JP2000180658A - 光部品の調心装置 - Google Patents
光部品の調心装置Info
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- JP2000180658A JP2000180658A JP36127498A JP36127498A JP2000180658A JP 2000180658 A JP2000180658 A JP 2000180658A JP 36127498 A JP36127498 A JP 36127498A JP 36127498 A JP36127498 A JP 36127498A JP 2000180658 A JP2000180658 A JP 2000180658A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 どのような形態の光部品であっても、高精度
に調心を行うことのできる光部品の調心装置を提供する
こと。 【解決手段】 本発明の光部品の調心装置は、複数本の
光軸を有する光部品７の突き合わせ端面７ａを、相手側
光部品８の突き合わせ端面８ａと対向させて調心させる
もので、光部品を固定する固定部６ｄと、直線移動三軸
及び回転移動三軸の計六軸の自由度で固定部６ｄを移動
させる各軸毎の移動ステージ１〜６とを備え、回転移動
軸のうちの一軸が、固定する光部品７の突き合わせ端面
７ａを通り、かつ、突き合わせ端面７ａに対して直角な
端面回転軸θZとされ、移動ステージ１〜６の各重心
が、一本の鉛直軸Ｐ上に配置されていることを特徴とし
ている。
に調心を行うことのできる光部品の調心装置を提供する
こと。 【解決手段】 本発明の光部品の調心装置は、複数本の
光軸を有する光部品７の突き合わせ端面７ａを、相手側
光部品８の突き合わせ端面８ａと対向させて調心させる
もので、光部品を固定する固定部６ｄと、直線移動三軸
及び回転移動三軸の計六軸の自由度で固定部６ｄを移動
させる各軸毎の移動ステージ１〜６とを備え、回転移動
軸のうちの一軸が、固定する光部品７の突き合わせ端面
７ａを通り、かつ、突き合わせ端面７ａに対して直角な
端面回転軸θZとされ、移動ステージ１〜６の各重心
が、一本の鉛直軸Ｐ上に配置されていることを特徴とし
ている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光部品同士を調心
させる光部品の調心装置に関する。
させる光部品の調心装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光導波路や光ファイバアレイなどの光部
品同士を結合させる際には、導波路と光ファイバアレイ
上の光ファイバのコア部とを調心して、伝送損失が最小
となるようにしている。このような光部品の調心を行う
調心装置としては、特開平8-201650号公報や特開平9-18
9820号公報に記載のものなどが知られている。
品同士を結合させる際には、導波路と光ファイバアレイ
上の光ファイバのコア部とを調心して、伝送損失が最小
となるようにしている。このような光部品の調心を行う
調心装置としては、特開平8-201650号公報や特開平9-18
9820号公報に記載のものなどが知られている。
【０００３】特開平8-201650号公報に記載の調心装置
は、直線移動三軸及び回転移動二軸の計五軸の自由度
で、固定した光部品の調心を行うものである。また、特
開平9-189820号公報に記載の調心装置は、直線移動三軸
及び回転移動一軸の計四軸で、固定した光部品の調心を
行うものである。
は、直線移動三軸及び回転移動二軸の計五軸の自由度
で、固定した光部品の調心を行うものである。また、特
開平9-189820号公報に記載の調心装置は、直線移動三軸
及び回転移動一軸の計四軸で、固定した光部品の調心を
行うものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平8-2016
50号公報に記載の調心装置は、突き合わせ端面を傾斜さ
せた光部品に対する配慮がなされていないものであり、
また、光部品の低コスト化に伴う寸法精度の低下が生じ
ている昨今においては、調心時の自由度も充分であると
は言えないものであった。一方、特開平9-189820号公報
に記載の調心装置は、調心時の自由度が少なく、また、
数μmの精度で調心を行う必要がある装置としては、装
置全体の重量バランスが悪く、調心時に各移動軸に対応
