JP2000183442A - 光素子用キャップ - Google Patents
光素子用キャップInfo
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- JP2000183442A JP2000183442A JP10356258A JP35625898A JP2000183442A JP 2000183442 A JP2000183442 A JP 2000183442A JP 10356258 A JP10356258 A JP 10356258A JP 35625898 A JP35625898 A JP 35625898A JP 2000183442 A JP2000183442 A JP 2000183442A
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- Japan
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- glass
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- cap
- sealing
- projection
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 封着時の熱歪み及び残留応力を減少させ、封
着強度及び気密信頼性が向上し、窓板ガラスの傾きを防
止可能とした光素子用キャップを提供すること。 【解決手段】 天板部１ａに光透過用の窓孔４を有する
金属製のキャップ本体１と、該キャップ本体１の天板部
１ａの内面に環状のガラス半田３で封着される窓板ガラ
ス２とを備え、前記キャップ本体１の天板部１ａの内面
に前記光透過用の窓孔４を囲繞する環状の突起６を設け
た。
着強度及び気密信頼性が向上し、窓板ガラスの傾きを防
止可能とした光素子用キャップを提供すること。 【解決手段】 天板部１ａに光透過用の窓孔４を有する
金属製のキャップ本体１と、該キャップ本体１の天板部
１ａの内面に環状のガラス半田３で封着される窓板ガラ
ス２とを備え、前記キャップ本体１の天板部１ａの内面
に前記光透過用の窓孔４を囲繞する環状の突起６を設け
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザーダイオ
ードやフォトカプラ等の発光素子、受光素子、投受光素
子等の光素子を光透過用の窓孔を通して光の入出力を可
能にして気密に封入し保護する光素子用キャップに関す
るものである。
ードやフォトカプラ等の発光素子、受光素子、投受光素
子等の光素子を光透過用の窓孔を通して光の入出力を可
能にして気密に封入し保護する光素子用キャップに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】光素子キャップとして、図５に示すもの
が一般的である。同図の光素子キャップは、中央に円形
の窓孔４を形成した環状の天板部１ａと、天板部１ａの
外周から延在する円筒部１ｂと、円筒部１ｂの開口端か
ら外方に延在する環状のフランジ部１ｃとを有し、全体
をコバール（Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金）等の熱膨張率がガ
ラスに近似した金属で構成されたキャップ本体１の内面
に、円形或いは多角形の窓板ガラス２を薄い円盤状のガ
ラス半田３で窓孔４の全周に亘って封着して構成され
る。
が一般的である。同図の光素子キャップは、中央に円形
の窓孔４を形成した環状の天板部１ａと、天板部１ａの
外周から延在する円筒部１ｂと、円筒部１ｂの開口端か
ら外方に延在する環状のフランジ部１ｃとを有し、全体
をコバール（Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金）等の熱膨張率がガ
ラスに近似した金属で構成されたキャップ本体１の内面
に、円形或いは多角形の窓板ガラス２を薄い円盤状のガ
ラス半田３で窓孔４の全周に亘って封着して構成され
る。
【０００３】キャップ本体１と窓板ガラス２の封着は、
図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すようにして行われ
