JP2000219207A - 石英ルツボのラッピング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 石英ルツボを自動的にラッピングする装置
の提供。 【解決手段】石英ルツボの開口部をラッピング位置に面
して保持する手段Ａ、ラッピング用のシートをラッピン
グ位置に供給する手段Ｂ、ラッピング位置で該シートを
上記開口部に被せる手段Ｃ、該シートを固定する手段
Ｄ、上記各手段の動作を自動化する制御手段Ｅを備えて
なる石英ルツボの自動ラッピング装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶シリコン引
上げに使用する石英ルツボのラッピング装置に関し、好
ましくは、製造された石英ルツボをクリーンな状態で自
動的にラッピングすることができる装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に石英ルツボは製造後、洗浄、検査
され、袋詰め等されて出荷されるが、半導体材料の高純
度化に伴い、石英ルツボについても汚染を最小限に抑え
ることが要請されており、石英ルツボを単結晶引き上げ
に使用する際には、更に超純水等で洗浄している。一
方、単結晶シリコンの製造効率を高めるために石英ルツ
ボのサイズが次第に大きくなる傾向にあり、このため、
ルツボの取扱いが容易ではなく、製造後の検査や袋詰め
などの作業中に汚染させることになり易い。

【０００３】このような問題点を避けるために、石英ル
ツボの洗浄後に清浄な状態で石英ルツボを機械的に包装
すればよいが、大型のルツボを包装するのは必ずしも容
易ではない。また、ルツボの内周部は外周部よりも出来
る限り高純度であることが求められるが、ルツボ全体を
単に袋詰めしたものは、ルツボ外周の付着物が内周部に
入り込む虞があり、内周部を高純度に保つことが難し
い。さらに、ルツボ全体の包装を開封した後に引き上げ
装置に設置するまでの作業中にルツボ内部が汚染される
懸念がある。

【０００４】

【発明の解決課題】本発明は、従来の石英ルツボにおけ
る上記問題を解決したものであり、洗浄された石英ルツ
ボを清浄状態で、好ましくは自動的にラッピングする装
置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決する手段】即ち、本発明は以下の構成から
なる石英ルツボのラッピング装置に関する。 （１）石英ルツボの開口部をラッピングする装置であ
り、石英ルツボの開口部をラッピング位置に面して保持
する手段Ａ、ラッピング用のシートをラッピング位置に
供給する手段Ｂ、ラッピング位置で該シートを上記開口
部に被せる手段Ｃ、該シートを固定する手段Ｄを備えて
おり、上記保持手段Ａが石英ルツボを保持する伸縮自在
なアーム(A10)を有し、上記シート被覆手段Ｃが石英ル
ツボを載置する支持台(C10)とガイド部材(C20)によって
形成され、ラッピング位置に設けた支持台を囲んで上記
ガイド部材が配設されており、支持台の石英ルツボ開口
部を覆うシートの周縁がガイド部材によって上記開口部
周面に押し当てられ、上記固定手段Ｄによって該開口部
に固定されることを特徴とする石英ルツボのラッピング
装置。

