JP2000206099A - ガス濃度センサ - Google Patents
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Abstract
ス濃度センサを提供すること。 【解決手段】 劣化品において最初の反射波(第1反射
波)の伝播時間T1’は、新品の第1反射波の伝播時間
T1と比べて長くなるので、新品の第1反射波の伝播時
間T1に基づいて、特定ガスのガス濃度を測定すると、
正確にガス濃度を検出できない。一方、最初の反射波よ
り後の反射波(例えば第2反射波)は、単に超音波素子
の表面で反射するだけであり素子内部の構造に影響され
ないので、センサが劣化した場合でも、その伝播時間T
2,T2’の変動は少なく、劣化の影響が少ない。そこ
で、劣化の影響を受け易い第1反射波ではなく、劣化の
影響を受け難い第2反射波の伝播時間に基づいて、特定
ガスのガス濃度を検出する。これにより、精度の高いガ
ス濃度の測定ができる。
Description
エンジンの吸気管へ供給される例えば吸入空気中の蒸発
燃料等の可燃性ガスのガス濃度を測定するガス濃度セン
サに関する。
燃料の供給系としては、燃料タンクからフューエルポン
プにより汲み上げた燃料を、燃料配管を介してインジェ
クタへ送る第1の供給系がある。
する蒸発燃料をキャニスタで一時的に吸着し、このキャ
ニスタに溜まった燃料をパージして、パージガスとして
吸気管へ送る第2の供給系がある。従って、エンジンで
は、インジェクタからの噴射燃料に加えて、パージガス
等の蒸発燃料(以下単にパージガスと記す)を、シリン
ダ内で燃焼させるようになっている。
は別にパージガスをエンジンに供給することにより、燃
焼制御において空燃比が理論空燃比からズレてしまう
と、触媒のCO,HC,NOxの浄化能力が激減するこ
とになり、その結果、排出ガス中のCO、HC、NOx
等が増加してしまう。
媒不活性時において、燃焼用主燃料系としてパージガス
を使用するためには、パージガスの濃度を高精度で測定
し、且つその供給量を最適に制御することが極めて重要
である。しかしながら、パージガスの測定用センサとし
ては、例えば超音波を利用したもの(超音波センサ)が
考えられ、その開発が進められているが、必ずしも十分
ではない。
た超音波の伝播時間に基づいてパージガスの濃度を検出
するものであるが、例えば超音波センサの超音波素子を
構成する材料に経時劣化が生じている場合などには、超
音波素子の特性が変化してしまうので、測定する超音波
の伝播時間も変化し、結果として、パージガスの濃度を
高精度に測定することは容易ではないという問題があっ
た。
基づいて、パージガスの濃度の制御を精度良く行なうこ
とが極めて難しいという問題があった。本発明は前記問
題点を解決するためになされたものであり、その目的
は、例えばパージガスのような特定ガスのガス濃度を高
精度に測定することができるガス濃度センサを提供する
ことである。
るための請求項1の発明は、超音波を利用して被測定ガ
ス中の特定ガスのガス濃度を検出するガス濃度センサで
あって、前記被測定ガスが供給される空間を介して所定
の距離離れた反射面へ超音波を送信する超音波素子を備
え、該超音波素子により前記反射面に超音波を送信し
て、前記反射面にて反射した反射波を前記超音波素子側
にて反射させて再度反射面にて反射させ、最初の反射波
より後の反射波の伝播時間に基づいて、前記特定ガスの
ガス濃度を検出することを特徴とするガス濃度センサを
要旨とする。
て特定ガスのガス濃度を測定する場合には、被測定ガス
中に超音波を送信し、その超音波を受信するまでの時
間、或は反射面で反射した反射波を受信するまでの時間
を測定し、その時間(伝播時間)の長さに基づいて特定
ガスのガス濃度を求めている。
中の特定ガスのガス濃度に応じて、超音波の伝播時間が
変化するという特性を利用したものである。ところが、
経時劣化等により超音波素子の例えばモールド材の特性
が変化した場合には、図8に例示する様に、劣化品(O
LD)において最初の反射波(第1反射波)の伝播時間
T1’は、新品(NEW)の第1反射波の伝播時間T1
と比べて長くなるので、新品の第1反射波の伝播時間T
1に基づいて、特定ガスのガス濃度を測定すると、正確
にガス濃度を検出できない。一方、最初の反射波より後
