CN1263040A - 生产工艺中将衬底移入和移出的系统及方法 - Google Patents

Abstract

一种生产工艺中的衬底移出、移入系统及方法,该系统包括:一自动传送装置,用于自动传送储存衬底的卡匣;一手动传送装置,及一加工设备。加工设备包括:用于临时放置运来的卡匣的货口,一装载器,其具有一传感器;及一作业台,当卡匣置于货口上时,加工设备检查传感器是否接收到通讯开始信号,当接收到上述信号时,卡匣是通过自动传送装置传送的,以便设定加工设备为自动传送模式,当没有接收到信号时,卡匣是通过手动传送装置传送的,从而设定为手动传送模式。

Description

生产工艺中将衬底移入和 移出的系统及方法

本发明涉及一种生产工艺中工件的移入和移出系统及方法，特别是涉及一种半导体或薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor liquid crystaldisplay；以下称：‘TFT-LCD’)等的生产工艺中使用的工件的移出、移入系统及移出、移入方法。

近来，为了提高生产率，大部分TFT-LCD的生产工艺实现了自动化，因此当在为此目的而使用特定加工设备对衬底进行加工时，利用自动传送装置(automatic guided vehicle：‘AGV’)把储存有要加工的衬底的卡匣(cassette)传送至加工设备，并且在装载到该加工设备后，在加工设备中对卡匣中的衬底进行各种加工。

但是，在这种自动作业过程中，当加工设备发生故障时，作业人员必须能检查加工设备状态。在这种情况下，就需要作业人员亲自操作手动传送装置(manual guided vehicle：‘MGV’)传送卡匣中的衬底到加工设备，然后进行下一作业过程。

因此，在惯用的衬底制造过程中，加工衬底的方法取决于用哪种传送装置(AGV或MGV)把卡匣传送到加工装置。即，当使用AGV传送卡匣至加工设备上时(以下称：AGV模式)，包括卡匣的装载过程在内，加工设备各部分对衬底的作业过程几乎都以自动方式进行。另方面，当使用MGV传送卡匣至加工设备上时(以下称：MGV模式)，对每个加工设备中的衬底的作业处理是根据作业人员的要求以手动或自动方式进行。

但是，在已知的衬底移出、移入系统中，只能使用与生产加工设备中设定的传送模式对应的传送装置从加工设备中移出、移入卡匣，当使用与设定的传送模式不相应的传送装置传送卡匣时，会发生错误(error)。

从前述可知，已知的衬底传送系统，检查设定在加工设备内的传送模式，再利用与该传送对应的传送装置传送卡匣，故其有生产率低的缺点。

本发明是为了解决上述问题而提出的。本发明提供了一个完整的检修系统和其控制方法，其中在某时，将多个文件合并为一批，该文件具有存在的缺陷和怎样检修缺陷的信息，和合并的文件涉及当全部检查完成后最终的生产步骤。

本发明的目的是提供一种生产工艺中的衬底移入和移出系统，根据该系统，没有必要在设备上预先设定传送模式，其根据传送卡匣的传送装置种类而自动进行下一作业过程，从而提高了生产效率。

为了实现上述目的，本发明提供一种生产工艺中的衬底移入和移出系统(A system for moving substrates in and out of a manufactoring process)包括：一自动传送装置，用以自动传送储存有衬底的卡匣；一手动传送装置，其根据作业人员的指令，传送上述卡匣；及，一加工设备，用以对储存于上述卡匣内的衬底进行预定的加工。其中，上述加工设备包括：货口，用于临时放置由上述自动传送装置或手动传送装置运来的卡匣；一装载器，其具有传感器当卡匣是通过上述自动传送装置运来时，接收从上述自动传送装置传送来的通信开始信号；及，一作业台，用以对储存于卡匣内的衬底进行实际作业。当卡匣到达加工设备时，系统检查卡匣是由MGV或是由AGV传送的，如果是由AGV传送的，加工设备自动得到卡匣并加工衬底。如果是由MGV传送的系统等待作业人员指令和根据操作人员指令加工衬底。

当卡匣被置于货口上时，上述加工设备检查传感器是否已接收到通信开始信号，若已接收到上述信号，则判断为卡匣已被自动传送装置传送，从而把加工设备设定为自动传送模式，若没有接收到上述信号，则判断为卡匣被手动传送装置传送，从而把加工设备设定为手动传送模式。

