JPH10267792A - 画面部材の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】画面部材の良否を迅速、かつ容易に検出する。 【解決手段】直接撮像手段３により撮像した照明手段２
の照明光パターンのデータを格納する第１のメモリ5a
と、照明光源2aと撮像手段の間に画面部材１を介挿して
照明光源からの透過光パターンのデータを格納する第２
のメモリ5bと、照明光パターンのデータの画面部材の二
次元平面に対応する輝度むら分布を演算して第１のメモ
リを書き換えるむら分布演算手段６と、透過光パターン
のデータをむら分布演算手段の演算結果で照明手段の照
明光パターンの輝度むらを補正する照明光パターン補正
手段6aと、透過光パターンのデータを照明光パターン補
正手段で補正した結果を格納する第３のメモリ5cと、そ
のデータにコントラスト強調処理を施すコントラスト強
調演算手段７と、その演算結果を可視表示する表示手段
８とから構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー陰極線管の
画面あるいは液晶表示装置の画面を構成する各種の画面
部材の品質を評価するための画面部材の検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から、カラー陰極線管あるいは液晶
表示装置の生産工程途上での品質むらの検査方法として
は、作業者の目視による方法が一般的である。

【０００３】例えば、カラー陰極線管の画面を構成する
シャドウマスクの開孔パターン、蛍光面を構成するブラ
ックマトリクス膜のホールパターンや各色の蛍光体膜パ
ターンの目視検査は、照明光源の透過光あるいは反射光
を肉眼で観察し、その良否を判断するものであるため、
検査結果にばらつきが生じる。また、このような目視検
査では良否基準近傍での判断に時間を要し、効率的な検
査作業を行うことが困難であるという問題があった。

【０００４】しかし、画像処理システムを利用した検査
装置として、従来、シャドウマスクの電子ビーム透過孔
の口径、あるいはブラックマトリクスのホール径等の局
部的な形状、液晶表示装置のカラーフィルタパターンの
形状等を測定するものは既知であるが、陰極線管や液晶
表示装置の二次元的な画面全体に存在する透過孔パター
ンのむらを検査し、その程度を評価するシステムまでは
考慮されていない。

【０００５】なお、完成した陰極線管での画面の良否評
価を画像処理システムを用いて行うものは既知である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】カラー陰極線管や液晶
表示装置等の画像表示装置では、その製造工程の前工程
よりも後工程でのむらに対する検出作業が厳格であるた
め、後工程でむら異常が検出されたときにはすでに多数
の不良品を製造している可能性が高い。

【０００７】また、検出感度を高めるために、前記した
画像処理システムを応用した検査装置を用いたもので
も、当該検査装置の照明装置の光パターンにむらがある
と、正確な検査ができず、照明光のむらが検査対象の不
良と判断されてしまう場合もあった。

【０００８】さらに、従来の完成管での検査では、シャ
ドウマスク、ブラックマトリクス、あるいは蛍光体膜の
みを抽出して検査することは不可能であった。

【０００９】本発明の目的は上記従来技術の諸問題を解
消し、カラー陰極線管や液晶表示装置等の画像表示装置
を構成する画面部材の良否を製造工程上で迅速に、かつ
容易に検出できるようにした画面部材の検査装置を提供
することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の第１の発明は、画像表示装置の画
像形成部を構成する画面部材の背面に設置した照明手段
と、前記画面部材を透過した光パターンを撮像する撮像
手段とを有し、前記撮像手段で撮像して得た前記画面部
材の透過光パターンにより当該画面部材の品質を検査す
る画面部材の検査装置において、前記画面部材を介在さ
せずに直接前記撮像手段により撮像した前記照明手段の
照明光パターンのデータを格納する第１のメモリと、前
記照明光源と前記撮像手段の間に前記画面部材を介挿し
て前記照明光源からの透過した光パターンのデータを格
納する第２のメモリと、前記第１のメモリに格納された
前記照明光パターンのデータの前記画面部材の二次元平
面に対応する輝度むら分布を演算し、その演算結果で前
記第１のメモリを書き換えるむら分布演算手段と、前記
第２のメモリに格納された前記照明光源からの透過した
光パターンのデータを前記第１のメモリに格納された前
記むら分布演算手段の演算結果に基づいて前記照明手段
の照明光パターンの輝度むらを補正する照明光パターン
補正手段と、前記画面部材を透過した光パターンのデー
タを前記照明光パターン補正手段で補正した結果を格納
する第３のメモリと、前記第３のメモリに格納された光
パターンのデータにコントラスト強調処理を施すコント
ラスト強調演算手段と、前記コントラスト強調演算手段
の演算結果を可視表示する表示手段とから構成したこと
を特徴とする。