の反射波(例えば第2反射波)は、単に超音波素子の表
面で反射するだけであり素子内部の構造に影響されない
ので、図示する様に、センサが劣化した場合でも、その
伝播時間T2,T2’の変動は少なく、劣化の影響が少
ない。
い最初の反射波(第1反射波)ではなく、劣化の影響を
受け難い第2反射波以降の反射波の伝播時間に基づい
て、特定ガスのガス濃度を検出するものである。これに
より、精度の高いガス濃度の測定ができ、よって、この
高い精度の測定結果に基づいて、精密にガス濃度を調節
することにより、例えば空燃比制御等を好適に行うこと
ができる。
最初に反射した第1反射波と、該第1反射波が前記反射
面にて反射した第2反射波とを検出して、前記第1反射
波が到達してから前記第2反射波の反射波が到達するま
での時間を測定することにより、前記特定ガスのガス濃
度を検出することを特徴とする前記請求項1に記載のガ
ス濃度センサを要旨とする。
ス濃度を検出する場合には、超音波素子により、被測定
ガスが供給される空間を介して所定距離離れた反射面に
超音波を送信する。そして、この超音波が最初に反射面
にて反射した第1反射波を例えば超音波素子により検出
し、更に、第1反射波が超音波素子により反射して再度
反射面にて反射した第2反射波を検出する。次に、第1
反射波が到達してから第2反射波が到達するまでの時間
(従って第2反射波の伝播時間)を測定することによ
り、特定ガスのガス濃度を検出する。
化した場合でも、その伝播時間の変動は少なく、センサ
の劣化の影響が少ない。また、第2反射波は、それ以降
の反射波よりもセンサ出力の減衰の程度が少ないので、
その受信波形を明瞭に検出できる。
受け易い第1反射波ではなく、センサ劣化の影響を受け
難い第2反射波の伝播時間、即ち、第1反射波が到達し
てから第2反射波又はそれ以上の反射波が到達するまで
の時間を測定することにより、特定ガスのガス濃度を検
出するものである。
定ができ、よって、この高い精度の測定結果に基づい
て、精密にガス濃度を調節することにより、例えば空燃
比制御等を好適に行うことができる。 (3)請求項3の発明は、前記超音波の送信時から前記
第1反射波の到達までの第1到達時間と、前記送信時か
ら前記第2反射波の到達までの第2到達時間とを測定
し、前記第2到達時間と前記第1到達時間との差に基づ
いて、前記ガス濃度を検出することを特徴とする前記請
求項1又は2に記載のガス濃度センサを要旨とする。
示したものである。ここでは、超音波の送信時から第1
反射波の到達までの第1到達時間と、送信時から第2反
射波の到達までの第2到達時間とを測定している。例え
ば図7に示す様に、第2到達時間(T3)と第1到達時
間(T1)を測定する。そして、両時間の差(T2)を
算出し、その差が第2反射波の伝播時間を示すので、そ
の差に基づいて、ガス濃度を検出する。
定するための基準を、前記超音波の受信信号の強度が所
定のしきい値を越えた時とすることを特徴とする前記請
求項1〜3のいずれかに記載のガス濃度センサを要旨と
する。
求める際の測定のタイミングを例示したものである。こ
こでは、超音波の受信信号の強度が所定のしきい値を越
えた時を、超音波の伝播時間や到達時間を測定するタイ
ミングとする。これにより、簡単な手段で、超音波の伝
播時間や到達時間を測定できる。
播するのに要した時間であり、到達時間とは、基準とな
る測定開始タイミングから各反射波が到達するまでの時
間であり、第1反射波に関しては同じ意味となる。 (5)請求項5の発明は、少なくとも2種類以上の周波
数成分を含む超音波を送信し、該超音波が予め決められ
た距離を伝播する伝播時間を、前記超音波の変調点を利
用して測定することにより、前記ガス濃度を検出するこ
とを特徴とする前記請求項1〜3のいずれかに記載のガ
ス濃度センサを要旨とする。
測定のタイミングを例示したものである。ここでは、図
7に例示する様に、少なくとも2種類以上の周波数成分
を含む超音波を送信し、例えば送信時の変調点から第1
反射波の変調点までの時間(T1)や、第2反射波の変
調点までの時間(T3)等を測定する。これにより、信
号の強弱にかかわらず、正確に超音波の伝播時間を測定
することができる。
信する場合に、少なくとも1点以上の逆位相成分を入れ
て送信し、前記超音波が予め決められた距離を伝播する
伝播時間を、前記逆位相点を利用して測定することによ
