JP2000180404A - ガス混合気のラムダ値を求めるためのセンサ素子及び該センサ素子の作製方法 - Google Patents
ガス混合気のラムダ値を求めるためのセンサ素子及び該センサ素子の作製方法Info
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Abstract
拡散バリヤの内部シリンダ壁における孔を塗りつぶして
駄目にしないようにすること。 【解決手段】 固体電解質上に配された内部及び外部ポ
ンプ電極を有し、ここで、内部ポンプ電極は、拡散バリ
ヤにより画された拡散チャネル内に設けられており、こ
こで、ガス流入孔が実質的に固体電解質シートの表面に
対して垂直方向に、固体電解質シートを通って拡散チャ
ネル内へ通じている当該のセンサ素子において、拡散バ
リヤ(31)は、ガス流入孔(25)の内壁から後退し
た、引っ込んだところに拡散チャネル(30)内に配さ
れていること。
Description
によるガス混合物のラムダ値を求めるためのセンサ素子
及び請求項8の上位概念による当該センサ素子の作製方
法に関する。
合、拡散限界電流は、センサ素子の両電極に加わる一定
の電圧のもとで測定される。前記の拡散限界電流は、燃
焼過程の際生じる排ガス中で、酸素濃度に依存する−い
わゆるポンプ電極へのガスの拡散が反応の進行速度を規
定する限りは−。簡単化された、そして、コスト上有利
な作製方法に基づき、実際上ここ最近の何年間ではセン
サ素子の作製はセラミックシート、薄膜及びスクリーン
印刷技術が有利であることが判明している。比較的簡単
かつ合理的な手法で、プレーナ形センサ素子が、ディス
ク状又はシート状センサ素子の酸素伝導性の固体電解質
から出発して、例えば、安定化した二酸化ジルコニウム
から作製され得、前記の固体電解質は、両側でそれぞれ
内部及び外部のポンプ電極で被覆される。その際内部ポ
ンプ電極は、拡散チャネルの周辺領域内に位置付けら
れ、該拡散チャネルを通して測定ガスが供給される。拡
散チャネル中には、多孔性の材料で充填された拡散バリ
ヤが形成され、この拡散バリヤはガス拡散抵抗を形成す
る。
サ素子は、1つのポンプセルと1つのセンサセルを有
し、それらのセルは、相互に上下に重なり合う層平面内
に配されている。その種のセンサ素子は、ワイドバンド
広帯域センサとも称される、それというのは、そのセン
サは、希薄の燃料/空気混合気から濃厚な燃料/空気混
合気までの酸素濃度を検出し得るからである。ポンプセ
ルの内部電極及びセンサセルの測定抵抗は、対向して1
つの共通の測定空間内に配されており、この1つの共通
の測定空間は、同時に拡散チャネルをも形成する。拡散
方向で、内部ポンプ電極及び及び測定電極の前に、拡散
チャネル中に、拡散バリヤが設けられる。ガス流入孔
は、その上方に位置する固体電解質シート及び拡散バリ
ヤの厚さのところを通って導かれており、その結果拡散
バリヤの内部シリンダ壁は、ガス流入孔の一部となって
いる。
成は次のようにして行なわれる、即ち、円形のスクリー
ン印刷層膜が、孔形成体と混合した例えばZrO2から
成るスクリーン印刷ベーストを以て、電極に前置されて
相応の固体電解質シートへ被着されるようにして拡散バ
リヤの作製は行なわれる。前記のスクリーン印刷層の中
心にはすべての固体電解質シートの積重ね合せの後、ガ
ス流入孔が形成され、ここで、ガス流入孔は、少なくと
も全拡散バリヤを突き抜ける。積み重ね合わされた固体
電解質シートの焼結の際、有孔性多孔性の拡散バリヤ及
び拡散バリヤに前置された中空の測定ガス空間が形成さ
れる。
ドリルパラメータ(速度、孔開けドリル工具の磨耗)に
基づき、固体電解質の材料が拡散バリヤの内部シリンダ
壁における孔を塗りつぶし汚損することとなる。それに
より、焼結後のガス流入孔の横断面の低減を来たし、こ
のことは拡散抵抗の大きなばらつきを意味する。さら
に、孔開けされたガス流入孔が、拡散バリヤの円形状の
スクリーン印刷層の中心と偏差を生じ得るという欠点が
生じる。前記の偏差によっては、拡散バリヤの拡散区間
の拡散、ひいては、拡散抵抗のさらなる変化を来す。更
に、特に、拡散バリヤの入口面にて貯留する汚れにより
センサ特性曲線の変化が惹起される。
ころは、前述の従来の技術の欠点を回避し、ガス流入孔
の作製の際、固体電解質の材料が拡散バリヤの内部シリ
ンダ壁における孔を塗りつぶして駄目にしないように実
現できるガス混合気のラムダ値を求めるためのセンサ素
子及び該センサ素子の作製方法を創出することにある。
求項1の特徴事項を成す構成要件により解決される。本
発明により、前述の従来の技術の欠点を回避し、ガス流
入孔の作製の際、固体電解質の材料が拡散バリヤの内部
シリンダ壁における孔を塗りつぶして駄目にしないよう
にすることができるという効果が奏される。それによ
り、拡散バリヤの拡散抵抗が損なわれないようになる。
更に、ガス流入孔のセンタリングの偏差、ずれがあって
も拡散バリヤの拡散抵抗に大して影響を及ぼさないよう