【００１１】この発明の構成により、照明光源の透過光
の光パターンのむら成分が検査結果に影響を及ぼすこと
がなく、かつ表示手段上でのむらの認識が容易になり、
良否判断を迅速、かつ正確に行うことが可能となる。

【００１２】また、請求項２に記載の第２の発明は、画
像表示装置の画像形成部を構成する画面部材の表面を照
明する如く設置した照明手段と、前記画面部材から反射
した光パターンを撮像する撮像手段とを有し、前記撮像
手段で撮像して得た前記画面部材の反射光パターンによ
り当該画面部材の品質を検査する画面部材の検査装置に
おいて、表面全域に光拡散膜を塗布した前記画面部材と
等価な基準画面部材を設置し、前記光拡散膜を塗布した
表面の反射光を前記撮像手段により撮像して得た光パタ
ーンのデータを格納する第１のメモリと、前記基準画面
部材と置換して設置した前記画面部材から反射した光パ
ターンのデータを格納する第２のメモリと、前記第１の
メモリに格納された前記光パターンのデータの前記基準
画面部材の二次元平面に対応する反射光の輝度むら分布
を演算し、その演算結果で前記第１のメモリを書き換え
るむら分布演算手段と、前記第２のメモリに格納された
前記光パターンのデータを前記第１のメモリに格納され
た前記むら分布演算手段の演算結果に基づいて前記照明
手段の照明光パターンの反射光むらを補正する照明光パ
ターン補正手段と、前記画面部材で反射した光パターン
のデータを前記照明光パターン補正手段で補正した結果
を格納する第３のメモリと、前記第３のメモリに格納さ
れた光パターンのデータにコントラスト強調処理を施す
コントラスト強調演算手段と、前記コントラスト強調演
算手段の演算結果を可視表示する表示手段とから構成し
たことを特徴とする。

【００１３】この発明の構成により、照明光源の反射光
の光パターンのむら成分が検査結果に影響を及ぼすこと
がなく、かつ表示手段上でのむらの認識が容易になり、
良否判断を迅速、かつ正確に行うことが可能となる。

【００１４】さらに、請求項３に記載の第３の発明は、
第１または第２の発明における前記照明光パターン補正
手段が、前記第２のメモリに格納された光パターンのデ
ータから前記第１のメモリに格納されたむら分布データ
を差し引く演算を施すことを特徴とする。

【００１５】さらに、請求項４に記載の発明は、第１ま
たは第２の発明における前記コントラスト強調演算手段
が、前記第３のメモリに格納された光パターンのデータ
の最大値と最小値を均等に等倍する演算を施すことを特
徴とする。

【００１６】さらに、請求項５に記載の第５の発明は、
第１または第２の発明における前記コントラスト強調演
算手段が、前記第３のメモリに格納された光パターンの
データに微分演算を施すことを特徴とする。

【００１７】上記第３、第４及び第５の発明の構成によ
り、照明光源の前記画面部材の透過光あるいは反射光の
光パターンのむら成分が検査結果に影響を及ぼすことが
なく、かつ表示手段上でのむらの認識が容易になり、良
否判断を迅速、かつ正確に行うことが可能となる。

