JP2000180228A - 超音波流量計 - Google Patents

超音波流量計

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    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/66Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定管自体を伝搬する振動波の影響を除くこ
とのできる超音波流量計を提供する。 【解決手段】 超音波式流量計10は、測定管11と、
この測定管11に一定の距離Lをおいて配置した第1振
動子12及び第2振動子13と、第1振動子12に第1
スイッチ14及び第2振動子13に第2スイッチ15を
介して結合した電源17及び増幅器18と、測定管11
に取付けた音響フィルタとしてのフランジ21,22と
からなる。 【効果】 音響フィルタで測定管を伝搬する振動波を有
効にカットするので、この振動波が流体の流量計測に及
ぼす影響はごく小さなものとなり、流量計測の精度を大
いに高めることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は小径配管に好適な超
音波流量計に関する。
【0002】
【従来の技術】配管内を流れる流体(気体又は液体)の
流量を計測する技術には、オリフィスやノズルを筆頭に
各種のものがあり、近年は超音波を利用した超音波流量
計も普及しつつある。
【0003】図7は超音波流量計の原理図であり、測定
管101 に一定の距離Lをおいて第1振動子102と
第2振動子103を取付け、一方の振動子102又は1
03から超音波を発信し、他方の振動子103又は10
2で受信させたときに第1振動子102から第2振動子
103に超音波が到達するための時間t1と、第2振動
子103から第1振動子102に超音波が到達するため
の時間t2との間に、差が生じる。流体における音速を
c、流体の速度をvとすれば次の計算式が成り立つ。
【0004】
【数1】
【0005】即ち、式の逆数から式の逆数を差引く
ことで式を導き出し、この式をvについて整理した
ものが式である。この式によれば、流体の流速vは
距離L、時間t1及び時間t2が定まれば求まる。この
様にして求めた流速vに測定管101の内断面積を乗ず
れば、流量が求まる。
【0006】上記原理に基づく発明に、例えば特開平1
0−122923号公報「超音波流量計」があり、この
発明は同公報の図3に示されるとおり、測定管1(符号
は公報記載のものを流用)にリング形状の超音波振動子
2A,2Bを嵌め、管1との隙間にグリース3,3を充
填して超音波振動子2A,2Bを測定管1に結合(音響
的結合)させるという極めて簡単な構成のものである。
測定管1の内部は平滑であって汚れや清掃を心配する必
要が無く、測定管1の口径に合せて超音波振動子2A,
2Bを小径にすることができるので、測定管1の口径は
小さくすることができるというものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】図8は従来の超音波流
量計の課題を示す図であり、測定管1に超音波振動子2
A及び2Bを取付け、超音波振動子2A側を発信側、超
音波振動子2Bを受信側としたときに、基本的には振動
波は矢印と通りに、測定管1内を流れる流体(媒質)
を伝搬する。このときに測定管1自体も伝搬部材とな
り、矢印の振動波が超音波振動子2Bへ伝搬する。
【0008】すると、矢印の振動波がノイズとなっ
て、流量計測に悪影響を及ぼすことがある。特に、矢印
の伝搬速度が矢印の伝搬速度に近似すると影響は大
きなものとなる。そこで、本発明の目的は、測定管自体
を伝搬する振動波の影響を除くことのできる超音波流量
計を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、測定管自
体を伝搬する振動波の影響を除くために、測定管に振動
波を減衰する機能を付加することを思い立ち、次の第1
の手法と第2の手法を開発することに成功した。第1の
手法は、測定管が振動波を良好に伝搬する金属製又は同
等の材料で構成されている場合には、測定管に音響フィ
ルタを取付けて、振動波をカット若しくは低減する。第
2の手法では、測定管自体を、振動波を減衰する材料で
構成する。
【0010】具体的には、請求項1は、計測すべき流体
を流し、この流体の流れを妨げる障害物を管内に有して
いない金属製若しくは金属並みの超音波伝搬性能を有す