になる−当該のセンタリング状態が孔半径と、拡散バリ
ヤの内部半径との差を越える際にも、拡散バリヤの内壁
が引っ込んでいることにより、当該の拡散バリヤは機関
の連続作動の際汚損に対して保護的に遮蔽される。
空間形成体により、拡散バリヤの所定の内径が作成可能
になり、その際その形成体物質は、センサ素子の焼結の
際、蒸発し、内部空間を、拡散孔の前に形成することで
ある。
明の有利な発展形態が可能である。拡散バリヤをガス流
入孔の壁からほぼ0.1〜0.3mm引っ込めて配置す
ると有利であることが判明している。有利な発展形態に
よれば、拡散バリヤの前の内部空間を測定空間の中空空
間と共に印刷形成すると良い。さらに、比較的短い拡散
区間の故に、比較的フラットな拡散バリヤを使用できこ
のフラットな拡散バリヤは、少数のスクリーン印刷ステ
ップで亀裂の生じないように印刷し得るのである。
以降詳述する。単一の図はセンサ素子の一部を横断面で
示す。
印刷で作製可能な1つのセンサ素子の著しく拡大した断
面図である。図示のセンサ素子はいわゆるワイドバンド
広帯域センサであり、このワイドバンド広帯域センサ
は、限界電流方式で動作するポンプセル11と、測定セ
ル12(ネルンストセル)を有する。さらに、センサ素
子は統合一体化、集積化された抵抗ヒータ(図示せず)
を有する。当該の構成は、その実施形態への限定を意味
するものではない。本発明は、同様に、測定セルとの協
働動作をしないポンプセルにおいても適用可能である。
質的に4つの積み重ね合わされた固定電解質シートから
成り、そのうち、唯、第1の固定電解質シート14及び
第2の固定電解質シート16のみが示してある。固定電
解質シート14には外部のポンプ電極18及び内部ポン
プ電極19が設けられている。外部電極18上方には、
多孔質の保護層20が設けられている。内部ポンプ電極
19は、リング状に形成されており、測定ガス空間21
内に設けられており、この測定ガス空間中では内部ポン
プ電極に対向して第2の固定電解質シート19上に測定
電極23が配されている。外部ポンプ電極18及び内部
ポンプ電極19は合わさってポンプセル11を形成す
る。測定電極23は、図示してない基準電極と協働し、
この基準電極は、同様に図示されてない基準チャネル内
に配されており、例えば、基準雰囲気としての空気と連
通している。
定電解質シート14,16間の層平面内に、1つの拡散
チャネル30が延在する。電極19,23の前に拡散チ
ャネル30中に多孔性の拡散バリヤ31が設けられてい
る。
有し、このガス流入孔は、拡散チャネル30へ通じてお
り、例えば第1の固定電解質シート14及び拡散チャネ
ル30を通って有底孔として第2の固定電解質シート1
6内にまで達する。それにより、ガス流入孔25は、第
2の固定電解質16にて、死容積27を形成し、この死
容積27内では、ガス混合気内で連行された粒子が貯留
され得る。拡散バリヤ31はガス流入孔25の周りにリ
ング状に形成されている。
径D1を有する。リング状の拡散バリヤ31は、内部シ
リンダ壁33と共に、シリンダ状内壁34を画定し、こ
のシリンダ状内壁34は、例えば0.6mmの内径D2
を有する。もって、拡散バリヤ31のシリンダ壁33
は、ガス流入孔25の内壁から0.1mmだけ後退し
て、引っ込んでいる。ガス流入孔25の内壁から拡散バ
リヤ21のシリンダ壁33までの半径方向間隔は、0.
10〜0.3mmであり得る。前記の半径方向距離間隔
は、直径D1とD2の比により調整される。
オン伝導性の固定電解質から成る、例えばY203で安定
化された二酸化ジルコニウムから成るセラミックシート
が使用される。その際シートは、0.25〜0.30m
mの厚さを有する。シートは、電極及び所属の導体路
で、例えばスクリーン印刷で印刷される。電極及び所属
の導体路は、例えばプラチナ(白金)−サーメットから
成る。電極は例えば8〜15μmの厚さを有する。電極
は18,19,23及び図示してない層のほかに付加的
に、例えば、第2の固定電解質シート15上に、例えば
2mmの外径及び例えば0.6mmの内径を有する拡散
バリヤ31がリングとして印刷される。内部空間34の
形成のため、拡散バリヤ31の円形内面へ中空空間ペー
ストが印刷される。拡散バリヤ31の内面の印刷と同時
に、測定ガス空間21の事後の中空空間の内面を中空空
間ペーストで印刷し得る。内部空間34及び測定ガス空
間21の中空空間に対する中空空間ペーストは、例えば
テオプロビン(Theobromin)から成り、これは、事後の
焼結プロセスにて燃焼し、焼付き、ないし蒸発し、ここ
で内部空間34及び測定ガス空間21に対する固定電解
質シート14,16間の中空空間を形成する。
め、同様に中空空間形成物がセラミック材料内に組込ま
れており、このセラミック材料は、同様に、焼結の際、
燃焼し、焼付き、そこで開いた多孔質を生成する。拡散
バリヤ31の多孔質を介して、就中拡散抵抗が調整され
る。拡散バリヤ31に対する材料として、例えば固定電
