JP2000236011A - 基板の搬出入システム及び搬出入方法 - Google Patents

基板の搬出入システム及び搬出入方法

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JP2000236011A JP2000031709A JP2000031709A JP2000236011A JP 2000236011 A JP2000236011 A JP 2000236011A JP 2000031709 A JP2000031709 A JP 2000031709A JP 2000031709 A JP2000031709 A JP 2000031709A JP 2000236011 A JP2000236011 A JP 2000236011A
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聖 ▲じゅん▼ 邊
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定 澤 林
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセットを移送する搬送装置の種類に応じて
自動でその後の工程を進め、生産効率を増大させる。 【解決手段】 カセットの自動運送装置と、手動運送装
置と、ポートを有するローダー及び作業台を有する処理
装置とを含む。ポートを使用可能な場合はカセットを自
動運送装置又は手動運送装置によって処理装置に移送
し；自動運送装置によりカセットを処理装置に移送した
場合、自動運送装置が通信開始信号をローダーに送信
し；自動運送装置からポートにカセットをロードし；手
動運送装置によりカセットを移送した場合、作業者の指
示によりカセットをポートにロードし；ポートにカセッ
トがロードされたか否かを判断し；ポートにカセットが
ロードされた場合、通信開始信号が検知されたか否かを
判断し；通信開始信号が検知された場合は処理装置を自
動運送モードに設定し、逆の場合は手動運送モードに設
定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は作業対象物の搬出入
システム及び搬出入方法に係り、より詳しくは、半導体
又は薄膜トランジスタ液晶表示装置（thin film transi
stor liquid crystal display；以下‘ＴＦＴ−ＬＣ
Ｄ’と称する）などの製造工程に使用される作業対象物
の搬出入システム及び搬出入方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近来、ＴＦＴ−ＬＣＤの製造工程におい
ては、生産性の効率を増大させるために大部分の工程を
自動化している。これによって、特定の処理装置で基板
に対する作業を進めようとする場合、まず自動運送装置
（automatically guided vehicle；ＡＧＶ）を用いて作
業が遂行される基板が保管されているカセットを特定の
処理装置に移送して設備にローディングし、次いで必要
な作業を自動で進める。
【０００３】一方、このように工程を自動化しても、処
理装置などに問題が発生した場合には、作業者が直接処
理装置の状態を検査しながら作業を進める必要がある。
このような場合、作業者は作業者が直接操作する手動運
送装置（manually guided vehicle：ＭＧＶ）を用いて
カセットを処理装置に移送して、その後の作業を進め
る。
【０００４】従って、従来はいずれの搬送装置を用いて
カセットを生産設備に移送したかによって各処理装置で
進める作業プロセスが異なるようになる。即ち、ＡＧＶ
を用いてカセットを生産設備に移送した場合（以下では
これを‘ＡＧＶモード’と称する）にはカセットのロー
ドを含む各処理装置で進められる基板に対する作業のほ
とんどが自動的に進められる。これに比べて、ＭＧＶを
用いてカセットを生産設備に移送する場合（以下ではこ
れを‘ＭＧＶモード’と称する）には作業者の必要に応
じて各処理装置における基板の作業が手動或いは自動で
進められる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の基板の
搬出入システムでは、生産設備に設定されている搬送モ
ードに該当する搬送装置を用いてカセットを搬出入する
ことのみが可能で、設定されている搬送モードに該当し
ない搬送装置を用いてカセットを搬出入する場合にはエ
ラーが発生する。
【０００６】従って、従来の基板の搬出入システムで
は、まず処理装置に設定されている搬送モードを確認し
てからこのモードに該当する搬送装置を用いてカセット
を移送しなければならない煩雑さがあり、これによって
全体的な生産の効率性が低下する問題点がある。
【０００７】本発明はこのような問題点を解決するため
のものであって、その目的は、処理装置に搬送モードを