る材料で構成した測定管と、この測定管の外周面に取付
けた第1振動子と、この第1振動子から流体の流れに沿
って所定の距離を置いて測定管の外周面に取付けた第2
振動子と、測定管を伝搬する振動波の高域波をカットす
るために測定管に取付けた音響フィルタとで超音波流量
計を構成する。
【0011】基本的には、上流側の振動子から発した超
音波が下流側の振動子に達するまでの時間と下流側の振
動子から発した超音波が上流側の振動子に達するまでの
時間との時間差に基づいて流体の流量を計測する。この
ときに、音響フィルタで測定管を伝搬する振動波を有効
にカットするので、この振動波が流体の流量計測に及ぼ
す影響はごく小さなものとなる。従って、請求項1によ
れば、流量計測の精度を大いに高めることができる。
【0012】請求項2では、音響フィルタは、フランジ
であることを特徴とする。音響フィルタを単純なフラン
ジで構成したので、超音波流量計のコストアップを抑え
ることができる。
【0013】請求項3は、計測すべき流体を流し、この
流体の流れを妨げる障害物を管内に有していない樹脂製
測定管と、この測定管の外周面に取付けた第1振動子
と、この第1振動子から流体の流れに沿って所定の距離
を置いて測定管の外周面に取付けた第2振動子とで超音
波流量計を構成する。請求項1と同様に基本的には、上
流側の振動子から発した超音波が下流側の振動子に達す
るまでの時間と下流側の振動子から発した超音波が上流
側の振動子に達するまでの時間との時間差に基づいて流
体の流量を計測する。このときに、測定管を伝搬する振
動波を測定管自体で減衰するので、この振動波が流体の
流量計測に及ぼす影響はごく小さなものとなる。従っ
て、請求項3によれば、流量計測の精度を大いに高める
ことができる。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を添付図に基
づいて以下に説明する。図1は本発明に係る超音波式流
量計(第1実施例)の原理図であり、超音波式流量計1
0は、測定管11と、この測定管11に一定の距離Lを
おいて配置した第1振動子12及び第2振動子13と、
第1振動子12に第1スイッチ14及び第2振動子13
に第2スイッチ15を介して結合した電源17及び増幅
器18と、測定管11に取付けた音響フィルタとしての
フランジ21,22とからなる。図中、白抜き矢印は流
体の流れ方向を示す。以下同様。
【0015】なお、第1振動子12及び第2振動子13
は音響結合材19,19を介して測定管11に密に取付
ける。音響結合材19は振動子12,13が振動を受け
る等して測定管11の軸方向へずれることを妨げる程度
に結合し、且つ振動を良好に伝達する材料であり、エポ
キシ樹脂やグリースが好適である。
【0016】第1・第2スイッチ14,15を図の様に
A側に切換えることにより、第1振動子12を発振器、
第2振動子13を受振器として、順流れの伝搬時間を計
測し、また、第1・第2スイッチ14,15を図とは逆
にB側に切換えることにより、第1振動子12を受振
器、第2振動子13を発振器として、逆流れの伝搬時間
を計測することができる。
【0017】このときに、音響フィルタとしてのフラン
ジ21,22は、測定管11自身を伝搬する振動波、特
に高域波をカットする作用を発揮する。その原理を次に
説明する。図2(a)〜(c)は本発明に係る音響フィ
ルタの音響モデル図である。(a)は前記図1を略図化
したものであり、音響フィルタとしてのフランジ21,
22の厚さをL1、音響フィルタ21,22の内のりを
L2、測定管11の内径をd、外径をDと定める。
(b)は測定管11の断面図であり、内径がdで外径が
Dであるため、測定管11における有効断面積a2は
(π/4)×D2−(π/4)×d2となる。
【0018】(c)は角フランジ21,22の断面図で
あり、角フランジ21,22はW×Wの角フランジであ
り、そこに径Dの孔が開いているため、フランジ21,
22における有効断面積a1はW2−((π/4)×
2)となる。上記モデルを超音波の伝搬路と考えれば
低域通過形フィルタ、すなわち高域カット形フィルタと
なり、このときの遮断角周波数(cutoff fre
quency)ω2は次の通りである。
【0019】
【数2】
【0020】すなわち、ω2はスティフネスsと質量m
との関数からなる式となり、スティフネスsは式、
質量mは式となるから、これらを式に代入して、整
理することにより式が求まり、また、周波数f2は式
