JP2000172196A

JP2000172196A - 平板型画像表示装置およびその製造方法

Info

Publication number: JP2000172196A
Application number: JP36604098A
Authority: JP
Inventors: Tomokazu Ando; 友和安藤
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1998-12-09
Filing date: 1998-12-09
Publication date: 2000-06-23

Abstract

(57)【要約】【課題】シール層の破壊を防止する。【解決手段】前面基板１２１および背面基板１２２
を、両基板間に密閉空間を形成するようにシール部材１
２３で接着して構成したパネル外囲器１２４を有する平
板型画像表示装置において、前記シール部材に強化処理
を施す。また、それらの間に密閉空間を形成している前
面基板１２１および背面基板１２２と、前面基板または
背面基板に設けられた排気孔１４１に排気管１４０を接
着して接続するために使用したシール部材１４２とを有
するパネル外囲器１２４を備えた平板型画像表示装置に
おいて、シール部材に強化処理を施す。シール部材の強
化処理は、たとえばノズル１５０、１５１からの冷風に
よる風冷強化によって行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、テレビジョン受像
機あるいはコンピュータ等のディスプレイ、メッセージ
ボード等のような文字または画像の表示装置として使用
される平板型画像表示装置およびその製造方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】平板型画像表示装置は、室内等に設置し
たときにかさばらず、外観的な体裁がよいことや、各種
機器類に組み込むにもコンパクトで収容効率がよいこと
等の利点があり、テレビジョン受像機、コンピュータ等
のディスプレイ、メッセージボード等のような文字また
は画像の表示装置として利用され、設置自由度の高さよ
り、壁掛けや天井へのはめ込み等が行なわれている。

【０００３】近年、平板型画像表示装置として蛍光表示
管をはじめとし、冷陰極電子源である電界放出型および
表面伝導型の電子放出素子を用いた表示装置や、ガス放
電型素子を用いたプラズマディスプレイパネルと呼ばれ
る表示装置が生産され、利用されている。

【０００４】図６は従来の平板型画像形成装置の１つで
あるプラズマディスプレイパネルの製造方法を説明する
ための図である。図中、８０１は前面基板形成工程、８
０２は背面基板形成工程、８０３は一体化工程、８０４
は後工程である。一体化工程８０３は４つの工程を含ん
でおり、８０５は重ね合せ工程、８０６は加熱工程、８
０７はシール温度維持工程、８０８は徐冷工程である。

【０００５】図７は、上述の平板型画像表示装置の製造
工程を終えたパネル外囲器８２４の構成を説明するため
の断面図（排気管部を除く）である。図中、８２１は前
面基板側形成工程８０１を経た前面基板、８２２は背面
基板側形成工程８０２を経た背面基板、８１９は前面基
板８２１と背面基板８２２の間に、放電ガスを充填する
ための放電空間８３０を形成するための隔壁である。８
２３は対向する前面基板８２１と背面基板８２２の周縁
部に配置されたシール層であり、２枚の基板８２１と８
２２を接着し、密閉容器であるパネル外囲器８２４を構
成している。

【０００６】図８はパネル外囲器８２４の排気管部を説
明するための概略断面図である。図中、８４０は排気
管、８４１は背面基板８２２の周縁に設けられた排気
孔、８４２は背面基板８２２と排気管８４０を接着する
ための低融点ガラスからなるシール層である。

【０００７】前面基板形成工程８０１においては、ガラ
ス基板上に、表示電極、誘電体層および誘電体保護膜を
順次形成して、前面基板８２１を完成する。背面基板形
成工程８０２においては、ガラス基板上に、下地層、ア
ドレス電極、誘電体層、隔壁、そして蛍光体を順次形成
し、背面基板８２２を完成する。

【０００８】一体化工程８０３を詳細に説明する。ま
ず、重ね合わせ工程８０５において、前面基板形成工程
８０１を経た前面基板８２１と、背面基板形成工程８０
２を経た背面基板８２２を所定の位置関係に保持し、互
いに押し付ける。同時に、排気管８４０とシール層８４
２を背面基板８２２に設けられた排気孔８４１に位置合
せし、押し付けて保持する。次に、加熱工程８０６にお
いて、電気炉内で、低融点ガラスで構成されるシール層
８２３のシール温度まで全体を加熱し、シール温度維持
工程８０７において、シール温度を所定時間維持する。
次の徐冷工程８０８では、自然冷却または強制冷却によ
り室温まで下げて、前面基板８２１と背面基板８２２、
および背面基板８２２と排気管８４０のシールを完了す
る。この時点で、放電空間８３０が形成され、密閉容器
であるパネル外囲器８２４が完成する。