る。まず、図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、キャップ
本体１の天板部１ａの内面にガラス半田３を載せ、その
上から窓板ガラス２を載せる。次に、これを図６（Ｃ）
の鎖線で示す加熱炉５の中に入れて全体を加熱し、ガラ
ス半田３を溶融させてキャップ本体１に窓板ガラス２を
封着する。この場合、図６（Ｂ）の状態で必要に応じて
窓板ガラス２の上に荷重を加えて加熱炉５の中で加熱さ
せることもある。
図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すようにして行われ
る。まず、図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、キャップ
本体１の天板部１ａの内面にガラス半田３を載せ、その
上から窓板ガラス２を載せる。次に、これを図６（Ｃ）
の鎖線で示す加熱炉５の中に入れて全体を加熱し、ガラ
ス半田３を溶融させてキャップ本体１に窓板ガラス２を
封着する。この場合、図６（Ｂ）の状態で必要に応じて
窓板ガラス２の上に荷重を加えて加熱炉５の中で加熱さ
せることもある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記構成で
あると、ガラス半田３と天板部１ａとの境界平面及びガ
ラス半田３と窓板ガラス２の境界平面は、封着時に発生
する熱歪み方向と平行となり、熱歪みが剪断応力に転じ
易い形状となっている。もしも、剪断応力が発生した場
合には、平面で形成される比較的脆弱なガラス半田３と
天板部１ａとの境界平面が剥離し、容易に気密破壊が生
じる不具合があった。
あると、ガラス半田３と天板部１ａとの境界平面及びガ
ラス半田３と窓板ガラス２の境界平面は、封着時に発生
する熱歪み方向と平行となり、熱歪みが剪断応力に転じ
易い形状となっている。もしも、剪断応力が発生した場
合には、平面で形成される比較的脆弱なガラス半田３と
天板部１ａとの境界平面が剥離し、容易に気密破壊が生
じる不具合があった。
【０００５】また、ガラス半田３を溶融させたときのガ
ラス半田３の流動で窓板ガラス２が傾いたり、ガラス半
田３の厚みが不均一となって、封着強度が低下する不具
合もあった。
ラス半田３の流動で窓板ガラス２が傾いたり、ガラス半
田３の厚みが不均一となって、封着強度が低下する不具
合もあった。
【０００６】さらに、ガラス半田３は、熱伝導度が小さ
いために、封着時にガラス半田３の溶融に時間を要する
という問題がある。
いために、封着時にガラス半田３の溶融に時間を要する
という問題がある。
【０００７】本発明の目的は、封着時の熱歪み及び残留
応力を減少させ、窓板ガラスの傾きを防止し、封着強度
及び気密信頼性の向上を可能とした光素子用キャップを
提供することにある。
応力を減少させ、窓板ガラスの傾きを防止し、封着強度
及び気密信頼性の向上を可能とした光素子用キャップを
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、天板部に光透過用の窓孔を有する金属製のキ
ャップ本体と、該キャップ本体の天板部の内面に環状の
ガラス半田で封着される窓板ガラスとを備え、前記キャ
ップ本体の天板部の内面に前記光透過用の窓孔を囲繞す
る環状の突起を設けたものである。
本発明は、天板部に光透過用の窓孔を有する金属製のキ
ャップ本体と、該キャップ本体の天板部の内面に環状の
ガラス半田で封着される窓板ガラスとを備え、前記キャ
ップ本体の天板部の内面に前記光透過用の窓孔を囲繞す
る環状の突起を設けたものである。
【０００９】本発明は上記構成としたから、窓板ガラス
の封着時には、キャップ本体の天板部の内面に設けた光
透過用の窓孔を囲繞する環状の突起とガラス半田との当
接面に熱集中が起きてガラス半田が急速に加熱溶融され
るため、封着時間を従来より短くすることができると共
に、突起が、ガラス半田を周方向に均一に加熱溶融する
ため、封着時の熱歪みを減少させることができ、溶融し
た環状のガラス半田を突起の内周側と外周側とに分断す
るため、ガラス半田が天板部の中央の光透過用の窓孔か
ら窓板ガラスの光透過部へ流出することを防止する堤防
の役目をなし、窓板ガラスの封着後には、固化したガラ
ス半田の残留応力が突起で分断されて小さくなり、ま
