JP2000205836A - 周期性開口パタ―ンの検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 面光源から試料の裏面を照明した際の透過光
に基づいて、該試料に貫通形成されている周期性開口の
パターンを検査する際、検査精度を向上する。 【解決手段】 試料の裏面を照射した際の透過光を撮像
して得られる透過光画像から周期性開口のパターンを検
査する際、正常な試料の基準透過光画像を撮像し、反射
光に起因して基準透過光画像に形成されている反射光領
域を特定し、その画像データに基づいて反射光画像Ｂを
予め作成し、検査時に撮像した対象透過光画像Ｄから反
射光画像Ｂを減算して補正透過光画像Ｅを作成し、該画
像Ｅから作成した透過率画像Ｆを基に検査する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、特にシャドウマス
ク等の周期性開口パターンが形成されている製品につい
て、開口面積のムラを正確に検査する際に適用して好適
な、周期性開口パターンの検査方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】周期性開口が形成されている製品（試
料）としては、例えばカラーテレビ用のシャドウマスク
やアパーチャグリル等がある。以下、シャドウマスクを
例に具体的に説明する。

【０００３】シャドウマスクには、周縁部を除くほぼ全
体に亘って、電子線を通過させるための微細な開口（貫
通孔）が縦横に周期的に形成されている。このように、
周期性開口が形成されているシャドウマスクでは、開口
の大きさ（開口面積）が等しく形成されていることが良
品の条件となるため、この裏面側より照明した際の透過
光の明るさの局所的な不均一性（ムラ）を観察し、その
程度が大きいシャドウマスクを不良品として分類する検
査が行われている。

【０００４】図６に概念的に示したように、明るさが均
一な理想的な面光源により、シャドウマスクＷを裏面側
より照射して、表面側から透過光を目視により観察する
と、図７（Ａ）のように、開口面積が等しい孔が規則的
に並んでいる場合には、シャドウマスクＷの全体につい
て観察される透過光のイメージは、同図（Ｂ）に示すよ
うに、全体的に明るさが均一になる。

【０００５】ところが、孔の開口面積にばらつきがある
場合には、透過光の量が開口面積に従って変化すること
から、明るさにムラが生じることになる。例えば、同図
（Ｃ）に示すように、等しい開口面積を持つ孔が規則的
に並んでいる領域の一部に、周囲より開口面積が大きい
孔（斜線部）がいくつか密集している場合には、透過光
のイメージは同図（Ｄ）に破線で示すように、その対応
部分が局所的に明るくなるために白いシミとして観察さ
れる。又、逆に、同図（Ｅ）に示すように、面積の小さ
い開口が密集している場合には、同図（Ｆ）に斜線部で
示すように、対応部分が黒いシミとして観察される。

【０００６】このような周期性パターンのムラの検査に
は、図８に要部構成を概念的に示したように、複数の高
周波又は直流点灯の蛍光灯（白熱灯等であってもよい）
からなる光源１０と、該光源１０の上方に配設され、そ
の光を拡散して均一にするための光拡散板（シート）１
２とを有する面光源１４と、該面光源１４の上方に配設
されたステージ１６と、該ステージ１６の上に、その開
口部１６Ａに検査領域が一致するように載置されたシャ
ドウマスクＷの上方に配置されたＣＣＤカメラ１８と、
該ＣＣＤカメラ１８から入力される画像データを処理す
る画像処理装置２０と、ここでの処理結果を表示するモ
ニタ２２とを備えた検査装置が用いられている。

【０００７】この検査装置によれば、矢印で示したよう
に光源１０からの光が拡散板１２を通してシャドウマス
クＷの裏面全体に照射されるため、そのときの透過光を
ＣＣＤカメラ１８で撮像し、入力される画像データに対
して所定の画像処理を施して検査することができる。

【０００８】ところが、上記図８の検査装置を用いる場
合には、照明光自体の明るさに不均一性がある場合に、
その明るさの違いが影響して精度良く透過光量を測定す
ることができないという問題がある。即ち、図９（Ａ）
に面光源１４からの照明光の明るさ（拡散板１２の明る
さに相当する）のイメージを概念的に示したように、蛍
光灯等の経時的な劣化に伴って周辺ほど暗くなるシェー
ディングが、面光源１４に生じている場合には、観察さ
れる透過光のイメージは、同様に周辺部が暗い同図
（Ｂ）のようになる。

