JP2000258503A - 出力電流測定方法 - Google Patents

出力電流測定方法

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JP2000258503A
JP2000258503A JP11063991A JP6399199A JP2000258503A JP 2000258503 A JP2000258503 A JP 2000258503A JP 11063991 A JP11063991 A JP 11063991A JP 6399199 A JP6399199 A JP 6399199A JP 2000258503 A JP2000258503 A JP 2000258503A
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Toshiyuki Miyashita
敏之 宮下
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Toshiba Electronic Device Solutions Corp
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Toshiba Corp
Toshiba Microelectronics Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 LSIチップの端子数が増大しても、短時間
でテストを行うこと。 【解決手段】 LSIチップの出力バッファ用の電源供
給端子と、内部回路用の電源供給端子とを分離してそれ
ぞれ専用とする。出力バッファ専用の電源端子からVD
D電源を供給した後、全ての出力バッファのPchトラ
ンジスタを同時にオンにした時に流れる電流は各出力バ
ッファに流れるIOHの総計になる。このIOHが予め
各出力バッファが正常である場合のIOHの総計以上で
あれば、全ての出力バッファのIOHを正常と検出す
る。全ての出力バッファの出力端子から同一電圧の電源
を供給した後、出力バッファのNchトランジスタを同
時にオンにした時にこれら出力バッファから前記GND
端子に流れ込む電流は各出力バッファに流れるIOLの
総計になる。このIOLが予め各出力バッファが正常で
ある場合のIOLの総計以上であれば、全ての出力バッ
ファのIOLを正常と検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、LSIチップの出
荷時のテスト保証に係り、特に出力バッファのIOH、
IOLを測定する出力電流測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】現在のLSIチップは、微細加工技術の
進展などに伴って益々大規模になり、これに比例して外
部端子数も増大する一方である。このような外部端子数
の多いLSIチップの出力バッファに対する出荷時のテ
スト保証は、LSIテスタを用いて行われている。
【0003】図8はLSIチップに対して出荷時に行わ
れる従来の出力電流測定方法を説明する回路図である。
LSIチップ50内に、出力バッファ51、52、53
が形成されており、各出力バッファからの出力信号を外
部に取り出す出力端子54、55、56が設けられてい
る。
【0004】各出力バッファ51、52、53を構成す
るPチャネルトランジスタTPのソースへ電源端子57
からVDDの電源が供給され、Nチャネルトランジスタ
TNのソースはGND端子58に接続されている。ま
た、電源端子57からVDDの電源がLSIチップ50
の内部回路59に供給されている。
【0005】LSIチップ50の出力電流測定は、ま
ず、LSIチップ50の出力バッファ51の出力端子5
4にLSIテスタ側の電流計60を接続して接地する。
その後、出力バッファ51にローレベルのテスト信号を
入力してPチャネルトランジスタTPをオンさせ、その
時の電流計60を流れる電流値(IOH)を測定し、そ
れが規定値以上であれば当該出力バッファはIOH正常
と判定され、規定値未満であると、当該出力バッファは
異常と判定される。
【0006】次に出力バッファ51の出力端子54にL
SIテスタ側の電流計60と可変電圧源61を接続した
後、出力バッファ51にハイレベルのテスト信号を入力
してNチャネルトランジスタTNをオンさせ、その時の
電流計60を流れる電流値(IOL)を測定し、それが
規定値以上であれば当該出力バッファはIOL正常と判
定され、規定値未満であると、当該出力バッファは異常
と判定される。
【0007】このようなIOH、IOLの測定を出力バ
ッファ52、53についても順次行うことにより、全て
の出力バッファ51、52、53のIOH、IOLの測
定を行い、測定されたIOH又はIOLがひとつでも規