り、前記ガス濃度を検出することを特徴とするガス前記
請求項1〜3のいずれかに記載のガス濃度センサを要旨
とする。
測定のタイミングを例示したものである。ここでは、図
10に例示する様に、超音波を送信する場合に、少なく
とも1点以上の逆位相成分を入れて送信し、超音波が予
め決められた距離を伝播する時間を、その逆位相点を利
用して測定する。これにより、周波数変調を行わなくて
も、信号の強弱にかかわらず、正確に超音波の伝播時間
を測定することができる。
が、内燃機関用エンジンの蒸発燃料であることを特徴と
する前記請求項1〜6のいずれかに記載のガス濃度セン
サを要旨とする。本発明は、ガス濃度センサの測定対象
の特定ガスの種類を例示したものである。ここでは、特
定ガスとして、パージガス等の蒸発燃料を測定対象とし
ている。これにより、燃料ガスのガス濃度を正確に測定
できるので、空燃比制御等を好適に行うことができる。
実施の形態の例(実施例)を、図面を参照して説明す
る。 (実施例1)本発明は、超音波を利用したガス濃度セン
サにより、蒸発燃料のガス濃度を測定するものである。
を説明する。図1はガス濃度センサを含むシステム構成
図である。図1に示す様に、本実施例では、エンジン1
の吸気管2には、その上流側より、吸入空気量を調節す
るスロットルバルブ3、パージガスのガス濃度を検出す
る第4ガス濃度センサ24、燃料を噴射するインジェク
タ6が配置されている。
より、排ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサ(全領
域空燃比センサ)8、排ガスを浄化する3元触媒9が配
置されている。また、エンジン1に燃料を供給する経路
として、液体の燃料を供給する第1の供給系と、気体
(ガス)の燃料を供給する第2の供給系を備えている。
11は、第1供給路12及び燃料ポンプ15を介して、
インジェクタ6に接続されている。従って、燃料は、ガ
ソリンタンク11から、燃料ポンプ15により、第1供
給路12を介してインジェクタ6に供給され、インジェ
クタ6から吸気管2内に噴射供給される。
ク11は、第2供給路13を介してキャニスタ14に接
続され、キャニスタ14は、第3供給路16及びパージ
バルブ17を介して、スロットルバルブ3と第4ガス濃
度センサ24との間の吸気管2に接続されている。
3、キャニスタ14、キャニスタ14からパージバルブ
17の間の第3供給路16には、各々蒸発燃料のガス濃
度を検出する第1ガス濃度センサ21、第2ガス濃度セ
ンサ22、第3ガス濃度センサ23が配置されている。
これら第1〜第3ガス濃度センサ21〜23は、いずれ
か1つを配置しても良い。尚、蒸発燃料のうち、キャニ
スタ14からパージ(蒸発による排出)されたものをパ
ージガスと称する。
燃料は、一旦キャニスタ14にて吸着され、このキャニ
スタ14で適宜外気が導入されて、燃料のパージが行わ
れる。そして、パージにより発生した蒸発燃料(パージ
ガス)は、パージバルブ17にてガス流量を調節され
て、スロットルバルブ3と第4ガス濃度センサ24との
間の吸気管2に供給される。
給量の制御や空燃比の制御などを、電子制御装置(EC
U)26で行なっている。このECU26には、第1〜
第4ガス濃度センサ21〜24(以下ガス濃度センサ2
5と総称する)、酸素センサ8、エアフロメータ10等
の各種のセンサからの信号が入力するとともに、パージ
バルブ17、スロットルバルブ3、インジェクタ6等の
各種のアクチュエータに制御信号を出力する。尚、EC
U26は、ガス濃度センサ25に対しても、そのオン・
オフ等の制御信号も出力する。
の構造及びその基本原理について説明する。 まず、ガス濃度センサ25の構造を説明する。本実施
例のガス濃度センサ25は、圧電素子を利用して超音波
を発生する超音波式のガス濃度センサであり、特に超音
波の送信と受信とが兼用の超音波送受信素子(素子AS
SY)を用いる。
ンサ25は、駆動・演算用回路31、超音波送受信素子
(以下単に超音波素子とも記す)32、蒸発燃料を含む
吸入空気が導入される測定室34、その測定室34内に
て超音波を反射させるために超音波素子32と対向する
側に所定距離離れて設けられた反射面33、吸入空気が
流入・流出するガス入出孔(入口36,出口37)より
構成されている。
