JP2000230552A - 静圧気体軸受 - Google Patents
静圧気体軸受Info
- Publication number
- JP2000230552A JP2000230552A JP11036129A JP3612999A JP2000230552A JP 2000230552 A JP2000230552 A JP 2000230552A JP 11036129 A JP11036129 A JP 11036129A JP 3612999 A JP3612999 A JP 3612999A JP 2000230552 A JP2000230552 A JP 2000230552A
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- gas
- discharged
- groove
- fixed body
- labyrinth
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、上記従来の技術の問題を解決す
るものであり、真空環境下において、気体放出をなく
し、移動時の抵抗を少なくする静圧気体軸受を提供す
る。 【解決手段】 対向する移動体、固定体で形成され、
ラビリンス機構を備え真空中で使用される静圧気体軸受
において、ラビリンス溝より気体を固定体側に排出する
こととした。
るものであり、真空環境下において、気体放出をなく
し、移動時の抵抗を少なくする静圧気体軸受を提供す
る。 【解決手段】 対向する移動体、固定体で形成され、
ラビリンス機構を備え真空中で使用される静圧気体軸受
において、ラビリンス溝より気体を固定体側に排出する
こととした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空中において使
用される静圧気体軸受に関するものである。
用される静圧気体軸受に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の排気機構付き静圧気体軸受におい
て、気体の排出機構は移動体側に設けられていたため、
特開平2-212624に見られるように、排気用配管が移動体
に接続されていた。
て、気体の排出機構は移動体側に設けられていたため、
特開平2-212624に見られるように、排気用配管が移動体
に接続されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の構造においては
移動体の移動を妨げることがないよう、移動体に接続さ
れる配管には柔軟なチューブを使用する必要がある。ま
た、効率のよい排気能力を得るため上記チューブは大口
径のものが求められる。
移動体の移動を妨げることがないよう、移動体に接続さ
れる配管には柔軟なチューブを使用する必要がある。ま
た、効率のよい排気能力を得るため上記チューブは大口
径のものが求められる。
【０００４】これらの要求を満たすチューブ材質として
はまず樹脂製のものが考えられるが、真空環境下におい
ては表面からの気体放出が問題となるため大口径の樹脂
製チューブの使用は望ましくない。
はまず樹脂製のものが考えられるが、真空環境下におい
ては表面からの気体放出が問題となるため大口径の樹脂
製チューブの使用は望ましくない。
【０００５】そこでステンレス製のフレキシブルチュー
ブを採用した場合は、移動体の移動時に大きな抵抗とな
るため、静圧気体軸受の性能が低下してしまう。
ブを採用した場合は、移動体の移動時に大きな抵抗とな
るため、静圧気体軸受の性能が低下してしまう。
【０００６】本発明は、上記従来の技術の問題を解決す
るものであり、真空環境下において、気体放出をなく
し、移動時の抵抗を少なくする静圧気体軸受を提供する
ことを目的とする。
るものであり、真空環境下において、気体放出をなく
し、移動時の抵抗を少なくする静圧気体軸受を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】上
記課題を解決するためになされた本発明は、対向する移
動体、固定体で形成され、ラビリンス機構を備え真空中
で使用される静圧気体軸受において、ラビリンス溝より
気体を固定体側に排出することとした。
記課題を解決するためになされた本発明は、対向する移
動体、固定体で形成され、ラビリンス機構を備え真空中
で使用される静圧気体軸受において、ラビリンス溝より
気体を固定体側に排出することとした。
【０００８】ここで言うラビリンス機構とは、浮上気体
が軸受外部に流出しないようエアパッドを囲むように１
周あるいは複数周設けられた気体回収用の溝と、溝の外
周に形成されるラビリンス隔壁とで構成されたシール機
構である。
が軸受外部に流出しないようエアパッドを囲むように１
周あるいは複数周設けられた気体回収用の溝と、溝の外
周に形成されるラビリンス隔壁とで構成されたシール機
構である。
【０００９】上記構成にすることにより、移動体への排
気用配管接続を無くすことができるため、直進性などの
軸受性能を向上させることができる。
気用配管接続を無くすことができるため、直進性などの
軸受性能を向上させることができる。
【００１０】本発明の好ましい形態は、気体を排出する
排出口が、固定体に設けられることである。
排出口が、固定体に設けられることである。
【００１１】上記構成にすることにより、移動体内部に
複雑な配管構造を形成する必要が無くなり構造が単純に
なるため、軸受の製作工数が減少する。
複雑な配管構造を形成する必要が無くなり構造が単純に
なるため、軸受の製作工数が減少する。
【００１２】本発明の好ましい形態は、固定体に設けら
れる排気口が、移動体の移動方向と平行なラビリンス機
構のラビリンス溝上に対応する位置に設けられることで
ある。
れる排気口が、移動体の移動方向と平行なラビリンス機