する各ステージに重力によるモーメントが発生し、光部
品の位置がずれてしまう、すなわち、光部品を確実に固
定し得ない場合もあった。
50号公報に記載の調心装置は、突き合わせ端面を傾斜さ
せた光部品に対する配慮がなされていないものであり、
また、光部品の低コスト化に伴う寸法精度の低下が生じ
ている昨今においては、調心時の自由度も充分であると
は言えないものであった。一方、特開平9-189820号公報
に記載の調心装置は、調心時の自由度が少なく、また、
数μmの精度で調心を行う必要がある装置としては、装
置全体の重量バランスが悪く、調心時に各移動軸に対応
する各ステージに重力によるモーメントが発生し、光部
品の位置がずれてしまう、すなわち、光部品を確実に固
定し得ない場合もあった。
【０００５】従って、本発明は、どのような形態の光部
品であっても、高精度に調心を行うことのできる光部品
の調心装置を提供することを目的とする。
品であっても、高精度に調心を行うことのできる光部品
の調心装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、複数本の光軸を有する光部品の突き合わせ端面を、
相手側光部品の突き合わせ端面と対向させて調心させる
光部品の調心装置において、光部品を固定する固定部
と、直線移動三軸及び回転移動三軸の計六軸の自由度で
固定部を移動させる各軸毎の移動ステージとを備え、回
転移動軸のうちの一軸が、固定する光部品の突き合わせ
端面を通り、かつ、突き合わせ端面に対して直角な端面
回転軸とされ、移動ステージの各重心が、一本の鉛直軸
上に配置されていることを特徴としている。
は、複数本の光軸を有する光部品の突き合わせ端面を、
相手側光部品の突き合わせ端面と対向させて調心させる
光部品の調心装置において、光部品を固定する固定部
と、直線移動三軸及び回転移動三軸の計六軸の自由度で
固定部を移動させる各軸毎の移動ステージとを備え、回
転移動軸のうちの一軸が、固定する光部品の突き合わせ
端面を通り、かつ、突き合わせ端面に対して直角な端面
回転軸とされ、移動ステージの各重心が、一本の鉛直軸
上に配置されていることを特徴としている。
【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、固定部が、鉛直軸に対して側方に延設
された腕部の先端に形成されていることを特徴としてい
る。
の発明において、固定部が、鉛直軸に対して側方に延設
された腕部の先端に形成されていることを特徴としてい
る。
【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載の発明において、固定部が、10-6以下の線膨張係
数を有していることを特徴としている。
に記載の発明において、固定部が、10-6以下の線膨張係
数を有していることを特徴としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の光部品の調心装置の一実
施形態について、図面を参照しつつ説明する。
施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１０】本実施形態の調心装置は、図１に示される
ように、もう一方の調心装置と対向された状態で使用さ
れる。ここでは、光部品として、光ファイバアレイ７と
光導波路８とが使用されており、光導波路８の両端にそ
れぞれ光ファイバアレイ７を調心した後に結合させる場
合で説明する。一対の調心装置の間には、光導波路８を
固定する固定装置が配置されている。
ように、もう一方の調心装置と対向された状態で使用さ
れる。ここでは、光部品として、光ファイバアレイ７と
光導波路８とが使用されており、光導波路８の両端にそ
れぞれ光ファイバアレイ７を調心した後に結合させる場
合で説明する。一対の調心装置の間には、光導波路８を
固定する固定装置が配置されている。
【００１１】光ファイバアレイ７には、複数本の光ファ
イバ（図示せず）が平行に配列されており、これを、光
導波路８の基板上に形成された導波路と調心させる。光
ファイバアレイ７及び光導波路８の突き合わせ端面７
ａ，８ａは、光ファイバや導波路の端面での反射の影響
を低減させるために、傾斜角度αの傾斜が形成されてい
る。ここでは、α＝約８度とされている。
イバ（図示せず）が平行に配列されており、これを、光
導波路８の基板上に形成された導波路と調心させる。光
ファイバアレイ７及び光導波路８の突き合わせ端面７
