JP2000174152A - ラミネート治具 - Google Patents

ラミネート治具

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JP2000174152A JP34829298A JP34829298A JP2000174152A JP 2000174152 A JP2000174152 A JP 2000174152A JP 34829298 A JP34829298 A JP 34829298A JP 34829298 A JP34829298 A JP 34829298A JP 2000174152 A JP2000174152 A JP 2000174152A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャビティ及び該キャビティに連通する穴部
を有するグリーンシート積層体の圧着を適切に行なうこ
とのできるラミネート治具を提供すること。 【解決手段】 平板形状の弾性体2とキャビティ6形状
に合わせた形状の弾性体3との間に、ヤング率8000
kg/mm2 以上の平板4を介装する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はラミネート治具に関
し、より詳細には、キャビティ及び該キャビティに連通
する穴部を有するグリーンシート積層体を圧着する際に
使用されるラミネート治具に関する。
【0002】
【従来の技術】最近の光通信技術の発達に伴い、光通信
用集積回路等の光通信素子を保護すると同時に、光通信
用配線(光ファイバ等)や、マザーボード上に形成され
た電気配線との容易な接続を図るために、前記光通信素
子の搭載に適した配線基板(パッケージ)が求められて
いる。これら配線基板の中で、セラミック配線基板は熱
伝導性、耐湿性、耐熱性等に優れているために信頼性が
高く、光通信の分野でも盛んに使用され始めている。
【0003】図4は光通信用セラミック配線基板の一例
を模式的に示した斜視図である。セラミック基板11に
は光通信用集積回路等の光通信素子(図示せず)を納め
るためのキャビティ12が形成され、キャビティ12の
内部には、光ファイバ等の光通信用配線(図示せず)を
挿通させるために、キャビティ12の側壁面12aから
セラミック基板11の端面11aに通じる配線用貫通孔
14が形成されている。前記光通信素子と前記光通信用
配線とはキャビティ12の内部で結合され、前記光通信
用配線を介してレーザ光等の送受信を行なうようになっ
ている。
【0004】キャビティ12の内部は、側壁面12aを
挟んだ両側壁面と側壁面12aに対向する側壁面12b
とが階段状に形成され、階段部13には前記光通信素子
の端子と接続するためのインナパッド13aが形成され
ている。
【0005】図5は従来のラミネート装置の要部を模式
的に示した断面図である。図中21はラミネート治具を
示しており、ラミネート治具21は平板形状の弾性体2
2とキャビティ27形状に合わせた形状の弾性体23と
を含んで構成され、平板形状の弾性体22は位置決め用
ピン24bを有した支持治具24の支持板24aに載設
されている。キャビティ27を有したグリーンシート積
層体26が載置される載置盤25には、位置決め用ピン
24bを収納するためのピン収納部25aが形成されて
いる。
【0006】載置盤25の所定位置に載置されたグリー
ンシート積層体26は、ラミネート治具21及び支持板
24aを介して矢印F4 で示す方向に圧縮されて一度に
全層の加圧が行なわれる(いわゆる多層ラミネート方式
である)。このとき、弾性体23を正確にキャビティ2
7内へ挿入することによって、キャビティ27内におい
ても十分な圧着作用を及ぼすことができる。また、ここ
での支持治具24は加圧面における平坦性の確保や、弾
性体23を正確にキャビティ27へ挿入させるための位
置決めの役割を果たしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】図6(a)(b)は図
4に示した光通信用セラミック配線基板を得るために実
施されるグリーンシート積層体のラミネート工程を模式
的に示した断面図である。
【0008】図中5は図4に示した光通信用セラミック
配線基板を得るためのグリーンシート積層体を示してお
り、グリーンシート積層体5は、キャビティ6と光ファ
イバ等の光通信用配線を挿通させる配線用貫通孔14
(図4参照)を形成するための穴部7とを有している。
【0009】ラミネート治具31は、平板形状の弾性体
32とキャビティ6形状に合わせた形状の弾性体33と
を含んで構成され、平板形状の弾性体32は位置決め用
ピン(図示せず)を有した支持治具34の支持板34a
に載設されている。
【0010】載置盤(図示せず)の所定位置に載置され
たグリーンシート積層体5は、ラミネート治具31及び
支持板34aを介して矢印F5 で示す方向に圧縮されて