【００１８】なお、本発明は、カラー陰極線管の画面を
構成するパネルに形成したブラックマトリクスと各色蛍
光体のパターン、成形前および成形後のシャドウマスク
の開孔パターン、あるいはカラー液晶表示装置の各色の
カラーフィルタのパターン、その他の同様の画面構成部
材のむら検査に適用できる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、実施例の図面を参照して詳細に説明する。 〔実施例１〕図１は本発明による画面部材の検査装置の
基本構成を説明するブロック図であって、１はカラー陰
極線管の画面を構成するパネル、シャドウマスク原板
（成形前のシャドウマスク）、成形後のシャドウマス
ク、あるいはカラー液晶表示装置のカラーフィルタ基板
である画面部材、２は照明手段、２ａは光源、２ｂは拡
散板、３は撮像手段、４はデータ処理手段、５は書き換
え可能メモリ、５ａは第１のメモリ領域（以下、第１の
メモリ）、５ｂは第２のメモリ領域（以下、第２のメモ
リ）、５ｃは第３のメモリ領域（以下、第３のメモ
リ）、６はむら分布演算手段、６ａは照明光パターン補
正演算手段、７はコントラスト強調演算手段、８は表示
手段である。

【００２０】同図はカラー陰極線管の画面部材であるパ
ネルに形成されたブラックマトリクスのホールパターン
の分布、各色の蛍光体膜パターンの分布、あるいはシャ
ドウマスクの開孔パターンの分布を検査する検査装置で
あり、ここでは画面部材１として成形前のシャドウマス
ク原板の開孔パターンの分布検査を例として説明する。
したがって、図中の符号１はシャドウマスク原板を示
す。

【００２１】また、図２は図１による検査の動作を説明
する処理手順を示すフローチヤートである。

【００２２】図１の動作を図２を参照して説明すると、
先ず照明手段２の拡散板２ｂにシャドウマスク原板を載
置しない状態で光源２ａを点灯し、照明の取込みを行う
（図２のＳ−１）。この照明の取込みは、光源（蛍光灯
等）を点灯した状態で照明手段２の拡散板２ｂの画像を
カメラ３で撮像し、撮像した画像データ（照明光パター
ンのデータ）をデータ処理手段４の書き換え可能メモリ
５を構成する第１のメモリ領域５ａに格納する操作であ
る。

【００２３】第１のメモリ５ａに取り込んだ光源２ａに
よる拡散板２ｂ上の輝度分布パターンはむら分布演算手
段６でそのむら分布パターンが演算され、演算結果で第
１のメモリ５ａを書き換え、これをムラパターン補正デ
ータとする。

【００２４】上記カメラにより取り込んだ画像パターン
（Ａ／Ｄ変換後の輝度値）とそのむら成分は、２次元配
列で表記できる。

【００２５】すなわち、照明むらをＬ（ｘ，ｙ）、シャ
ドウマスクのむら分布をＳ（ｘ，ｙ）、カメラやそのレ
ンズによる明るさのむら分布をＣ（ｘ，ｙ）としたと
き、カメラに入力する画像は 照明画像 ： Ｌ（ｘ，ｙ）・Ｃ（ｘ，ｙ） シャドウマスク画像 ： Ｌ（ｘ，ｙ）・Ｓ（ｘ，ｙ）
・Ｃ（ｘ，ｙ） となり、また、入力光が無いときの輝度値（黒レベル）
をＫとすると、シャドウマスクのむらを抽出するには、 Ｓ（ｘ，ｙ）＝（Ｌ（ｘ，ｙ）・Ｓ（ｘ，ｙ）・Ｃ
（ｘ，ｙ）−Ｋ）／（Ｌ（ｘ，ｙ）・Ｃ（ｘ，ｙ）−
Ｋ） で算出することができる。シャドウマスクのむら画像に
するには任意の値ＭをＳ（ｘ，ｙ）に掛ける。ここで、
この任意の値Ｍは、画面部材の対象物によって異なる。
例えば、シャドウマスクのような薄い鉄板に孔を開けた
ものについては、むらの目視による観察が極めて困難で
あるので、１０倍（Ｍ＝１０）程度の強調画像が必要で
ある。パネルに形成した蛍光体膜のような複数の有彩色
のパターンを有するものについては、上記シャドウマス
クよりも比較的目視観察が容易であるので、５倍（Ｍ＝
５）以下の強調画像でむら抽出が可能である。