在此，较佳地是，上述货口应具有临时放置各卡匣的多个货口。另外，较佳地是，上述装载器进一步包括一卡匣ID阅读器，用以当卡匣被置于货口上时，阅读卡匣的ID。另外，较佳地是，在上述货口上设置一检测衬底传感器，用以检测储存于卡匣内衬底的个数以及衬底被储存的储存槽位置。

此时，当卡匣被自动传送装置传送，并被设定成自动传送模式时，装载器自动卡住卡匣，之后用卡匣阅读器阅读卡匣的ID，当卡匣被手动传送装置传送，并被设定成手动传送模式时，装载器根据作业人员的指令卡住卡匣，之后用卡匣阅读器阅读卡匣的ID。

另外，上述设备，较佳地是进一步包括一传送机械手，用以从置于货口上的卡匣内，取出衬底，并传送至作业台。

根据本发明的一种用于系统中的生产工艺的衬底移入和移出方法，其传送系统包括一自动传送装置，用以自动传送储存有衬底的卡匣、一手动传送装置，用以根据作业人员的作业指令传送上述卡匣；及一加工设备，用以对储存在卡匣中的衬底进行预定加工，该加工设备包括：一装载器，一货口，用于临时放置由上述自动传送装置或手动传送装置运来的卡匣，一作业台，用以对放置于货口上的卡匣内储存的衬底进行预定加工，该方法包括如下步骤：

第一步骤，当上述货口可以使用时，利用自动传送装置或手动传送装置，把卡匣传送至加工设备；

第二步骤，在上述第一步骤中，当利用自动传送装置把卡匣传送至加工设备上时，自动传送装置把通信开始信号传送给装载器；

第三步骤，从上述自动传送装置，把卡匣装载至货口上；

第四步骤，在上述第一步骤中，当利用手动传送装置把卡匣传送至加工设备上时，根据作业人员的指令，把卡匣装载至货口上；

第五步骤，判断是否在上述货口上检测到卡匣；

第六步骤，在上述第五步骤中，当在货口上检测到卡匣时，判断是否检测到通信开始信号，及

第七步骤，在上述第六步骤中，当通信开始信号被检测到时，将加工设备设定为自动传送模式，当没有检测到通信开始信号时，将加工设备设定为手动传送模式。

在此，上述第三步骤，较佳地是进一步包括：判断是否接收到上述通信开始信号的步骤；在上述步骤中，当判断接收到上述通信开始信号时，向自动传送装置请求装载卡匣的步骤；及，根据上述要求，把卡匣装载至货口上的步骤。

以下参照附图对根据本发明优选实施例的系统做详细说明。

图1是表示根据本发明较佳实施例的传送系统的方框图；

图2是表示图1中加工设备的详图；及

图3a及图3b是表示根据本发明实施例的传送方法的流程图。

图1是表示根据本发明实施例的传送系统的略图。

如图中所示，根据本发明实施例的传送系统，是由主机100、设备服务器200、加工设备300、自动控制运送装置(AGV)400、AGV控制器500及手动控制运送装置(MGV)600构成。

主机100是通过使用传输控制协议/互联网协议(TCP/IP)的网络，与设备服务器200及AGV控制器500耦合。并且通过向它们传送或从它们接收预定信息，而实现信息交换或发送控制命令。AGV控制器500从主机100接收命令，并发送特定命令给AGV 400。

设备服务器200使用半导体设备通信标准(SECS SemiconductorEquipment Communication Standard)与加工设备300耦合，并与设备300和主机100接口。

AGV 400根据AGV控制器500的命令，自动把卡匣传送至加工设备300，或者把在加工设备300中完成的作业用卡匣自动移动至另一设备。完成这些步骤后，AGV 400向AGV控制器500传送完成作业的讯息。接着，AGV控制器500通过网络向主机100传送相应的信息，以使主机100可管理AGV 400的状态和整个传送系统。

MGV 600，用于作业人员手动传送卡匣时。在本发明的较佳实施例中，根据需要，可以使用MGV 600或AGV 400把卡匣传送至合适的加工设备。

图2是表示图1中加工设备的详图。

如图2所示，根据本发明实施例的加工设备300，是由临时装载通过MGV 600或AGV 400运来的卡匣的装载器350、对卡匣内玻璃衬底进行各种作业的作业台380，及从装载器中的卡匣内把玻璃衬底传送至作业台380上的传送机械手340构成。