【０００９】又、同図（Ｃ）にイメージを示したよう
に、面光源１４からの照明光の明るさが部分的に暗く
（又は、明るく）なっている場合には、同図（Ｄ）に示
すように、対応する透過光の位置が暗く（又は、明る
く）なる。このような面光源の不均一性は、前記図７に
示した開口面積のばらつきによるムラと混ざり合って、
開口面積に起因する本来のムラを検出され難くすると共
に、見掛け上のムラとして認識されて誤検出の原因とも
なる。

【００１０】このような問題点を解消するために、例え
ば特開平６−２２９７３６号公報等に、前記図８に示し
た検査装置と実質的に同一の装置を用い、同様にシャド
ウマスクＷの透過光ＩをＣＣＤカメラ１８で撮像して検
査画像データを入力すると共に、シャドウマスクＷをス
テージ１６から取り除いて試料用開口部１６Ａに何もな
い状態で面光源の照明光Ｉ1 そのものを撮像して光源画
像データを入力し、両画像データからシャドーマスクＳ
Ｍの各位置における透過率Ｉ／Ｉ1 を計算し、その計算
結果に基づいて検査することにより、光源のシェーディ
ングや時間的な変動の影響を除去することができる技術
が開示されている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記い
ずれの検査技術を採用する場合でも、試料であるシャド
ウマスクの裏面反射に起因して透過光にムラが生じると
いう、新たな問題があることが明らかになった。以下、
この問題点について詳述する。

【００１２】本発明者等は、前記図８に示した検査装置
において、図１０（Ａ）に示したような照明光のイメー
ジを有する全体的に均一な面光源１４を用いて、孔の開
口面積が均一なシャドウマスクを検査したところ、本来
全体的に均一な透過光からなる画像データが得られる筈
であるが、実際には同図（Ｂ）に示したように、中心付
近が周囲より明るい画像データが検出された。

【００１３】本発明者等は、この原因について詳細に検
討した結果、以下に詳述するように、シャドウマスクの
裏面反射に起因することが明らかになった。

【００１４】図１１（Ａ）に概念的に示したステージ１
６上にシャドウマスク（試料）がない状態から、同図
（Ｂ）に示したように、ステージ１６上にシャドウマス
クＷを載置した状態にすると、面光源１４からの照明光
は一部が開口部からＣＣＤカメラ１８方向に透過する
が、残りはシャドウマスクの裏面で反射され、裏面反射
光ＢＲとなる。

【００１５】その結果、この裏面反射光ＢＲは拡散板１
２で再び反射されてシャドウマスクＷの裏面を照射する
ことになるため、同図（Ｄ）に示したように、面光源１
４の中心付近における照明光が見掛け上強くなり、その
分だけ透過光量が実際より多くなるため、全体として不
均一な照明光を使用しているのと同じことになる。その
結果、精度良く透過光量を測定することができないこと
になる。

【００１６】又、前述した特開平６−２２９７３６号公
報等に開示されている、シャドウマスクがない場合の照
射光Ｉの画像データに対する、それがある場合の透過光
Ｉ1の画像データの比として、シャドウマスクの各位置
における透過率を算出する検査方法でも、同様に裏面反
射の影響が大きいことが明らかになった。

【００１７】即ち、図１２に、面光源１４からの任意位
置における照明光（量）Ｉ1 ′と、シャドウマスクの対
応する位置における透過光（量）Ｉの関係を概念的に示
したように、一般に同位置における透過率はＩ／Ｉ1 ′
として求められる。

【００１８】この透過率の計算に使用する照明光（量）
Ｉ1 ′は、本来シャドウマスクがステージ１６上にある
状態で測定されるべきものであるが、実際には測定でき
ないため、シャドウマスクがない状態で測定される照明
光（量）Ｉ1 を用いてＩ／Ｉ1 として求められている。
ところが、前記図１１で説明したように、シャドウマ
スクの裏面反射により、Ｉ1 ′≠Ｉ1 で、中心付近ほど
Ｉ1 ′＞Ｉ1 となるため、求められる透過率には誤差が
含まれ、中心付近ほどその値が大きくなる。従って、こ
のような透過率計算を利用した検査方法によっても、同
様に精度良くシャドーマスク全体の透過光を測定するこ
とができない。

【００１９】これを、図１３のフローチャートと、これ
に対応する図１４を用いて具体的に説明すると、ステッ
プ１で、前記図８に示した装置のステージ１６に試料
（シャドウマスク）が無い状態で面光源１４のみをカメ
ラ１８で撮像すると共に、ステップ２で、図８に示した
ように、試料Ｗをセットした状態で撮像することによ
り、図１４にそれぞれイメージを示したような光源画像
ａと、対象透過光画像ｂを得る。