【０００６】本発明の上記ラッピング装置は以下の態様
を含む。 （２）石英ルツボ保持手段Ａが複数の伸縮自在なアーム
(A10)、該アームを装着したフレーム(A20)、該フレーム
の走行手段と昇降手段とを有し、上記アーム(A10)が石
英ルツボを両側から挟み込むように相対向して設置され
ている上記(1)に記載のラッピング装置。 （３）シート供給手段Ｂがシートを保持するロール(B1
0)およびシートの引出手段(B20)と切断手段(B30)とを有
し、該引出手段(B20)がラッピング位置と上記ロールの
間を往復動する走行チャックによって形成されており、
また上記切断手段(B30)がラッピング位置と上記ロール
の間に設けられており、上記ロールに保持されているシ
ートの端部が上記走行チャックによって所定長さ引き出
され、切断されてラッピング位置に設置される上記(1)
または(2)に記載のラッピング装置。 （４）シート被覆手段Ｃの支持台(C10)は、石英ルツボ
開口部を下向きに支えるように環状に配設されており、
かつ引き出されたシートを挟み込んで石英ルツボを載せ
るようにシートの引出位置より下方に位置し、さらに該
支持台に昇降手段が設けられており、該支持台と共に石
英ルツボが下降する際にガイド部材に案内されてシート
の周縁が石英ルツボ開口部に押し当てられる上記(1)〜
(3)のいずれかに記載するラッピング装置。 （５）シート固定手段Ｄが石英ルツボの開口部を覆うシ
ートに輪ゴムを嵌着する手段であって、輪ゴムを保持す
るカセット(D10)、輪ゴムを石英ルツボ開口部より拡げ
る手段(D20)を有し、カセット(D10)がラッピング位置に
対して昇降自在に設けられており、また輪ゴムに係合す
るフック(D21)を先端に備えた伸縮アーム(D22)によって
上記拡張手段(D2)が形成されており、カセットを囲む複
数の伸縮アームが配設されている上記(1)〜(4)のいずれ
かに記載するラッピング装置。 （６）シート固定手段Ｄがシートを石英ルツボ開口部に
熱融着する手段であって、先端にヒータ部を備えると共
にラッピング位置の石英ルツボ開口部に向かって伸縮自
在に配設した熱融着アームによって形成されている上記
(1)〜(4)のいずれかに記載するラッピング装置。 （７）石英ルツボ保持手段Ａ、シート供給手段Ｂ、シー
ト被覆手段Ｃ、シート固定手段Ｄの各動作を一体に自動
化する制御手段Ｅを有し、石英ルツボのラッピングを自
動的に行う上記(1)〜(6)のいずれかに記載するラッピン
グ装置。

【０００７】

【発明の実施形態】以下、本発明の装置を図面に示す実
施例に基づいて具体的に説明する。図１、２および３は
それぞれ本発明装置の構成例を示す正面図、平面図およ
び側面図であり、図４は石英ルツボ保持手段Ａの概略斜
視図、図５はシート供給手段Ｂの概略斜視図、図６はラ
ッピング位置の概略斜視図、図７はシート固定手段の概
略を示す模式図である。また図８および図９は本発明装
置によるラッピング工程の説明図である。

【０００８】(Ｉ)装置全体の構成 本発明のラッピング装置は、図１〜７に示すように、石
英ルツボＲの開口部(R1)をラッピング位置に面して保持
する手段Ａ、ラッピング用のシートＳをラッピング位置
に供給する手段Ｂ、ラッピング位置で該シートＳを上記
開口部(R1)に被せる手段Ｃ、該シートＳを上記開口部(R
1)に固定する手段Ｄを備えている。

【０００９】上記保持手段Ａは石英ルツボＲを保持する
伸縮自在なアーム(A10)を有している。該アーム(A10)は
石英ルツボを両側から挟み込んで保持するものでも良
く、あるいは石英ルツボを吸引して保持するものでも良
い。石英ルツボは該アーム(A10)の伸縮により保持され
てラッピング位置に設置される。また好ましくは、該ア
ーム(A10)はラッピング位置に対して移動自在なフレー
ム(A20)に装着されており、該フレーム(A20)の移動によ
って石英ルツボをラッピング位置に搬入し、またラッピ
ングされた石英ルツボを搬出する。

【００１０】シート供給手段Ｂは、上記保持手段Ａの移
動を妨げないように、ラッピング位置を間にして上記保
持手段Ａの向かい側あるいはその側方に面する位置に設
けられている。該供給手段Ｂはロール状のシートＳをラ
ッピング位置に必要長さ引き出して切り離すものでも良
く、あるいは予め所定長さのシートＳを複数枚重ねて保
持し、一枚ずつラッピング位置に供給するものでもよ
い。石英ルツボがラッピング位置に搬入される前後に、
該供給手段ＢによってシートＳがラッピング位置に供給
される。

