JP2000204832A - 蝶 番 - Google Patents

蝶 番

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JP2000204832A
JP2000204832A JP11010047A JP1004799A JP2000204832A JP 2000204832 A JP2000204832 A JP 2000204832A JP 11010047 A JP11010047 A JP 11010047A JP 1004799 A JP1004799 A JP 1004799A JP 2000204832 A JP2000204832 A JP 2000204832A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
shaft
washer
hinge
blade
Prior art date
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Pending
Application number
JP11010047A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Watanabe
宏 渡辺
Atsushi Fujisaki
淳 藤崎
Toshio Yonemura
俊雄 米村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JP2000204832A publication Critical patent/JP2000204832A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルーム内を金属汚染させない蝶番を
提供する。 【解決手段】 軸3が固定された一方の羽根1における
軸3の周囲にはフランジ付きの樹脂ブッシュ6が挿入さ
れ、他方の羽根2における軸3の周囲には樹脂ワッシャ
7を挿入されるよう構成することにより、金属同士の接
触を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体ウェハ製造
ライン等のクリーン環境に設置する設備の開閉扉の回転
軸として使用する蝶番(ヒンジ)に関するものである。
【0002】
【従来の技術】蝶番の使命は周知のように、種々のドア
の回転軸として用いられるものである。蝶番は一般的に
二枚の羽根と一方羽根に固定されたこの二枚の羽根を回
転させるための軸により構成されるが、この軸と羽根は
強度上の問題から金属材料により製造されている。図6
は従来の蝶番を示す正面図、図7は同じく平面図であ
り、図において、11は一方の羽根、12は他方の羽
根、13は羽根11及び羽根12を回転させるための軸
であり、羽根11に固定されている。14は羽根11に
設けられ、軸13を挿入するための穴、15は羽根12
に設けられ、軸13を挿入するための穴、16は蝶番固
定用のネジ穴である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の蝶番は以上のよ
うに構成されているので、このような蝶番を半導体を製
造するような超クリーンルームで使用すると、回転する
際に金属の軸と金属の羽根、及び金属の羽根同士が直接
擦れるため、金属粉が発生し、ウェハ表面に付着するこ
とにより、歩留まりを低下させると共に、ライン全体の
クリーン環境を悪化させるという問題点があった。ま
た、重量のかかる扉構造の場合、蝶番の回転をスムーズ
に回転させる為に定期的に給油する必要もあり、油から
のケミカルミストにより歩留まり低下を招くという問題
点もあった。
【0004】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたものであり、金属同士の接触を防止する
ことにより、金属摩耗による金属粉を発生させず、クリ
ーンルームを金属汚染させない蝶番を提供することを目
的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1に係
る蝶番は、2枚の羽根を軸を中心にして回転させる蝶番
において、一方の羽根に挿入された軸の周囲にはフラン
ジ付きの樹脂ブッシュを挿入すると共に、他方の羽根に
挿入された軸の周囲には樹脂ワッシャを挿入したもので
ある。
【0006】この発明の請求項2に係る蝶番は、樹脂ブ
ッシュ及び樹脂ワッシャを2組以上設けたものである。
【0007】この発明の請求項3に係る蝶番は、樹脂ブ
ッシュの強度を樹脂ワッシャの強度と異なるよう構成し
たものである。
【0008】この発明の請求項4に係る蝶番は、樹脂ブ
ッシュ及び樹脂ワッシャを含油性の樹脂で構成したもの
である。
【0009】この発明の請求項5に係る蝶番は、樹脂ブ
ッシュと樹脂ワッシャとの間に金属性のワッシャを挿入
したものである。
【0010】
【発明の実施の形態】実施の形態1.図1はこの発明の
実施の形態1による蝶番を示す正面図、図2は同じく平
面図であり、図において、1は一方の羽根、2は他方の
羽根、3は羽根1及び羽根2を回転させる為の軸であ
り、羽根1に固定されている。4は一方の羽根1に設け
られ、軸3を挿入する為の穴であり、5は他方の羽根2
に設けられ、軸3を挿入する為の穴である。6は上記羽
根2の穴5に挿入固定されたフランジ付きの樹脂ブッシ
ュ、7は軸3に挿入され、羽根1に接着固定された樹脂
ワッシャ、8は蝶番固定用のネジ穴である。
【0011】このような構成にする事により、二枚の羽
根1,羽根2が軸3を中心に回転する際は、羽根2につ
いては樹脂ブッシュ6を介して軸3と接触する為、軸方
向及び水平方向の金属同士の接触はなくなり、また羽根
1については、樹脂ブッシュ6、樹脂ワッシャ7を介し
て羽根2と間接的に軸方向に接触するだけである為、同
じく金属同士の接触は発生しない。よって金属摩耗によ
る金属粉が発生しない為、クリーンルームを金属汚染す
ることはない。
【0012】本実施形態によるパーティクル評価結果に