【００２６】なお、光源２ａに蛍光灯等を用いた場合に
は、そのチラツキによる輝度誤差を低減するために２０
ｋＨｚ程度の周波数によるインバータ点灯とすることが
望ましい。また、蛍光灯は、その点灯直後に輝度変動が
あるため、点灯後の数十分程度のヒートランを実行した
後に画像の取込みを行うのが望ましい。

【００２７】次に、拡散板２ｂ上にシャドウマスク原板
１を載置してカメラ３により当該シャドウマスク原板１
を透過した照明光パターンの画像を取込み、このパター
ンデータを第２のメモリ５ｂに格納する（Ｓ−２）。

【００２８】第２のメモリ５ｂに格納されたシャドウマ
スク原板１の透過光パターンのデータを第１のメモリ５
ａに格納されている照明光のムラパターン補正データで
補正する照明補正処理を行う（Ｓ−３）。

【００２９】この照明補正処理は、照明光パターン補正
演算手段６ａで実行し、通常のドット状開孔を有するシ
ャドウマスク原板そのものの透過率が１８％であるた
め、上記光源のムラ画像の輝度が元の輝度に対して１８
％程度となるように照明光のムラパターン補正データを
補正した後、シャドウマスク原板１の透過光パターンの
データからこの照明光のムラパターン補正データを差し
引く演算である。

【００３０】この照明補正処理により、照明手段の輝度
むらを除去したシャドウマスク原板のむらパターンの画
像データが得られる。このむらパターンの画像データは
第３のメモリ５ｃに格納される。

【００３１】メモリ５ｃに格納されたむらパターンの画
像データはコントラスト強調演算手段７で７倍程度のコ
ントラスト強調し、むら強調処理を行って（Ｓ−４）、
ビデオプリンタあるいはモニター画面（ここではモニタ
ー画面）８に出力して可視化する（Ｓ−５）。

【００３２】上記のコントラストおよびむら強調処理
は、第３のメモリに格納された光パターンのデータの最
大値と最小値を均等に等倍する演算を施す方法でもよ
く、また、第３のメモリに格納された光パターンのデー
タに微分演算を施す方法を用いてもよい。

【００３３】なお、コントラストをｎ倍にするには、ｎ
倍後の画像をＫ（ｘ，ｙ）としたとき Ｋ（ｘ，ｙ）＝（Ｓ（ｘ，ｙ）・Ｍ・ｎ・Ｍ（ｎ−１） （ｎ≧１） で算出できる。

【００３４】本実施例により、照明光源の前記画面部材
であるシャドウマスク原板の透過光の光パターンのむら
成分が検査結果に影響を及ぼすことがなく、かつ表示手
段上でのむらの認識が容易になり、良否判断を迅速、か
つ正確に行うことが可能となる。

【００３５】〔実施例２〕本発明による画面部材の検査
装置の第２実施例は、図１における照明光源を拡散板２
ｂ（あるいは均一な白色板等）の下面に光源２ａを設置
するのではなく、画面部材１の表面側すなわちカメラ３
側に設置したものである（なお、このときの光源は図示
されていない）。

【００３６】そして、光源で照明した拡散板の反射光パ
ターンをカメラ３により撮像し、これを前記実施例と同
様に第１のメモリ５ａに格納し、そのむら分布パターン
を演算され、演算結果で第１のメモリ５ａを書き換え、
これをムラパターン補正データとする。