【００１１】シート被覆手段Ｃは、石英ルツボを載置す
る支持台(C10)とガイド部材(C20)によって形成される。
該支持台(C10)はラッピング位置に設けられ、ガイド部
材(C20)は該支持台(C10)を囲むように配設される。な
お、支持台(C10)は上記保持手段Ａのアーム(A10)によっ
て兼用しても良く、またはアーム(A10)とは個別に設け
ても良い。上記アーム(A10)が支持台(C10)を兼用する場
合には、ガイド部材(C20)の位置は該アーム(A10)の上側
でも下側でも良い。一方、支持台(C10)がアーム(A10)と
は別に石英ルツボを載せるように設けられる場合には、
ガイド部材(C20)は支持台上の石英ルツボ開口部を囲む
ように該支持台の上側に設けられる。更に、石英ルツボ
を支持台(C10)に載置する態様では、石英ルツボの開口
部を上向きに載せる態様でも良く、下向きに載せる態様
でも良い。該開口部を上向きに設置する場合には、石英
ルツボＲを支持台(C10)に載置した後にシートＳが石英
ルツボ開口部(R1)の上側に引き出される。また、該開口
部(R1)を下向きに設置する場合には、支持台(C10)の上
側にシートＳを引き出した後に該シートを挟み込んで石
英ルツボＲが支持台(C10)に載せられる。

【００１２】このように、支持台(C10)に載置した石英
ルツボの開口部(R1)にシートＳが宛われた状態で、支持
台(C10)あるいはガイド部材(C20)の昇降動によって、石
英ルツボ開口部(R1)がガイド部材(C20)に囲まれた空間
を潜り抜けるようにし、このとき該シートの周縁(S1)が
ガイド部材(C20)によって石英ルツボ開口部の周面に押
し当てられる。このために支持台(C10)またはガイド部
材(C20)の少なくとも一方には昇降手段が設けられてい
る。なお、支持台(C10)の昇降に代えて、或いは支持台
の昇降と共にガイド部材(C20)に石英ルツボ開口部に向
かう摺動手段を設け、該摺動手段によってガイド部材を
石英ルツボ開口部に押し付けても良い。

【００１３】シート固定手段Ｄは石英ルツボの開口部(R
1)を覆うシートに輪ゴムＷを嵌着する手段、あるいはシ
ートを石英ルツボ開口部に熱融着する手段などを用いる
ことができる。輪ゴムＷを嵌着する手段としては、例え
ば、輪ゴムを保持するカセット(D10)と、輪ゴムに係合
するフック(D21)を先端に備えた伸縮アーム(D22)によっ
て輪ゴムを拡げる手段(D20)によって形成される。上記
カセット(D10)は上記支持台(C10)の昇降動を妨げないよ
うにラッピング位置に対して昇降自在に設けられる。一
方、輪ゴム拡張手段(D20)はラッピング位置の上記支持
台(C10)を囲むように設けられる。ラッピング位置に上
昇したカセット(D10)に向かって、周囲からアーム(D22)
が伸びてフック(D21)に輪ゴムＷを係合し、アーム(D22)
が後退して輪ゴムＷを拡げた状態でカセット(D10)が待
機位置に下降し、拡げた輪ゴムＷの内側に石英ルツボＲ
が開口部をシートで覆われた状態で進入した後に、フッ
ク(D22)の係合が解除されて開口部外周のシートに輪ゴ
ムＷが嵌着する。

【００１４】なお、上記伸縮アーム(D22)は支持台(C10)
に石英ルツボを上向きに載置する態様では上記ガイド部
材(C20)の上側に設ければよく、一方、石英ルツボを下
向きに載置する態様では支持台(C10)とガイド部材(C20)
の間の高さに設ければよい。何れの態様でも、支持台(C
10)の上昇ないし下降によって石英ルツボの開口部がガ
イド部材(C20)で囲まれた空間を通過する際に、該開口
部を覆うシートの端部がガイド部材(C20)によって該開
口部外周に押し当てられ、この状態で該開口部が拡げら
れた輪ゴムＷの内側に進入する。