構のラビリンス溝上に対応する位置に設けられることで
ある。
【００１３】上記構成にすることにより、移動体がどの
位置にあっても常に固定体に形成された排気穴が移動体
に形成された溝にかかるため、移動体の位置によらず一
定の排気性能を得ることができる。
位置にあっても常に固定体に形成された排気穴が移動体
に形成された溝にかかるため、移動体の位置によらず一
定の排気性能を得ることができる。
【００１４】本発明の好ましい形態は、排気口より排出
された気体が、固定体内部に設けられた排気通路を通じ
て外部へ排出されることである。
された気体が、固定体内部に設けられた排気通路を通じ
て外部へ排出されることである。
【００１５】上記構成にすることにより、軸受機構に接
続される排気用配管の引き回しを単純にすることができ
るため、半導体製造装置などに軸受機構を取り付ける際
の取り扱いが容易になる。
続される排気用配管の引き回しを単純にすることができ
るため、半導体製造装置などに軸受機構を取り付ける際
の取り扱いが容易になる。
【００１６】本発明の好ましい形態は、複数段のラビリ
ンス機構に対応し、複数個の排気口及び排気通路をそれ
ぞれ固定体内部に設けることである。
ンス機構に対応し、複数個の排気口及び排気通路をそれ
ぞれ固定体内部に設けることである。
【００１７】上記構成にすることにより、軸受の使用さ
れる真空環境に応じてラビリンス機構を複数段設ける必
要が生じても移動体への接続配管数は増加しないため、
直進性などの軸受性能を損なうことがない。
れる真空環境に応じてラビリンス機構を複数段設ける必
要が生じても移動体への接続配管数は増加しないため、
直進性などの軸受性能を損なうことがない。
【００１８】本発明の好ましい形態は、固定体内部に給
気用配管を備え、移動体浮上用気体を固定体側より給気
することである。
気用配管を備え、移動体浮上用気体を固定体側より給気
することである。
【００１９】上記構成にすることにより、移動体に対し
て排気用配管だけでなく給気用配管の接続の必要もなく
なるため、直進性などの軸受性能を向上させることがで
きる。
て排気用配管だけでなく給気用配管の接続の必要もなく
なるため、直進性などの軸受性能を向上させることがで
きる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以上説明した本発明の構成・作用
を一層明らかにするために、以下本発明の好適な実施例
について説明する。
を一層明らかにするために、以下本発明の好適な実施例
について説明する。
【００２１】図１は本発明の一実施例に係る真空用静圧
気体軸受の正面図であり、図２は図１の矢印で示した箇
所における断面図である。図２において、気体供給用の
給気チューブ１１を通して気体が軸受に供給され、移動
体１内部に形成された気道３にを通じて軸受内部の絞り
４より排出される。
気体軸受の正面図であり、図２は図１の矢印で示した箇
所における断面図である。図２において、気体供給用の
給気チューブ１１を通して気体が軸受に供給され、移動
体１内部に形成された気道３にを通じて軸受内部の絞り
４より排出される。
【００２２】絞り４より排出された気体はその後、エア
パッド部隙間１２を通り大気開放溝５（ラビリンス溝）
へ排出される。大気開放溝５（ラビリンス溝）へ排出さ
れた気体のうちそのほとんどは固定体２の内部に形成さ
れた大気開放口７そして大気開放通路１０を通り大気中
へ排出される。大気開放溝５（ラビリンス溝）と、大気
開放口７は、対応する位置に設けることが好ましい。
パッド部隙間１２を通り大気開放溝５（ラビリンス溝）
へ排出される。大気開放溝５（ラビリンス溝）へ排出さ
れた気体のうちそのほとんどは固定体２の内部に形成さ
れた大気開放口７そして大気開放通路１０を通り大気中
へ排出される。大気開放溝５（ラビリンス溝）と、大気
開放口７は、対応する位置に設けることが好ましい。
【００２３】大気開放口７より排出されなかった微量の
気体はその後、大気開放溝５（ラビリンス溝）を取り囲
むように形成された内側ラビリンス隔壁部隙間１３を通
り排気溝６（ラビリンス溝）へ排出される。排気溝６
（ラビリンス溝）へ排出された気体の内そのほとんどは
固定体２の内部に形成された排気口８そして排気通路９
を通り、外部に接続された真空ポンプにより大気中へ排
出される。排気溝６（ラビリンス溝）と、排気口８は、
対応する位置に設けることが好ましい
気体はその後、大気開放溝５（ラビリンス溝）を取り囲
むように形成された内側ラビリンス隔壁部隙間１３を通
り排気溝６（ラビリンス溝）へ排出される。排気溝６
（ラビリンス溝）へ排出された気体の内そのほとんどは
固定体２の内部に形成された排気口８そして排気通路９
を通り、外部に接続された真空ポンプにより大気中へ排
出される。排気溝６（ラビリンス溝）と、排気口８は、
対応する位置に設けることが好ましい
【００２４】さらに排気口８によっても排出されなかっ
た極微量の気体はその後、排気溝６（ラビリンス溝）を
取り囲むように形成された外側ラビリンス隔壁部隙間１
４を通り真空チャンバー内へ放出される。
た極微量の気体はその後、排気溝６（ラビリンス溝）を
取り囲むように形成された外側ラビリンス隔壁部隙間１
４を通り真空チャンバー内へ放出される。
【００２５】図３は本発明による静圧気体軸受機構の他
の実施例を示す正面図であり、図４は図３の矢印で示し
た箇所における断面図である。同図において、気体供給
用の給気チューブ１１は固定体内部に設けられた給気通
路１５に接続されており、この給気通路１５を通った気
体は同じく固定体内部に設けられた気道３及び絞り４を
通じて軸受に供給される。その後の気体の流れと排気方
法は図１及び図２に示したものと同様である。
の実施例を示す正面図であり、図４は図３の矢印で示し
た箇所における断面図である。同図において、気体供給