ａ，８ａは、光ファイバや導波路の端面での反射の影響
を低減させるために、傾斜角度αの傾斜が形成されてい
る。ここでは、α＝約８度とされている。
【００１２】本実施形態の調心装置は、図１及び図２に
示されるように、Ｚ軸直線移動用の移動ステージ１（以
下、Ｚ軸ステージ１とも言う）、Ｘ軸直線移動用の移動
ステージ２（以下、Ｘ軸ステージ２とも言う）、θX軸
回転移動用の移動ステージ３（以下、θX軸ステージ３
とも言う）、Ｙ軸直線移動用の移動ステージ４（以下、
Ｙ軸ステージ４とも言う）、θY軸回転移動用の移動ス
テージ５（以下、θY軸ステージ５とも言う）、及び、
θZ軸回転移動用の移動ステージ６（以下、θZ軸ステー
ジ６とも言う）が下方から上方に積層された構造とされ
ている。
示されるように、Ｚ軸直線移動用の移動ステージ１（以
下、Ｚ軸ステージ１とも言う）、Ｘ軸直線移動用の移動
ステージ２（以下、Ｘ軸ステージ２とも言う）、θX軸
回転移動用の移動ステージ３（以下、θX軸ステージ３
とも言う）、Ｙ軸直線移動用の移動ステージ４（以下、
Ｙ軸ステージ４とも言う）、θY軸回転移動用の移動ス
テージ５（以下、θY軸ステージ５とも言う）、及び、
θZ軸回転移動用の移動ステージ６（以下、θZ軸ステー
ジ６とも言う）が下方から上方に積層された構造とされ
ている。
【００１３】ここで、Ｘ軸は、光ファイバアレイ７の光
ファイバ配列方向とされている。Ｙ軸は、Ｘ軸に対して
直角で、かつ、光ファイバアレイ７の突き合わせ端面７
ａに平行とされている。Ｚ軸は、Ｘ軸に対して直角で、
かつ、光ファイバアレイ７内の光ファイバの延設方向に
対して平行とされている。
ファイバ配列方向とされている。Ｙ軸は、Ｘ軸に対して
直角で、かつ、光ファイバアレイ７の突き合わせ端面７
ａに平行とされている。Ｚ軸は、Ｘ軸に対して直角で、
かつ、光ファイバアレイ７内の光ファイバの延設方向に
対して平行とされている。
【００１４】θX軸は、Ｘ軸方向に延在されている。θY
軸は、Ｙ軸方向に延在され、光ファイバアレイ７の突き
合わせ端面７ａの中央を通り、かつ、突き合わせ端面７
ａを含む平面上に配置されている。θZ軸は、端面回転
軸であり、突き合わせ端面７ａの中心を通り、かつ、突
き合わせ端面７ａに対して直角な位置に配置されてい
る。
軸は、Ｙ軸方向に延在され、光ファイバアレイ７の突き
合わせ端面７ａの中央を通り、かつ、突き合わせ端面７
ａを含む平面上に配置されている。θZ軸は、端面回転
軸であり、突き合わせ端面７ａの中心を通り、かつ、突
き合わせ端面７ａに対して直角な位置に配置されてい
る。
【００１５】Ｚ軸ステージ１は、下側部１ａと上側部１
ｂとからなり、上側部１ｂは、下側部１ａに対してＺ軸
方向に直線状にスライド可能とされている。下側部１ａ
に対する上側部１ｂのスライドは、図示されないモータ
によってサブミクロンオーダーの分解能で行われる。
ｂとからなり、上側部１ｂは、下側部１ａに対してＺ軸
方向に直線状にスライド可能とされている。下側部１ａ
に対する上側部１ｂのスライドは、図示されないモータ
によってサブミクロンオーダーの分解能で行われる。
【００１６】Ｘ軸ステージ２も、上述したＺ軸ステージ
１と同様の構成を有しており、上側部２ｂは、下側部２
ａに対してＸ軸方向に直線状にスライド可能とされてお
り、そのスライドは、図示されないモータによってサブ
ミクロンオーダーの分解能で行われる。なお、Ｚ軸ステ
ージ１の上側部１ｂとＸ軸ステージ２の下側部２ａとは
一体的に結合されている。
１と同様の構成を有しており、上側部２ｂは、下側部２
ａに対してＸ軸方向に直線状にスライド可能とされてお
り、そのスライドは、図示されないモータによってサブ
ミクロンオーダーの分解能で行われる。なお、Ｚ軸ステ
ージ１の上側部１ｂとＸ軸ステージ２の下側部２ａとは
一体的に結合されている。
【００１７】θX軸ステージ３は、下側部３ａと上側部
３ｂとからなり、下側部３ａの上面が凹状曲面として形
成され、上側部３ｂの下面が上述した凹状曲面に対応し
た凸状曲面として形成されている。このため、上側部３
ｂは、下側部３ａに対してθ X軸を中心として円弧状に
スライド可能とされている。下側部３ａに対する上側部
３ｂのスライドは、図示されないモータによって、（突
き合わせ端面７ａでの移動量に関して）サブミクロンオ
ーダーの分解能で行われる。なお、Ｘ軸ステージ２の上
側部２ｂとθX軸ステージ３の下側部３ａとは一体的に
結合されている。
３ｂとからなり、下側部３ａの上面が凹状曲面として形
成され、上側部３ｂの下面が上述した凹状曲面に対応し