で求まるから、c,L1,L2,a1及びa2からf
2を求めることができる。
【0021】図3は本発明に係る超音波式流量計(第2
実施例)の原理図であり、音響フィルタとしてのダンパ
24を測定管11に付設したものであり、例えば第1振
動子12で発生した超音波のうち、測定管11自体を伝
搬する振動波はダンパ24に吸収されるため、振動波の
かなりの部分をカットすることができる。従って、本発
明の音響フィルタは図1でのフランジ21,22、図3
でのダンパ24又は同等の性能を発揮するものであれば
よく、構造を限るものではない。
【0022】図4は本発明に係る超音波式流量計(第3
実施例)の原理図であり、測定管11の中央に第1振動
子12を取付け、この第1振動子12から下流側及び上
流側に各々第2振動子13A,13Bを取付け、前記第
1振動子12に電源17を繋ぎ、第2振動子13A,1
3Bの各々に増幅器18A,18Bを取付け、且つ第1
振動子12と第2振動子13A,13Bとの間において
測定管11に音響フィルタとしてのフランジ21,22
を取付けたものである。第1振動子12から発した超音
波は下流側の第2振動子13Aに到達するに要する時間
は短くなり、上流側の第2振動子13Bに到達するに要
する時間は長くなるから、これらの時間差によって流体
の流速を求めることができる。振動子12,13A,1
3Bは合計3個必要であるが、スイッチは不要である。
そして、音響フィルタとしてのフランジ21,22が測
定管11自体を伝搬する振動波を減衰するので、計測精
度が高まる。
【0023】また、測定管11はステンレス管、炭素鋼
管又はガラス管であれば、超音波伝搬性能が高いため、
上述の音響フィルタが必要となる。しかし、測定管11
を四ふっ化エチレンなどの樹脂管とすれば、樹脂は金属
に比べて格段に振動波の減衰性能が高いため、樹脂自体
で振動波を減衰することが可能となる。この結果、フラ
ンジ等の付設物をつける必要が無く、超音波流量計の構
成が簡単になり、外観性も高まる。
【0024】
【実施例】本発明に係る実験例を次に説明する。ただ
し、本発明はこの実験例に限定するものではない。実験
モデルは、基本的に図2に示すものであり、各数値は次
の通りである。 d=2.8cm D=3.2cm L1=1.5cm L2=1.5cm W=7cm この数値から、断面積a1は41cm2、断面積a2は
1.9cm2になる。
【0025】計測管の材質は、ステンレス鋼であり、伝
搬速度(音速)cは、約5.3×105(cm/s)で
ある。なお、計測すべき流体(媒質)は水であり、1気
圧,0℃における水の伝搬速度(音速)cは、約1.4
×105(cm/s)である。
【0026】a1=41(cm2)、a2=1.9(c
2)、L1=1.5(cm)、L2=1.5(c
m)、c=5.3×105(cm/s)を、前記式に
代入し、得られた値から前記式にて、周波数f2を計
算すると、約17kHzになった。この周波数より高域
超音波はカットされる見通しである。
【0027】図5(a)〜(c)は音響フィルタの効果
を示す比較実験グラフであり、測定対象(媒質)を流さ
ずにドライの状態で、音響フィルタ無し測定管の第1振
動子を振動させたときの受信波形を(b)に示し、音響
フィルタ付き測定管の第1振動子を振動させたときの受
信波形を(c)に示した。(a)はそれらの前提となる
送信波形図であり、前記周波数f2が約17kHzであ
ることを考慮して、本図における搬送周波数を約10倍
の170kHzとした。(b)から振幅が極めて大きい
ことが分かる。一方、(c)では振幅がごく小さいこと
が分かる。(c)は、測定管に音響フィルタを付けたこ
とにより振幅が大幅に低減できたことを示す。
【0028】図6(a),(b)は本発明の超音波流量
計で計測した時間差を示すグラフである。(a)は図5
(a)と同じ送信波形図であり、搬送周波数は170k
Hzである。(b)は音響フィルタ付き測定管に水を通
し、第1振動子を振動させたときの受信波形図であり、
図中t1が求める測定時間である。この(b)は前記図
5(c)の測定管に水を通したものであるから、得られ
た波形は大部分が水を伝搬した超音波によるものと考え
られる。従って、測定時間t1の信頼性は極めて高い。
【0029】一方、前記図5(b)び音響フィルタ無し
測定管に水を通したとすれば、図5(b)の波に図6
(b)の波が重なった若しくは合成した波が受信波とな
る見込みである。とすれば、受信波は測定管自体を伝搬
する波と、水を伝搬する波との合成波となり、受信波が