【００２０】この光源画像ａは、拡散板１２により複数
の光源１０からの光のムラは十分に拡散されているた
め、全体にほぼ均一な明るさで得られる。ところが、上
述した如く、試料裏面の孔（開口部）以外の部分で照明
光が反射し、その反射光が光源側の拡散板１２で再び反
射して試料裏面を照射することになるため、対象透過光
画像ｂでは光源を撮像したときに比べて裏面反射光の分
だけ透過光量が多くなるため、中央部付近ｂ′の矩形範
囲が明るくなっている。

【００２１】次のステップ３で、これら光源画像ａによ
り対象透過光画像ｂを除算して透過率画像を作成する
と、図１４（Ｃ）にイメージを示すように、対象透過光
画像ｂの影響を補正できないため、同様に中央部付近
ｃ′の透過率が高くなってしまう。従って、上記透過率
画像ｃをモニタに表示して目視検査したり、画像処理に
より自動検査したりしたとしても正確な検査を行うこと
ができないことになる。

【００２２】特に、前記図５に示した白シミや黒シミと
なる開口面積のばらつきは非常に微小なので、照明光の
不均一性の影響を受けて正しく測定することができな
い。

【００２３】又、図示は省略するが、更に拡散効果の高
い拡散板や拡散シート等を使用して、試料裏面で反射し
た光を更に拡散させたとしても、その影響を完全に無く
すことができず、やはり中心付近の透過率が実際より高
くなってしまう。

【００２４】本発明は、前記新たな問題点を解決するべ
くなされたもので、面光源から試料の裏面を照明した際
の透過光に基づいて、該試料に貫通形成されている周期
性開口のパターンを検査する際、裏面反射の影響を防止
し、検査精度を向上することができる、周期性開口パタ
ーンの検査方法及び装置を提供することを課題とする。

【００２５】

【課題を解決するための手段】本発明は、光源と該光源
からの照射光を拡散する拡散板とを有する面光源により
試料の裏面を照射した際の透過光を、その表面側に配置
された撮像手段により撮像して得られる透過光画像に基
づいて、該試料に貫通形成されている周期性開口のパタ
ーンを検査する周期性開口パターンの検査方法におい
て、基準となる正常な試料について基準透過光画像を撮
像し、前記面光源からの照射光が試料の裏面で反射され
た後、前記拡散板で再反射された反射光に起因して、前
記基準透過光画像に形成されている反射光領域を特定
し、該反射光領域の画像データに基づいて反射光画像を
予め作成しておくと共に、検査時には、対象の試料を撮
像して得られる対象透過光画像から前記反射光画像を減
算して補正透過光画像を作成し、該補正透過光画像を用
いて前記周期性開口のパターンを検査することにより、
前記課題を解決したものである。

【００２６】本発明は、又、光源と該光源から照射光を
拡散する拡散板とを有する面光源により試料の裏面を照
射した際の透過光を、その表面側に配置された撮像手段
により撮像して得られる透過光画像を画像処理して、該
試料に貫通形成されている周期性開口のパターンを検査
する画像処理部を備えた周期性開口パターンの検査装置
において、前記画像処理部が、基準となる正常な試料を
予め撮像して得られた基準透過光画像について、前記面
光源からの照射光が試料の裏面で反射された後、前記拡
散板で再反射された反射光に起因して形成されている反
射光領域を特定する手段と、特定された反射光領域の画
像データに基づいて作成される反射光画像を保存する手
段と、検査対象の試料を撮像して得られる対象透過光画
像から、前記反射光画像を減算して補正透過光画像を作
成する手段と、作成された補正透過光画像を用いて前記
周期性開口のパターンを検査する手段とを備えたことに
より、同様に前記課題を解決したものである。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について詳細に説明する。

【００２８】図１は、本発明に係る一実施形態の検査装
置全体の概略構成を示すブロック図である。

【００２９】本実施形態の検査装置は、被検査物（試
料）を撮像して画像データを得るための画像入力部３
０、該画像入力部３０により入力された画像を処理す
る、前記画像処理装置２０を含む画像処理部３２と、該
画像処理部３２により処理された結果等を表示する、前
記モニタ２２を含む情報表示部３４と、オペレータとの
情報のやり取りを行う対人操作部３６と、試料を搬送す
るコンベア等の外部機構との情報のやり取りを行う機械
連動部３８と、これら検査装置各部３０〜３８の動作全
体を管理する装置制御部４０とで構成されている。