【０００９】次の後工程８０４においては、放電空間８
３０に放電ガスを充填し、さらに各種電極を外部の駆動
回路基板と電気的に接続し、平板型画像表示装置の製造
を完了する。従来は上述のような工程に従ってプラズマ
ディスプレイが製造されていた。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
製造方法によれば、低融点ガラスからなるシール層８２
３の強度はガラス材料が用いられている前面基板８２１
および背面基板８２２の強度よりも低いために、平板型
画像表示装置の製造中に、外力や熱ひずみ等によってシ
ール層８２３でクラックが発生することが多く、歩留り
を下げる原因となっている。詳しくは、後工程８０４で
発生する以下のような現象である。

【００１１】すなわち、パネル外囲器８２４の内部を真
空にするために、排気管８４０を外部の真空排気系（不
図示）につなぎ、脱ガス等を行なうために２００℃まで
加熱するが、真空排気系とパネル外囲器８２４との位置
関係が熱膨張差等によって変化することにより、シール
層８４２に引っ張り応力が発生し、強度が弱いために破
壊することがある。また、画像を表示するための駆動を
行なう際に、各種電極で発生する熱のために、パネル外
囲器８２４内に熱歪みが発生し、強度の弱いシール層８
４２にひびが入り、真空がリークすることがある。

【００１２】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、平板型画像表示装置およびその製造方法に
おいて、シール層にひびが入ることを防止することにあ
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明では、前面基板および背面基板を、両基板間に密
閉空間を形成するようにシール部材で接着して構成した
パネル外囲器を有する平板型画像表示装置において、前
記シール部材は機械的強度を上げる強化処理が施されて
いることを特徴とする。

【００１４】また、それらの間に密閉空間を形成してい
る前面基板および背面基板と、前記前面基板または背面
基板に設けられた排気孔に排気管を接着して接続するた
めに使用したシール部材とを有するパネル外囲器を備え
た平板型画像表示装置において、前記シール部材は強化
処理が施されていることを特徴とする。

【００１５】また、本発明の平板型画像表示装置の製造
方法では、前面基板および背面基板を、両基板間に密閉
空間を形成するようにシール部材で接着してパネル外囲
器を形成する工程を有する平板型画像表示装置の製造方
法において、前記接着の後に、前記シール部材を強化す
る工程を具備することを特徴とする。

【００１６】また、それらの間に密閉空間を形成してパ
ネル外囲器を形成するための前面基板および背面基板の
うちの一方に設けられた排気孔に排気管をシール部材で
接着して接続する工程を有する平板型画像表示装置の製
造方法において、前記接続の後に、前記シール部材を強
化する工程を具備することを特徴とする。

【００１７】本発明によれば、シール部材を強化するよ
うにしたため、平板型画像表示装置の製造時や使用時に
おけるシール部材部分のクラックの発生が防止される。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施形態におい
ては、前記シール部材としてはガラス材を用いたものが
使用される。また、シール部材の強化処理は、風冷強化
によって行なわれる。

【００１９】平板型画像表示装置としては、プラズマデ
ィスプレイパネル、表面伝導型電子放出ディスプレイ、
電界放出型ディスプレイ、蛍光表示管等が該当する。以
下、実施例を通じて本発明のより具体的な実施形態につ
いて説明する。

【００２０】

【実施例】（実施例１）図１は本発明の第１の実施例に
係るプラズマディスプレイパネルの製造工程を説明する
ための図である。本実施例では、パネル封着と排気管接
着を同時に行なうようにしている。図１中、１０１は前
面基板形成工程、１０２は背面基板形成工程、１０３は
一体化工程、１０４は後工程である。一体化工程１０３
は次の５つの工程を含んでおり、１０５は重ね合せ工
程、１０６は加熱工程、１０７はシール温度維持工程、
１０９はシール部強化工程、１０８は徐冷工程である。