た凸状曲面として形成されている。このため、上側部３
ｂは、下側部３ａに対してθ X軸を中心として円弧状に
スライド可能とされている。下側部３ａに対する上側部
３ｂのスライドは、図示されないモータによって、（突
き合わせ端面７ａでの移動量に関して）サブミクロンオ
ーダーの分解能で行われる。なお、Ｘ軸ステージ２の上
側部２ｂとθX軸ステージ３の下側部３ａとは一体的に
結合されている。
【００１８】Ｙ軸ステージ４は、下側部４ａと上側部４
ｂとからなり、上側部４ｂは、下側部１ａに対してＹ軸
方向に直線状にスライド可能とされている。下側部４ａ
に対する上側部４ｂのスライドは、図示されないモータ
によってサブミクロンオーダーの分解能で行われる。な
お、θX軸ステージ３の上側部３ｂとＹ軸ステージ４の
下側部４ａとは一体的に結合されている。
ｂとからなり、上側部４ｂは、下側部１ａに対してＹ軸
方向に直線状にスライド可能とされている。下側部４ａ
に対する上側部４ｂのスライドは、図示されないモータ
によってサブミクロンオーダーの分解能で行われる。な
お、θX軸ステージ３の上側部３ｂとＹ軸ステージ４の
下側部４ａとは一体的に結合されている。
【００１９】θY軸ステージ５は、湾曲したレール部５
ａとこのレール部５ａ上をスライドするスライド部５ｂ
とからなる。スライド部５ｂは、レール部５ａに対して
θY軸を中心として円弧状にスライド可能とされてい
る。レール部５ａに対するスライド部５ｂのスライド
は、図示されないモータによって、（突き合わせ端面７
ａでの移動量に関して）サブミクロンオーダーの分解能
で行われる。なお、Ｙ軸ステージ４の上側部４ｂの上面
にレール部５ａが一体的に形成されている。
ａとこのレール部５ａ上をスライドするスライド部５ｂ
とからなる。スライド部５ｂは、レール部５ａに対して
θY軸を中心として円弧状にスライド可能とされてい
る。レール部５ａに対するスライド部５ｂのスライド
は、図示されないモータによって、（突き合わせ端面７
ａでの移動量に関して）サブミクロンオーダーの分解能
で行われる。なお、Ｙ軸ステージ４の上側部４ｂの上面
にレール部５ａが一体的に形成されている。
【００２０】θZ軸ステージ６も、上述したθX軸ステー
ジ３と同様の構成を有しており、上面が凹状曲面として
形成された下側部６ａと、下面が凸状曲面として形成さ
れた上側部６ｂとからなる。上側部６ｂは、下側部６ａ
に対してθZ軸を中心として円弧状にスライド可能とさ
れている。下側部６ａに対する上側部６ｂのスライド
は、図示されないモータによって他の移動ステージ１〜
５と同様に高精度に行われる。なお、θY軸ステージ５
のスライド部５ｂとθZ軸ステージ６の下側部６ａとは
一体的に結合されている。
ジ３と同様の構成を有しており、上面が凹状曲面として
形成された下側部６ａと、下面が凸状曲面として形成さ
れた上側部６ｂとからなる。上側部６ｂは、下側部６ａ
に対してθZ軸を中心として円弧状にスライド可能とさ
れている。下側部６ａに対する上側部６ｂのスライド
は、図示されないモータによって他の移動ステージ１〜
５と同様に高精度に行われる。なお、θY軸ステージ５
のスライド部５ｂとθZ軸ステージ６の下側部６ａとは
一体的に結合されている。
【００２１】θZ軸ステージ６の上側部６ｂからは、腕
部６ｃが側方に向けて延設されている。上側部６ｂに対
して、腕部６ｃは上述した傾斜角度αの角度を有して延
設されている。また、腕部６ｃの先端には、光ファイバ
アレイ７を固定する固定部６ｄが形成されている。ここ
では、光ファイバアレイ７の固定方法については詳しく
述べないが、通常行われる固定方法によって光ファイバ
アレイ７が固定部６ｄに固定される。腕部６ｃが傾斜角
度αの角度で延設されているので、光ファイバアレイ７
は、突き合わせ端面７ａに対して直角なθZ軸を中心に
回転可能となる。
部６ｃが側方に向けて延設されている。上側部６ｂに対
して、腕部６ｃは上述した傾斜角度αの角度を有して延
設されている。また、腕部６ｃの先端には、光ファイバ
アレイ７を固定する固定部６ｄが形成されている。ここ
では、光ファイバアレイ７の固定方法については詳しく
述べないが、通常行われる固定方法によって光ファイバ
アレイ７が固定部６ｄに固定される。腕部６ｃが傾斜角
度αの角度で延設されているので、光ファイバアレイ７
は、突き合わせ端面７ａに対して直角なθZ軸を中心に
回転可能となる。
【００２２】また、固定部６ｄは、10-6以下の線膨張係