定値未満であると、LSIチップ50は破棄される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来のL
SIチップ50の出力電流測定方法は、IOH、IOL
測定をLSIチップ50の出力端子54、55、56の
一端子毎に行っているため、LSIチップ50の出力端
子の数が増加すると、LSIテスタを用いた出力電流の
測定回数が多くなる。
【0009】これを回避するにはLSIテスタで同時に
測定できる出力電流の数を増加させれば良いが、現状で
は3個程度であるので、いずれにしても、一度に全ての
出力端子の出力電流を測定できないため、LSIテスタ
を用いた出力電流の測定回数が多くなる。
【0010】それ故、LSIチップ50の出力端子の数
が増加すると、テストに手間が掛かってテストに要する
時間が長くなり、テストにかかる費用が増大するという
問題があった。
【0011】本発明は、上述の如き従来の課題を解決す
るためになされたもので、その目的は、テスト対象のL
SIチップの端子数が増大しても、短時間でIOH又は
IOLのテストを行うことができる出力電流測定方法を
提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の発明の特徴は、LSIチップに搭載され
ている複数の出力バッファの出力電流を測定する出力電
流測定方法において、前記LSIチップの内部回路に電
源を供給する電源系と前記複数の出力バッファに電源を
供給する電源系とを分離し、前記複数の出力バッファに
電源を供給する電源系の電源端子を設け、前記電源端子
から前記複数の出力バッファ全てに電源を供給し、これ
ら複数の出力バッファ全ての入力部に所定レベルの信号
を同時に印加する過程と、前記所定レベルの信号を前記
出力バッファに印加した時の前記電源端子を流れる電流
を測定する過程と、前記測定した電流を規定値と比較し
て前記出力バッファの正常、異常を判定する過程と、を
具備することにある。
【0013】請求項2の発明の特徴は、LSIチップに
搭載されている複数の出力バッファの出力電流を測定す
る出力電流測定方法において、前記LSIチップの内部
回路に電源を供給する電源系と前記複数の出力バッファ
に電源を供給する電源系とを分離し、前記複数の出力バ
ッファに電源を供給する電源系の基準電位端子を設け、
前記複数の出力バッファの各出力端子に同一の電圧の電
源を同時に供給し、これら複数の出力バッファ全ての入
力部に所定レベルの信号を同時に印加する過程と、前記
所定レベルの信号を前記出力バッファに印加した時の前
記基準電位端子を流れる電流を測定する過程と、前記測
定した電流を規定値と比較して前記出力バッファの正
常、異常を判定する過程と、を具備することにある。
【0014】請求項3の発明の特徴は、LSIチップに
搭載されている複数の出力バッファの出力電流を測定す
る出力電流測定方法において、前記LSIチップの内部
回路に電源を供給する電源系と前記複数の出力バッファ
に電源を供給する電源系とを分離し、前記複数の出力バ
ッファに電源を供給する電源系の電源端子と、前記複数
の出力バッファに電源を供給する電源系の基準電位端子
とを設け、前記電源端子から電源端子から前記複数の出
力バッファ全てに電源を供給し、これら複数の出力バッ
ファ全ての入力部に第1の所定レベルの信号を同時に印
加する過程と、前記第1の所定レベルの信号を前記出力
バッファに印加した時の前記電源端子を流れる電流を測
定する過程と、前記測定した電流を第1の規定値と比較
して前記出力バッファの正常、異常を判定する過程と、
前記複数の出力バッファの各出力端子に同一の電圧の電
源を同時に供給し、これら複数の出力バッファ全ての入
力部に第2の所定レベルの信号を同時に印加する過程
と、前記第2の所定レベルの信号を前記出力バッファに
印加した時の前記基準電位端子を流れる電流を測定する
過程と、前記測定した電流を第2の規定値と比較して前
記出力バッファの正常、異常を判定する過程と、を具備
することにある。
【0015】請求項4の発明の前記複数の出力バッファ
は、全て1種類の出力バッファであるか、或いは少なく
とも2種類以上の出力バッファが混在して成る。
【0016】本発明によれば、LSIチップの出力バッ
ファ用の電源供給系と、内部回路用の電源供給系とが分
離されているため、出力バッファ専用の電源端子からV
DD電源を供給し、全ての出力バッファにローレベルを
入力して、そのPchトランジスタを同時にオンにした
時に流れる電流は、各出力バッファに流れるIOHの総
計になる。このIOHが予め各出力バッファが正常であ
る場合のIOHの総計(規定値)以上であれば、全ての
出力バッファのIOHを正常と検出する。全ての出力バ
ッファの出力端子から同一電圧の電源を供給し、全ての
出力バッファにローレベルを入力して、そのNchトラ
ンジスタを同時にオンにした時に、これら出力バッファ
から専用のGND端子に流れ込む電流は各出力バッファ
に流れるIOLの総計(規定値)になる。このIOLが