【００２１】図２は、上述した平板型画像表示装置のシ
ール部強化工程１０９を説明するための断面図である。
同図（ｂ）は同図（ａ）の一部を拡大した断面図であ
る。図中、１１１はガラス基板、１１２は表示電極、１
１３は誘電体層、１１４は誘電体保護膜、１３０は放電
ガスが充填された放電空間、１１５はガラス基板、１１
６は下地層、１１７はアドレス電極、１１８は誘電体
層、１１９は隔壁、１２０は蛍光体層である。また、１
２１は前面基板形成工程１０１を経た前面基板、１２２
は背面基板形成工程１０２を経た背面基板である。１２
３は、前面基板１２１と背面基板１２２の周囲に形成さ
れ、これらの２枚の基板を接着するシール層であり、１
２４は前面基板１２１、背面基板１２２およびシール層
１２３からなるパネル外囲器である。１４０は排気管、
１４１は背面基板１２２の周縁部に設けられた排気孔、
１４２は背面基板１２２と排気管１４０を接着するシー
ル層である。１５０はシール層１４２を急冷するための
冷却風を吹き出すノズル、１５１はシール層１２３を急
冷するための冷却風を吹き出すノズルである。吹き出し
ノズル１５０は８本あり（図中では２つ）、排気管１４
０の中心軸を中心として円周方向に等間隔で配置されて
いる。

【００２２】ガラス基板１１１と１１５には共に日本板
硝子社製の青板ガラス（軟化点温度７３０℃）を用い、
シール層１４２と１２３には日本電気硝子社製のディス
プレイパネル封着用硝子ＬＳ−３０８１（シール温度４
１０℃、軟化点温度３６０℃、歪点温度３００℃）を用
いている。

【００２３】前面基板形成工程１０１においては、ガラ
ス基板１１１上に、表示電極１１２、誘電体層１１３お
よび誘電体保護膜１１４を順次形成し、これにより前面
基板１２１が完成する。背面基板形成工程１０２におい
ては、ガラス基板１１５上に、下地層１１６、アドレス
電極１１７、誘電体層１１８、隔壁１１９、そして蛍光
体層１２０を順次形成し、これにより背面基板１２２が
完成する。また、背面基板１２２の周縁部にはシール層
１２３が形成される。

【００２４】一体化工程１０３を詳細に説明する。重ね
合わせ工程１０５においては、前面基板形成工程１０１
を経た前面基板１２１と、背面基板形成工程１０２を経
た背面基板１２２を所定の位置関係に保ち、互いに押し
付けて、保持する。また、排気孔１４１周辺にあらかじ
め低融点ガラスをドーナツ状に成形したシール層１４２
の周囲に排気管１４０を位置合せし、押し付けて、保持
する。次に加熱工程１０６において、電気炉に全体を挿
入し、シール層１２３のシール温度までの加熱を行な
い、シール温度維持工程１０７において、シール温度で
所定時間維持する。その後、炉内において自然冷却を開
始し、軟化点温度より高い温度である３８０℃になった
時に、シール部強化工程１０９を行なう。ここでは、ガ
ラスハンドブック（出版：朝倉書店）に記載されている
方法に従い、シール層１４２および１２３を、それぞれ
ノズル１５０および１５１からの冷却空気により急冷
し、強化を行なう。シール層１４２および１２３の風冷
強化を行なうことで、低融点ガラスの外側表面に５〜１
０［ＭＰａ］の圧縮応力が残量歪みとして発生し、破壊
強度が向上する。その後、徐冷工程１０８において、炉
内において自然冷却によって室温まで下げ、シールが完
了する。この時点で、放電空間１３０が形成され、パネ
ル外囲器１２４が完成する。

【００２５】次の後工程１０４においては、放電空間１
３０に放電ガスを充填し、さらに各種電極を外部の駆動
回路基板と電気的に接続し、平板型画像表示装置の製造
工程を完了する。

【００２６】図１に示す製造工程に従いプラズマディス
プレイを製造したところ、画像を表示することができ
た。そして、製造中および駆動時においてもシール部に
クラックが発生することがなくなり、製造歩留りが上昇
した。

【００２７】本実施例ではプラズマディスプレイパネル
の製造方法について説明したが、本発明は平板型画像表
示装置の種類をこれに限定したものではなく、冷陰極型
電子放出素子を利用した平板型画像表示装置の製造、お
よび、熱電子放出を利用した平板型画像表示装置の製造
においても有効であった。