合層39が接着され、素子ケース41内にモールド材4
2によって固定されている。尚、センサ出力は出力取り
出しリード43にて取り出される。 次に、ガス濃度センサ25の駆動・演算用回路31の
構成を説明する。
ンサ25の駆動及び演算には、CPU(マイコン)51
を用いる。超音波の送信及び受信は、送受信切り換えス
イッチ(SW)52a,52bを用いて切り換える。そ
して、送信時には、ドライバーを用いて超音波素子32
へ電圧を印加し、超音波の送信を行なう。一方、受信時
には、超音波素子32にて得られた受信波形は、アンプ
(増幅AMP)53で所定の増幅が施され、コンパレー
タ54を通して整形された波形の信号は、CPU51内
部に導入される。CPU51では、タイマーを用いて伝
播時間を測定し、この測定結果をマップに参照して濃度
に換算し、その濃度を例えば図示しない表示装置等に出
力する。
ついて説明する。尚、図4では、説明のために、送信部
25bと受信部25aとを別体に示しているが、本実施
例では、送信と受信との兼用素子を用いる。図4に示す
様に、ガス濃度センサ25を用いて濃度測定を行なう場
合には、送信部25bから超音波を送信し、その超音波
を受信部25aにより受信する。このとき、送信波形と
受信波形との間には、例えば吸入空気中のパージガスの
ガス濃度に応じて伝播時間のズレがある。例えば図4
(a)に示す様に、パージガスのガス濃度が低い場合に
は、送信波形と受信波形とのズレである伝播時間T1は
小さく、一方、図4(b)に示す様に、パージガスのガ
ス濃度が高い場合には、伝播時間T2は大きい。従っ
て、この伝播時間に対応したセンサ出力を取り出すこと
により、ガス濃度を検出することができる。
いて測定した場合には、センサ出力とブタンのガス濃度
との間には、図5に示すように、ほぼ比例関係がある。
従って、センサ出力が得られれば、そのセンサ出力か
ら、パージガスの濃度を検出することができる。
前記基本原理を用いて、実際に蒸発燃料(パージガス)
のガス濃度を測定する方法を説明する。 まず、超音波の伝播時間からガス濃度を算出するため
の演算式の例について説明する。
音波の送信波に、F1とF2という2種類の周波数成分
を含めて送信を行う。即ち、送信周波数をF1からF2
に変調する。その場合には、受信波にも、その周波数変
化が反映されるので、受信波において変調点が出現する
時間を到達時間とする。つまり、周波数の切換点(例え
ば送信波−反射波の各々の変調点)間の時間を測定すれ
ば、その伝播時間が判る。
から、ガス濃度を示す超音波の音速Cを、下記式(1)
から算出する。つまり、図6(b)に示す様に、超音波
素子32の外表面(整合層39の表面)と所定の反射面
33との距離Lが既知であることから、その距離Lを1
往復する時間である伝播時間Tを測定し、前記距離L及
び伝播時間Tを、下記式(1)に当てはめて、音速Cを
算出する。
として取り出すことにより、前記図5に示す様なマップ
から、ガス濃度を求めることができるのである。
度の測定方法を説明する。図7に、音速Cを測定する場
合の送受信波形を示すが、周波数変調した送信波を送信
すると、その送信波は、反射面33で反射して、超音波
素子32にて、反射波(第1反射波)として検出され
る。その第1反射波は、この超音波素子32の表面で反
射して、再度反射面33にて反射し、再度超音波素子3
2にて、反射波の反射波(第2反射波)として検出され
る。以下、同様な反射が繰り返されるが、伝播距離が長
くなるに従い、反射波は徐々に減衰してゆく。
定時間経過すると、次の送信波を送信するために送受信
切り換えスイッチ52a,52bが切り替えられて、次
の送信波が送信され、以後、同様な処理が繰り返され
る。このとき、マイコン入力波形(即ちコンパレータ出
力)は、図7に示す状態となるので、その周波数の変調
点間の時間を測定する。つまり、受信波を、コンパレー
タで所定のスレッショルドレベルに基づいて、デジタル
信号(ハイ+ロー)に変換した後、マイコンに入力し、
内部タイマ等でデジタル信号の立ち上がり及び立ち下が
り時間を測定することにより、その変調点が判るので、
各変調点間の時間を求めることができる。
1反射波の変調点までの第1到達時間(従って第1伝播
時間)T1を測定するとともに、送信波の変調点から第
2反射波の変調点までの第2到達時間T3を測定する。