予め各出力バッファが正常である場合のIOLの総計
(規定値)以上であれば、全ての出力バッファのIOL
を正常と検出する。これにより、出力バッファの個数、
即ち、LSIチップの端子数に拘りなく、LSIテスタ
による2回の電流測定で、IOH、IOLテストを行う
ことができる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1は本発明の出力電流測定方法
の第1の実施の形態を説明する回路図である。被測定対
象のLSIチップ1は、CMOSインバータタイプの複
数の出力バッファ11、12、13を有し、それに対応
して、出力端子14、15、16を有している。また、
出力バッファ11、12、13へ専用にVDD電源を供
給する電源端子17が備えられ、出力バッファ11、1
2、13専用のGND端子18が備えられている。更
に、LSIチップ1の例えばメモリなどの内部回路25
にVDD電源を供給する専用の電源端子19を備えてい
る。
【0018】一方、LSIテスタは、電流計20、可変
電圧源21、可変電圧源22〜24を備えている。
【0019】次に本実施の形態の出力電流測定方法につ
いて説明する。まず、出力バッファ専用の電源端子17
にLSIテスタの電流計20と可変電圧源21を直列に
接続し、また、出力端子14、15、16を接地(GN
D)する。
【0020】この状態で、まず、出力電流測定(IO
H)を行なうため、出力バッファ11、12、13の入
力a、b、cからローレベルのテスト信号を入力し、出
力バッファ11、12、13を構成するPチャネルトラ
ンジスタTPを同時にオンさせる。 これにより、可変
電圧源21から電流計20を通して、出力バッファ1
1、12、13の各PチャネルトランジスタTPに電流
が流れる。従って、前記電流計は出力バッファ11、1
2、13に流れる電流の総計を測定することになる。
【0021】ここで、上記した測定対象出力バッファは
3端子あるため、テストスペックIOHは、1個の出力
バッファのテストスペックをIOH1とすると、次式で
求まる。
【0022】I0H=IOH1×3…(1) この出力電流測定の前に行われるファンクションテスト
に問題が無ければ、この設定状態で出力端子14のIO
H1を図8に示した従来通りの方法で測定することによ
ってテストスペックを決める。仮にI0H1=1mAの
場合、テストスペックIOHは、 IOH=1mA×3=3mA…(2) となる。
【0023】ところで、上記した電流計20は可変電圧
源21から各測定対象バッファ11、12、13に流れ
る電流IOHを測定しているため、測定値IOHが
(2)式のIOHと同じ値であれば、IOHテストはパ
スであると見做す。
【0024】次に、出力電流測定(IOL)を行なうた
め、LSIテスタの電流計20を図2に示すようにGN
D端子18に接続した後、出力バッファ11、12、1
3の入力a、b、cからハイレベルのテスト信号を入力
し、出力バッファ11、12、13を構成するNチャネ
ルトランジスタTNを同時にオンさせる。
【0025】これにより、可変電圧源22、23、24
の各々から同一電圧が出力端子14、15、16に印加
され、出力バッファ11、12、13の各Nチャネルト
ランジスタTNに電流が流れ、これら電流はGND端子
18、電流計20を通ってGNDに流れ込む。従って、
この時、電流計20は出力バッファ11、12、13に
流れる電流の総計を測定することになる。
【0026】ここで、上記した測定対象出力バッファは
3端子あるため、テストスペックIOLは、1個の出力
バッファのテストスペックをIOL1とすると、次式で
求まる。
【0027】IOL=IOL1×3…(3) この出力電流測定の前に行われるファンクションテスト
に問題が無ければ、この設定状態で出力端子14のIO
L1を図8に示した従来通りの方法で測定することによ
りテストスペックを決める。
【0028】仮にIOL1=1mAの場合、テストスペ
ックIOLは IOL=1mA×3=3mA…(4) となる。
【0029】ところで、上記した電流計20は可変電圧
源22、23、24の各々から各測定対象出力バッファ
11、12、13に流れる電流IOLを測定しているた
め、測定値IOLが(4)式のIOLと同じ値であれ
ば、IOLテストはパスであると見做す。
【0030】本実施の形態によれば、LSIチップ1の
出力バッファ11、12、13へVDD電源を供給する
電源端子17と内部回路25にVDD電源を供給する電
源端子19とを分離することにより、出力バッファ1
1、12、13の全PチャネルトランジスタTPに流れ
る電流を電源端子19で測定できるようにし、又、出力
バッファ11、12、13へGND電源を供給するGN
D端子18と内部回路25にGND電源を供給するGN
D端子26とを分離することにより全Nチャネルトラン
ジスタTNに流れる電流をGND端子18で測定できる
ようにしたことにより、LSIチップ1の端子数に拘ら