【００３０】これら各部について詳述すると、画像入力
部３０は、前記図８に二点鎖線で囲んで示した、光源１
０と拡散板１２とを有する面光源１４と、試料Ｗを載置
するステージ１６と、その上方に配置されたＣＣＤカメ
ラ１８とを含んで構成されている。このＣＣＤカメラと
しては、エリアセンサカメラやラインセンサカメラを利
用することができる。

【００３１】又、画像処理部３２としては、専用画像処
理装置やパーソナルコンピュータ等が利用できる。又、
情報表示部３４は、オペレータに対して検査進行状況、
検査結果、集計結果、過去の検査結果の履歴等を提示し
たり、撮像した画像や処理途中の画像あるいは処理後の
画像を表示する機能を有し、これにはＣＲＴモニタ、液
晶モニタ、ＬＥＤアレイ等が利用できる。

【００３２】又、対人操作部３６は、（１）オペレータ
からの検査に必要な入力操作を受け付ける、（２）被検
査物の特徴（サイズ等）を設定する、（３）画像処理部
３２の調整値（フィルタサイズ等）を設定する、（４）
画像入力部３０の調整値（シャッタースピード等）を設
定する等の機能を有し、これには機械式ボタン、タッチ
パネル、キーボード、マウス等が利用できる。

【００３３】又、機械連動部３８は、自動検査時の外部
機器との同期、例えば画像入力部３０への検査対象の供
給終了タイミング等をとったり、検査結果によって検査
対象の物流装置へ命令（検査対象の選別振分け指示、検
査部への供給停止）等を発行する機能を有し、これには
ＲＳ−２３２Ｃ、ＲＳ−４２、ＧＰＩＢ（General Purp
ose Interface Bus）、ＬＡＮ（イーサーネット）、パ
ラレルＩ／Ｏ、リレー等が利用できる。そして、以上の
各部３０〜３８の動作を管理する装置制御部４０として
は、専用装置、汎用シーケンサ、パーソナルコンピュー
タ等が利用できる。

【００３４】本実施形態の検査装置では、前記図８を参
照して説明すると、前記画像処理部３２が、前記画像入
力部３０により基準となる正常な試料を予め撮像して得
られた基準透過光画像について、前記面光源１４から照
射光が試料（シャドウマスク）Ｗの裏面で反射された
後、前記拡散板１２で再反射された反射光に起因して形
成されている反射光領域を特定する機能と、特定された
反射光領域の画像データに基づいて作成される反射光画
像を保存する機能と、検査対象の試料を撮像して得られ
る対象透過光画像から前記反射光画像を減算して補正透
過光画像を作成する機能と、作成された補正透過光画像
を用いて前記周期性開口のパターンを検査する機能とを
有している。

【００３５】又、前記画像処理部３２には、前記画像入
力部３０において、更に、試料がない状態で別途撮像し
て得られる光源画像により、前記補正透過光画像を除算
して透過率画像を作成し、該透過率画像を用いて前記周
期性開口パターンを検査する機能をも有している。

【００３６】又、本実施形態では、前記拡散板１２が光
源１０自体の影響を除去できる程度の低い拡散効果を有
しており、後述するように、透過光画像上に反射光領域
が明瞭に形成されるようになっている。

【００３７】次に、本実施形態の作用を、図２のフロー
チャートに従って説明する。なお、このフローチャート
で、細線の矢印は後述する図３（Ｃ）に示した補正関数
Ｆを得るための処理手順を、太線の矢印は検査開始以降
の処理手順を、それぞれ表わしている。

【００３８】まず、調整時に、前記画像入力部３０によ
り基準となる正常なシャドウマスク（試料）Ｗについ
て、基準透過光画像を撮像し（ステップ１）、前記面光
源１４からの照射光がシャドウマクスＷの裏面で反射さ
れた後、前記拡散板１２で再反射された反射光に起因し
て前記基準透過光画像に形成されている中央部付近の反
射光領域を特定し（ステップ２）、前記反射光領域の画
像データに基づいて反射光画像を予め作成する（ステッ
プ３）。

【００３９】以上のステップ１〜３の処理工程における
画像の特徴のイメージを図３に示した。同図（Ａ）は、
カメラ１８により直接撮像して得られた基準透過光画像
Ａであり、中央部付近の破線部分が反射光領域Ａ′であ
る。同図（Ｂ）は、上記基準透過光画像Ａに基づいて作
成された反射光画像Ｂのイメージを示したものであり、
この画像Ｂについて直線Ｌ上の輝度のプロファイルを示
すと、同図（Ｃ）のようになっている。