た、ガラス半田にキャップ本体の突起が食い込むことに
よってアンカー機能が生じてガラス半田の剥離を防止す
る作用が大きくなるので、光素子用キャップのキャップ
本体と窓板ガラスとの十分な封着強度を発揮させること
ができる。
の封着時には、キャップ本体の天板部の内面に設けた光
透過用の窓孔を囲繞する環状の突起とガラス半田との当
接面に熱集中が起きてガラス半田が急速に加熱溶融され
るため、封着時間を従来より短くすることができると共
に、突起が、ガラス半田を周方向に均一に加熱溶融する
ため、封着時の熱歪みを減少させることができ、溶融し
た環状のガラス半田を突起の内周側と外周側とに分断す
るため、ガラス半田が天板部の中央の光透過用の窓孔か
ら窓板ガラスの光透過部へ流出することを防止する堤防
の役目をなし、窓板ガラスの封着後には、固化したガラ
ス半田の残留応力が突起で分断されて小さくなり、ま
た、ガラス半田にキャップ本体の突起が食い込むことに
よってアンカー機能が生じてガラス半田の剥離を防止す
る作用が大きくなるので、光素子用キャップのキャップ
本体と窓板ガラスとの十分な封着強度を発揮させること
ができる。
【００１０】さらに、窓板ガラスの下面が突起によりキ
ャップ本体の天板部の内面に平行に支持されるので、光
素子用キャップの窓板ガラスの傾きを確実に防止するこ
とができる。
ャップ本体の天板部の内面に平行に支持されるので、光
素子用キャップの窓板ガラスの傾きを確実に防止するこ
とができる。
【００１１】また、本発明は、上記突起の先端を尖鋭端
とすることにより、上記の各作用を一層大きくすること
ができる。
とすることにより、上記の各作用を一層大きくすること
ができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の光素子用キャッ
プの一実施例を示す縦断側面図、図２の（Ａ）はキャッ
プ本体の縦断側面図、（Ｂ）は（Ａ）のＸ−Ｘ線断面
図、図３の（Ａ）はガラス半田による窓板ガラスとキャ
ップ本体との封着前の状態を示す要部断面図、（Ｂ）は
封着後の状態を示す要部断面図、図４は本発明に係る光
素子用キャップの他の実施例を示す一部破断側面図であ
る。
プの一実施例を示す縦断側面図、図２の（Ａ）はキャッ
プ本体の縦断側面図、（Ｂ）は（Ａ）のＸ−Ｘ線断面
図、図３の（Ａ）はガラス半田による窓板ガラスとキャ
ップ本体との封着前の状態を示す要部断面図、（Ｂ）は
封着後の状態を示す要部断面図、図４は本発明に係る光
素子用キャップの他の実施例を示す一部破断側面図であ
る。
【００１３】図１乃至図４において、１はキャップ本
体、２は窓板ガラス、３はガラス半田、４は光透過用の
窓孔、５は加熱炉を示している。
体、２は窓板ガラス、３はガラス半田、４は光透過用の
窓孔、５は加熱炉を示している。
【００１４】キャップ本体１は、全体がコバール（Ｆｅ
−Ｎｉ−Ｃｏ合金）等の熱膨張率がガラスに近似した金
属で構成されており、図２の（Ａ）、（Ｂ）に示すよう
に、中央に円形の窓孔４を形成した環状の天板部１ａ
と、天板部１ａの外周からほぼ垂直方向に延在する円筒
部１ｂと、円筒部１ｂの開口端から外方に延在する環状
のフランジ部１ｃとを有し、天板部１ａの内面に、光透
過用の窓孔４を囲繞する環状の突起６を具備している。
−Ｎｉ−Ｃｏ合金）等の熱膨張率がガラスに近似した金
属で構成されており、図２の（Ａ）、（Ｂ）に示すよう
に、中央に円形の窓孔４を形成した環状の天板部１ａ
と、天板部１ａの外周からほぼ垂直方向に延在する円筒
部１ｂと、円筒部１ｂの開口端から外方に延在する環状
のフランジ部１ｃとを有し、天板部１ａの内面に、光透
過用の窓孔４を囲繞する環状の突起６を具備している。
【００１５】上記突起６は、例えば、キャップ本体１の
プレス成形時に同時に成形されるもので、先端を断面が
三角形の尖鋭端にすることが望ましいが、他の断面形状
としてもよい。突起６の高さｈは、全周に亘って均一と
され、光素子用キャップのサイズ、種類等にもよるが、
例えば、キャップ本体１の天板部１ａの外径が３．０ｍ
ｍ、窓孔４の径が１．０ｍｍの場合では、数１０μｍか
ら数１００μｍの範囲で選択される。
プレス成形時に同時に成形されるもので、先端を断面が
三角形の尖鋭端にすることが望ましいが、他の断面形状
としてもよい。突起６の高さｈは、全周に亘って均一と