設定する必要をなくし、カセットを移送する搬送装置の
種類によって自動でその後の工程を進めて生産効率を増
大させることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明の１つの特徴による基板の搬出入システムは、
基板を保管しているカセットを自動で移送する自動運送
装置と、作業者の指示によって前記カセットを移送する
手動運送装置と、前記カセット内に保管された基板に対
して所定の作業を遂行する処理装置とを含む。
【０００９】ここで、前記処理装置は、前記自動運送装
置又は手動運送装置によって移送されたカセットを臨時
に載置するためのポートと；前記自動運送装置によって
前記カセットが移送された場合に前記自動運送装置から
送信される通信開始信号を受信するためのセンサを有す
るローダーと；前記カセットに保管された基板に対して
実際の作業を進める作業台とを含む。
【００１０】この時、前記処理装置は、ポートにカセッ
トが載置された場合に前記センサが前記通信開始信号を
受信したかどうかを判断する。前記信号が受信された場
合には、前記カセットが前記自動運送装置によって移送
されたと判断し、前記処理装置を自動運送モードに設定
する。前記信号が受信されない場合には、前記手動運送
装置によって移送されたと判断し、前記処理装置を手動
運送モードに設定する。
【００１１】ここで、前記ローダーはそれぞれカセット
を臨時に載置するための多数のポートを有するのが好ま
しい。また、前記ローダーは前記カセットが前記ポート
上に載置された場合にカセットのＩＤを判読するための
カセットＩＤ判読装置を更に含むのが好ましい。また、
前記ポートには、前記カセット内に保管された基板の個
数と、基板が保管されたスロットの位置とを検知するた
めの基板検知センサが設置されているのが好ましい。
【００１２】この時、前記ローダーは、前記カセットが
前記自動運送装置によって移送されて前記自動運送モー
ドに設定された場合には、前記カセットを自動でチャッ
キングしてから前記カセットＩＤ判読装置で前記カセッ
トのＩＤを判読する。前記カセットが前記手動運送装置
によって移送されて前記手動運送モードに設定された場
合には、作業者の指示によって前記カセットをチャッキ
ングしてから前記カセットＩＤ判読装置で前記カセット
のＩＤを判読する。
【００１３】また、前記設備は、前記ポート上に載置さ
れたカセットから前記基板を取り出して前記作業台に搬
送する搬送ロボットを更に含むのが好ましい。
【００１４】一方、本発明の他の特徴による基板の搬送
方法は、基板を保管しているカセットを自動で移送する
自動運送装置と、作業者の指示によって前記カセットを
移送する手動運送装置と、前記自動運送装置又は手動運
送装置によって移送されたカセットを臨時に載置するた
めのポートを有するローダー及び前記ポート上に載置さ
れたカセットに保管された基板に対して所定の作業を遂
行する作業台を有する処理装置とを含むシステムの基板
搬出入方法に関する。前記ポートを使用することができ
る場合、前記カセットを前記自動運送装置又は前記手動
運送装置によって前記処理装置に移送する第１段階と；
前記第１段階で前記自動運送装置によって前記カセット
を前記処理装置に移送した場合には前記自動運送装置が
通信開始信号を前記ローダーに送信する第２段階と；前
記自動運送装置から前記ポートにカセットをロードする
第３段階と；前記第１段階で前記手動運送装置によって
前記カセットを前記処理装置に移送した場合には、作業
者の指示によって前記カセットを前記ポートにロードす
る第４段階と；前記ポートにカセットがロードされてい
るかどうかを判断する第５段階と；前記第５段階でポー
トに前記カセットがロードされている場合、前記通信開
始信号を検知したか否かを判断する第６段階と；前記第
６段階で通信開始信号を検知した場合には、処理装置を
自動運送モードに設定し、通信開始信号が検知されない
場合には、処理装置を手動運送モードに設定する第７段
階とを含む。
【００１５】ここで、前記第３段階は、前記通信開始信
号を受信したかどうかを判断する段階と；前記段階で通
信開始信号を受信したと判断する場合、前記自動運送装
置にカセットのロードを要請する段階と；前記要請によ
って前記カセットを前記ポートにロードする段階とを含
むのが好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態例によるシステムについて説明する。
【００１７】図１は本発明の実施形態例による搬出入シ
ステムの概略的なブロック図である。
【００１８】図１に示されているように、本発明の実施
形態例による搬出入システムはホスト１００、サーバ２
００、処理装置３００、自動運送装置（ＡＧＶ）４０
０、ＡＧＶコントローラ５００、手動運送装置（ＭＧ
Ｖ）６００からなる。
【００１９】ホスト１００は、ＴＣＰ／ＩＰを使用した
ネットワークを通してサーバ２００及びＡＧＶコントロ