【００１５】熱融着手段によってシート固定手段Ｄを形
成するには、例えば、先端にヒータ部を備え、かつラッ
ピング位置の石英ルツボ開口部に向かって伸縮自在に配
設した熱融着アームを支持台(C10)を囲むように設けれ
ば良い。

【００１６】本発明の石英ルツボのラッピング装置は、
その好ましい態様として、上記石英ルツボ保持手段Ａ、
シート供給手段Ｂ、シート被覆手段Ｃおよびシート固定
手段Ｄの各動作を一体に自動化する制御手段を有し、石
英ルツボのラッピングを自動的に行う。さらに好ましく
は、石英ルツボの製造工程に付随するクリーンルームに
設置され、石英ルツボを製造直後から清浄な状態に保っ
てラッピングする。なお、金属類の混入を防止するた
め、石英ルツボやラッピングシートに直接に接触するア
ーム、チャック、支持台などの接触部分にはテフロンや
ウレタンゴムなどの樹脂類を用いるのが好ましい。

【００１７】以上述べた石英ルツボ保持手段Ａ、シート
供給手段Ｂ、シート被覆手段Ｃ、シート固定手段Ｄの各
々について、さらに具体的な構成例を以下に説明する。(II)石英ルツボ保持手段Ａ 石英ルツボ保持手段Ａの好適な一例を図１〜３に示す。
図示するように、保持手段Ａは石英ルツボを挟み込んで
保持する複数の伸縮自在なアーム(A10)と該アーム(A10)
が装着された走行自在なフレーム(A20)によって形成さ
れており、該フレーム(A20)は外枠部分(A30)に装着され
ている。外枠部分(A30)は石英ルツボの搬入路に沿って
配設されており、その天井部分に一対のレール(A31)が
形成されている。さらに該レール(A31)の端部に駆動モ
ータ(A32)が設けられている。

【００１８】上記走行フレーム(A20)は基部(A21)と懸架
部(A22)によって形成されている。基部(A21)は上記レー
ル(A31)に摺動自在に装着され、上記駆動モータ(A32)に
シャフト(A33)を介して連結されている。一方、懸架部
(A22)は昇降手段(A23)を介して上記基部(A21)に昇降自
在に装着されている。昇降手段(A23)は基部(A10)に設け
たギヤ(A24)と該ギヤに噛合するステム(A25)によって形
成され、該ステムは懸架部(A22)の上部に立設されてい
る。一方、該懸架部(A22)の下端には複数の上記アーム
(A10)が装着されている。

【００１９】図示する例では、石英ルツボＲを安定に挟
み込むように３つのアーム(A10)が装着されており、各
アーム(A10)は互いに６０度離れた三方向の位置から中
央に向かって配設されている。これらのアーム(A10)に
はエアシリンダーなどの伸縮手段と挟み込みにの圧力を
制御する圧力センサー(図示省略)などが設けられてお
り、アーム(A10)が囲む空間の中央に向かって伸び、石
英ルツボＲを両側から挟み込む。なお、アームの数は２
つ以上であればよい。

【００２０】上記保持手段Ａにおいて、図１に示すよう
に、走行フレーム(A20)が外枠(A30)の片側に待機し、ロ
ーラコンベア(A40)によって石英ルツボＲが走行フレー
ム(A20)の下方に搬入されると、該フレーム(A40)の懸架
部(A22)が石英ルツボＲに向かって下降し、所定位置で
アーム(A10)が内側に向かって伸び、石英ルツボＲを押
圧して両側から挟み込む。次いで、懸架部(A22)が石英
ルツボＲを保持した状態で上昇し、基部(A21)の走行機
構によってフレーム(A20)の全体が石英ルツボＲと共に
レール(A31)に沿ってラッピング位置の上方に移動す
る。移動後、懸架部(A22)が下降してラッピング位置の
支持台(C10)に石英ルツボＲを載せ、アーム(A10)が後退
して押圧を解除した後に懸架部(A22)が上昇し、再び基
部(A21)の走行機構によってフレーム(A20)が待機位置に
戻る。なお、これら一連の動作を制御するには通常の位
置センサーや圧力センサーを備えた制御回路を用いれば
よい。