ず、IOH、IOLの測定をそれぞれ1回行えばよく、
LSIチップの端子数が増大しても、LSIチップの出
荷時のテストを短時間で行うことができる。これによ
り、テストにかかる費用を低減させることができる。
【0031】図3は本発明の出力電流測定方法の第2の
実施の形態を示した回路図である。本例は出力バッファ
11、12、13として、P型のオープンドレインバッ
ファを用いた場合の例である。このようなP型のオープ
ンドレインバッファはIOHしか測定できないが、その
測定の仕方は図1に示した第1の実施の形態と同様であ
る。
【0032】即ち、専用電源端子17からLSIテスタ
よりVDD電源を出力バッファ11、12、13に供給
し、その時、測定される電流が規定のIOHであれば、
IOHテストはパスであると見做され、LSIチップ1
の出荷時のテスト保証ができ、端子数が増大してもテス
ト時間は長くならず、短時間でテストを行うことができ
る。
【0033】尚、上記P型のオープンドレインバッファ
でなく、図4に示すようなN型のオープンドレインバッ
ファを用いた場合も、図1に示した第1の実施の形態と
同様の方法でIOLテストを行うことができ、同様の効
果がある。
【0034】また、出力バッファ11、12、13とし
て図5に示すようなトライステートバッファを用いた場
合は、IOH、IOLの両方のテストを、図1、図2に
示した第1の実施の形態と同様の方法で行うことがで
き、同様の効果がある。
【0035】ところで、上記した実施の形態の3個の出
力バッファ11、12、13は同一の性能を有し、同一
の駆動力を有していることを前提としいるため、
(2)、(4)式により、テストスペックIOH、IO
Lを求めていた。
【0036】しかし、出力バッファ11、12、13が
異なる駆動力を有するものであった場合は、それぞれの
出力バッファ11のテストスペックが異なり、例えば、
出力バッファ11、12、13単独のIOHのスペック
が1mA、2mA、8mAであるような場合が生じる。
【0037】これら出力バッファ11、12、13に流
れる全電流の総和を上記方法で測定した場合、その基準
となるIOHのテストスペックは1+2+8=11(m
A)となり、このIOHを規定値に用いることができ
る。従って、複数の出力バッファの駆動力が異なる場合
にも、本発明を適用して、一度にIOHの測定をして、
IOHテストを行うことができる。この事情はIOLに
ついても同様で、複数の出力バッファの駆動力が異なる
場合にも、本発明を適用して、一度にIOLの測定をし
て、IOLテストを行うことができ、テスト対象のLS
Iの端子数が増大しても、短時間で出荷時のテストを行
うことができる。
【0038】更に、3個の出力バッファ11、12、1
3は同一種類である必要は無く、出力バッファの種類が
異なっていても、本発明を適用し、上記と同様の方法に
て一度にIOH、IOLを測定すれば同様の効果を得る
ことができる。
【0039】図6は本発明の出力電流測定方法の第3の
実施の形態を示した回路図である。本例は数種類の出力
バッファを使用した場合の出力電流測定方法を示したも
ので、LSIチップ30に駆動能力が違うA型バッフ
ァ、B型バッファ、C型バッファを混載した例である。
【0040】A型バッファ群81は、複数の出力バッフ
ァ811、…、81nと複数のマルチプレクサ821、
…、82nを有し、出力バッファ811、…、81nは
それぞれ出力端子011、…、01nに接続されてい
る。
【0041】B型バッファ群82は、複数の出力バッフ
ァ831、…、83nと複数のマルチプレクサ841、
…、84nを有し、出力バッファ831、…、83nは
それぞれ出力端子021、…、02nに接続されてい
る。
【0042】C型バッファ群83は、複数の出力バッフ
ァ851、…、85nと複数のマルチプレクサ861、
…、86nを有し、出力バッファ851、…、85nは
それぞれ出力端子031、…、03nに接続されてい
る。
【0043】これらA型、B型及びC型バッファ群8
1、82、83の各出力バッファには、専用の電源端子
17からVDD電源が供給され、また、各出力バッファ
は専用のGND端子18を通して接地されるようになっ
ている。尚、本例も、LSIチップ30の内部回路(図
示せず)に電源を供給する電源端子とGND端子は上記
した出力回路系とは独立に設けられているものとする。
【0044】上記したマルチプレクサ821、…、86
nに入力されるテスト信号I、II、IIIは、テスト
制御回路90から発生され、このテスト制御回路90は
Dフリップフロップ91、92、93と、マルチプレク
サ94、95、96から成っている。
【0045】次に本実施の形態の出力電流測定方法につ
いて説明する。A型バッファ群81、B型バッファ群8
2、C型バッファ群83のそれぞれについて、図1の実
施の形態で説明した方法と同一の方法により、各バッフ