解質シートの材料が得られる。同様に、ZrO2材料の
代わりに、拡散バリヤ31に対するZrO2−材料Al2
O3を使用することもできる。
重ね合せないし積層される。積層の後第1の固定電解質
14を通して、ガス流入孔25が、例えば従来の切削ド
リル加工技術を用いて削成される。ここで、内部空間3
4内に存在する中空空間形成体を通って、隣接する第2
の固定電解質16内にまでドリル削成される。拡散バリ
ヤ31のシリンダ壁33は孔直径D1から後退し、引っ
込んでいるので、ガス流入孔25の形成に使用されるド
リルが拡散バリヤ31に接触しない。それにより、固定
電解質14の材料が、拡散バリヤ31のシリンダ壁33
における孔を塗りつぶして駄目にしたり、付加すること
が回避される。それと同時にガス流入孔25の内壁と、
拡散バリヤ31のシリンダ壁33との間の間隔が次のこ
とを保証する、すなわち、拡散孔25の形成のため、セ
ンタリングトレランスが設けられ、該センタリングトレ
ランスは、0.4mmの直径D1及び0.6mmの内径
の場合半径方向で0.1mmであることを保証するもの
である。0.125mmのセンタリングトレランスは、
0.4mmのD1及び0.65mmのD2の場合得られ
る。
避し、ガス流入孔の作製の際、固体電解質の材料が拡散
バリヤの婦負部シリンダ壁における孔を塗りつぶして駄
目にしないようにすることができるという効果が奏され
る。
Claims (9)
- 【請求項1】 ガス混合気のラムダ値を求めるためのセ
ンサ素子であって、固体電解質上に配された内部及び外
部ポンプ電極を有し、ここで、内部ポンプ電極は、拡散
バリヤにより画された拡散チャネル内に設けられてお
り、ここで、ガス流入孔が実質的に固体電解質シートの
表面に対して垂直方向に、固体電解質シートを通って拡
散チャネル内へ通じている当該のセンサ素子において、
拡散バリヤ(31)は、ガス流入孔(25)の内壁から
後退した、引っ込んだところに拡散チャネル(30)内
に配されていることを特徴とするガス混合気のラムダ値
を求めるためのセンサ素子。 - 【請求項2】 拡散バリヤ(31)にはガス混合気の拡
散方向で拡散チャネル(30)内に空間(34)が前置
して設けられており、この空間(34)にはガス流入孔
(25)が通じている請求項1記載のセンサ素子。 - 【請求項3】 拡散バリヤ(31)は、ガス流入孔(2
5)の壁からほぼ0.1〜0.3mm引っ込んだところ
に設けられている請求項1記載のセンサ素子。 - 【請求項4】 拡散バリヤ(31)はリング状にガス流
入孔(25)の周りに形成されている請求項1から3ま
でのいずれか1項記載のセンサ素子。 - 【請求項5】 拡散バリヤ(31)は、0.5〜0.8
mmの内径(D2)を有し、ガス流入孔(25)は0.
3〜0.5mmの直径(D1)を有する請求項4記載の
センサ素子。 - 【請求項6】 リング状の拡散バリヤ(31)の外径
は、ほぼ2mmである請求項4記載のセンサ素子。 - 【請求項7】 拡散バリヤ(31)は、ガス混合気の拡
散方向で内部ポンプ電極(19)の前に配されており、
ここで、内部ポンプ電極(19)には拡散チャネル(3
0)内に1つの中空空間が測定ガス空間(21)として
前置されている請求項1記載のセンサ素子。 - 【請求項8】 請求項1から7までのいずれか1項記載
のセンサ素子の作製方法において、センサ素子の焼結の
前に、拡散バリヤ(31)に前置された空間(34)の
形成のため当該の空間(34)は中空空間形成体で充填
され、ここで中空空間形成体は、焼結の際蒸発するよう
にしたことを特徴とするセンサ素子の作製方法。 - 【請求項9】 空間(34)の形成のための中空空間形
成体は、測定空間(21)に対するさらなる中空空間の
形成のためのさらなる中空空間形成体と共に被着される
ようにした請求項8記載の方法。
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DE19857471A DE19857471A1 (de) | 1998-12-14 | 1998-12-14 | Sensorelement für Grenzstromsonden zur Bestimmung des Lambda-Wertes von Gasgemischen und Verfahren zu dessen Herstellung |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008525773A (ja) * | 2004-12-28 | 2008-07-17 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ガスセンサに用いられるセンサ素子 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19941051C2 (de) * | 1999-08-28 | 2003-10-23 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration in Gasgemischen und Verfahren zur Herstellung desselben |