【００２１】(III)シート供給手段Ｂ シート供給手段Ｂは、図１および５に示すように、シー
トを巻装保持するロール(B10)、シートの引出手段(B2
0)、およびシートの切断手段(B30)からなり、これらは
外枠(A30)の長手方向に設けたレール(B40)に沿って設け
られており、さらに保持手段Ａの移動を妨げないよう
に、ラッピング位置を間にして上記保持手段Ａの向かい
側に配設されている。上記ロール(B10)には長尺のラッ
ピングシートＳが巻装されており、引出手段(B20)によ
り順次引出して使用される。なお、好ましくは、シート
を巻装したロール(B10)はクリーンブース内に収納して
外部からの汚染を防止する。

【００２２】引出手段(B20)は、その好適な一例として
図５に示すように、ラッピング位置と上記ロール(B10)
の間を往復動する一対の走行体(B21)とその先端に設け
たチャック(B22)によって形成されている。シートＳの
引き出し方向に沿ってその両側に配設されたレール(B4
0)に相対向する一対の走行体(B21)が摺動自在に装着さ
れており、該走行体(B21)のシートＳに面する先端にチ
ャック(B22)が設けられている。このチャック(B22)は、
一例として、爪が開閉してシートを把持する構造のもの
を用いることができる。なお、図示する例はシート先端
の両側部を把持する構造であるが、シートの引出方向に
面する先端部を把持するものでも良い。該チャック(B2
2)を備えた走行体(B21)からなる一対の走行チャック(引
出手段：B20)は駆動手段(図示省略)によって該レール上
を同期して移動する。

【００２３】切断手段(B30)は、引き出されたシートＳ
を保持するピンチロール(B31)、コ字型クランプ(B32)、
カッター(B33)、および平型クランプ(B34)によって形成
されており、これらはシートＳの引き出し方向に沿って
順にラッピング位置と上記ロール(B10)の間に設けられ
ている。これらのピンチロール(B31)、コ字型クランプ
(B32)、カッター(B33)、平型クランプ(B34)はおのおの
シートＳを横断するように配設されており、上記走行チ
ャック(B20)はこれらコ字型クランプ(B32)、カッター(B
33)および平型クランプ(B34)の両端側方を走行する。

【００２４】石英ルツボがラッピング位置に搬入される
際、シートＳの先端部分はピンチロール(B31)とコ字型
クランプ(B32)によって挟まれており、平型クランプ(B3
4)は開いている。シートＳを引き出す指令を受けて走行
チャック(B20)がコ字型クランプ(B32)の位置に移動し、
該チャック(B32)の内側に走行チャック(B20)の先端を差
し入れてシート先端の両側を把持する。次いで、コ字型
クランプ(B32)が開き、走行チャック(B20)がシート先端
を把持した状態でラッピング位置(シート固定手段Ｄ)に
向かって移動し、シートＳを所定長さ引き出す。その
後、コ字型クランプ(B32)と平型クランプ(B34)が閉じて
シートＳを固定し、これらのチャック(B32,B34)によっ
て把持された間の部分がカッター(B33)によって切断さ
れる。切断後、平型クランプ(B34)が開き、引き続き走
行チャック(B20)が移動して切断されたシートＳを支持
台(C10)の上側に設置する。石英ルツボのラッピング
後、再度、走行チャック(B20)が移動して上記動作を繰
り返す。