一度に全層の加圧が行なわれる。このとき、弾性体33
を正確にキャビティ6内へ挿入することによって、キャ
ビティ6内においても十分な圧着作用を及ぼすことがで
きる。
【0011】ところが、グリーンシート積層体5のよう
に、キャビティ6に連通する穴部7が形成されている場
合には、加圧時に弾性体33が穴部7に流れ込み、グリ
ーンシート積層体5の一部5aが変形してしまうことが
ある。
【0012】上記問題を解決する手段として、図7に示
したように、グリーンシート積層体5に対して段差形状
ごとに金属板35で逐次加圧を行なう(1回目:下2
層、2回目:下5層、3回目:全層)、いわゆる逐次ラ
ミネート方式が考えられるが、段差を生む高さHが高い
と、加圧時の圧力が高い場合にクラック5bが発生した
り、逆に圧力が低い場合にデラミが発生するといった問
題があるので、グリーンシート積層体5に逐次ラミネー
ト方式を採用することは難しい。よって、グリーンシー
ト積層体5の圧着には、逐次ラミネート方式ではなく、
ラミネート治具31を用いた多層ラミネート方式が多く
採用されている。
【0013】図6(b)に示したように、弾性体33の
穴部7への流れ込みは、そもそも平板形状の弾性体32
の弾性体33への流れ込みの影響を受けているため、ラ
ミネート治具31から弾性体32を排除すれば、上記問
題を解決することができると考えられるが、支持板34
aへの均一的加圧確保には弾性体32が必要となるの
で、弾性体32を排除することはできない。
【0014】本発明は上記課題に鑑みなされたものであ
って、キャビティ及び該キャビティに連通する穴部を有
するグリーンシート積層体の圧着を適切に行なうことの
できるラミネート治具を提供することを目的としてい
る。
【0015】
【課題を解決するための手段及びその効果】上記目的を
達成するために本発明に係るラミネート治具(1)は、
キャビティ、及び該キャビティに連通する穴部を有する
グリーンシート積層体を圧着する際に使用されるラミネ
ート治具において、平板形状の第1の弾性体と前記キャ
ビティ形状に合わせた形状の第2の弾性体との間に、ヤ
ング率8000kg/mm2以上の平板が介装されてい
ることを特徴としている。
【0016】上記ラミネート治具(1)によれば、前記
第1の弾性体と前記第2の弾性体との間に、ヤング率8
000kg/mm2 以上の平板が介装されているので、
加圧時における前記第1の弾性体の前記第2の弾性体側
への過度の流れ込みを防止することができる。よって、
前記第2の弾性体の前記穴部への流れ込みを防止するこ
とができ、前記グリーンシート積層体の前記穴部周辺に
おける変形不良の問題を解決することができる。前記平
板としては、SUS材等の金属板が望ましい。前記平板
が軟らかすぎると、加圧時に前記平板が大きく変形して
しまい、前記第1の弾性体の前記第2の弾性体側への流
れ込みを防止することができなくなる。
【0017】また、本発明に係るラミネート治具(2)
は、上記ラミネート治具(1)において、前記平板の厚
みが、0.2〜1.0mmの範囲内であることを特徴と
している。
【0018】前記平板の厚みが薄すぎると(0.1mm
以下であると)、加圧時に前記平板が大きく変形してし
まい、前記第1の弾性体の前記第2の弾性体側への流れ
込みを過度に防止することができず、前記グリーンシー
ト積層体の前記穴部周辺に変形不良が生じてしまうこと
があり、逆に前記平板の厚みが厚すぎると(1.5mm
以上であると)、前記グリーンシート積層体のキャビテ
ィ部を均一に加圧することができなくなってしまう虞れ
がある。
【0019】上記ラミネート治具(2)によれば、前記
平板の厚みを、0.2〜1.0mmの範囲内にすること
によって、変形不良を防止することができると共に、前
記グリーンシート積層体のキャビティ部の生密度均一化
を図ることができる。
【0020】また、本発明に係るラミネート治具(3)
は、上記ラミネート治具(1)又は(2)において、前
記キャビティ形状に合わせた形状の弾性体の硬度が、3
0〜50°の範囲内であることを特徴としている。
【0021】前記弾性体の硬度が低すぎると、デラミが
発生してしまう場合があり、前記弾性体の硬度が高すぎ
ると、前記グリーンシート積層体に前記弾性体の跡が付
いてしまう場合がある。
【0022】上記ラミネート治具(3)によれば、前記
キャビティ形状に合わせた形状の弾性体の硬度が、30
〜50°の範囲内に設定されており、デラミの発生及び
前記跡が付くことを防止することができる。
【0023】また、本発明に係るラミネート治具(4)
は、上記ラミネート治具(1)〜(3)のいずれかにお
いて、前記穴部が前記キャビティの壁面側に形成された
ものであることを特徴としている。
【0024】前記キャビティの壁面側に形成された前記
穴部を有する前記グリーンシートとして、例えば、光フ
ァイバ等の光通信用配線を挿通させる配線用貫通孔を形
成するための穴部を有する、光通信用セラミック配線基