数を有する素材で形成されている。このような素材とし
ては、日本鋳造株式会社製superLexシリーズ５などがあ
る。なお、ここに言う固定部６ｄとは、固定する光ファ
イバアレイ７と接触する全ての部分を言う。また、上述
した移動ステージ１〜６の各重心は、一本の鉛直軸Ｐ上
に位置されている（図１中左方の調心装置を参照）。
数を有する素材で形成されている。このような素材とし
ては、日本鋳造株式会社製superLexシリーズ５などがあ
る。なお、ここに言う固定部６ｄとは、固定する光ファ
イバアレイ７と接触する全ての部分を言う。また、上述
した移動ステージ１〜６の各重心は、一本の鉛直軸Ｐ上
に位置されている（図１中左方の調心装置を参照）。
【００２３】なお、光ファイバアレイ７を調心させる相
手となる光導波路８が、固定台９上に固定されている。
θY軸ステージ５の回転半径は約150mmとされている。ま
た、上述した腕部６ｃは、鉛直軸Ｐに対して側方に延設
されている。このため、光ファイバアレイ７の下方に
は、固定台９などの機構を配置するスペースが確保でき
る。また、移動ステージ１〜６の各重心が鉛直軸Ｐ上に
位置されているので、このように腕部６ｃを側方に延設
させても、調心時に非常に安定した状態で作業を行え
る。
手となる光導波路８が、固定台９上に固定されている。
θY軸ステージ５の回転半径は約150mmとされている。ま
た、上述した腕部６ｃは、鉛直軸Ｐに対して側方に延設
されている。このため、光ファイバアレイ７の下方に
は、固定台９などの機構を配置するスペースが確保でき
る。また、移動ステージ１〜６の各重心が鉛直軸Ｐ上に
位置されているので、このように腕部６ｃを側方に延設
させても、調心時に非常に安定した状態で作業を行え
る。
【００２４】上述した調心装置は、突き合わせ端面７ａ
が約８度（傾斜角度α）で傾斜されている光ファイバア
レイ７を取り扱うことを前提としており、このため、θ
X軸ステージ３の上側部３ｂから上方が予め約８度傾け
られた状態とされ、かつ、腕部６ｃがθZ軸ステージ６
の上側部６ｂから約８度傾けた状態で延設されている。
が約８度（傾斜角度α）で傾斜されている光ファイバア
レイ７を取り扱うことを前提としており、このため、θ
X軸ステージ３の上側部３ｂから上方が予め約８度傾け
られた状態とされ、かつ、腕部６ｃがθZ軸ステージ６
の上側部６ｂから約８度傾けた状態で延設されている。
【００２５】次に、上述した調心装置の使用方法を簡単
に説明する。
に説明する。
【００２６】まず、一対の光ファイバアレイ７を各調心
装置の固定部６ｄにそれぞれ固定し、光導波路８を固定
台９に固定する。次いで、一方の光ファイバアレイ７に
取り付けられている光ファイバ（図示せず）から光を伝
送させ、他方の光ファイバアレイ７に取り付けられてい
る光ファイバ（図示せず）を通して光を検出する。
装置の固定部６ｄにそれぞれ固定し、光導波路８を固定
台９に固定する。次いで、一方の光ファイバアレイ７に
取り付けられている光ファイバ（図示せず）から光を伝
送させ、他方の光ファイバアレイ７に取り付けられてい
る光ファイバ（図示せず）を通して光を検出する。
【００２７】伝送される光をパワーモニターなどでモニ
ターしながら調心作業を行い、最も伝送特性が良好なと
ころで調心がなされたとされる。実際には、パワーモニ
ターなどによるモニター結果を演算処理して、上述した
各移動ステージ１〜６の各軸についての直線移動量又は
回転移動量を算出し、各モータを駆動させて各移動ステ
ージ１〜６を移動させて調心が行われる。
ターしながら調心作業を行い、最も伝送特性が良好なと
ころで調心がなされたとされる。実際には、パワーモニ
ターなどによるモニター結果を演算処理して、上述した
各移動ステージ１〜６の各軸についての直線移動量又は
回転移動量を算出し、各モータを駆動させて各移動ステ
ージ１〜６を移動させて調心が行われる。
【００２８】調心が終了したら、各光ファイバアレイ７
及び光導波路８の突き合わせ端面７ａ，８ａに対して紫
外線硬化樹脂を塗布し、紫外線を照射させることで硬化
結合させる。このとき、紫外線が照射される部分は、最
大約10℃程度の温度上昇を伴う。一般的なステンレス(S
US)は、線膨張係数（熱膨張係数とも言う）が1.8×10 -5
（/℃）であることを考慮すると、この温度上昇によっ
てＸ方向（膨張による伝送特性への影響が最も顕著であ
る方向）に約1μm程度の熱膨張によるズレが発生する。
光部品はサブミクロンオーダーで調心を行うため、この
