工具の揺動振幅をランダムに変化させるながら
    研磨を行うことを特徴とする研磨方法。
  2. 【請求項2】 前記研磨工具の揺動振幅は、乱数発生部
    から発生される信号に基づいて決定されることを特徴と
    する請求項1に記載の研磨方法。
  3. 【請求項3】 初期条件として前記研磨工具の揺動の最
    大振幅、前記研磨工具の移動速度、揺動端部での運動条
    件を事前に定めることを特徴とする請求項1に記載の研
    磨方法。
  4. 【請求項4】 前記研磨工具の揺動の所定周期毎に、前
    記研磨工具の揺動振幅を、前の周期の揺動振幅と異なる
    振幅に設定することを特徴とする請求項1に記載の研磨
    方法。
  5. 【請求項5】 前記走査は、前記研磨工具を前記被加工
    物に対してラスター状に走査することにより行われるこ
    とを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。
  6. 【請求項6】 研磨加工された光学素子であって、微小
    な凹凸の研磨痕跡がランダムに分布していることを特徴
    とする光学素子。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005305559A (ja) * 2004-04-16 2005-11-04 Mitsui High Tec Inc 研削方法
KR100963438B1 (ko) 2008-05-31 2010-06-17 한밭대학교 산학협력단 경사 가능한 렌즈 연마장치
KR101168830B1 (ko) * 2011-12-01 2012-07-25 박순선 주조품의 버어 자동 그라인딩 장치
US9563134B2 (en) 2013-12-03 2017-02-07 Canon Kabushiki Kaisha Optical system illuminating surface to be illuminated, exposure apparatus, imprint apparatus, method for manufacturing article, optical element, and method for manufacturing optical system
JP2018134710A (ja) * 2017-02-22 2018-08-30 株式会社荏原製作所 基板の研磨装置および研磨方法
CN111185816A (zh) * 2020-01-10 2020-05-22 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 二维随机振动抛光机床及其抛光方法
CN111722545A (zh) * 2020-06-15 2020-09-29 歌尔股份有限公司 设备控制方法、电子设备及存储介质
JPWO2022210721A1 (ja) * 2021-03-30 2022-10-06

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005305559A (ja) * 2004-04-16 2005-11-04 Mitsui High Tec Inc 研削方法
JP4516347B2 (ja) * 2004-04-16 2010-08-04 株式会社三井ハイテック 研削方法
KR100963438B1 (ko) 2008-05-31 2010-06-17 한밭대학교 산학협력단 경사 가능한 렌즈 연마장치
KR101168830B1 (ko) * 2011-12-01 2012-07-25 박순선 주조품의 버어 자동 그라인딩 장치
US9563134B2 (en) 2013-12-03 2017-02-07 Canon Kabushiki Kaisha Optical system illuminating surface to be illuminated, exposure apparatus, imprint apparatus, method for manufacturing article, optical element, and method for manufacturing optical system
JP2018134710A (ja) * 2017-02-22 2018-08-30 株式会社荏原製作所 基板の研磨装置および研磨方法
CN111185816A (zh) * 2020-01-10 2020-05-22 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 二维随机振动抛光机床及其抛光方法
CN111722545A (zh) * 2020-06-15 2020-09-29 歌尔股份有限公司 设备控制方法、电子设备及存储介质
CN111722545B (zh) * 2020-06-15 2021-10-26 歌尔股份有限公司 设备控制方法、电子设备及存储介质
JPWO2022210721A1 (ja) * 2021-03-30 2022-10-06
WO2022210721A1 (ja) * 2021-03-30 2022-10-06 国立大学法人長岡技術科学大学 加工装置および加工方法
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