され、光素子用キャップのサイズ、種類等にもよるが、
例えば、キャップ本体１の天板部１ａの外径が３．０ｍ
ｍ、窓孔４の径が１．０ｍｍの場合では、数１０μｍか
ら数１００μｍの範囲で選択される。
【００１６】窓板ガラス２は、光透過性を備え、一様な
厚さに研磨され、反射防止膜が塗布され、あるいは該反
射防止膜の塗布が省略された１枚の大きいサイズの板ガ
ラスを円形或いは多角形に切断加工して多数形成され
る。窓板ガラス２の外径は、キャップ本体１の円筒部１
ｂの内径よりも僅かに小さくされる。
厚さに研磨され、反射防止膜が塗布され、あるいは該反
射防止膜の塗布が省略された１枚の大きいサイズの板ガ
ラスを円形或いは多角形に切断加工して多数形成され
る。窓板ガラス２の外径は、キャップ本体１の円筒部１
ｂの内径よりも僅かに小さくされる。
【００１７】また、ガラス半田３は、一様な厚さに成形
された１枚のシート状ガラス半田からプレス加工等によ
り、薄い円盤状に打抜き形成される。このガラス半田３
の中央部には、キャップ本体１の窓孔４の径とほぼ同じ
か、僅かに大きくした内径の孔３ａが形成され、また、
外径は窓板ガラス２の外径とほぼ同じか、僅かに小さく
される。
された１枚のシート状ガラス半田からプレス加工等によ
り、薄い円盤状に打抜き形成される。このガラス半田３
の中央部には、キャップ本体１の窓孔４の径とほぼ同じ
か、僅かに大きくした内径の孔３ａが形成され、また、
外径は窓板ガラス２の外径とほぼ同じか、僅かに小さく
される。
【００１８】次に、キャップ本体１に窓板ガラス２を封
着する要領を、図３の（Ａ）、（Ｂ）を参照しつつ説明
する。先ず、図３の（Ａ）に示すように、キャップ本体
１の天板部１ａの内面に設けた環状の突起６上にガラス
半田３を載せ、その上に窓板ガラス２を載せる。次に、
図３の（Ｂ）に示すように、全体を加熱炉５に入れて加
熱する。これにより、金属製のキャップ本体１は、周囲
から加熱されて温度が上昇し、その熱が天板部１ａの内
面の突起６の先端部からガラス半田３の下面の当接部分
に伝わり、このガラス半田３を溶融させて、窓板ガラス
２をキャップ本体１の天板部１ａの内面に全周に亘って
融着させる。
着する要領を、図３の（Ａ）、（Ｂ）を参照しつつ説明
する。先ず、図３の（Ａ）に示すように、キャップ本体
１の天板部１ａの内面に設けた環状の突起６上にガラス
半田３を載せ、その上に窓板ガラス２を載せる。次に、
図３の（Ｂ）に示すように、全体を加熱炉５に入れて加
熱する。これにより、金属製のキャップ本体１は、周囲
から加熱されて温度が上昇し、その熱が天板部１ａの内
面の突起６の先端部からガラス半田３の下面の当接部分
に伝わり、このガラス半田３を溶融させて、窓板ガラス
２をキャップ本体１の天板部１ａの内面に全周に亘って
融着させる。
【００１９】上記ガラス半田３の溶融過程は、先ず、突
起６の先端に接触している小面積の部分が集中的に熱せ
られて急速に溶融し始め、窓板ガラス２及びガラス半田
３の自重により、ガラス半田３の下面が突起６に食い込
むように沈下していくに従い接触面積が増大してガラス
半田３がさらに急速に加熱され、溶融が速まり窓板ガラ
ス２の下面が突起６の先端で支持されるようになり、や
がてガラス半田３の下面全体がキャップ本体１の天板部
１ａの内面に全面的に接触するに至り、ガラス半田３が
全体的に均一に溶融して、窓板ガラス２をキャップ本体
１の天板部１ａの内面に全周に亘って短時間で融着させ
るに至る。
起６の先端に接触している小面積の部分が集中的に熱せ
られて急速に溶融し始め、窓板ガラス２及びガラス半田
３の自重により、ガラス半田３の下面が突起６に食い込
むように沈下していくに従い接触面積が増大してガラス
半田３がさらに急速に加熱され、溶融が速まり窓板ガラ
ス２の下面が突起６の先端で支持されるようになり、や
がてガラス半田３の下面全体がキャップ本体１の天板部
１ａの内面に全面的に接触するに至り、ガラス半田３が
全体的に均一に溶融して、窓板ガラス２をキャップ本体
１の天板部１ａの内面に全周に亘って短時間で融着させ
るに至る。
【００２０】本実施例では、窓板ガラス２は環状の突起
６に支持されて傾きが確実に防止され、しかも、突起６
の内周側と外周側とにガラス半田３を配分して溶融した
ガラス半田３が天板部１ａの中央部の窓孔４からの流出