【００４０】この反射光画像Ｂは、以下のように作成す
ることができる。まず、透過光の補正領域である反射光
領域Ａ′の範囲を特定する。この反射光領域Ａ′は、前
記基準透過光画像Ａを情報表示部３４のモニタ上に表示
し、対人操作部３６により手動でカーソルで指定する等
により特定することができる。又、図４に拡大して示し
たように、画像入力部３０におけるカメラ１８、拡散板
１２、試料Ｗの位置関係から、光学的に範囲Ｒとして計
算することもできる。

【００４１】このように、反射光領域Ａ′の範囲が特定
できたら、図３（Ｃ）に示したように、モニタ上で反射
光領域の外側周囲の輝度値が零になるように、各画素値
のレベルを調整することにより、反射光の強度分布に相
当する輝度曲線として補正関数Ｆが得られ、これを画像
として表示すると同図（Ｂ）に示したように中央付近が
明るいイメージになる。

【００４２】例えば、一種類の製品について、ロットの
最初に以上のような操作を行って、予め反射光画像Ｂを
作成できたならば、他の製品の検査に移行する。検査時
には、まず試料が無い状態で面光源１４のみを撮像し
（ステップ４）、次にステージ１６に対象のシャドウマ
スクＷを載置して撮像する（ステップ５）ことにより、
図５に示した光源画像Ｃと対象透過光画像Ｄをそれぞれ
入力する。

【００４３】次いで、得られた対象透過光画像Ｄから、
予め作成しておいて前記反射光画像Ｂを減算して補正透
過光画像Ｅを作成し（ステップ６）、その後、前記ステ
ップ４で入力した光源画像Ｃにより、上記補正透過光画
像Ｅを除算して透過率画像Ｆを作成する（ステップ
７）。この透過率画像Ｆを情報表示部３４のモニタに表
示し、問題があれば前記ステップ２に戻って反射光画像
Ｂの再調整を行い、問題が無ければ該透過率画像Ｆをモ
ニタ上で目視検査したり、画像処理により自動検査した
りする（ステップ９）。但し、上記ステップ８の確認処
理は通常最初の一点について行なえばよい。

【００４４】以上詳述した本実施形態によれば、シャド
ウマスク（試料）裏面で反射した光の影響を低減し、精
度の高い測定を行うことができる。又、画像処理によ
り、透過光の補正を行うことができるため、特別なハー
ドウェアを追加する必要がない。又、透過光の補正量は
試料毎に予め決めておくことができるので、処理は画像
の減算処理の時間分しか遅くならないため、精度の高い
検査を迅速に行うことができる。

【００４５】又、本実施形態によれば、光源自体が直接
撮影されない程度に拡散効果の低い拡散板１２を使用し
て、敢えて照射光を拡散させないようにしたので、反射
光の影響の範囲（反射光領域）を明確にすることができ
る。その結果、反射光の影響が明瞭に反映された反射光
画像Ｂを容易に作成することもできる。

【００４６】以上、本発明について具体的に説明した
が、本発明は、前記実施形態に示したものに限られるも
のでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
ある。

【００４７】例えば、前記実施形態では、透過光をＣＣ
Ｄカメラで撮像する例を示したが、これに限らず、撮像
手段としては、撮像管等であってもよい。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
面光源から試料の裏面を照明した際の透過光に基づい
て、該試料に貫通形成されている周期性開口のパターン
を検査する際、試料の裏面反射の影響を防止し、検査精
度を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る一実施形態の検査装置全体の概略
構成を示すブロック図

【図２】基準透過光画像と反射光画像の関係を示す説明
図

【図３】本実施形態による処理手順を示すフローチャー
ト

【図４】反射光領域の特定方法の一例を示す説明図

【図５】本実施形態による処理に伴う画像のイメージを
示す説明図

【図６】シャドウマスクに対する面照明と透過光との関
係を概念的に示す説明図

【図７】開口面積と観察される透過光のイメージとの関
係を示す説明図

【図８】撮像手段を備えた検査装置の要部構成を示す概
略断面図

【図９】面光源に起因する問題点を示す説明図

【図１０】裏面反射に起因する問題点を示す説明図

【図１１】裏面反射による問題点の発生原理を示す説明
図

【図１２】現実の透過率の概念を説明するための照明光
と透過光の関係を示す説明図

【図１３】従来の処理手順を示すフローチャート

【図１４】従来の処理に伴う画像のイメージを示す説明
図

【符号の説明】

１０…光源 １２…拡散板 １４…面光源 １６…ステージ １６Ａ…試料用開口部 １８…ＣＣＤカメラ ２０…画像処理装置 ２２…モニタ

フロントページの続き (72)発明者 岡沢 敦司 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 鎮守 卓哲 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA54 AA58 BB02 CC25 DD04 DD11 FF04 FF42 GG15 GG18 HH03 HH13 HH15 JJ03 JJ09 JJ19 LL49 MM16 MM26 QQ31 RR01 SS04 TT02 UU05 UU06