そして、第2到達時間T3から第1到達時間T1を差し
引いて、第2反射波の伝播時間(第2伝播時間T2)を
求める。
めた第2伝播時間T2を用いて、ガス濃度を検出するの
であるが、これは、下記の理由による。例えば超音波素
子32のモードル材42の経時劣化等により、第1伝播
時間T1は変動する。つまり、第1伝播時間T1のズレ
発生要因は、モールド材42が硬化したり、吸水し重く
なると圧電素子38の慣性が変化することにより、結果
として受信波形の振幅(感度)に影響を与えるのみなら
ず、変調点のズレを伴うことが考えられる。
のあるセンサ(OLD)と新品のセンサ(NEW)とを
比べると、OLDのセンサでは、その第1反射波は、山
数が減少したり振幅が減少するという変化がある。それ
によりOLDの第1伝播時間T1’は、NEWのセンサ
の第1伝播時間T1より長くなってしまう。ところが、
第2反射波は、同様の傾向で単に素子表面で反射した反
射波が反射面33で反射するだけであるので、経時劣化
の影響を受けず、よって、NEWのセンサの第2伝播時
間T2とOLDのセンサの第2伝播時間T2’とは同じ
となる。
伝播時間として、この第2伝播時間を用いれば、経時劣
化の影響を受けないので、常に正しい音速Cを測定する
ことができる。これは、経時劣化がある場合でも、第2
伝播時間を測定すれば、第1反射波及び第2反射波の変
調点も共にズレることにより、前記経時変化による変調
点のズレはキャンセルできることになり、経時変化にか
かわらず正しく伝播時間が測定できることになるからで
ある。
時間を用いて音速Cを算出し、この音速Cに対応したセ
ンサ出力を求め、このセンサ出力を図5の様なマップに
当てはめて、ガス濃度を検出するのである。尚、前記方
法とは別に、ある変調点を検出してから次の変調点を検
出するまでの時間を直接に計測しても、同様の結果が得
られる。また、変調点での波形は、コンパレータ54の
スレッショルドレベルの設定によっては、再現性が欠け
る場合があるので、その変調点を基準に前何山目といっ
た様に、変調点を目安として使用しても良い。
を用いて行った実験例について説明する。実験車両とし
ては、直列6気筒2.0Lのエンジン搭載車を用い、空
燃比λ=1±0.03になるように制御した。
センサ出力(第1伝播時間使用)と、第1伝播時間を採
用した実車1000時間経過後のセンサ出力と、上記実
施例と同様に第2伝播時間を採用した実車1000時間
経過後のセンサ出力と、を調べた。その結果を図9に示
すが、図9(b)は図9(a)のうち濃度20%以下の
範囲を拡大して示したものである。
1伝播時間を用いた比較例の場合には、第1伝播時間が
長くなることによりセンサ出力も大きくなり、ズレが発
生している。それに対して、本実施例の第2伝播時間を
用いた場合には、センサに劣化がある場合でも、第2伝
播時間の変動がないので、センサ出力は新品時とほぼ同
様であり、好適である。
伝播時間である第2伝播時間、即ちセンサの劣化に影響
され難い第2伝播時間に基づいて、ガス濃度を求めるの
で、常に正確に蒸発燃料の濃度を求めることができる。
従って、この正確なガス濃度に基づいて、供給する蒸発
燃料の量を精密に調節できるので、精度のよい空燃比制
御等を行うことができる。 (実施例2)次に、実施例2について説明する。
省略又は簡略化する。本実施例では、超音波を送信する
場合に、図10(a)に示す様に、周波数逆位相成分
(180度)を導入する。従って、送信波形の逆位相ポ
イントには、信号波形が表れない。
信波形である反射波にも、逆位相ポイントに対応して信
号波形がない箇所が表れる。従って、逆位相成分が導入
された点を基準に伝播時間を測定することにより、経時
変化の影響を受けることなくガス濃度を測定することが
できる。
が表れる時間から、第1反射波の逆位相ポイントが表れ
る時間を差し引いて、第2反射波の伝播時間(第2伝播
時間)を正確に求めることができるので、この第2伝播
時間に基づいて、ガス濃度を測定することができる。 (実施例3)次に、実施例3について説明する。
省略又は簡略化する。本実施例では、図11(a)に示
す様に、周波数変調や周波数逆位相成分を導入すること
なく、一定の周波数の超音波を送信する。それにより、
図11(b)に示す様に、受信波形には大きさの変化の
ある波が表れるが、本実施例では、その受信波形を、コ