膨張によるズレは無視できない。本実施形態の調心装置
は、紫外線が照射される固定部６ｄの線膨張係数が10-6
以下とされているため、調心作業に影響をほとんど与え
ない。
及び光導波路８の突き合わせ端面７ａ，８ａに対して紫
外線硬化樹脂を塗布し、紫外線を照射させることで硬化
結合させる。このとき、紫外線が照射される部分は、最
大約10℃程度の温度上昇を伴う。一般的なステンレス(S
US)は、線膨張係数（熱膨張係数とも言う）が1.8×10 -5
（/℃）であることを考慮すると、この温度上昇によっ
てＸ方向（膨張による伝送特性への影響が最も顕著であ
る方向）に約1μm程度の熱膨張によるズレが発生する。
光部品はサブミクロンオーダーで調心を行うため、この
膨張によるズレは無視できない。本実施形態の調心装置
は、紫外線が照射される固定部６ｄの線膨張係数が10-6
以下とされているため、調心作業に影響をほとんど与え
ない。
【００２９】また、このような装置を用いて調心を行う
場合、傾斜された突き合わせ端面７ａに対して垂直な軸
であるθZを中心に突き合わせ端面７ａを回転させるこ
とができる。このため、相手側の光導波路８の突き合わ
せ端面８ａとの干渉を防止しつつ、配列された複数本の
光ファイバ（導波路）の全てを正確に調心させることが
できる。
場合、傾斜された突き合わせ端面７ａに対して垂直な軸
であるθZを中心に突き合わせ端面７ａを回転させるこ
とができる。このため、相手側の光導波路８の突き合わ
せ端面８ａとの干渉を防止しつつ、配列された複数本の
光ファイバ（導波路）の全てを正確に調心させることが
できる。
【００３０】さらに、このような装置を用いて調心作業
を行う場合、光ファイバアレイ７を外力によって取り付
ける際などに最大約1kgの荷重が固定部６ｄに加えられ
るが、このような荷重が加えられても、本実施形態の調
心装置は、各移動ステージ１〜６の重心が鉛直軸Ｐ上に
配置されており、非常に安定しているため、移動ステー
ジ１〜６のズレは確認できなかった。また、調心後、そ
のまま放置しても経時的なズレは発生しなかった。
を行う場合、光ファイバアレイ７を外力によって取り付
ける際などに最大約1kgの荷重が固定部６ｄに加えられ
るが、このような荷重が加えられても、本実施形態の調
心装置は、各移動ステージ１〜６の重心が鉛直軸Ｐ上に
配置されており、非常に安定しているため、移動ステー
ジ１〜６のズレは確認できなかった。また、調心後、そ
のまま放置しても経時的なズレは発生しなかった。
【００３１】上述した調心装置においては、調心時に各
移動ステージ１〜６が移動されると各移動ステージ１〜
６の重心位置も移動するので、厳密に言えば、重心が僅
かに鉛直軸Ｐ上からずれる場合はある。しかし、調心時
の各移動ステージ１〜６の移動は上述したようにサブミ
クロンオーダーで行われ、その移動量は数μmであり、
装置全体の大きさからみれば非常に僅かなものである。
このため、各移動ステージ１〜６が移動されても、各重
心は実質的に鉛直軸Ｐ上にあると言える。
移動ステージ１〜６が移動されると各移動ステージ１〜
６の重心位置も移動するので、厳密に言えば、重心が僅
かに鉛直軸Ｐ上からずれる場合はある。しかし、調心時
の各移動ステージ１〜６の移動は上述したようにサブミ
クロンオーダーで行われ、その移動量は数μmであり、
装置全体の大きさからみれば非常に僅かなものである。
このため、各移動ステージ１〜６が移動されても、各重
心は実質的に鉛直軸Ｐ上にあると言える。
【００３２】なお、本発明の調心装置は、上述した実施
形態のものに限定されることはない。例えば、上述した
実施形態においては、突き合わせ端面７ａが約８度（傾
斜角度α）で傾斜されている光ファイバアレイ７を取り
扱うことを前提としており、このため、θX軸ステージ
３の上側部３ｂから上方が予め約８度傾けられた状態と
され、かつ、腕部６ｃがθZ軸ステージ６の上側部６ｂ
から約８度傾けた状態で延設されていた。例えば、突き
合わせ端面７ａの傾斜角度αが7.8度とされている光フ
ァイバアレイ７を取り扱う場合は、θX軸ステージ３の
上側部３ｂから上方を予め7.8度傾けた状態とし、か
つ、腕部６ｃをθZ軸ステージ６の上側部６ｂから7.8度
傾けた状態で延設すれば良い。
形態のものに限定されることはない。例えば、上述した
実施形態においては、突き合わせ端面７ａが約８度（傾
斜角度α）で傾斜されている光ファイバアレイ７を取り
扱うことを前提としており、このため、θX軸ステージ
３の上側部３ｂから上方が予め約８度傾けられた状態と