【００３７】次に、拡散板２ｂ上にシャドウマスク原板
１を載置してその反射光パターンをカメラ３で取込み、
第２のメモリ５ｂに格納する。

【００３８】以下、前記実施例と同様の演算処理を実行
し、これをモニター８に出力することで検査を行う。

【００３９】本実施例によっても、照明光源の前記画面
部材であるシャドウマスク原板の透過光の光パターンの
むら成分が検査結果に影響を及ぼすことがなく、かつ表
示手段上でのむらの認識が容易になり、良否判断を迅
速、かつ正確に行うことが可能となる。

【００４０】上記の実施例はシャドウマスク原板のむら
検査について説明したが、成形後のシャドウマスクの検
査、パネルの内面に形成したブラックマトリクスの検
査、および各色の蛍光体パターンの検査も上記実施例と
同様の手順で実行できる。

【００４１】なお、パネル内面に形成したブラックマト
リクス、各色蛍光体パターンの検査では、検査対象と同
等のパネルの内面に沈降法等で拡散膜を一様に塗布した
基準パネルを用い、この基準パネルの透過光または反射
光をカメラで撮像し、この撮像データの輝度むらパター
ンを演算して第１のメモリに格納した後、検査対象のパ
ネルの透過光あるいは反射光のパターンを撮像し、この
撮像データを上記基準パネルの輝度むらパターンデータ
で補正して照明手段の輝度むらの成分を除去するように
する。

【００４２】次に、本発明による画面部材の検査装置を
具体化した実際の検査装置の構成例について説明する。

【００４３】図３は本発明による画面部材の検査装置の
具体例を説明する構成図であって、１０はパネル、１１
はシャドウマスク、１２はパレット、２０は照明装置、
２１は照明制御ユニット、２２は作業用照明装置、２３
は紫外線照明装置、３０は本体部、３０ａはカメラハウ
ス、３０ｂは測定部、３１はカメラユニット、３２はフ
ィルタユニット、４０は測定モニター部、４０ａ，４０
ｂはモニターディスプレイ、５０は検索モニター部、５
１はプリンタ、５２はモニターディスプレイ、５３は通
信制御装置、６０は処理装置、６１はビデオプリンタ、
６２はインターフェース（Ｉ／Ｆ）、６３はカメラ電源
である。

【００４４】同図は、パネル１０の内面に形成した蛍光
体パターンの検査を行う場合を示し、当該パターン１０
は内面をカメラユニット３１側にしてパレット１２に載
置される。

【００４５】なお、図４はパネル内面に形成したブラッ
クマトリクスと成形後のシャドウマスクの検査時の当該
パネルとシャドウマスクの載置姿勢の説明図であって、
（ａ）はブラックマトリクス検査時、（ｂ）は成形シャ
ドウマスクの検査時の載置姿勢を示す。

【００４６】蛍光体パターンの検査時には、先ず、前記
した拡散膜を塗布した基準パネルの紫外線照明装置２３
の反射光のパターンをカメラユニットで撮像して取り込
む。このとき、フィルタユニット３２は検査対象の色に
対応するカラーフィルタをカメラの視野に挿入して基準
パネルと検査対象パネルの透過光パターンあるいは反射
光パターンの撮像を行う。

【００４７】パネル内面に形成した蛍光体パターンの検
査では、透過光による検査が難しいため、図示したよう
に内面をカメラユニット３１側に向けてパレットに載置
し、紫外線照明装置２３からの光を照射し、その反射光
パターンを取り込む。

【００４８】また、上記基準パネルの内面に塗布する拡
散膜は酸化バリウムのスラリーを沈降させて塗布するの
が好適である。

【００４９】この拡散膜に紫外線を照射して蛍光体を発
光させ、その反射光パターンを照明光のむらパターンと
して取り込むのが望ましい。

【００５０】このとき、各色（赤、緑、青、等）の色分
解を行うためのフィルタとしては、それぞれの干渉膜フ
ィルタを用いるのが好適である。

【００５１】図４の（ａ）に示したパネルの内面に形成
したブラックマトリクスの検査時の場合には、照明装置
のむらパターンの取込み時に、当該ブラックマトリクス
の無いパネルの透過率についても、その画像パターンを
取り込んで置く。この取込み画像パターンを前記シャド
ウマスク原板の場合と同様にデータ処理し、パネルの肉
厚による輝度むらも除去する。この検査の際の前記強調
倍率は３〜５倍程度が望ましいが、これに限るものでは
ない。