DE10121889C2 (de) * | 2001-05-05 | 2003-07-24 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement |
DE10122271B4 (de) * | 2001-05-08 | 2006-06-29 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelemente |
DE10252712B4 (de) * | 2002-11-13 | 2004-10-28 | Robert Bosch Gmbh | Gasmessfühler |
DE102004049874A1 (de) * | 2004-10-13 | 2006-04-20 | Robert Bosch Gmbh | Gasmessfühler |
DE102004058802A1 (de) * | 2004-12-07 | 2006-06-08 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements für einen Gasmessfühler |
US8064722B1 (en) * | 2006-03-07 | 2011-11-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method and system for analyzing signal-vector data for pattern recognition from first order sensors |
US7771576B2 (en) * | 2006-07-18 | 2010-08-10 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Gas sensor and method for manufacturing gas sensor |
DE102007062733A1 (de) | 2007-12-27 | 2009-07-02 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement mit verbesserter Vergiftungsresistenz |
DE102008002200A1 (de) | 2008-06-04 | 2009-12-10 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements für einen Gassensor |
DE102008002199A1 (de) | 2008-06-04 | 2009-12-10 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements für einen Gassensor |
DE102008040175A1 (de) * | 2008-07-04 | 2010-01-07 | Robert Bosch Gmbh | Lambdasonde mit erhöhter statischer Genauigkeit |
DE102009001051A1 (de) | 2009-02-20 | 2010-08-26 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements |
DE102012209388A1 (de) | 2012-06-04 | 2013-12-05 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Sensorelements zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum |
US11604159B2 (en) * | 2016-07-15 | 2023-03-14 | Sulfilogger A/S | Electrochemical sensor with small opening |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03503084A (ja) * | 1988-03-18 | 1991-07-11 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ガス混合気のガス成分を測定するセンサ素子 |
JPH03503678A (ja) * | 1988-04-08 | 1991-08-15 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 混合ガスのλ値を決定するためのプレーナ形ポーラログラフ検出子 |