され、かつ、腕部６ｃがθZ軸ステージ６の上側部６ｂ
から約８度傾けた状態で延設されていた。例えば、突き
合わせ端面７ａの傾斜角度αが7.8度とされている光フ
ァイバアレイ７を取り扱う場合は、θX軸ステージ３の
上側部３ｂから上方を予め7.8度傾けた状態とし、か
つ、腕部６ｃをθZ軸ステージ６の上側部６ｂから7.8度
傾けた状態で延設すれば良い。
【００３３】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、直線移
動三軸及び回転移動三軸の計六軸の自由度を有してお
り、かつ、回転移動軸のうちの一軸が、端面回転軸とさ
れているため、突き合わせ端面をその平面内で回転させ
ることができ、突き合わせ端面が傾斜して形成されてい
るような光部品であっても、確実に高精度の調心を行う
ことができる。また、各移動ステージの重心が一本の鉛
直軸上に配置されているので、装置全体が非常に安定し
ており、調心時に光部品を確実に保持しておくことがで
き、より高精度の調心を行うことができる。
動三軸及び回転移動三軸の計六軸の自由度を有してお
り、かつ、回転移動軸のうちの一軸が、端面回転軸とさ
れているため、突き合わせ端面をその平面内で回転させ
ることができ、突き合わせ端面が傾斜して形成されてい
るような光部品であっても、確実に高精度の調心を行う
ことができる。また、各移動ステージの重心が一本の鉛
直軸上に配置されているので、装置全体が非常に安定し
ており、調心時に光部品を確実に保持しておくことがで
き、より高精度の調心を行うことができる。
【００３４】請求項２に記載の発明によれば、固定部
が、鉛直軸に対して側方に延設された腕部の先端に形成
されているので、固定部の下方にスペースを形成させる
ことができ、調心を行う相手側の光部品を確実に固定す
る機構を配置することができ、より高精度な調心を行う
ことができる。
が、鉛直軸に対して側方に延設された腕部の先端に形成
されているので、固定部の下方にスペースを形成させる
ことができ、調心を行う相手側の光部品を確実に固定す
る機構を配置することができ、より高精度な調心を行う
ことができる。
【００３５】請求項３に記載の発明によれば、光部品同
士の結合時に、光部品を固定する固定部の熱膨張による
調心ズレを抑止することができ、より高精度な調心を行
うことができる。
士の結合時に、光部品を固定する固定部の熱膨張による
調心ズレを抑止することができ、より高精度な調心を行
うことができる。
【図１】本発明の光部品の調心装置の一実施形態を示す
側面図である。
側面図である。
【図２】本発明の光部品の調心装置の一実施形態を示す
斜視図である。
斜視図である。
１…Ｚ軸ステージ（移動ステージ）、２…Ｘ軸ステージ
（移動ステージ）、３…θX軸ステージ（移動ステー
ジ）、４…Ｙ軸ステージ（移動ステージ）、５…θY軸
ステージ（移動ステージ）、６…θZ軸ステージ（移動
ステージ）、６ｃ…腕部、６ｄ…固定部、７…光ファイ
バアレイ（光部品）、８…光導波路（光部品）、７ａ，
８ａ…突き合わせ端面。
（移動ステージ）、３…θX軸ステージ（移動ステー
ジ）、４…Ｙ軸ステージ（移動ステージ）、５…θY軸
ステージ（移動ステージ）、６…θZ軸ステージ（移動
ステージ）、６ｃ…腕部、６ｄ…固定部、７…光ファイ
バアレイ（光部品）、８…光導波路（光部品）、７ａ，
８ａ…突き合わせ端面。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H037 AA01 BA03 BA12 DA03 DA04 DA05 DA06 DA22 2H043 AA03 AA11 AA25 AB05 AB06 AD03 AD13 AD24
Claims (3)
- 【請求項１】 複数本の光軸を有する光部品の突き合わ
せ端面を、相手側光部品の突き合わせ端面と対向させて
調心させる光部品の調心装置において、 前記光部品を固定する固定部と、直線移動三軸及び回転
移動三軸の計六軸の自由度で前記固定部を移動させる各
軸毎の移動ステージとを備え、 前記回転移動軸のうちの一軸が、固定する前記光部品の
前記突き合わせ端面を通り、かつ、前記突き合わせ端面
に対して直角な端面回転軸とされ、 前記移動ステージの各重心が、一本の鉛直軸上に配置さ
れていることを特徴とする光部品の調心装置。 - 【請求項２】 前記固定部が、前記鉛直軸に対して側方
に延設された腕部の先端に形成されている、請求項１に