ァ群を構成している出力バッファに対するIOH、IO
Lの測定を行う。その際、各型のバッファ群により、正
常異常を判定する規定値が異なるだけである。
【0046】IOHを測定する場合は電源端子17にL
SIテスタの電流計とVDD電源を接続すると共に、出
力端子011〜01nを接地した後、Iをローレベルと
し、その時に電流計の示す電流値が規定のIOH以上で
あった場合、当該型のバッファ群のIOHはパスと見做
す。
【0047】IOLを測定する場合はLSIテスタの電
圧源を出力端子011〜01nに接続して、同一電圧を
印加すると共に、GND端子18にLSIテスタの電流
計を接続した後、Iをハイレベルとし、その時、電流計
の示す電流値が規定のIOL以上であった場合、当該型
のバッファ群のIOLはパスと見做す。
【0048】次に本実施の形態の出力電流測定方法を更
に詳細に説明する。マルチプレクサのセレクター信号S
Sが“1”の時は、ノ一マルモードであり、マルチプレ
クサ821…86nは入力端子(1)の信号を選択して
出力バッファ811…85nに入力する。一方、SSが
“0”の時は、マルチプレクサ821…86nは入力端
子(0)の信号を選択して出力バッファ811…85n
に入力する出力電流測定モードとなる。この出力電流測
定モードでは各バッファの出力状態を設定するテスト制
御回路90によってテストが制御される。
【0049】図7は各バッファ群の出力電流測定のタイ
ミングを示したタイミングチャートである。テスト制御
回路90は図7(B)〜(C)に示すようにフリップフ
ロップ91、92、93にクロックCK、信号CNTを
入力し、図7(D)に示すように信号SOをマルチプレ
クサ94、95、96に入力することにより、図7
(E)〜(G)に示すようなテスト信号I、II、II
Iを発生する。
【0050】従って、A型バッファ群81のIOHを測
定する場合、図7(E)に示す・が“L”となるパター
ンを走らせ、ファンクションテストを行う。この時の期
待値はA型バッファ群81の出力端子011〜01nの
み“H”出力であり、B、C型バッファ群82、83の
出力端子021〜02n、041〜04nは“L”を出
力する。
【0051】このファンクションテストに問題が無けれ
ば、この設定状態で011端子のIOH1を従来通りの
方法で測定してテストスペックを決める。仮にI0H=
1mAの場合、テストスペックIOHは、 IOH=1mA×n…(5) となる。
【0052】また、011端子のIOL1を従来通りの
方法で測定を行いテストスペックを決める。仮にIOL
1=1mAの場合、テストスペックIOLは、 IOL=1mA×n…(6) となる。
【0053】次に電源端子17にLSIテスタを接続
し、電源端子17から測定対象バッファであるA型バッ
ファ群81にVDD電圧を供給し、図7(E)のタイミ
ングポイント100で、電源端子17からA型出力バッ
ファ81に流れ込む電流値、即ちIOHを測定し、これ
が規定の1mA×nであれば、IOHテストはパスとな
る。
【0054】次に、LSIテスタをA型バッファ群81
の出力端子011〜01nに接続すると共に、GND端
子18に接続した後、出力端子011〜01nに電圧源
を接続して同一の電圧を出力端子011〜01nに印加
してから、図7(E)のタイミングポイント200で、
GND端子18から流れ出す電流値、即ちIOLを測定
し、これが規定の1mA×nであれば、IOLテストは
パスとなる。
【0055】残りのB型バッファ群82、C型バッファ
群83も同様にして、IOHテスト、IOLテストを行
うことができる。
【0056】本実施の形態によれば、数種類の出力バッ
ファを使用した端子数の多いLSIチップ30のテスト
でも、6回のファンクションテストと12回の出力電流
測定で、LSIチップ30の出荷時のテスト保証を行う
ことができる。
【0057】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、テスト対象のLSIの端子数が増大しても、短時
間でテストを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の出力電流測定方法の第1の実施の形態
を説明する回路図である。
【図2】本発明の出力電流測定方法の第1の実施の形態
を説明する回路図である。
【図3】本発明の出力電流測定方法の第2の実施の形態
を説明する回路図である。
【図4】本発明の出力電流測定方法を適用できるバッフ
ァ例を示した回路図である。
【図5】本発明の出力電流測定方法を適用できる他のバ
ッファ例を示した回路図である。
【図6】本発明の出力電流測定方法の第3の実施の形態
を説明する回路図である。
【図7】図6に示したLSIチップの出力電流測定タイ
ミングを示したタイミングチャートである。
【図8】従来の出力電流測定方法例を説明する回路図で
ある。
【符号の説明】
1、30 LSIチップ 11〜13、811〜81n、831〜83n、851