ついて説明すると、扉を20回開閉した場合のパーティ
クル結果は、従来の蝶番では17ヶ/ウェハであるのに
対し、本実施形態では3ヶ/ウェハであり、放置ウェハ
パーティクル結果は、従来の蝶番では22ヶ/ウェハ/
日であるのに対し、本実施形態では13ヶ/ウェハ/日
であり、更に金属異物パーティクル結果は、従来の蝶番
では多数あるが、本実施形態では無かった。尚、パーテ
ィクル径は0.3μmである。
【0013】実施の形態2.上記実施の形態1において
は、樹脂ブッシュ及び樹脂ワッシャを2組設けた場合に
ついて説明したが、それ以上の複数個設けてもよい。図
3はこの発明の実施の形態2による蝶番を示す正面図で
あり、図においては、フランジ付きの樹脂ブッシュ6及
び樹脂ワッシャ7を4組設けた場合を示している。この
ように、目的に応じて蝶番が大きくなった場合には、複
数組の樹脂ブッシュ及び樹脂ワッシャを設けることがで
きる。
【0014】実施の形態3.また、上記フランジ付きの
樹脂ブッシュ6と樹脂ワッシャ7の強度を異なるように
構成することもできる。一般的に互いに同様の素材同士
を使用するよりも、強度の違う素材を摩擦させた方が摩
擦係数が減少し、摩耗が少なくなり、メリットが大きく
なるものである。
【0015】実施の形態4.さらに、フランジ付きの樹
脂ブッシュ6及び樹脂ワッシャ7を含油性の樹脂(例え
ば、ジュラコン、ルーロン等のポリアセタール樹脂)で
構成することができる。これにより、無給油で使用でき
ると共に、耐摩耗性に優れているため、発塵が激減し、
大きい効果が得られる。また、摩耗係数も0.05〜
0.1と低く、スティックスリップ、きしみ音も発生し
ないという利点もある。
【0016】実施の形態5.図4はこの発明の実施の形
態5による蝶番を示す正面図、図5は同じく平面図であ
り、図において、9は樹脂ワッシャ7とフランジ付きの
樹脂ブッシュ6との間に挿入され、直接樹脂同士が摺動
することを防止するための金属性のワッシャである。こ
れにより、樹脂同士の摺動に比べて樹脂の摩耗が少なく
なる効果が得られる。
【0017】
【発明の効果】この発明の請求項1に係る蝶番によれ
ば、2枚の羽根を軸を中心にして回転させるものであっ
て、一方の羽根に挿入された軸の周囲にはフランジ付き
の樹脂ブッシュを挿入すると共に、他方の羽根に挿入さ
れた軸の周囲には樹脂ワッシャを挿入したので、金属同
士の接触を防止することができ、金属摩耗による金属粉
が発生せず、クリーンルーム内を金属汚染させずに済む
効果がある。
【0018】この発明の請求項2に係る蝶番によれば、
樹脂ブッシュ及び樹脂ワッシャを2組以上設けたので、
蝶番の大型化に対応することができる。
【0019】この発明の請求項3に係る蝶番によれば、
樹脂ブッシュの強度を樹脂ワッシャの強度と異なるよう
構成したので、樹脂同士の摩耗を少なくさせることがで
きる。
【0020】この発明の請求項4に係る蝶番によれば、
樹脂ブッシュ及び樹脂ワッシャを含油性の樹脂で構成し
たので、無給油で使用できると共に、耐摩耗性に優れて
いるため、発塵が激減し、又スティックスリップ及びき
しみ音も発生しなくなる。
【0021】この発明の請求項5に係る蝶番によれば、
樹脂ブッシュと樹脂ワッシャとの間に金属性のワッシャ
を挿入したので、樹脂の摩耗を少なくすることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による蝶番を示す一
部切欠きの正面図である。
【図2】 この発明の実施の形態1による蝶番を示す平
面図である。
【図3】 この発明の実施の形態2による蝶番を示す一
部切欠きの正面図である。
【図4】 この発明の実施の形態5による蝶番を示す一
部切欠きの正面図である。
【図5】 この発明の実施の形態5による蝶番を示す平
面図である。
【図6】 従来の蝶番を示す一部切欠きの正面図であ
る。
【図7】 従来の蝶番を示す平面図である。
【符号の説明】
1,2 羽根、3 軸、6 樹脂ブッシュ、7 樹脂ワ
ッシャ、9 金属性ワッシャ。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2枚の羽根を軸を中心にして回転させる
    蝶番において、一方の羽根に挿入された上記軸の周囲に
    はフランジ付きの樹脂ブッシュを挿入すると共に、他方
    の羽根に挿入された上記軸の周囲には樹脂ワッシャを挿
    入したことを特徴とする蝶番。
  2. 【請求項2】 樹脂ブッシュ及び樹脂ワッシャを2組以
    上設けたことを特徴とする請求項1記載の蝶番。
  3. 【請求項3】 樹脂ブッシュの強度を樹脂ワッシャの強
    度と異なるよう構成したことを特徴とする請求項1又は
    請求項2記載の蝶番。
  4. 【請求項4】 樹脂ブッシュ及び樹脂ワッシャを含油性
    の樹脂で構成したことを特徴とする請求項1から請求項
    3のいずれか1項に記載の蝶番。
  5. 【請求項5】 樹脂ブッシュと樹脂ワッシャとの間に金
    属性のワッシャを挿入したことを特徴とする請求項1か
    ら請求項4のいずれか1項に記載の蝶番。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100641391B1 (ko) * 2004-11-09 2006-11-01 볼보 컨스트럭션 이키프먼트 홀딩 스웨덴 에이비 건설중장비용 도어 힌지
JP2009155798A (ja) * 2007-12-25 2009-07-16 Kitamura Tekkosho:Kk 粉塵発生を防止する蝶番
JP2009221844A (ja) * 2009-07-09 2009-10-01 Suehiro Kanagu Kk クリーンルーム用の金属製蝶番
CN108301743A (zh) * 2018-02-07 2018-07-20 湖北海洋工程装备研究院有限公司 一种旋转门

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