ーラ５００と連結され、これらと予め定められたメッセ
ージを交換することによって情報を交換したり制御命令
を下す。
【００２０】ＡＧＶコントローラ５００は、ホスト１０
０から命令を受けると、無線通信でＡＧＶ４００と通信
して特定の命令を下す。
【００２１】サーバ２００は処理装置３００と一対一通
信方法であるＳＥＣＳ（Semiconductor Equipment Comm
unication Standard）通信（半導体標準通信）が可能で
あり、処理装置３００とホスト１００との間を中継する
役割を遂行する。
【００２２】ＡＧＶ４００は、ＡＧＶコントローラ５０
０の命令に従い、特定の処理装置３００にカセットを乗
せて移動したり、特定の処理装置３００で作業が完了し
たカセットを乗せて次の処理装置に移動するなどの作業
を自動で行う。このような作業が完了すると、ＡＧＶ４
００は無線通信によりＡＧＶコントローラ５００に完了
メッセージを伝送する。この時、ＡＧＶコントローラ５
００がネットワークを通して再びホスト１００に該当メ
ッセージを伝送することによって、ホスト１００がＡＧ
Ｖ４００の状態を管理し得るようになる。
【００２３】ＭＧＶ６００は、作業者が直接操作してカ
セットを該当設備に移送するためのものであって、本発
明の実施形態例では必要に応じてＭＧＶ６００又はＡＧ
Ｖ４００を用いてカセットを該当設備に移送する。
【００２４】図２は図１の処理装置３００を詳しく示し
た図面である。
【００２５】図２に示されているように、本発明の実施
形態例による処理装置３００は、ＡＧＶ４００又はＭＧ
Ｖ６００によって移送されたカセットを臨時に載置する
ためのローダー３５０、ガラス基板に対して実際の作業
を進める作業台３８０、ローダー３５０に保管されたカ
セットから作業台３８０にガラス基板を搬送する搬送ロ
ボット３４０からなる。
【００２６】ローダー３５０にはカセットを載置する場
所であるポート３１０ａ、３１０ｂと、ＡＧＶ４００と
無線通信を行うためのセンサ３２０ａ、３２０ｂと、載
置されたカセットのＩＤを判読するためのカセットＩＤ
判読装置（以下バーコードカードリーダ（bar-code car
d reader：ＢＣＲ）と称する）３３０ａ、３３０ｂとが
設けられている。また、ポートには、ポートに載置され
たカセットに保管されたガラス基板の位置及び個数を検
知するためのガラス位置検知センサ（図示しない）が設
置されている。
【００２７】作業台３８０には、カセットに保管された
ガラスのＩＤを判読するためのガラスＩＤ判読装置（以
下ベリコードリーダ（veri-code reader：ＶＣＲ）と称
する）３７０が装着されている。
【００２８】次いで、図３及び４に基づいて本発明の実
施形態例による搬出入動作を説明する。
【００２９】まず、ローダーは、ポート３１０ａ、３１
０ｂを使用することができるかどうかを判断する（Ｓ１
０）。ポートを使用することができる場合には、ＡＧＶ
４００又はＭＧＶ６００を通してカセットを処理装置に
移送する（Ｓ２０）。これをより詳しく説明すると次の
通りである。
【００３０】まず、ＡＧＶ４００を通してカセットを処
理装置３００に移送する場合を説明する。
【００３１】処理装置３００は、ポートが使用可能な場
合には、サーバ２００にカセットのロードを要請するロ
ード要請メッセージを伝送する。これによって、サーバ
２００はこのカセットロード要請メッセージをホスト１
００に伝送する。ホスト１００は前記カセットロード要
請メッセージを受信すると、それ自体のデータベースを
検索し、前記処理装置で作業を進めるガラスが存在する
カセットを探す。その後、ホスト１００はＡＧＶコント
ローラ５００を呼び出し、前記カセットを処理装置３０
０に移送するように運送命令を下す。これによって、Ａ
ＧＶコントローラ５００は、ＡＧＶ４００がストッカ
（又は他の設備）から該当カセットを乗せて検査器に移
送するようにＡＧＶ４００を制御する。
【００３２】一方、ＭＧＶ６００によってカセットを処
理装置に移送する場合、作業者が該当ポートを直接確認
した後、処理装置に必要なカセットを直接移送する。
【００３３】前記のようにＡＧＶ４００によってカセッ
トを処理装置３００に移送した場合、ＡＧＶ４００は処
理装置にロードを知らせる通信開始信号（以下、valid-
on信号と称する）を送信する。逆にＭＧＶ６００によっ
てカセットを処理装置３００に移送した場合、作業者の
指示によってカセットを処理装置３００にロードする
（Ｓ３０）。
【００３４】その次に、処理装置３００はvalid-on信号
を受信したかどうかを判断し（Ｓ４０）、前記信号を受
信した場合にはポートにカセットが存在するかどうかを
チェックしてからカセットのロードを要請する（Ｓ５
０）。これによって、ＡＧＶ４００は処理装置３００に
カセットをロードし（Ｓ６０）、処理装置３００はポー
ト上にカセットが検知されたかどうかをチェックする