JPH06502015A (ja) * | 1990-10-12 | 1994-03-03 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 混合ガスのλ値の検出のための限界電流センサ用センサ素子 |
JPH07209246A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-08-11 | Robert Bosch Gmbh | ガス混合物中のガス成分を測定するためのプレーナ型電気化学式センサおよびその製造方法 |
JPH07508353A (ja) * | 1993-04-23 | 1995-09-14 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ガス成分濃度測定のためのセンサ素子 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61138156A (ja) | 1984-12-11 | 1986-06-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 空燃比検出装置 |
DE3728618C1 (de) * | 1987-08-27 | 1988-03-10 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement fuer Grenzstromsensoren zur Bestimmung des lambda-Wertes von Gasgemischen |
-
1998
- 1998-12-14 DE DE19857471A patent/DE19857471A1/de not_active Withdrawn
-
1999
- 1999-12-14 US US09/460,462 patent/US6375816B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-12-14 JP JP35467299A patent/JP4603649B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03503084A (ja) * | 1988-03-18 | 1991-07-11 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ガス混合気のガス成分を測定するセンサ素子 |
JPH03503678A (ja) * | 1988-04-08 | 1991-08-15 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 混合ガスのλ値を決定するためのプレーナ形ポーラログラフ検出子 |
JPH06502015A (ja) * | 1990-10-12 | 1994-03-03 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 混合ガスのλ値の検出のための限界電流センサ用センサ素子 |
JPH07508353A (ja) * | 1993-04-23 | 1995-09-14 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ガス成分濃度測定のためのセンサ素子 |
JPH07209246A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-08-11 | Robert Bosch Gmbh | ガス混合物中のガス成分を測定するためのプレーナ型電気化学式センサおよびその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008525773A (ja) * | 2004-12-28 | 2008-07-17 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ガスセンサに用いられるセンサ素子 |
JP4740258B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-08-03 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ガスセンサに用いられるセンサ素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6375816B1 (en) | 2002-04-23 |
DE19857471A1 (de) | 2000-06-15 |
JP4603649B2 (ja) | 2010-12-22 |
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