【００５２】このように、パネル内面に形成したブラッ
クマトリクス、およびシャドウマスク（ここでは、成形
後のシャドウマスク）１１の検査時は、図４に示したよ
うにパネル１０またはシャドウマスク１１の内面をカメ
ラユニット３１の反対側に向けてパレット１２に載置
し、上記の画像取込みを行う。

【００５３】この検査装置では、本体ブラック３０に測
定モニターブラック４０と検索モニター部５０を備えて
おり、パネルやシャドウマスクの着脱作業、その他の関
連作業をモニターディスプレイ４０ａで監視し、データ
処理結果のむら強調画像をモニターディスプレイ４０ｂ
で目視すると共に、ビデオプリンタ６１に打ち出すこと
で目視検査を行う。このデータ処理等を行う処理装置６
０はパソコンであり、検査結果はＩ／Ｆ６２を介して検
索モニター部５０に転送される。

【００５４】検索モニター部５０はプリンタ５１やモニ
ターディスプレイ５２等を有し、本体部３０から転送さ
れて来た検査データを蓄積し、これを検索して再度モニ
ターデータ５２に再現させることができると共に、通信
制御装置５３により工場内および管理センターとの間で
ネットを構築し、前工程のむらレベルを正確に管理する
ことを可能にし、むら対策の早期対応ができるように構
成されている。

【００５５】図５は本実施例によりむら強調してモニタ
ーディスプレイに表示された検査画像例の模写図であっ
て、（ａ）はシャドウマスク原板のむら画像、（ｂ）は
ブラックマトリクスのむら画像、（ｃ）は蛍光体膜のむ
ら画像を示す。

【００５６】同図に示したように、シャドウマスク原
板、ブラックマトリクス、蛍光体膜のそれぞれのむら強
調画像は目視で明らかに判断可能な画像となっており、
従来のように単にその透過像を目視検査するものと比較
して良否の判断が極めて容易なものとなっている。

【００５７】このように、上記した実施例によれば、陰
極線管の画面を構成するパネルやシャドウマスク、ある
いはシャドウマスク原板のむらパターンを迅速、かつ正
確に検査できるため、むら解消策を早期に実行できる。

【００５８】なお、上記実施例は陰極線管の画面部材を
対象としたが、本発明はこれに限らず、液晶表示装置の
カラーフィルタパターン、その他の同様のパターンのむ
らをの検査にも同様に適用できる。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
陰極線管あるいは液晶表示装置等の画像表示装置の画面
部材の開口パターンのむらを迅速に、かつ容易に検出で
きるため、これら画面部材のむら発生に対策を早期に実
施することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による画面部品の検査装置の基本構成を
説明するブロック図である。