板を得るためのグリーンシート積層体がある。
【0025】上記ラミネート治具(4)によれば、前記
光通信用セラミック配線基板を製造するためのグリーン
シート積層体の加圧時における変形不良問題の解決に効
果的である。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るラミネート治
具の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1(a)
(b)は実施の形態(1)に係るラミネート治具を用い
た場合のラミネート工程を模式的に示した断面図であ
る。図中1はラミネート治具を示しており、ラミネート
治具1は平板形状の弾性体2、キャビティ6形状に合わ
せた形状の弾性体3、及びヤング率8000kg/mm
2 以上の平板4を含んで構成されている。弾性体2と弾
性体3との間に介装された平板4は、位置決め用ピン
(図示せず)を有した支持治具8の支持板8aに載設さ
れている。
【0027】図4に示した光通信用セラミック配線基板
を得るためのグリーンシート積層体5は、キャビティ6
と光ファイバ等の光通信用配線を挿通させる配線用貫通
孔14(図4参照)を形成するための穴部7とを有して
いる。
【0028】載置盤(図示せず)の所定位置に載置され
たグリーンシート積層体5は、ラミネート治具1及び支
持板8aを介して矢印F1 で示す方向に圧縮されて一度
に全層の加圧が行なわれる。このとき、弾性体3を正確
にキャビティ6内へ挿入することによって、キャビティ
6内においても十分な圧着作用を及ぼすことができる。
【0029】上記実施の形態(1)に係るラミネート治
具1には、弾性体2と弾性体3との間に、ヤング率80
00kg/mm2 以上の平板4が介装されているので、
加圧時における弾性体2の弾性体3側への過度の流れ込
みを防止することができる。よって、弾性体3の穴部7
への流れ込みを防止することができ、グリーンシート積
層体5の穴部7周辺における変形不良の問題を解決する
ことができる。
【0030】図2(a)(b)は実施の形態(2)に係
るラミネート治具を用いた場合のラミネート工程を模式
的に示した断面図である。図中1Aはラミネート治具を
示しており、ラミネート治具1Aは平板形状の弾性体2
A、キャビティ6形状に合わせた形状の弾性体3A、及
びヤング率8000kg/mm2 以上の平板4Aを含ん
で構成され、平板4Aは弾性体2Aと弾性体3Aとの間
に介装されている。
【0031】図4に示した光通信用セラミック配線基板
を得るためのグリーンシート積層体5は、キャビティ6
と光ファイバ等の光通信用配線を挿通させる配線用貫通
孔14(図4参照)を形成するための穴部7とを有して
いる。
【0032】グリーンシート積層体5は、ラミネート治
具1Aを介して矢印F2 で示す方向に圧縮されて一度に
全層の加圧が行なわれる。このとき、弾性体3Aを正確
にキャビティ6内へ挿入することによって、キャビティ
6内においても十分な圧着作用を及ぼすことができる。
【0033】上記実施の形態(2)に係るラミネート治
具1Aには、弾性体2Aと弾性体3Aとの間に、ヤング
率8000kg/mm2 以上の平板4Aが介装されてい
るので、加圧時における弾性体2Aの弾性体3A側への
過度の流れ込みを防止することができる。よって、弾性
体3Aの穴部7への流れ込みを防止することができ、グ
リーンシート積層体5の穴部7周辺における変形不良の
問題を解決することができる。
【0034】また、ここでは支持治具8を使用していな
いが、加圧面の平坦性を確保するといった役割を平板4
Aが果たしているので、弾性体3Aの位置決めを支持治
具8がなくてもできるのであれば、支持治具8を使用し
なくても差し支えない。
【0035】
【実施例】以下、本発明に係るラミネート治具の実施例
について説明する。図3は実施の形態(1)に係るラミ
ネート治具を用いた場合のラミネート工程を模式的に示
した断面図である。図中1Bはラミネート治具を示して
おり、ラミネート治具1Bは平板形状の弾性体2B、キ
ャビティ6B形状に合わせた形状の弾性体3B、及び平
板4Bを含んで構成されている。弾性体2Bと弾性体3
Bとの間に介装された平板4Bは、位置決め用ピン(図
示せず)を有した支持治具8Bの支持板8Baに載設さ
れている。
【0036】載置盤(図示せず)の所定位置に載置され
た、キャビティ6B及びキャビティ6Bに連通する穴部
7Bを有するグリーンシート積層体5Bは、ラミネート
治具1B及び支持板8Baを介して矢印F3 で示す方向
に圧縮されて一度に全層の加圧が行なわれる。
【0037】《実施条件》 キャビティ6Bの開口部の長さd: 8.00mm グリーンシート積層体5Bの高さh1 : 4.72mm 穴部7Bの高さh2 : 1.63mm 支持板8Baの材質としては、SUS材を用いる。