を防止する堤防の役目をなし、キャップ本体１と窓板ガ
ラス２との十分な封着強度を発揮させることができる。
６に支持されて傾きが確実に防止され、しかも、突起６
の内周側と外周側とにガラス半田３を配分して溶融した
ガラス半田３が天板部１ａの中央部の窓孔４からの流出
を防止する堤防の役目をなし、キャップ本体１と窓板ガ
ラス２との十分な封着強度を発揮させることができる。
【００２１】また、ガラス半田３が周方向に均一に加熱
溶融されるため、封着時の熱歪みが減少し、しかも、封
着後の残留応力が突起６で分断されて小さくなり、さら
に、ガラス半田３が突起６に食い込むことによって、ア
ンカー機能が生じ、ガラス半田３の剥離を防止する作用
を大きくすることができる。
溶融されるため、封着時の熱歪みが減少し、しかも、封
着後の残留応力が突起６で分断されて小さくなり、さら
に、ガラス半田３が突起６に食い込むことによって、ア
ンカー機能が生じ、ガラス半田３の剥離を防止する作用
を大きくすることができる。
【００２２】図４は、本発明の光素子用キャップの他の
実施例を示すもので、突起６の形成を、天板部１ａの外
面側から内面側に向けて環状に凹入させて形成したもの
であり、他の構成は前述した実施例と同様である。
実施例を示すもので、突起６の形成を、天板部１ａの外
面側から内面側に向けて環状に凹入させて形成したもの
であり、他の構成は前述した実施例と同様である。
【００２３】以上の実施例における突起６の先端の形状
は、断面三角形の尖鋭端が好ましいが、一様な高さで環
状としてあれば他の形状を採用してもよい。また、突起
６は、キャップ本体１のサイズが大きくなる場合におい
ては、天板部１ａの内面上に、複数条を同心円状に形成
してもよい。
は、断面三角形の尖鋭端が好ましいが、一様な高さで環
状としてあれば他の形状を採用してもよい。また、突起
６は、キャップ本体１のサイズが大きくなる場合におい
ては、天板部１ａの内面上に、複数条を同心円状に形成
してもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、キャップ本体に設けた
突起により、封着時の熱歪みを減少させ、窓板ガラスの
封着後、突起がガラス半田を分断して食い込むことによ
り、ガラス半田の残留応力を小さくし、突起のアンカー
機能により、ガラス半田の剥離を防止するので窓板ガラ
スの十分な封着強度が得られ、光素子用キャップの気密
信頼性を向上させることができる。
突起により、封着時の熱歪みを減少させ、窓板ガラスの
封着後、突起がガラス半田を分断して食い込むことによ
り、ガラス半田の残留応力を小さくし、突起のアンカー
機能により、ガラス半田の剥離を防止するので窓板ガラ
スの十分な封着強度が得られ、光素子用キャップの気密
信頼性を向上させることができる。
【００２５】また、環状の突起は、窓板ガラスをキャッ
プ本体に封着する時間を従来より短くすることができる
と共に、溶融したガラス半田の流出を防止し、窓板ガラ
スをキャップ本体の天板部の内面に平行に支持するの
で、光素子用キャップの品質を向上させることができ
る。
プ本体に封着する時間を従来より短くすることができる
と共に、溶融したガラス半田の流出を防止し、窓板ガラ
スをキャップ本体の天板部の内面に平行に支持するの
で、光素子用キャップの品質を向上させることができ
る。
【００２６】さらに、本発明は、上記突起の先端を尖鋭
端とすることにより、上記の各効果を一層大きくした光
素子用キャップを得ることができる。
端とすることにより、上記の各効果を一層大きくした光
素子用キャップを得ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す光素子用キャップの縦
断側面図。
断側面図。
【図２】（Ａ）はキャップ本体の縦断側面図、（Ｂ）は
（Ａ）のＸ−Ｘ線断面図。
（Ａ）のＸ−Ｘ線断面図。
【図３】（Ａ）はガラス半田によるキャップ本体と窓板
ガラスとの封着前の要部断面図、（Ｂ）は封着後の要部
断面図。
ガラスとの封着前の要部断面図、（Ｂ）は封着後の要部
断面図。
【図４】本発明の他の実施例を示す光素子用キャップの
一部破断側面図。
一部破断側面図。
【図５】従来の光素子用キャップの断面図。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は従来の光素子用キャ