〜85n 出力バッファ 14、15、16 出力端子 17、19 電源端子 18、26 GND端子 20 電流計 21〜24 可変電圧源 25 内部回路 81 A型バッファ群 82 B型バッファ群 83 C型バッファ群 90 テスト制御回路 91〜93 Dフリップフロップ 94〜96、821〜82n、841〜84n、861
〜86n マルチプレクサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G003 AA07 AB02 AH02 AH10 2G032 AA00 AB02 AD01 AE08 AE14 AK12 5J056 AA04 BB00 BB59 BB60 CC00 CC14 DD12 DD28 FF01

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 LSIチップに搭載されている複数の出
    力バッファの出力電流を測定する出力電流測定方法にお
    いて、 前記LSIチップの内部回路に電源を供給する電源系と
    前記複数の出力バッファに電源を供給する電源系とを分
    離し、 前記複数の出力バッファに電源を供給する電源系の電源
    端子を設け、 前記電源端子から前記複数の出力バッファ全てに電源を
    供給し、これら複数の出力バッファ全ての入力部に所定
    レベルの信号を同時に印加する過程と、 前記所定レベルの信号を前記出力バッファに印加した時
    の前記電源端子を流れる電流を測定する過程と、 前記測定した電流を規定値と比較して前記出力バッファ
    の正常、異常を判定する過程と、 を具備することを特徴とする出力電流測定方法。
  2. 【請求項2】 LSIチップに搭載されている複数の出
    力バッファの出力電流を測定する出力電流測定方法にお
    いて、 前記LSIチップの内部回路に電源を供給する電源系と
    前記複数の出力バッファに電源を供給する電源系とを分
    離し、 前記複数の出力バッファに電源を供給する電源系の基準
    電位端子を設け、 前記複数の出力バッファの各出力端子に同一の電圧の電
    源を同時に供給し、これら複数の出力バッファ全ての入
    力部に所定レベルの信号を同時に印加する過程と、 前記所定レベルの信号を前記出力バッファに印加した時
    の前記基準電位端子を流れる電流を測定する過程と、 前記測定した電流を規定値と比較して前記出力バッファ
    の正常、異常を判定する過程と、 を具備することを特徴とする出力電流測定方法。
  3. 【請求項3】 LSIチップに搭載されている複数の出
    力バッファの出力電流を測定する出力電流測定方法にお
    いて、 前記LSIチップの内部回路に電源を供給する電源系と
    前記複数の出力バッファに電源を供給する電源系とを分
    離し、 前記複数の出力バッファに電源を供給する電源系の電源
    端子と、 前記複数の出力バッファに電源を供給する電源系の基準
    電位端子とを設け、 前記電源端子から電源端子から前記複数の出力バッファ
    全てに電源を供給し、これら複数の出力バッファ全ての
    入力部に第1の所定レベルの信号を同時に印加する過程
    と、 前記第1の所定レベルの信号を前記出力バッファに印加
    した時の前記電源端子を流れる電流を測定する過程と、 前記測定した電流を第1の規定値と比較して前記出力バ
    ッファの正常、異常を判定する過程と、 前記複数の出力バッファの各出力端子に同一の電圧の電
    源を同時に供給し、これら複数の出力バッファ全ての入
    力部に第2の所定レベルの信号を同時に印加する過程
    と、 前記第2の所定レベルの信号を前記出力バッファに印加
    した時の前記基準電位端子を流れる電流を測定する過程
    と、 前記測定した電流を第2の規定値と比較して前記出力バ
    ッファの正常、異常を判定する過程と、 を具備することを特徴とする出力電流測定方法。
  4. 【請求項4】 前記複数の出力バッファは、全て1種類
    の出力バッファであるか、或いは少なくとも2種類以上
    の出力バッファが混在して成ることを特徴とする請求項
    1乃至3いずれかに記載の出力電流測定方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005291972A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Casio Comput Co Ltd 検査回路
JP2006317398A (ja) * 2005-05-16 2006-11-24 Sharp Corp 半導体集積回路および半導体集積回路を搭載した製品のテスト方法

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