用の給気チューブ１１は固定体内部に設けられた給気通
路１５に接続されており、この給気通路１５を通った気
体は同じく固定体内部に設けられた気道３及び絞り４を
通じて軸受に供給される。その後の気体の流れと排気方
法は図１及び図２に示したものと同様である。
【００２６】図３、図４の静圧気体軸受は、移動体への
配管接続の必要が全くなくなるため、移動体移動時に配
管から受ける抵抗を完全に抑えることができ、直進性等
において良好な軸受性能を実現することが可能となる。
配管接続の必要が全くなくなるため、移動体移動時に配
管から受ける抵抗を完全に抑えることができ、直進性等
において良好な軸受性能を実現することが可能となる。
【００２７】
【発明の効果】以上に説明した如く本発明のによれば、
真空用静圧気体軸受の設計において移動体への気体回収
用配管接続の必要が無くなるため、真空チャンバー内に
おける大口径配管の引き回し及び移動時の配管による抵
抗を無くすことができ、真空中でも良質な静圧気体軸受
を実現することができる。
真空用静圧気体軸受の設計において移動体への気体回収
用配管接続の必要が無くなるため、真空チャンバー内に
おける大口径配管の引き回し及び移動時の配管による抵
抗を無くすことができ、真空中でも良質な静圧気体軸受
を実現することができる。
【図１】本発明による静圧気体軸受機構の一実施例を示
す正面図
す正面図
【図２】図１における矢視断面図
【図３】本発明による静圧気体軸受機構の他の実施例を
示す正面図
示す正面図
【図４】図３における矢視断面図
１ 移動体 ２ 固定体 ３ 気道 ４ 絞り ５ 大気開放溝 ６ 排気溝 ７ 大気開放口 ８ 排気口 ９ 排気通路 １０ 大気開放通路 １１ 給気チューブ １２ エアパッド部隙間 １３ 内側ラビリンス部隙間 １４ 外側ラビリンス部隙間 １５ 給気通路
Claims (6)
- 【請求項１】 対向する移動体、固定体で形成され、ラ
ビリンス機構を備え真空中で使用される静圧気体軸受に
おいて、ラビリンス溝より気体を固定体側に排出するこ
とを特徴とする静圧気体軸受。 - 【請求項２】 気体を排出する排出口が、固定体に設け
られることを特徴とする請求項１記載の静圧気体軸受。 - 【請求項３】 固定体に設けられる排気口が、移動体の
移動方向と平行なラビリンス機構のラビリンス溝上に対
応する位置に設けられることを特徴とする請求項１、２
いずれか記載の静圧気体軸受。 - 【請求項４】 排気口より排出された気体が、固定体内
部に設けられた排気通路を通じて外部へ排出されること
を特徴とする請求項１〜３いずれか記載の静圧気体軸
受。 - 【請求項５】 複数段のラビリンス機構に対応し、複数
個の排気口及び排気通路をそれぞれ固定体内部に設ける
ことを特徴とする請求項１〜４いずれか記載の静圧気体
軸受。 - 【請求項６】 固定体内部に給気用配管を備え、移動体
浮上用気体を固定体側より給気することを特徴とする請
求項１〜６いずれか記載の静圧気体軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11036129A JP2000230552A (ja) | 1999-02-15 | 1999-02-15 | 静圧気体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11036129A JP2000230552A (ja) | 1999-02-15 | 1999-02-15 | 静圧気体軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000230552A true JP2000230552A (ja) | 2000-08-22 |
Family
ID=12461186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11036129A Pending JP2000230552A (ja) | 1999-02-15 | 1999-02-15 | 静圧気体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000230552A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002276660A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-09-25 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
-
1999
- 1999-02-15 JP JP11036129A patent/JP2000230552A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002276660A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-09-25 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
| JP4534390B2 (ja) * | 2001-01-09 | 2010-09-01 | Ｔｏｔｏ株式会社 | 静圧気体軸受 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060214 |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081031 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081111 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090515 |