JP2000167318A

JP2000167318A - ガスケットフィルタ

Info

Publication number: JP2000167318A
Application number: JP10340893A
Authority: JP
Inventors: Tadahiro Omi; 忠弘大見; Eiji Ideta; 英二出田; Shinichi Ikeda; 信一池田; Akihiro Morimoto; 明弘森本; Katsunori Komehana; 克典米華
Original assignee: Ultraclean Technology Research Institute KK; Fujikin Inc
Current assignee: Ultraclean Technology Research Institute KK; Fujikin Inc
Priority date: 1998-12-01
Filing date: 1998-12-01
Publication date: 2000-06-20
Anticipated expiration: 2018-12-01
Also published as: JP4370369B2

Abstract

(57)【要約】【課題】付着した水分がとれやすくしかも表面処理が
施しやすいガスケットフィルタを提供する。【解決手段】ガスケットフィルタ41は、円環状のガス
ケット本体42と、これに一体的に設けられたフィルタ43
とを備えている。フィルタ43は、金属製円板状体に多数
の孔がエッチングによりあけられることにより形成され
ている。ガスケット本体42とフィルタ43とは、直接溶接
されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、２つの継手部材
の突き合わせ端面間に配置されて、シール性を確保する
とともに、フィルタ機能をも果たすガスケットフィルタ
に関する。

【０００２】

【従来の技術】弁部分から流体が洩れる主原因となるご
みの進入を防止するため、また、オリフィス等単一の細
孔が流路の場合に、細孔の目詰りを防止するため、その
手前にガスケットフィルタが設置されている。

【０００３】従来、ガスケットフィルタとしては、金属
繊維を焼結することにより形成されたものや金網を積層
することにより形成されたものが知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のガスケット
フィルタは、流される流体にとって不純物となる水分な
どが排除されなければならない半導体製造装置において
使用される場合に、不純物が付着し得る表面積が大き
く、フィルタ内部の微小空間に捕らえられた水分が抜け
にくいという問題があった。また、ガスケットフィルタ
に表面処理を施して、耐食性や水分除去性を向上させる
必要があるが、従来のものは表面処理が施しにくいとい
う問題があった。

【０００５】この発明の目的は、付着した水分がとれや
すくしかも表面処理が施しやすいガスケットフィルタを
提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明によるガスケットフィルタは、円環状のガスケット本
体と、これに一体的に設けられたフィルタとを備えてお
り、フィルタが、金属製円板状体に多数の孔があけられ
ることにより形成されているものである。

【０００７】この発明のガスケットフィルタによると、
フィルタが金属製円板状体に多数の孔をあけたものであ
るから、表面処理が簡単にでき、しかも、従来のものに
比べて、不純物が付着し得る表面積が小さくなりかつフ
ィルタ内部に微小空間が存在しないので、付着した水分
がとれやすくなる。また、開口面積を求めることが容易
であるので、これに基づいて簡単に圧力損失を予測する
ことができ、両端面が共に平坦であるので、シール性向
上のための鏡面研磨が容易にできる。しかも、配管継手
のガスケットの代わりに設置することができるので、フ
ィルタのスペースが省略でき、また、構造的にシンプル
であり、製造コストを安くすることができる。

【０００８】金属製円板状体に孔をあけるには、機械加
工、エッチング、レーザー加工、放電加工、プレス加工
などによることが可能である。金属製円板状体の厚さが
２０〜１００μｍであり、孔の径がこの厚さと同程度か
これより大きいときには、エッチング加工が好ましい。

【０００９】ガスケット本体とフィルタとは、溶接によ
り一体とされることが好ましい。溶接方法としては、抵
抗溶接、ＹＡＧレーザー溶接などが可能である。フィル
タの厚みが５０μｍ以上の場合には、上記のどの溶接方
法も可能であるが、フィルタの厚みが３０μｍ程度の場
合には、材料の表面張力により直接レーザー溶接はでき
ないため、抵抗溶接とすればよい。また、フィルタの厚
みが３０μｍ程度の場合には、以下の１から３のような
構成にすることもできる。

【００１０】１．ガスケット本体の一端面に、フィルタ
の厚みよりも深いフィルタ収納凹所が設けられて、この
底面にフィルタが載せられるとともに、フィルタ収納凹
所の周面に沿うように挿入された押圧リングが、フィル
タの周縁部をフィルタ収納凹所の底面に密接させてお
り、ガスケット本体と押圧リングとが溶接されている。
このようにすると、フィルタがガスケット本体と押圧リ
ングとによって挟持されるので、ガスケット本体と押圧
リングとを溶接すればよく、この溶接は簡単に行える。