【図２】図１による検査の動作を説明する処理手順を示
すフローチヤートである。

【図３】本発明による画面部材の検査装置の具体例を説
明する構成図である。

【図４】パネル内面に形成したブラックマトリクスと成
形後のシャドウマスクの検査時の当該パネルとシャドウ
マスクの載置姿勢の説明図である。

【図５】本発明の実施例によりむら強調してモニターデ
ィスプレイに表示された検査画像例の模写図である。

【符号の説明】

１ カラー陰極線管の画面を構成するパネル ２ 照明手段 ２ａ 光源 ２ｂ 拡散板 ３ 撮像手段 ４ データ処理手段 ５ 書き換え可能メモリ ５ａ 第１のメモリ領域（第１のメモリ） ５ｂ 第２のメモリ領域（第２のメモリ） ５ｃ 第３のメモリ領域（第３のメモリ） ６ むら分布演算手段 ６ａ 照明光パターン補正演算手段 ７ コントラスト強調演算手段 ８ 表示手段。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鶴岡 輝雄 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 市原 武寿 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】画像表示装置の画像形成部を構成する画面
   部材の背面に設置した照明手段と、前記画面部材を透過
   した光パターンを撮像する撮像手段とを有し、前記撮像
   手段で撮像して得た前記画面部材の透過光パターンによ
   り当該画面部材の品質を検査する画面部材の検査装置に
   おいて、 前記画面部材を介在させずに直接前記撮像手段により撮
   像した前記照明手段の照明光パターンのデータを格納す
   る第１のメモリと、 前記照明光源と前記撮像手段の間に前記画面部材を介挿
   して前記照明光源からの透過した光パターンのデータを
   格納する第２のメモリと、 前記第１のメモリに格納された前記照明光パターンのデ
   ータの前記画面部材の二次元平面に対応する輝度むら分
   布を演算し、その演算結果で前記第１のメモリを書き換
   えるむら分布演算手段と、 前記第２のメモリに格納された前記照明光源からの透過
   した光パターンのデータを前記第１のメモリに格納され
   た前記むら分布演算手段の演算結果に基づいて前記照明
   手段の照明光パターンの輝度むらを補正する照明光パタ
   ーン補正手段と、 前記画面部材を透過した光パターンのデータを前記照明
   光パターン補正手段で補正した結果を格納する第３のメ
   モリと、 前記第３のメモリに格納された光パターンのデータにコ
   ントラスト強調処理を施すコントラスト強調演算手段
   と、 前記コントラスト強調演算手段の演算結果を可視表示す
   る表示手段とから構成したことを特徴とする画面部材の
   検査装置。
2. 【請求項２】画像表示装置の画像形成部を構成する画面
   部材の表面を照明する如く設置した照明手段と、前記画
   面部材から反射した光パターンを撮像する撮像手段とを
   有し、前記撮像手段で撮像して得た前記画面部材の反射
   光パターンにより当該画面部材の品質を検査する画面部
   材の検査装置において、 表面全域に光拡散膜を塗布した前記画面部材と等価な基
   準画面部材を設置し、前記光拡散膜を塗布した表面の反
   射光を前記撮像手段により撮像して得た光パターンのデ
   ータを格納する第１のメモリと、 前記基準画面部材と置換して設置した前記画面部材から
   反射した光パターンのデータを格納する第２のメモリ
   と、 前記第１のメモリに格納された前記光パターンのデータ
   の前記基準画面部材の二次元平面に対応する反射光の輝
   度むら分布を演算し、その演算結果で前記第１のメモリ
   を書き換えるむら分布演算手段と、 前記第２のメモリに格納された前記光パターンのデータ
   を前記第１のメモリに格納された前記むら分布演算手段
   の演算結果に基づいて前記照明手段の照明光パターンの
   反射光むらを補正する照明光パターン補正手段と、 前記画面部材で反射した光パターンのデータを前記照明
   光パターン補正手段で補正した結果を格納する第３のメ
   モリと、 前記第３のメモリに格納された光パターンのデータにコ
   ントラスト強調処理を施すコントラスト強調演算手段
   と、 前記コントラスト強調演算手段の演算結果を可視表示す
   る表示手段とから構成したことを特徴とする画面部材の
   検査装置。
3. 【請求項３】照明光パターン補正手段は、前記第２のメ
   モリに格納された光パターンのデータから前記第１のメ
   モリに格納されたむら分布データを差し引く演算を施す
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の画面部材の
   検査装置。
4. 【請求項４】前記コントラスト強調演算手段は、前記第
   ３のメモリに格納された光パターンのデータの最大値と
   最小値を均等に等倍する演算を施すことを特徴とする請
   求項１または２に記載の陰極線管検査装置。
5. 【請求項５】前記コントラスト強調演算手段は、前記第
   ３のメモリに格納された光パターンのデータに微分演算
   を施すことを特徴とする請求項１または２に記載の陰極
   線管検査装置。