【００２８】（実施例２）図３は本発明の第２の実施例
に係る表面電子放出型ディスプレイ（ＳＥＤ）の製造工
程を説明するための図である。この例ではパネル封着と
排気管接着を別々に行なうようにしている。なお、特開
平９−２４５６４９号公報が参考となる。図３中、２０
１は前面基板形成工程、２０２は背面基板形成工程、２
０３は一体化工程、２６０は排気管接合工程、２０４は
後工程である。一体化工程２０３は、以下の５つの工程
によって構成されており、順に、２０５は重ね合せ工
程、２０６は加熱工程、２０７はシール温度維持工程、
２０９はシール部強化工程、２０８は徐冷工程である。
排気管接合工程２６０は以下の５つの工程によって構成
されており、順に、２６１は排気管設置工程、２６２は
加熱工程、２６３はシール温度維持工程、２６４はシー
ル部強化工程、２６５は徐冷工程である。

【００２９】図４は、一体化工程２０３のシール部強化
工程２０９におけるＳＥＤの断面図である。図中、２２
０は前面基板形成工程２０１を経た前面基板、２２１は
前面基板２２０に対向して配置された、背面基板形成工
程２０２を経た背面基板、２２２は前面基板２２０と背
面基板２２１の間に配置された外枠、２２３と２２４は
前面基板２２１、背面基板２２２および外枠２２２と共
に気密なパネル外囲器を形成するシール層、２２７は前
面基板２２０、背面基板２２１、外枠２２２ならびにシ
ール層２２３および２２４より構成されるパネル外囲器
である。２３０はシール層２２３および２２４に冷却空
気を吹きかけるためのノズルであり、一定間隔で配置さ
れ、パネル外囲器２２７を徐冷している時の温度がシー
ル層２２３および２２４の軟化点温度より高い時に急冷
を行なう。２３１は排気孔である。

【００３０】図５は、排気管接合工程２６０のシール部
強化工程２６４におけるＳＥＤの断面図である。図中、
２３０は排気管、２３１は排気孔、２３２はシール層で
ある。２３３はシール層２３２を加熱し、軟化させるた
めのリングバーナであり、排気管２３０の軸を中心とし
てシール層２３２の周囲を回転しながら均一に加熱す
る。２３４は冷却空気を放出するリングノズルであり、
一定間隔で配置され、リングバーナと共にシール層２３
２の周囲を回転しながら均一な冷却空気を吹きかけるこ
とができる。

【００３１】前面基板２２０、背面基板２２１および外
枠２２２には、共に日本板硝子社製の青板ガラス（軟化
点温度７３０℃、歪点温度５００℃）を用いている。シ
ール層２２３には日本電気硝子社製ディスプレイパネル
封着用ガラスである結晶性のフリットガラスＬＳ−７１
０５（シール温度４５０℃、軟化点温度４００℃）を用
い、シール層２３２には非結晶性のフリットガラスＬＳ
−３０８１（シール温度４１０℃、軟化点温度３６０
℃）を用いている。

【００３２】次に製造工程を説明する。前面基板形成工
程２０１では、ガラス基板に蛍光体等２２５を形成し、
周縁部にシール部を形成する。背面基板形成工程２０２
では、ガラス基板に表面伝導型電子放出素子の電子源等
２２６およびシール部を形成する。

【００３３】一体化工程２０３では、まず、重ね合わせ
工程２０５において、前面基板２２０、背面基板２２１
および外枠２２２を所定の位置に合わせて押し付け、保
持する。そして、全体を電気炉に挿入し、加熱工程２０
６においてシール層２２３および２２４のシール温度を
４５０℃まで加熱し、シール温度維持工程２０７におい
て１０分間維持する。その後、炉内において自然冷却を
行ない、全体の温度がシール層２２３および２２４の軟
化点温度より高い４３０℃となった時に、ガラスハンド
ブック（出版：朝倉書店）に記載されている方法に従っ
て、風冷強化によるシール部強化工程２０９を行なう。
つまりシール層２２３および２２４を、ノズル２３０か
らの冷却空気により急冷する。これにより外側表面に圧
縮応力が残量歪みとして発生し、圧縮歪み層が形成さ
れ、強化される。圧縮応力は５ＭＰａから１０ＭＰａ程
度とする。その後、徐冷工程２０８において、炉内で自
然冷却し、室温まで下げる。