【００２５】(IV)シート被覆手段Ｃ シート被覆手段Ｃは図１、２および図６に示すように、
ラッピング位置に設けた支持台(C10)とガイド部材(C20)
を有する。図示する例では、支持台(C10)は石英ルツボ
をその開口部が下向きの状態で支えるように、環状に配
設された複数の支持片(C10a〜C10h)によって形成されて
いる。支持台(C10)の上側にはシートが引き出されるの
で、上記各支持片(C10a〜C10h)はシートの引出位置より
下方に位置している。さらに、上記支持片(C10a〜C10h)
を一体に或いは同期して上下動する昇降手段(図示省略)
が付設されており、これにより該支持台(C10)は石英ル
ツボを載置した状態で上下動が可能である。

【００２６】ガイド部材(C20)は上記支持台(C10)に載置
された石英ルツボ開口部を囲むように支持台(C10)の周
囲に配設されている。該ガイド部材(C20)は引出された
シートを支えることができるようにシートの引出位置よ
り下方に位置している。図示する例では、ガイド部材(C
20)の中央部に上記支持台(C10)を臨む空間が形成されて
おり、この内側に支持片(C10a〜C10h)が環状に配設され
ている。

【００２７】上記シート被覆手段Ｃにおいて、ガイド部
材(C20)の上面にシートＳが引き出されて切断された
後、このシートＳを間にして上記支持台(C10)に石英ル
ツボＲが上記保持手段Ａによって載せられる。上記支持
台(C10)が下降し、石英ルツボの開口部がガイド部材(C2
0)に囲まれた空間を潜り抜ける際に、ガイド部材の上面
で上記空間より外側に広がっているシート周縁部がガイ
ド部材に案内されて上記空間の内側(ルツボ側)に折り込
まれ、石英ルツボの周面に押し当てられる。

【００２８】上記空間の内側に折り込まれたシート周縁
部を確実にルツボの周面に押し当てるよう、ガイド部材
(C20)をルツボ周面に向かって摺動自在に形成すると良
い。具体的には、複数の板材を用い、上記空間を囲むよ
うにこれらの板材(ガイド板)を摺動自在に設けて上記ガ
イド部材(C20)を形成する。支持台が下降して石英ルツ
ボの開口部が上記空間を潜り抜ける際、空間からはみ出
すシート周縁部が空間の内側に押し込められた状態でガ
イド板をルツボ周面に向かって摺動させることにより、
シートの周縁部がルツボ周面へさらに押し当てられる。
この場合、ガイド部材を２段に設け、上段を支持台を囲
むように設けた固定部材とし、下段を摺動自在なガイド
板によって形成することもできる。

【００２９】(V)シート固定手段Ｄ シート固定手段Ｄの好適な一例を図７に示す。図示する
固定手段Ｄは、石英ルツボの開口部を覆うシートに輪ゴ
ムＷを嵌着するタイプのものであり、輪ゴムを保持する
カセット(D10)と、該カセットを囲んで設けられた輪ゴ
ムの拡張手段(D20)からなる。上記カセット(D10)は環状
に配設された上記支持片(C10a〜C10h)の内側に設けられ
ている。該カセット(D10)には輪ゴムを張架するために
複数のピン(図示省略)が環状に配設されている。さらに
カセット(D10)には昇降手段(図示省略)が設けられてお
り、上記支持台(C10)とは独立に昇降するように形成さ
れている。

【００３０】一方、拡張手段(D20)は複数の伸縮アーム
(D22)およびその先端に装着されたフック(D21)を有す
る。伸縮アーム(D22)は上記カセット(D10)を囲み、かつ
該アームの伸縮により拡張された輪ゴムがルツボの径よ
りも大きくなるように上記支持台(C10)を囲むように設
けられている。さらに、各アーム(D22)はその伸縮が支
持台によって妨げられないように、隣接する支持台の間
をアームが伸縮できるように設けられる。アーム(D22)
の伸縮手段としては図示するようなシリンダー状の駆動
手段が使用できる。