【0038】 ●実施例1、比較例1 《その他の実施条件》 弾性体2Bの材質: シリコンゴム(硬度30°) 弾性体3Bの材質: シリコンゴム(硬度50°) 平板4Bの厚み: 0.4mm 平板4Bのヤング率を、7000kg/mm2 (材質:
アルミニウム)、18000kg/mm2 (材質:SU
S)とした場合のグリーンシート積層体5Bの状態につ
いて調べた。
【0039】《評価結果》ヤング率7000kg/mm
2 の場合(比較例1)、加圧時に平板4Bが大きく変形
し、弾性体2Bの弾性体3B側への過度の流れ込みを防
止することができず、その結果、グリーンシート積層体
5Bに変形不良が生じた。ヤング率18000kg/m
2 の場合(実施例1)、グリーンシート積層体5Bに
変形不良は生じなかった。
【0040】 ●実施例2〜4、比較例2、3 《その他の実施条件》 弾性体2Bの材質: シリコンゴム(硬度30°) 弾性体3Bの材質: シリコンゴム(硬度50°) 平板4Bの材質: SUS材 平板4Bの厚みを、 0.1mm、 0.2mm、 0.4mm、 1.0mm、
1.5mmとした場合のグリーンシート積層体5Bの状態に
ついて調べた。
【0041】《評価結果》0.1mmの場合(比較例
2)、加圧時に平板4Bが大きく変形してしまい、弾性
体2Bの弾性体3B側への流れ込みを過度に防止するこ
とができず、その結果、グリーンシート積層体5Bに変
形不良が生じた。1.5mmの場合(比較例3)、グリ
ーンシート積層体5Bのキャビティ6Bを均一に加圧す
ることができなくなってしまい、段差部寸法に大きなバ
ラツキが生じた。0.2、0.4、1.0mmの場合
(実施例2〜4)、段差部寸法のバラツキはほとんどな
く、グリーンシート積層体5Bにも変形不良は生じなか
った。
【0042】 ●実施例5〜7、比較例4、5 《実施条件》 弾性体2Bの材質: シリコンゴム(硬度30°) 弾性体3Bの材質: シリコンゴム 平板4Bの材質と厚み: SUS材、0.4mm 弾性体3Bの硬度を、20°、30°、40°、50
°、60°とした場合のグリーンシート積層体5Bの状
態について調べた。
【0043】《評価結果》20°の場合(比較例4)、
グリーンシート積層体5Bにデラミが生じた。60°の
場合(比較例5)、グリーンシート積層体5Bに弾性体
3Bの跡が付いてしまった。30、40、50°の場合
(実施例5〜7)、グリーンシート積層体5Bに弾性体
3Bの跡も付くこともなく、またデラミも生じなかっ
た。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)(b)は本発明の実施の形態(1)に係
るラミネート治具を用いた場合のラミネート工程を模式
的に示した断面図である。
【図2】(a)(b)は実施の形態(2)に係るラミネ
ート治具を用いた場合のラミネート工程を模式的に示し
た断面図である。
【図3】実施の形態(1)に係るラミネート治具を用い
た場合の、他のラミネート工程を模式的に示した断面図
である。
【図4】光通信用セラミック配線基板を模式的に示した
斜視図である。
【図5】従来のラミネート装置の要部を模式的に示した
断面図である。
【図6】(a)(b)は従来のラミネート治具を用いた
場合のラミネート工程を模式的に示した断面図である。
【図7】逐次ラミネート方式を採用した場合のラミネー
ト工程を模式的に示した断面図である。
【符号の説明】
1、1A、1B ラミネート治具 2、2A、2B、3、3A、3B 弾性体 4、4A、4B 平板 5 グリーンシート積層体 6 キャビティ 7 穴部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 キャビティ、及び該キャビティに連通す
    る穴部を有するグリーンシート積層体を圧着する際に使
    用されるラミネート治具において、 平板形状の第1の弾性体と前記キャビティ形状に合わせ
    た形状の第2の弾性体との間に、ヤング率8000kg
    /mm2 以上の平板が介装されていることを特徴とする
    ラミネート治具。
  2. 【請求項2】 前記平板の厚みが、0.2〜1.0mm
    の範囲内であることを特徴とする請求項1記載のラミネ
    ート治具。
  3. 【請求項3】 前記キャビティ形状に合わせた形状の弾
    性体の硬度が、30〜50°の範囲内であることを特徴
    とする請求項1又は請求項2記載のラミネート治具。
  4. 【請求項4】 前記穴部が前記キャビティの壁面側に形
    成されたものであることを特徴とする請求項1〜3のい
    ずれかの項に記載のラミネート治具。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002076623A (ja) * 2000-08-23 2002-03-15 Ngk Spark Plug Co Ltd セラミック配線基板の製造方法
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