ンパレータ54にて所定のスレッショルドレベルにて判
定し、それを超音波の到達点(到達のタイミング)とす
る。
時間を測定することにより、経時変化の影響を受けるこ
となくガス濃度を測定することができる。具体的には、
第2反射波の超音波の到達点を示す時間から、第1反射
波の超音波の到達点を示す時間を引いて、第2反射波の
伝播時間(第2伝播時間)を求めることができるので、
この第2伝播時間に基づいて、ガス濃度を測定すること
ができる。
て、周波数変調や周波数逆位相成分の導入の必要がない
ので、センサの構成を簡易化できるという利点がある。
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の態様
で実施しうることはいうまでもない。
波の送信と受信とを別々の素子で行なうようにしても良
い。
ンサは、超音波素子により反射面に超音波を送信し、反
射面にて反射した反射波を更に反射面で反射させる場合
に、最初の反射波より後の反射波の伝播時間に基づい
て、特定ガスのガス濃度を検出するので、ガス濃度セン
サの経時変化等の影響を低減して、常に正確にガス濃度
を検出することができる。
基づいて、供給すべき特定ガスの量を精密に調節するこ
とができ、それにより、空燃比等の各種の制御を好適に
行なうことができる。
システム全体を示すシステム構成図である。
を示す説明図、(b)は超音波送受信素子を示す説明図
である。
図である。
る。
示すグラフである。
反射面との距離を示す説明図である。
を示すタイミングチャート、(b)は送受信波形を示す
タイミングチャート、(c)はコンパレータ出力を示す
タイミングチャートである。
信波形を示すタイミングチャートである。
%の範囲のガス濃度を示すグラフ、(b)は20%の範
囲を拡大したガス濃度を示すグラフである。
の送受信波形を示す説明図である。
の送受信波形を示す説明図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 超音波を利用して被測定ガス中の特定ガ
スのガス濃度を検出するガス濃度センサであって、 前記被測定ガスが供給される空間を介して所定の距離離
れた反射面へ超音波を送信する超音波素子を備え、 該超音波素子により前記反射面に超音波を送信して、前
記反射面にて反射した反射波を前記超音波素子側にて反
射させて再度反射面にて反射させ、最初の反射波より後
の反射波の伝播時間に基づいて、前記特定ガスのガス濃
度を検出することを特徴とするガス濃度センサ。 - 【請求項2】 前記反射面にて最初に反射した第1反射
波と、該第1反射波が前記反射面にて反射した第2反射
波とを検出して、前記第1反射波が到達してから前記第
2反射波の反射波が到達するまでの時間を測定すること
により、前記特定ガスのガス濃度を検出することを特徴
とする前記請求項1に記載のガス濃度センサ。 - 【請求項3】 前記超音波の送信時から前記第1反射波
の到達までの第1到達時間と、前記送信時から前記第2
反射波の到達までの第2到達時間とを測定し、前記第2
到達時間と前記第1到達時間との差に基づいて、前記ガ
ス濃度を検出することを特徴とする前記請求項1又は2
に記載のガス濃度センサ。 - 【請求項4】 前記各時間を測定するための基準を、前
記超音波の受信信号の強度が所定のしきい値を越えた時
とすることを特徴とする前記請求項1〜3のいずれかに
記載のガス濃度センサ。 - 【請求項5】 少なくとも2種類以上の周波数成分を含
む超音波を送信し、該超音波が予め決められた距離を伝
播する伝播時間を、前記超音波の変調点を利用して測定
することにより、前記ガス濃度を検出することを特徴と
する前記請求項1〜3のいずれかに記載のガス濃度セン
サ。 - 【請求項6】 前記超音波を送信する場合には、少なく
とも1点以上の逆位相成分を入れて送信し、前記超音波
が予め決められた距離を伝播する伝播時間を、前記逆位
相点を利用して測定することにより、前記ガス濃度を検
出することを特徴とするガス前記請求項1〜3のいずれ
かに記載のガス濃度センサ。 - 【請求項7】 前記特定ガスが、内燃機関用エンジンの
蒸発燃料であることを特徴とする前記請求項1〜6のい
ずれかに記載のガス濃度センサ。
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