JP2000198055A - 枚葉式研磨機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨パッドの外周部を均一かつ適正な角度の
傾斜面に容易に成形でき、研磨時における研磨パッド間
への板状ワークの円滑な進入を可能とする。 【解決手段】 定盤１Ａ，１Ｂの対向面の外周部に、所
定角度で面取りされた傾斜する案内面１３を形成すると
ともに、研磨パッド２の外周部を、定盤１Ａ，１Ｂの案
内面１３に連続する傾斜面２２に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は枚葉式研磨機に関
し、特に板状ワークがこれを挟持する研磨パッド間へ円
滑に進入するようにした研磨機の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】図３〜図５に従来の枚葉式研磨機の一例
を示す。各図において、円形の定盤１Ａ，１Ｂが所定の
間隙で対向して設けられており、各定盤１Ａ，１Ｂは中
心の回転軸１１，１２に支持されて図３の矢印で示すよ
うに同方向へ回転している。定盤１Ａ，１Ｂの対向面に
は凹状となった内周部（図４）を除いて研磨パッド２が
接合されており、研磨パッド２間にガラス基板等の円環
状の板状ワークＷがその略上半部を挟持されている。上
記板状ワークＷは外周を二ヶ所でローラ３１，３２（図
５）によって支持されており、定盤１Ａ，１Ｂの回転方
向とは反対方向へ図３の矢印のように回転させられて、
板状ワークＷの板面が順次研磨パッド２間に進入する。
これにより、研磨パッド２が板状ワークＷの板面各部を
交差方向へ相対移動してワーク板面が均一に研磨され
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、板状ワーク
Ｗが研磨パッド２の間に進入する際の抵抗を軽減して円
滑な進入を可能とするために従来、図６に示すように各
研磨パッド２の外周部を、対向する内方へ傾斜する傾斜
面２１としてある。この傾斜面２１は、研磨パッド２を
原材から円形に切り出して定盤１Ａ，１Ｂに接合した後
にその外周部をカッタで斜めに切除することによって形
成されるが、切除の際の角度が確実に定まらないために
傾斜面２１の形成に難渋するとともに、傾斜面２１の角
度が定盤１Ａ，１Ｂの各部であるいは定盤１Ａ，１Ｂ毎
にバラツクため板状ワークの研磨パッド間の進入の円滑
さが部分的に損なわれるという問題があった。

【０００４】そこで本発明はこのような課題を解決する
もので、研磨パッドの外周部を均一かつ適正な角度の傾
斜面に容易に成形でき、研磨時における研磨パッド間へ
の板状ワークの円滑な進入を可能とした枚葉式研磨機を
提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明では、回転する一対の定盤
（１Ａ，１Ｂ）の対向面にそれぞれ接合された研磨パッ
ド（２）で板状ワーク（Ｗ）の一部を両面から挟んで研
磨する枚葉式研磨機において、各定盤（１Ａ，１Ｂ）の
対向面の外周部に、所定角度で面取りされた傾斜する案
内面（１３）を形成するとともに、研磨パッド（２）の
外周部を、定盤（１Ａ，１Ｂ）の案内面（１３）に連続
する傾斜面（２２）に形成する。

【０００６】請求項１に記載の発明において、傾斜面を
形成する場合には、定盤の外径とほぼ等しい研磨パッド
を原材から切り出してこれを定盤１の板面に接合した
後、定盤の案内面にカッタの刃を沿わせて研磨パッドの
外周部を切除する。このようにして傾斜面を簡易に形成
できるとともに、形成された傾斜面は、全周にわたって
案内面と同一角度となってバラツクことがない上に、各
定盤毎にもバラツクことなく一定角度となる。研磨動作
の際の、研磨パッド間への板状ワークの進入は、研磨パ
ッドの外周部が傾斜面となっていることによって大きな
抵抗を生じることなく円滑に行なわれるとともに、傾斜
面の角度は定盤の全周であるいは全ての定盤で適正に保
たれているから、板状ワークの進入の円滑さが部分的に
損なわれる等の不具合を生じない。

【０００７】なお、上記カッコ内の符号は、後述する実
施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであ
る。

【０００８】

【発明の実施の形態】図１には枚葉式研磨機の円形の定
盤１の外周部を示す。なお、以下に説明する構造は他の
定盤についても同様である。図１において、定盤１の上
面外周部は全周が所定角度で面取りされて案内面１３と
なっている。定盤１の上面には既に従来技術で説明した
ように内周部を除いて一定厚の研磨パッド２が接合して
あり、その外周部は全周が上記案内面１３に連続する傾
斜面２２に形成されている。この傾斜面２２は、定盤１
の外径とほぼ等しい円板状に研磨パッド２を原材から切
り出して図１の鎖線で示すように定盤１の上面に接合し
た後、案内面１３にカッタ（図示略）の刃を沿わせてそ
の先を研磨パッド２の外周部内に進入させ、周方向へ移
動させることによって切除形成される。このようにして
形成された傾斜面２２は、全周にわたって案内面１３と
同一角度となってバラツクことがないとともに、各定盤
１毎にもバラツクことなく一定角度となる。そして、上
記案内面１３の存在によって傾斜面２２の形成は極めて
容易である。

【０００９】このような定盤１Ａ，１Ｂは図２に示すよ
うに、外周部を傾斜面２２とした研磨パッド２を内方に
位置させて互いに対向して位置させられ、左右の研磨パ
ッド２で板状ワークＷの略上半部を挟持して、従来技術
で既に説明した研磨動作が行なわれる。この研磨動作の
際、研磨パッド２間への板状ワークＷの進入は、研磨パ
ッド２の外周部を傾斜面２２としてあることによって大
きな抵抗を生じることなく円滑に行なわれるとともに、
傾斜面２２の角度は定盤１Ａ，１Ｂの全周であるいは全
ての定盤１Ａ，１Ｂで適正に保たれているから、板状ワ
ークＷの進入の円滑さが部分的に損なわれる等の不具合
を生じない。

【００１０】

【発明の効果】以上のように、本発明の枚葉式研磨機に
よれば、研磨パッドの外周部を均一かつ適正な角度の傾
斜面に容易に成形でき、これによって研磨時における研
磨パッド間への板状ワークの円滑な進入が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す、定盤の外周部の断
面図である。

【図２】本発明の一実施形態を示す、ワーク研磨時の定
盤外周部の断面図である。

【図３】従来例を示す、枚葉式研磨機の全体斜視図であ
る。

【図４】従来例を示す、枚葉式研磨機の断面図である。

【図５】従来例を示す、枚葉式研磨機の定盤の正面図で
ある。

【図６】従来例を示す、ワーク研磨時の定盤外周部の断
面図で、図４のＡ部拡大図である。

【符号の説明】

１，１Ａ，１Ｂ…定盤、１３…案内面、２…研磨パッ
ド、２…研磨パッド、２２…傾斜面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転する一対の定盤の対向面にそれぞれ
   接合された研磨パッドで板状ワークの一部を両面から挟
   んで研磨する枚葉式研磨機において、各定盤の対向面の
   外周部に、所定角度で面取りされた傾斜する案内面を形
   成するとともに、研磨パッドの外周部を、前記定盤の案
   内面に連続する傾斜面に形成したことを特徴とする枚葉
   式研磨機。