【００１１】２．フィルタが、円板部と、これの周縁か
ら径方向に突出した少なくとも１つの突出部とを有して
おり、ガスケット本体に、フィルタの円板部を納める凹
所と、凹所周縁部に沿って設けられた環状突起と、環状
突起に設けられてフィルタの突出部を納める切欠き部と
が形成されている。このようにすると、環状突起の切欠
き部とフィルタの突出部とが嵌まり合うことにより、位
置決めがなされてガスケット本体に対するフィルタの移
動が抑えられる。この場合に、フィルタがガスケット本
体内にプレスで圧入されることにより、フィルタの突出
部がかしめられてガスケット本体の切欠き部に納められ
ており、フィルタとガスケット本体とが溶接されている
ことが好ましい。このようにすると、かしめが仮付けの
機能を果たすため、フィルタとガスケット本体との溶接
が容易にできる。なお、エッチングにより孔があけられ
たフィルタは、１枚のシートに多数枚のフィルタが配列
された状態で供給され、これをプレスによって１枚ずつ
切断するものであることから、フィルタをガスケット本
体内にプレスで圧入するさいに、プレスによる切断を合
わせて行うことにより、フィルタを切断しておいてこれ
をガスケット本体にセットする手間が省け、しかも、ガ
スケット本体に対するフィルタの位置決めもより正確に
なる。

【００１２】３．ガスケット本体が、環状の第１半体と
環状の第２半体とよりなり、第１半体と第２半体とがフ
ィルタの周縁部を介して突き合わされている。すなわ
ち、ガスケットフィルタが介在される２つの部材同士が
互いに引き寄せられるのに伴って、両半体同士が互いに
引き寄せられることにより、フィルタが両半体に挟持さ
れる構成とし、これにより、溶接を行うことなく、ガス
ケット本体とフィルタとを一体的に接合することができ
る。この場合に、第１半体および第２半体の少なくとも
一方の突き合わせ面に、フィルタ押さえ用環状突起が設
けられていることが好ましい。また、第１半体の突き合
わせ面と第２半体の突き合わせ面との間に、流体洩れ確
認用のリークポートが形成されているようにすることも
できる。

【００１３】上記のほかに、この発明のガスケットフィ
ルタは、円板状体の周縁部を除く部分にレーザー加工に
より多数の孔があけられることにより、周縁部がガスケ
ット本体とされるとともに、多数の孔があけられた部分
がフィルタとされている構成としてもよい。この場合
に、レーザー加工による孔が、円板状体の一端面側に開
口した有底孔とされ、円板状体の他端面側が削られるこ
とにより、フィルタの孔が他端面側にも開口させられて
いる構成としてもよい。

【００１４】上記ガスケットフィルタには、表面処理が
施されていることが好ましく、表面処理としては、メッ
キ、電解研磨、クロム不動態処理、フッ化不動態処理な
どが適している。下地メッキとしてＮｉ−Ｐの無電解メ
ッキをしてからフッ化不動態処理をして、表面にＮｉＦ
₂を形成することも可能である。また、Ｎｉ−Ｐの無電
解メッキをしてから上にクロムメッキをして、クロム不
動態処理の組合せにより耐食性を向上させるということ
も可能である。そして、孔を大きめにあけておき、メッ
キにより所要の大きさとすることが可能であり、メッキ
の厚みにより表面処理後の孔の大きさをコントロールす
ることができる。この場合に、クロムは０．５μｍ以上
の厚さになるとクラックが入るため、Ｎｉ−Ｐの下地メ
ッキにより孔径を調整してから、０．１μｍ程度のクロ
ムメッキをしてクロム不動態処理することが好ましい。

【００１５】上記ガスケットフィルタを備えた流体制御
器であって、入口通路および出口通路が形成されたブロ
ック状本体に、流体の圧力および流量のいずれかを検出
するセンサと、センサからの信号に基づいて流体の流路
の開閉度を制御するアクチュエータとが取り付けられ、
本体の入口通路に通じる導入通路を有する通路ブロック
が本体に突き合わせられており、本体の入口通路と通路
ブロックの導入通路との突き合わせ部に上記のガスケッ
トフィルタが装着されているものは、半導体製造用など
の流体制御装置を構成する部材として有用である。

【００１６】また、金属製円板状体に多数の孔がエッチ
ングによりあけられることにより形成されているフィル
タは、上記ガスケットフィルタを構成するものとして有
用である。

【００１７】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、以下図
面を参照して説明する。以下の説明において、図１の左
右を左右というものとする。また、同図の紙面表側を
前、紙面裏側を後というものとする。