装载器350包括：多个货口(port)310a，310b，用以放置卡匣；一传感器320a，320b，用以与AGV进行无线通信；当该卡匣装载在货口310a和310b时，条码卡阅读器(BCR)330a和330b读出该卡匣的ID。另外，在货口310a和310b上设置有一玻璃位置检测传感器，用以当卡匣放置于货口310a和310b上时，检测卡匣内存放的玻璃衬底的位置及玻璃衬底的个数。在作业台380上，设置有一验证码阅读器(VCR)370，用以阅读玻璃衬底ID。

以下参照图3a及图3b，对根据本发明较佳实施例的传送操作进行说明。

首先，装载器350判断货口(port)310a，310b是否可以使用(S10)，如果可以使用，则通过AGV 400或MGV 600，把装有衬底的卡匣运至加工设备S20。

具体地当货口经检查可使用后，如果通过AV 400要把该卡匣传送到加工设备300时，加工设备300向设备服务器200传送请求装载卡匣的请求装载信息。然后，设备服务器200把该信息传送给主机100。当主机100收到上述请求装载卡匣的信息后，检索自己的数据库，查找储存有将要在上述加工设备300中进行加工的该玻璃衬底的卡匣。之后，主机100呼叫AGV控制器500，发送命令给控制器500以便把卡匣移动至加工设备300。然后，AGV控制器500控制AGV 400，把相应卡匣装载至储料器中的检验器或装载到其它加工设备。

另方面，如果通过MGV 600运送卡匣至加工设备300上时，作业人员亲自检查货口310a和310b并然后向加工设备300运送合适的卡匣。

接着如果利用AGV 400传送卡匣至加工设备300时，AGV 400向加工设备发送提示装载过程的通讯开始信号(此后称为valid on signal)，当利用MGV 600传送卡匣至加工设备300时，根据作业人员的指令把卡匣传送至加工设备(S30)。

加工设备300判断是否接收到有效信号(S40)，若接收到上述信号，该加工设备300则检查在货口310a和310b上是否有卡匣，并发出装载卡匣的请求(S50)。然后，AGV 400把卡匣装载至加工设备，和加工设备检查货口上是否有卡匣(S70)。

另外，在步骤S40中，如果加工设备判断没有接收到有效信号(valid onsignal)，则进行到S70步骤。这是因为，当卡匣是通过MGV而传送时，虽没有接收到有效信号(valid on signal)卡匣可被放置于加工设备的货口上。

在步骤S70中，当检测到货口上有卡匣时，再次判断是否检测到有效信号(valid on signal)(S80)。

在上述步骤S80中，当检测到有效信号(valid on signal)时，(表示卡匣已经通过AGV而传送)，然后加工设备把传送模式设定为AGV模式。(即设定为AGV标志)(S90)。另方面，在上述步骤S80中，当没有检测到有效信号(validon signal)时，(表示卡匣已经通过MGV而传送)，然后加工设备300把传送模式设定为MGV模式。(即设定为MGV标志)(S100)。

在上述步骤S90中，当设定为AGV标志时，加工设备自动把卡匣卡住(chucking)(S110)，之后用装载器350上的条码卡阅读器(BCR)阅读卡匣的ID(S120)。然后，通过货口310a和310b上的传感器(未图示)检查卡匣内是否有玻璃衬底以及检查玻璃衬底的位置(S130)，之后，加工设备300向主机报告有关卡匣的信息(S140)。

在上述步骤S100中，当设定为MGV标志时，根据作业人员的指令把卡匣卡住(150)。这种用手动卡住卡匣的原因，只是在加工设备发生异常或作业人员需要检查时，卡匣是通过MGV传送，因此作业人员有必要亲自检查设备状态而进行作业。

用手动方法卡住卡匣后，用装载器上的条码卡阅读器(BCR)阅读卡匣的ID(S160)。该步骤与AGV模式的相同，然后，确定卡匣内是否有玻璃衬底以及检查玻璃衬底的位置(S170)，之后向主机报告有关卡匣的上述信息(S180)。

在上述步骤S140及S180中，当主机接收有关卡匣的信息后，主机以卡匣ID为依据，检索自己的数据库，然后把有关储存在卡匣内的玻璃的衬底的信息、作业内容信息、作业加工信息以及作业方法(recipe)等，传送给加工设备300。

如前所述，根据本发明实施例，无论卡匣是通过AGV模式或是通过MGV模式传送把卡匣传送至加工设备的货口上，当卡匣放在货口上时，加工设备就可通过检测有效信号(valid on signal)判断卡匣是以MGV模式传送的还是以AGV模式传送的。因此，可根据相应的传送模式进行下一步作业从而提高生产率和效率。