【００３４】続いて排気管接合工程２６０を行なう。す
なわちまず、排気管設置工程２６１において、排気孔２
３１の周囲にあらかじめドーナツ状に成形されたシール
層２３２を配置し、そこへ排気管２３０を配置し、位置
合わせして保持する。その後、加熱工程２６２におい
て、リングバーナ２３４によってシール層２３２をその
シール温度である４１０℃以上に加熱し、シール温度維
持工程２６３において５分間維持する。その後、自然冷
却を行ない、シール層２３２が、軟化点温度より高い３
８０℃まで冷却された時に、シール部強化工程２６４を
行なう。強化法は、一体化工程２０３のシール部強化工
程２０９の場合と同じである。その後、徐冷工程２６５
において、自然冷却により室温まで下げる。

【００３５】後工程２０４では、不図示の外部の真空系
により排気管２３０よりパネル外囲器２２７の内部を真
空に排気し、電子源等２２６に対して活性化およびエー
ジング等の作業を行ない、その後、排気管を溶断し、外
囲器を密閉する。そして、各種電極と外部の駆動回路基
板を接続し、ＳＥＤの製造を完了する。

【００３６】図３に示す製造工程に従ってＳＥＤを製造
したところ、画像を表示することができた。そして、製
造中においてもシール部にクラックが入ることがなくな
り、製造歩留りが向上した。さらに、駆動時において
も、クラックの発生により真空度が低下し、装置の機能
が低下することがなくなった。なお、本実施例では、前
面基板２２０に排気管２３０を接合したが背面基板に排
気穴を設け、背面基板に排気管を接合してもよい。

【００３７】本実施例ではプラズマディスプレイパネル
の製造方法について説明したが、本発明は平板型画像表
示装置の種類をこれに限定するものではなく、冷陰極型
電子放出素子を利用した平板型画像表示装置の製造、お
よび、熱電子放出を利用した平板型画像表示装置の製造
においても有効であった。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、排
気管と背面基板または前面基板とを接着しているシール
部材の強度を強化するようにしたため、その部分のシー
ル部材部分のクラックの発生を防止し、製造歩留りを向
上させることができる。また、前面基板および背面基板
間を接着しているシール部材の強度を強化するようにし
たため、その部分のシール部材部分にクラックが入るこ
とを防止して、製造歩留りを向上させることができる。
さらに、平板型画像表示装置の駆動時におけるシール部
材部分にクラックが入り、装置の機能低下を防止するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る平板型画像表示
装置の製造方法を説明するための図である。