【００１８】図１は、この発明のガスケットフィルタが
使用される流体制御装置の１例を示している。この流体
制御装置(1) は、半導体製造装置等において用いられる
もので、マスフローコントローラ(2) と、マスフローコ
ントローラ(2) の左方に設けられた入口側遮断開放部
(3) と、マスフローコントローラ(2) の右方に設けられ
た出口側遮断開放部(4) とよりなる。

【００１９】マスフローコントローラ(2) の下部左面に
は、下面に開口する入口通路(5a)を有する直方体状左方
張出ブロック（第１流体制御部材）(5) が設けられ、同
右面には、下面に開口する出口通路(6a)を有する直方体
状右方張出ブロック（第２流体制御部材）(6) が設けら
れている。両張出ブロック(5)(6)は、横からのねじによ
りマスフローコントローラ(2) の本体に固定されてい
る。

【００２０】入口側遮断開放部(3) は、上段に配置され
た４つの流体制御部材(7)(8)(9)(10) と、下段に配置さ
れた５つの直方体状継手(11)(12)(13)(14)(15)とよりな
る。

【００２１】入口側遮断開放部(3) の左端に配置された
第３流体制御部材(7) は、下向きの入口通路(16a) およ
び出口通路(16b) を有するブロック状本体(16)に一体的
に設けられかつこれらの通路(16a)(16b)同士の連通を遮
断開放する第１開閉弁(17)よりなる。

【００２２】入口側遮断開放部(3) の左端から２番目に
配置された第４流体制御部材(8) は、下向きの入口通路
(18a) および出口通路(18b) を有しかつ上面左部に傾斜
面が形成されている略直方体ブロック状本体(18)と、本
体(18)傾斜面に設けられかつ入口通路(18a) と出口通路
(18b) との連通部に配置されて圧力を調整するプレッシ
ャーレギュレータ(19)と、本体(18)右上面の平坦部に設
けられかつ出口通路(18b) に通じる通路を介して流体圧
を測定する圧力センサ(20)とよりなる。本体(18)の入口
通路(18a) には、フィルター(21)が設けられている。

【００２３】入口側遮断開放部(3) の左端から３番目に
配置された第５流体制御部材(9) は、１つの直方体ブロ
ック状本体(22)に一体的に設けられた第２および第３開
閉弁(23)(24)よりなる。本体(22)には、左端部に設けら
れた下向きの第１入口通路(22a) と、第１入口通路(22
a) に第２開閉弁(23)を介して連通する右向きの出口通
路(22b) と、出口通路(22b) に第３開閉弁(24)を介して
連通する下向きの第２入口通路(22c) とが設けられてい
る。

【００２４】入口側遮断開放部(3) の左端から４番目に
配置された第６流体制御部材(10)は、１つの直方体通路
ブロックよりなる。第６流体制御部材(10)には、一端が
第５流体制御部材本体(22)の出口通路(22b) に通じ、他
端が下方に開口している連通路(10a) が設けられてい
る。

【００２５】入口側遮断開放部(3) の左端に配置された
第１継手(11)には、第３流体制御部材本体(16)の入口通
路(16a) に通じかつ左方に開口するＬ字状上流側連通路
(11a) と、第３流体制御部材本体(16)の出口通路(16b)
に通じかつ右方に開口するＬ字状下流側連通路(11b) と
が設けられている。第１継手(11)の左面には、上流側連
通路(11a) に通じる第１入口管接続部(25)が設けられて
いる。

【００２６】上流側遮断開放部(3) の左端から２番目に
配置された第２継手(12)には、第１継手(11)の出口通路
(11b) と第４流体制御部材本体(18)の入口通路(18a) と
を連通するＬ字状上流側連通路(12a) と、一端が第４流
体制御部材本体(18)の出口通路(18b) に通じかつ他端が
右方に開口するＬ字状下流側連通路(12b) とが設けられ
ている。

【００２７】上流側遮断開放部(3) の左端から３番目に
配置された第３継手(13)には、第２継手(12)の出口通路
(12b) と第５流体制御部材本体(22)の第１入口通路(22
a) とを連通するＬ字状連通路(13a) が設けられてい
る。

【００２８】上流側遮断開放部(3) の左端から４番目に
配置された第４継手(14)には、一端が第５流体制御部材
本体(22)の第２入口通路(22c) に通じ、他端が後方に開
口する連通路(14a) が設けられている。第４継手(14)の
後面には、連通路(14a) に通じる第２入口管接続部（図
示略）が設けられている。

【００２９】上流側遮断開放部(3) の左端から５番目に
配置された第５継手(15)には、一端が第６流体制御部材
(10)の連通路(10a) 出口に通じ、他端がマスフローコン
トローラ(2) の左方張出ブロック(5) の入口通路(5a)に
通じているＶ字状連通路(15a) が設けられている。