【００３１】上記固定手段Ｄにおいて、制御回路(図示
省略)の指令を受けてカセット(D10)が上昇し、輪ゴムが
張架されている位置を伸縮アーム(D22)の高さに合わせ
る。引き続き、カセット(D10)の輪ゴムに向かって周囲
からアーム(D22)が伸び、それぞれの先端に装着したフ
ック(D21)に輪ゴムＷを係合する[図７(a)]。この状態で
各アーム(D22)が後退して輪ゴムＷを拡げた状態で待機
し[図７(b)]、カセット(D10)は待機位置に下降する。そ
の後、拡げた輪ゴムＷの内側に、石英ルツボＲが開口部
をシートで覆われた状態で進入し、フック(D22)の係合
が解除されて輪ゴムＷがアーム(D22)から外れ、石英ル
ツボ開口部に掛けられる。

【００３２】上記自動ラッピング装置のラッピング工程
を図８および図９に基づいて説明する。初期状態(ａ)に
は、支持台(C10)とカセット(D10)は待機位置にある。カ
セット(D10)が輪ゴムの装着位置に上昇すると、伸縮ア
ーム(D22)がカセット(D10)に向かって伸び、アーム(D2
2)のフックに輪ゴムＷを係合する(図８ｂ)。アーム(D2
2)が後退して輪ゴムＷを拡張した待機位置に戻ると、カ
セット(D10)が待機位置に下降し、支持台(C10)がアーム
の待機位置より上方の受入位置に上昇する(図８ｃ)。こ
の受入位置はガイド部材(C20)と同じ高さにあり、続い
て、支持台(C10)およびガイド部材(C20)の上面にシート
Ｓが引出される。このシートＳを挟み込んだ状態で石英
ルツボＲがその開口部を下向きにして支持台(C10)に該
載置される(図８ｅ)。

【００３３】次いで、支持台(C10)がシートＳおよびル
ツボＲを載置した状態で、拡げた輪ゴムＷの待機位置よ
り下方に下降する。このとき、ガイド部材の上面に張り
出していたシートの周縁部(S1)がガイド部材(C20)に案
内されてルツボ側に折り曲げられる(図９ｆ)。ここでガ
イド部材(C20)を石英ルツボＲに向かって摺動し、シー
ト周縁部をルツボ周面に押し当てると良い(図９ｇ)。次
いで、アーム先端のフック(D21)の係合を解除して輪ゴ
ムＷをシートＳの外側から石英ルツボ開口部周面に掛
け、シートＳを挟み込む状態で固定する(図９ｈ)。その
後、アーム(D22)およびガイド部材(C20)は後退して元の
位置に戻り、支持台(C10)は受入位置に上昇する(図９
ｉ)。ラッピングされた石英ルツボＲは保持手段Ａによ
って支持台(C10)から持ち上げられ、ラッピング位置か
ら搬出されて(図９ｊ)、初期状態(図８ａ)に戻る。

【００３４】

【発明の効果】本発明のラッピング装置によれば、製造
された石英ルツボをクリーンな状態でラッピングするこ
とができ、取扱いの困難な大型の石英ルツボのラッピン
グに好適である。特に本発明のラッピング装置は石英ル
ツボの開口部を封止するため、ルツボ内周部を高純度に
保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明装置の全体構成の概略を示す外観図。

【図２】 上記装置の概略平面図。

【図３】 上記装置の概略側面図。

【図４】 保持手段Ａの概略斜視図。

【図５】 シート供給手段Ｂの概略斜視図。

【図６】 ラッピング機構の概略斜視図。

【図７】 シート固定手段Ｄの概略模式図。

【図８】 本発明装置によるラッピング工程の説明図。

【図９】 上記ラッピング工程の説明図

【符号の説明】

Ａ：保持手段、Ｂ：シート供給手段、Ｃ：シート被覆手
段、Ｄ：シート固定手段、Ｒ：石英ルツボ、Ｓ：シー
ト、A10：アーム、A20：走行フレーム、A30：外枠、B1
0：保持ロール、B20：引出手段、B30：切断手段、C10：
支持台、C10a〜C10h：支持片、C20：ガイド部材、D10：
カセット、D20：拡張手段、D21：フック、D22：伸縮ア
ーム、Ｗ：輪ゴム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福井 正徳 秋田県秋田市茨島５丁目14番３号 三菱マ テリアルクォーツ株式会社開発センター内 Ｆターム(参考） 4G014 AH00