ップの製造工程を示す断面図。
ップの製造工程を示す断面図。
１ キャップ本体 １ａ 天板部 １ｂ 円筒部 １ｃ フランジ部 ２ 窓板ガラス ３ ガラス半田 ４ 窓孔 ５ 加熱炉 ６ 突起
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 角見 昌昭 滋賀県大津市晴嵐２丁目７番１号 日本電 気硝子株式会社内 Ｆターム(参考） 5F073 EA28 FA29 5F088 BA10 JA01 JA07
Claims (2)
- 【請求項１】 天板部に光透過用の窓孔を有する金属製
のキャップ本体と、該キャップ本体の天板部の内面に環
状のガラス半田で封着される窓板ガラスとを備え、前記
キャップ本体の天板部の内面に前記光透過用の窓孔を囲
繞する環状の突起を設けたことを特徴とする光素子用キ
ャップ。 - 【請求項２】 前記突起の先端を尖鋭端としたことを特
徴とする請求項１記載の光素子用キャップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10356258A JP2000183442A (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | 光素子用キャップ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10356258A JP2000183442A (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | 光素子用キャップ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000183442A true JP2000183442A (ja) | 2000-06-30 |
Family
ID=18448137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10356258A Pending JP2000183442A (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | 光素子用キャップ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000183442A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009094179A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Sony Corp | レーザモジュール及び光ピックアップ装置 |
| JP2018101653A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 新光電気工業株式会社 | キャップ部材及びその製造方法と発光装置 |
| CN113922201A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-01-11 | 江苏集萃纳米应用技术研究所有限公司 | 一种密封壳体及半导体激光器 |
-
1998
- 1998-12-15 JP JP10356258A patent/JP2000183442A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009094179A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Sony Corp | レーザモジュール及び光ピックアップ装置 |
| JP2018101653A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 新光電気工業株式会社 | キャップ部材及びその製造方法と発光装置 |
| CN113922201A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-01-11 | 江苏集萃纳米应用技术研究所有限公司 | 一种密封壳体及半导体激光器 |
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