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光源と該光源からの照射光を拡散する拡散
   板とを有する面光源により試料の裏面を照射した際の透
   過光を、その表面側に配置された撮像手段により撮像し
   て得られる透過光画像に基づいて、該試料に貫通形成さ
   れている周期性開口のパターンを検査する周期性開口パ
   ターンの検査方法において、 基準となる正常な試料について基準透過光画像を撮像
   し、 前記面光源からの照射光が試料の裏面で反射された後、
   前記拡散板で再反射された反射光に起因して、前記基準
   透過光画像に形成されている反射光領域を特定し、 該反射光領域の画像データに基づいて反射光画像を予め
   作成しておくと共に、 検査時には、対象の試料を撮像して得られる対象透過光
   画像から前記反射光画像を減算して補正透過光画像を作
   成し、該補正透過光画像を用いて前記周期性開口のパタ
   ーンを検査することを特徴とする周期性開口パターンの
   検査方法。
2. 【請求項２】請求項１において、 前記拡散板が、光源自体の影響を除去できる程度の低い
   拡散効果を有していることを特徴とする周期性開口パタ
   ーンの検査方法。
3. 【請求項３】請求項１において、 前記反射光領域を、前記透過光画像を画面に表示し、該
   画面上でその範囲を指示して特定することを特徴とする
   周期性開口パターンの検査方法。
4. 【請求項４】請求項１において、 前記反射光画像を、前記撮像手段、拡散板及び試料の位
   置関係から、光学的計算により特定することを特徴とす
   る周期性開口パターンの検査方法。
5. 【請求項５】請求項１において、 更に、試料が無い状態で別途撮像して得られる光源画像
   により、前記補正透過光画像を除算して透過率画像を作
   成し、 該透過率画像を用いて前記周期性開口のパターンを検査
   することを特徴とする周期性開口パターンの検査方法。
6. 【請求項６】光源と該光源から照射光を拡散する拡散板
   とを有する面光源により試料の裏面を照射した際の透過
   光を、その表面側に配置された撮像手段により撮像して
   得られる透過光画像を画像処理して、該試料に貫通形成
   されている周期性開口のパターンを検査する画像処理部
   を備えた周期性開口パターンの検査装置において、 前記画像処理部が、 基準となる正常な試料を予め撮像して得られた基準透過
   光画像について、前記面光源からの照射光が試料の裏面
   で反射された後、前記拡散板で再反射された反射光に起
   因して形成されている反射光領域を特定する手段と、 特定された反射光領域の画像データに基づいて作成され
   る反射光画像を保存する手段と、 検査対象の試料を撮像して得られる対象透過光画像か
   ら、前記反射光画像を減算して補正透過光画像を作成す
   る手段と、 作成された補正透過光画像を用いて前記周期性開口のパ
   ターンを検査する手段とを備えていることを特徴とする
   周期性開口パターンの検査装置。
7. 【請求項７】請求項６において、 前記拡散板が、光源自体の影響を除去できる程度の低い
   拡散効果を有していることを特徴とする周期性開口パタ
   ーンの検査装置。
8. 【請求項８】請求項６において、 前記反射光領域を、前記透過光画像を画面に表示し、該
   画面上でその範囲を指示して特定する手段を備えている
   ことを特徴とする周期性開口パターンの検査装置。
9. 【請求項９】請求項６において、 前記反射光画像を、前記撮像手段、拡散板及び試料の位
   置関係から、光学的計算により特定することを特徴とす
   る周期性開口パターンの検査装置。
10. 【請求項１０】請求項６において、 更に、試料が無い状態で別途撮像して得られる光源画像
    により、前記補正透過光画像を除算して透過率画像を作
    成する手段と、 作成された透過率画像を用いて前記周期性開口のパター
    ンを検査する手段とを備えていることを特徴とする周期
    性開口パターンの検査装置。