【図２】図１中のシール部強化工程を説明するための
断面図である。

【図３】本発明の第２の実施例に係る平板型画像表示
装置の製造方法を説明するための図である。

【図４】図３中の一体化工程のシール部強化工程にお
けるＳＥＤの断面図である。

【図５】図３中の排気管接合工程のシール部強化工程
におけるＳＥＤの断面図である。

【図６】従来の平板型画像表示装置の製造方法を説明
するための図である。

【図７】図６の製造工程を終えたパネル外囲器の構成
を説明するための断面図（排気管部を除く）である。

【図８】図７のパネル外囲器の排気管部を説明するた
めの概略断面図である。

【符号の説明】

１０１：前面基板形成工程、１０２：背面基板形成工
程、１０３：一体化工程、１０４：後工程、１０５：重
ね合せ工程、１０６：加熱工程、１０７：シール温度維
持工程、１０８：徐冷工程、１０９：シール部強化工
程、１１１：ガラス基板、１１２：表示電極、１１３：
誘電体層、１１４：誘電体保護膜、１１５：ガラス基
板、１１６：下地層、１１７：アドレス電極、１１８：
誘電体層、１１９：隔壁、１２０：蛍光体層、１２１：
前面基板、１２２：背面基板、１２３：シール層、１２
４：パネル外囲器、１３０：放電空間、１４０：排気
管、１４１：排気孔、１４２：シール層、１５０：ノズ
ル、１５１：ノズル、２０１：前面基板形成工程、２０
２：背面基板形成工程、２０３：一体化工程、２０４：
後工程、２０５：重ね合せ工程、２０６：加熱工程、２
０７：シール温度維持工程、２０８：徐冷工程、２０
９：シール部強化工程、２２０：前面基板、２２１：背
面基板、２２２：外枠、２２３：シール層、２２４：シ
ール層、２３０：排気管、２３１：排気孔、２３２：シ
ール層、２３３：リングバーナ、２３４：リングノズ
ル、２２５：蛍光体等、２２６：電子源等、２２７：パ
ネル外囲器、２３４：ノズル、２６０：排気管接合工
程、２６１：排気管設置工程、２６２：加熱工程、２６
３：シール温度維持工程、２６４：シール部強化工程、
２６５：徐冷工程、８０１：前面基板形成工程、８０
２：背面基板形成工程、８０３：一体化工程、８０４：
後工程、８０５：重ね合せ工程、８０６：加熱工程、８
０７：シール温度維持工程、８０８：徐冷工程、８２
１：前面基板、８２２：背面基板、８２３：シール層、
８２４：パネル外囲器、８３０：放電空間、８４２：シ
ール層。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】前面基板および背面基板を、両基板間に
密閉空間を形成するようにシール部材で接着して構成し
たパネル外囲器を有する平板型画像表示装置において、
前記シール部材は機械的強度を上げる強化処理が施され
ていることを特徴とする平板型画像表示装置。
【請求項２】それらの間に密閉空間を形成している前
面基板および背面基板と、前記前面基板または背面基板
に設けられた排気孔に排気管を接着して接合するために
使用したシール部材とを有するパネル外囲器を備えた平
板型画像表示装置において、前記シール部材は強化処理
が施されていることを特徴とする平板型画像表示装置。
【請求項３】前記シール部材はガラス材を用いたもの
であることを特徴とする請求項１または２に記載の平板
型画像表示装置。
【請求項４】前記シール部材の強化処理は、風冷強化
によるものであることを特徴とする請求項１〜３のいず
れか１項に記載の平板型画像表示装置。
【請求項５】プラズマディスプレイパネルであること
を特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の平板
型画像表示装置。
【請求項６】表面伝導型電子放出ディスプレイである
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の
平板型画像表示装置。
【請求項７】電界放出型ディスプレイであることを特
徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の平板型画
像表示装置。
【請求項８】蛍光表示管であることを特徴とする請求
項１〜４のいずれか１項に記載の平板型画像表示装置。
【請求項９】前面基板および背面基板を、両基板間に
密閉空間を形成するようにシール部材で接着してパネル
外囲器を形成する工程を有する平板型画像表示装置の製
造方法において、前記接着の後に、前記シール部材を強
化する工程を具備することを特徴とする平板型画像表示
装置の製造方法。
【請求項１０】それらの間に密閉空間を形成してパネ
ル外囲器を形成するための前面基板および背面基板のう
ちの一方に設けられた排気孔に排気管をシール部材で接
着して接合する工程を有する平板型画像表示装置の製造
方法において、前記接合の後に、前記シール部材を強化
する工程を具備することを特徴とする平板型画像表示装
置の製造方法。
【請求項１１】前記シール部材はガラス材を用いたも
のであることを特徴とする請求項９または１０に記載の
平板型画像表示装置の製造方法。
【請求項１２】前記シール部材の強化は風冷強化によ
り行なうことを特徴とする請求項９〜１１のいずれか１
項に記載の平板型画像表示装置の製造方法。
【請求項１３】前記平板型画像表示装置はプラズマデ
ィスプレイパネルであることを特徴とする請求項９〜１
２のいずれか１項に記載の平板型画像表示装置の製造方
法。
【請求項１４】前記平板型画像表示装置は表面伝導型
電子放出ディスプレイであることを特徴とする請求項９
〜１２のいずれか１項に記載の平板型画像表示装置の製
造方法。
【請求項１５】前記平板型画像表示装置は電界放出型
ディスプレイであることを特徴とする請求項９〜１２の
いずれか１項に記載の平板型画像表示装置の製造方法。
【請求項１６】前記平板型画像表示装置は蛍光表示管
であることを特徴とする請求項９〜１２のいずれか１項
に記載の平板型画像表示装置の製造方法。