（Ｓ７０）。
【００３５】一方、前記段階Ｓ４０で処理装置３００が
valid-on信号を受信しない場合、段階Ｓ７０に移行す
る。このように、処理装置３００がvalid-on信号を受信
しない場合に段階Ｓ７０に移行する理由は、カセットが
ＭＧＶによって移送される場合にはvalid-on信号を送信
せずにカセットを処理装置３００のポート上に載置する
からである。
【００３６】段階Ｓ７０でポート上にカセットが検知さ
れた場合、再びvalid-on信号が検知されるかどうかを判
断する（Ｓ８０）。
【００３７】前記段階Ｓ８０でvalid-on信号を検知した
と判断した場合、これはＡＧＶによってカセットが移送
されたことを意味するので、処理装置３００は搬送モー
ドをＡＧＶモードを設定する。即ち、ＡＧＶフラグをセ
ットする（Ｓ９０）。
【００３８】一方、前記段階Ｓ８０でvalid-on信号が検
知されないと判断した場合、これはＭＧＶによってカセ
ットが移送されたことを意味するので、処理装置３００
はＭＧＶモードを設定する。即ち、ＭＧＶフラグをセッ
トする（Ｓ１００）。
【００３９】前記段階Ｓ９０でＡＧＶフラグをセットし
た場合には、処理装置３００は自動でカセットをチャッ
キング（chucking）した後（Ｓ１１０）、ローダ３５０
のバーコードカードリーダー（ＢＣＲ）によってカセッ
トのＩＤを判読する（Ｓ１２０）。その次に、ポート３
１０のセンサ（図示しない）によってカセット内のガラ
ス基板の有無及び位置を確認した後（Ｓ１３０）、ホス
ト１００にカセットに関する前記情報を報告する（Ｓ１
４０）。
【００４０】前記段階Ｓ９０で、ＭＧＶフラグをセット
した場合、自動でカセットをチャッキングするのではな
く作業者の指示によってカセットをチャッキング（chuc
king）する（Ｓ１５０）。このように手動でカセットを
チャッキングする理由は、主に処理装置３００に異常な
どが発生した場合或いは処理装置３００をセットアップ
する場合にＭＧＶによってカセットを移送するので、処
理装置３００の状態を作業者が直接確認しながら作業を
進める必要があるためである。
【００４１】手動でカセットをチャッキングした後は、
ＡＧＶモードと同様に、ローダーに存在するバーコード
カードリーダ（ＢＣＲ）でカセットのＩＤを判読し（Ｓ
１６０）、カセット内のガラス基板の個数及びガラスの
位置を確認し（Ｓ１７０）、ホスト１００にカセットに
関する前記情報を報告する（Ｓ１８０）。
【００４２】前記段階Ｓ１４０及びＳ１８０でカセット
に関する情報をホスト１００が受信すると、ホスト１０
０はカセットＩＤに基づいてそれ自体のデータベースを
検索する。その後、カセットに保管されたガラス基板に
関する情報、作業内容及び進行工程情報、作業レシピな
どを処理装置３００に伝送する。
【００４３】このように本発明の実施形態例によると、
カセットがＡＧＶモードで移送されたかＭＧＶモードで
移送されたかに拘らず、処理装置３００のポート上に載
置され、処理装置３００はカセットがポート上に載置さ
れた場合にvalid-on信号が受信されたかどうかを判断す
ることによってこのカセットがＭＧＶモードで移送され
たか又はＡＧＶモードで移送されたかがわかる。従っ
て、該当する搬送モードに応じて以降の作業を進めるこ
とができる。
【００４４】以上ではＴＦＴ−ＬＣＤを例としてあげて
説明したが、本発明はそれ以外に半導体などの製造工程
にも利用することができるのは勿論である。
【００４５】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明による
と、処理装置に搬送モードを別途に設定する必要がな
く、ポート上にカセットが載置された場合にvalid-on信
号の有無によってカセットの搬送モードを判断してから
その後の工程を進めるので生産効率を増大させることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態例による搬出入システムを概
略的に示す図面である。
【図２】図１の処理装置を詳しく示す図面である。
【図３】本発明の実施形態例による搬出入方法を示す図
面である。
【図４】本発明の実施形態例による搬出入方法を示す図
面である。
【符号の説明】
１００ ホスト ２００ サーバ ３００ 処理装置 ３１０ａ、３１０ｂ ポート ３２０ａ、３２０ｂ センサ ３３０ａ、３３０ｂ カセットＩＤ判読装置 ３４０ 搬送ロボット ３５０ ローダー ３７０ ガラスＩＤ判読装置 ３８０ 作業台 ４００ 自動運送装置（ＡＧＶ） ５００ ＡＧＶコントローラ ６００ 手動運送装置（ＭＧＶ）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 朴 炳 勸 大韓民国京畿道龍仁市器興邑農書里山24番 地

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】カセットを自動で移送する自動運送装置