真に水の速度を測っているとは言えないことになる。こ
のように、本発明の音響フィルタは著しい効果を発揮す
るものである。
【0030】
【発明の効果】本発明は上記構成により次の効果を発揮
する。請求項1は、測定管の外に第1,第2振動子を置
くことで、測定管内に障害物を置かぬようにしたもので
ある。測定管の内部に障害物があると、障害物にものが
堆積する虞れがあり、清掃も面倒である。この点、請求
項1では測定管内に障害物が無いので異物が測定管内に
堆積し難くなり、仮に清掃するとしてもその作業はごく
簡単に済ませることができる。加えて、測定管に音響フ
ィルタを取付けることで、測定管を伝搬する振動波を減
衰するようにしたので、測定対象物である流体に係る振
動波を主として受信することができ、この結果、流体の
流量の計測精度を高めることができる。
【0031】請求項2では、音響フィルタは、フランジ
であることを特徴とする。音響フィルタを単純なフラン
ジで構成したので、超音波流量計のコストアップを抑え
ることができる。
【0032】請求項3も、測定管の外に第1,第2振動
子を置くことで、測定管内に障害物を置かぬようにした
ものである。測定管の内部に障害物があると、障害物に
ものが堆積する虞れがあり、清掃も面倒である。この
点、請求項1では測定管内に障害物が無いので異物が測
定管内に堆積し難くなり、仮に清掃するとしてもその作
業はごく簡単に済ませることができる。請求項3では測
定管に音響フィルタを取付ける必要はなく、単に測定管
の材質を吟味するだけで済む。従って、超音波流量計が
複雑になることを阻止することができる。その上で、測
定管を伝搬する振動波を減衰するようにしたので、測定
対象物である流体に係る振動波を主として受信すること
ができ、この結果、流体の流量の計測精度を高めること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る超音波式流量計(第1実施例)の
原理図
【図2】本発明に係る音響フィルタの音響モデル図
【図3】本発明に係る超音波式流量計(第2実施例)の
原理図
【図4】本発明に係る超音波式流量計(第3実施例)の
原理図
【図5】音響フィルタの効果を示す比較実験グラフ
【図6】本発明の超音波流量計で計測した時間差を示す
グラフ
【図7】超音波流量計の原理図
【図8】従来の超音波流量計の課題を示す図
【符号の説明】
10…超音波流量計、11…測定管、12…第1測定
子、13,13A,13B…第2測定子、19…音響結
合材、21,22…音響フィルタ(フランジ)、24…
音響フィルタ(ダンパ)。
フロントページの続き (72)発明者 潘 海涛 神奈川県横浜市金沢区福浦1丁目1番地の 1 株式会社泉技研内 Fターム(参考) 2F035 DA19

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 計測すべき流体を流し、この流体の流れ
    を妨げる障害物を管内に有していない金属製若しくは金
    属並みの超音波伝搬性能を有する材料で構成した測定管
    と、この測定管の外周面に取付けた第1振動子と、この
    第1振動子から流体の流れに沿って所定の距離を置いて
    前記測定管の外周面に取付けた第2振動子と、前記測定
    管を伝搬する振動波の高域波をカットするために前記測
    定管に取付けた音響フィルタと、からなり、上流側の振
    動子から発した超音波が下流側の振動子に達するまでの
    時間と下流側の振動子から発した超音波が上流側の振動
    子に達するまでの時間との時間差に基づいて流体の流量
    を計測することを特徴とする超音波流量計。
  2. 【請求項2】 前記音響フィルタは、フランジであるこ
    とを特徴とした請求項1記載の超音波流量計。
  3. 【請求項3】 計測すべき流体を流し、この流体の流れ
    を妨げる障害物を管内に有していない樹脂製測定管と、
    この測定管の外周面に取付けた第1振動子と、この第1
    振動子から流体の流れに沿って所定の距離を置いて前記
    測定管の外周面に取付けた第2振動子と、からなり、上
    流側の振動子から発した超音波が下流側の振動子に達す
    るまでの時間と下流側の振動子から発した超音波が上流
    側の振動子に達するまでの時間との時間差に基づいて流
    体の流量を計測することを特徴とする超音波流量計。
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