記載の光部品の調心装置。 - 【請求項３】 前記固定部が、10-6以下の線膨張係数を
有している、請求項１又は２に記載の光部品の調心装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36127498A JP2000180658A (ja) | 1998-12-18 | 1998-12-18 | 光部品の調心装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36127498A JP2000180658A (ja) | 1998-12-18 | 1998-12-18 | 光部品の調心装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000180658A true JP2000180658A (ja) | 2000-06-30 |
Family
ID=18472904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36127498A Pending JP2000180658A (ja) | 1998-12-18 | 1998-12-18 | 光部品の調心装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000180658A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005338862A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | 基板に配置されたマイクロ光学構成素子を備えた装置、該装置を位置調整するための方法および該装置を備えた光学システム |
| JP2014138021A (ja) * | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | 調芯装置及びそれを用いた調芯方法 |
-
1998
- 1998-12-18 JP JP36127498A patent/JP2000180658A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005338862A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | 基板に配置されたマイクロ光学構成素子を備えた装置、該装置を位置調整するための方法および該装置を備えた光学システム |
| EP1607781A2 (de) * | 2004-05-28 | 2005-12-21 | Osram Opto Semiconductors GmbH | Anordnung eines mikrooptischen Bauelements auf einem Substrat, Verfahren zur Justierung der Anordnung und optisches System mit der Anordnung |
| EP1607781A3 (de) * | 2004-05-28 | 2006-11-02 | Osram Opto Semiconductors GmbH | Anordnung eines mikrooptischen Bauelements auf einem Substrat, Verfahren zur Justierung der Anordnung und optisches System mit der Anordnung |
| US7558453B2 (en) | 2004-05-28 | 2009-07-07 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Arrangement of a micro-optical component on a substrate, a method for adjustment of the arrangement, and an optical system with the arrangement |
| JP2014138021A (ja) * | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Mitsubishi Electric Corp | 調芯装置及びそれを用いた調芯方法 |
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