以上是以TFT-LCD为例做了说明，但是本发明理所当然可使用于其他如制造半导体等的工艺中。

如上所述，根据本发明，没有必要以其他方式给加工设备设定传送模式，当卡匣置于货口上时，根据有无通讯开始信号而判断卡匣的传送模式，然后进行下一工序，因此可提高生产率。

如上所述本发明已结合较佳实施例进行了描述，但本发明并不受上述实施例的限制，应当理解，依据本发明的精神和本发明权利要求范围进行的各种修改，和等效设置都包括在本发明保护范围内。

Claims (9)

1.一种用于生产工艺中的衬底移入和移出系统，其特征是该系统包括：

自动传送装置，用于自动传送储存有衬底的卡匣；

手动传送装置，用于根据一作业人员的指令传送储存有衬底的卡匣(cassette)；

加工设备，用于对储存于卡匣中的衬底进行预定的加工；

其中，当卡匣到达时上述加工设备判断卡匣是通过自动传送装置传送的还是通过手动传送装置传送的。

2.按照权利要求1所述的系统，其特征是上述加工设备包括：

货口(port)，用于暂时放置通过上述自动传送装置或手动传送装置传送来的卡匣；

装载器，其具有传感器，当上述卡匣是通过自动传送装置传送时，用于接收从上述自动传送装置发出的通信开始信号；

作业台(job table)，用于加工处理放置在卡匣中的衬底。

3.按照权利要求2所述的系统，其特征是上述装载器进一步包括卡匣ID阅读器，当卡匣置于货口上时用于阅读卡匣ID。

4.按照权利要求3所述的系统，其特征是当上述卡匣是通过自动传送装置传送到时，装载器自动卡住卡匣并用上述卡匣ID阅读器读出卡匣ID；

当所述卡匣是通过上述手动传送装置传送到时，装载器则根据作业人员的指令卡住卡匣和用上述卡匣ID阅读器读出卡匣ID。

5.按照权利要求4所述的系统，其特征是上述货口设置有衬底检测传感器，用于检测储存于卡匣内的衬底个数，以及检测储存衬底的槽的位置。

6.按照权利要求4所述的系统，其特征是上述加工设备进一步包括一传送机械手，用于从置于货口上的卡匣中取出衬底，并传送衬底到作业台。

7.一种用于一系统中的生产工艺的衬底移入和移出方法，该系统包括一自动传送装置，用以自动传送储存有衬底的卡匣；一手动传送装置，用于根据作业人员的指令，传送上述卡匣；和加工设备，用于对储存在卡匣中的衬底进行预定加工，该加工设备具有一装载器，一货口，用于暂时放置由自动传送装置或手动传送装置传送来的卡匣，及一作业台，用于对货口上放置的卡匣内储存的衬底进行预定加工所述方法包括如下步骤：

第一步骤，当货口可以使用时，利用自动传送装置或手动传送装置把卡匣传送至加工设备；

第二步骤，在第一步骤中，当卡匣是通过自动传送装置而传送到加工设备时，自动传送装置向装载器发送通讯开始信号；

第三步骤，从自动传送装置把卡匣装载至货口；

第四步骤，在第一步骤中，当卡匣是通过手动传送装置而传送至该加工设备上时，根据作业人员的指令，把卡匣装载至货口上；

第五步骤，判断是否在上述货口上检测到卡匣；

第六步骤，在上述第五步骤中，当在货口上检测到卡匣时，判断是否检测到通讯开始信号；及

第七步骤，在上述第六步骤中，当检测到通讯开始信号时，将加工设备设定为自动传送模式，当没有检测到通讯开始信号时，设定加工设备为手动传送模式。

8.按照权利要求7所述的方法，其特征在于第三步骤包括如下步骤：

判断是否接收到上述通讯开始信号；

在上述步骤中，当判断接收到通讯开始信号时，请求自动传送装置装载卡匣；及

根据所述请求，把卡匣装载至货口上。

9.按照权利要求8所述的方法，其特征在于进一步包括：

第八步骤，在上述第七步骤中，当加工设备设定为自动传送模式时，自动卡住上述卡匣，当加工设备设定为手动传送模式时，根据作业人员的指令卡住上述卡匣；

第九步骤，用装载器中的卡匣ID阅读器，阅读上述卡匣ID；及

第十步骤，检查上述货口上卡匣内的玻璃衬底位置及玻璃衬底个数。

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