    と、 作業者の指示によって前記カセットを移送する手動運送
    装置と、 前記カセット内に保管された基板に対して所定の作業を
    遂行する処理装置とを含み、 前記処理装置はカセットが到着した場合に前記カセット
    が前記自動運送装置によって移送されたのか前記手動運
    送装置によって移送されたのかを判断することを特徴と
    する基板の搬出入システム。
  2. 【請求項２】前記処理装置は、 前記自動運送装置又は手動運送装置によって移送された
    カセットを臨時に載置するためのポートと、 前記自動運送装置によって前記カセットが移送された場
    合、前記自動運送装置から送信される通信開始信号を受
    信するためのセンサを有するローダーと、 前記カセットに保管された基板に対して実際の作業を進
    める作業台とを含む、請求項１に記載の基板の搬出入シ
    ステム。
  3. 【請求項３】前記ローダーは、前記カセットが前記ポー
    ト上に載置された場合にカセットのＩＤを判読するため
    のカセットＩＤ判読装置を更に含む、請求項２に記載の
    基板の搬出入システム。
  4. 【請求項４】前記ローダーは、 前記カセットが前記自動運送装置によって移送された場
    合、前記カセットを自動でチャッキングしてから前記カ
    セットＩＤ判読装置で前記カセットのＩＤを判読し、 前記カセットが前記手動運送装置によって移送された場
    合、作業者の指示によって前記カセットをチャッキング
    してから前記カセットＩＤ判読装置で前記カセットのＩ
    Ｄを判読することを特徴とする、請求項３に記載の基板
    の搬出入システム。
  5. 【請求項５】前記ポートには、前記カセット内に保管さ
    れた基板の個数と、基板が保管されたスロットの位置を
    検知するための基板検知センサが設置されていることを
    特徴とする請求項４に記載の基板の搬出入システム。
  6. 【請求項６】前記処理装置は、前記ポート上に載置され
    たカセットから前記基板を取り出して前記作業台に搬送
    する搬送ロボットを更に含むことを特徴とする、請求項
    ５に記載の基板の搬出入システム。
  7. 【請求項７】基板を保管しているカセットを自動で移送
    する自動運送装置と、作業者の指示によって前記カセッ
    トを移送する手動運送装置と、前記自動運送装置又は手
    動運送装置によって移送されたカセットを臨時に載置す
    るためのポートを有するローダー及び前記ポート上に載
    置されたカセットに保管された基板に対して所定の作業
    を遂行する作業台を有する処理装置とを含むシステムの
    基板搬出入方法において、 前記ポートを使用可能な場合、前記カセットを前記自動
    運送装置又は前記手動運送装置によって前記処理装置に
    移送する第１段階と、 前記第１段階で前記自動運送装置によって前記カセット
    を前記処理装置に移送した場合、前記自動運送装置が通
    信開始信号を前記ローダーに送信する第２段階と、 前記自動運送装置から前記ポートにカセットをロードす
    る第３段階と、 前記第１段階で前記手動運送装置によって前記カセット
    を前記処理装置に移送した場合、作業者の指示によって
    前記カセットを前記ポートにロードする第４段階と、 前記ポート上にカセットがロードされているかどうかを
    判断する第５段階と、 前記第５段階でポート上に前記カセットがロードされて
    いる場合、前記通信開始信号を検知したか否かを判断す
    る第６段階と、 前記第６段階で通信開始信号を検知した場合には処理装
    置を自動運送モードに設定し、通信開始信号が検知され
    ない場合には処理装置を手動運送モードに設定する第７
    段階と、 を含む基板の搬出入方法。
  8. 【請求項８】前記第３段階は、 前記通信開始信号を受信したかどうかを判断する段階
    と、 前記段階で通信開始信号を受信したと判断する場合、前
    記自動運送装置にカセットのロードを要請する段階と、 前記要請によって前記カセットを前記ポートにロードす
    る段階と、を含む請求項７に記載の基板の搬出入方法。
  9. 【請求項９】前記第７段階で自動運送モードに設定した
    場合には前記カセットを自動でチャッキングし、前記手
    動運送モードに設定した場合には作業者の指示によって
    前記カセットをチャッキングする段階と、 前記ローダーに位置するカセットＩＤ判読装置で前記カ
    セットのＩＤを判読する段階と、 前記ポートに位置するカセット内のガラス基板の位置及
    び個数を確認する段階とを更に含む請求項８に記載の基
    板の搬出入方法。
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