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 石英ルツボの開口部をラッピングする装
   置であり、石英ルツボの開口部をラッピング位置に面し
   て保持する手段Ａ、ラッピング用のシートをラッピング
   位置に供給する手段Ｂ、ラッピング位置で該シートを上
   記開口部に被せる手段Ｃ、該シートを固定する手段Ｄを
   備えており、上記保持手段Ａが石英ルツボを保持する伸
   縮自在なアーム(A10)を有し、上記シート被覆手段Ｃが
   石英ルツボを載置する支持台(C10)とガイド部材(C20)に
   よって形成され、ラッピング位置に設けた支持台を囲ん
   で上記ガイド部材が配設されており、支持台の石英ルツ
   ボ開口部を覆うシートの周縁がガイド部材によって上記
   開口部周面に押し当てられ、上記固定手段Ｄによって該
   開口部に固定されることを特徴とする石英ルツボの自動
   ラッピング装置。
2. 【請求項２】 石英ルツボ保持手段Ａが複数の伸縮自在
   なアーム(A10)、該アームを装着したフレーム(A20)、該
   フレームの走行手段と昇降手段とを有し、上記アーム(A
   10)が石英ルツボを両側から挟み込むように相対向して
   設置されている請求項１に記載のラッピング装置。
3. 【請求項３】 シート供給手段Ｂがシートを保持するロ
   ール(B10)およびシートの引出手段(B20)と切断手段(B3
   0)とを有し、該引出手段(B20)がラッピング位置と上記
   ロールの間を往復動する走行チャックによって形成され
   ており、また上記切断手段(B30)がラッピング位置と上
   記ロールの間に設けられており、上記ロールに保持され
   ているシートの端部が上記走行チャックによって所定長
   さ引き出され、切断されてラッピング位置に設置される
   請求項１または２に記載のラッピング装置。
4. 【請求項４】 シート被覆手段Ｃの支持台(C10)は、石
   英ルツボ開口部を下向きに支えるように環状に配設され
   ており、かつ引き出されたシートを挟み込んで石英ルツ
   ボを載せるようにシートの引出位置より下方に位置し、
   さらに該支持台に昇降手段が設けられており、該支持台
   と共に石英ルツボが下降する際にガイド部材に案内され
   てシートの周縁が石英ルツボ開口部に押し当てられる請
   求項１〜３のいずれかに記載するラッピング装置。
5. 【請求項５】 シート固定手段Ｄが石英ルツボの開口部
   を覆うシートに輪ゴムを嵌着する手段であって、輪ゴム
   を保持するカセット(D10)、輪ゴムを石英ルツボ開口部
   より拡げる手段(D20)を有し、カセット(D10)はラッピン
   グ位置に対して昇降自在に形成されており、また上記拡
   張手段(D20)は輪ゴムに係合するフック(D21)を先端に備
   えた伸縮アーム(D22)によって形成されており、上記カ
   セットを囲んで複数の伸縮アームが配設されている請求
   項１〜４のいずれかに記載するラッピング装置。
6. 【請求項６】 シート固定手段Ｄがシートを石英ルツボ
   開口部に熱融着する手段であって、先端にヒータ部を備
   えると共にラッピング位置の石英ルツボ開口部に向かっ
   て伸縮自在に配設した熱融着アームによって形成されて
   いる請求項１〜４のいずれかに記載するラッピング装
   置。
7. 【請求項７】 石英ルツボ保持手段Ａ、シート供給手段
   Ｂ、シート被覆手段Ｃ、シート固定手段Ｄの各動作を一
   体に自動化する制御手段Ｅを有し、石英ルツボのラッピ
   ングを自動的に行う請求項１〜６のいずれかに記載する
   ラッピング装置。