【００３０】下流側遮断開放部(4) は、上段に配置され
た第７流体制御部材(26)と、下段に配置された第６およ
び第７の直方体状継手(27)(28)とよりなる。第７流体制
御部材(26)は、下向きの入口通路(29a) および出口通路
(29b) を有するブロック状本体(29)に一体的に設けられ
かつこれらの通路(29a)(29b)同士の連通を遮断開放する
第４開閉弁(30)よりなる。下流側遮断開放部(4) の左方
に配置された第６継手(27)には、一端がマスフローコン
トローラ(2) の右方張出ブロック(6) の出口通路(6a)に
通じ、他端が第７流体制御部材本体(29)の入口通路(29
a) に通じているＶ字状連通路(27a) が設けられてい
る。下流側遮断開放部(4) の右方に配置された第７継手
(28)には、一端が第７流体制御部材本体(29)の出口通路
(29b) に通じ、他端が後方に開口する連通路(28a) が設
けられている。第７継手(28)の後面には、連通路(28a)
に通じる出口管接続部（図示略）が設けられている。

【００３１】流体制御部材同士(5)(6)(7)(8)(9)(10)(2
6) の連通部、継手(11)(12)(13)(14)(15)同士の連通部
および流体制御部材(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) と継手(1
1)(12)(13)(14)(15)との連通部には、それぞれシール部
(33)が設けられている。

【００３２】流体制御部材(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) の
下面はすべて面一とされるとともに、各継手(11)(12)(1
3)(14)(15)の上面同士も面一とされ、継手(11)(12)(13)
(14)(15)(27)(28)が基板(31)に固定され、各流体制御部
材(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26)が、上方からのねじ(32)に
より継手(11)(12)(13)(14)(15)(27)(28)に固定されてい
る。

【００３３】こうして、第１継手(11)の第１入口管接続
部(25)および第４継手(14)の第２入口管接続部からそれ
ぞれ異なる流体が導入され、これらの流体が適宜切り換
えらてマスフローコントローラ(2) を経て第７継手(28)
の出口管接続部から排出される流体制御装置(1) が構成
されている。

【００３４】上記流体制御装置(1) において、各シール
部(33)にはガスケットが配置されるが、マスフローコン
トローラ(2) などは目詰りを起こしやすい流体制御器で
あるため、これの上流側では、必要に応じて通常のガス
ケットをこの発明のガスケットフィルタ(41)(51)(61)(8
1)(91)(92)に置き換え、目詰りの防止が図られる。

【００３５】この発明の第１実施形態のガスケットフィ
ルタ(41)は、図２に示すように、円環状のガスケット本
体(42)と、これに一体的に設けられたフィルタ(43)とよ
りなる。

【００３６】フィルタ(43)は、図３に示すように、金属
製の薄い円板(44)の周縁部を除く部分に多数の孔(45)が
エッチングであけられることにより形成されている。エ
ッチング方法としては、フィルタ(43)の材質と孔(45)の
径に応じて、両面エッチングまたは片面エッチングが適
宜採用される。両面エッチングの場合、各孔(45)の形状
は、図３（ｂ）に示すように、円板(44)の両端面で径が
最も大きく、円板(44)の厚みの中央で径が最小となって
いる。片面エッチングの場合は、図示省略するが、各孔
(45)の形状は、表面で径が最も大きく裏面で径が最小と
なる。

【００３７】ガスケット本体(42)の一端面には、ガスケ
ット本体(42)と同軸の環状の凹所(46)が設けられてお
り、この凹所(46)の底面に、これより径が小さいフィル
タ収納凹所(47)が設けられている。フィルタ収納凹所(4
7)は、フィルタ(43)の厚みにほぼ等しい深さとフィルタ
(43)の外径にほぼ等しい径を有しており、フィルタ(43)
は、このフィルタ収納凹所(47)に嵌め入れられて、ガス
ケット本体(42)に溶接されている。

【００３８】溶接方法としては、抵抗溶接やＹＡＧレー
ザー溶接などが可能である。フィルタ(43)の厚みが５０
μｍ以上の場合には、これらのうちのどの溶接方法も可
能であるが、フィルタ(43)の厚みが３０μｍ程度の場合
には、材料の表面張力により直接レーザー溶接はできな
いため、抵抗溶接が好ましい。

【００３９】フィルタ(43)の厚みが３０μｍ程度であ
り、材料の表面張力によって直接溶接が困難な場合にお
いて、ガスケット本体(52)(62)(82)とフィルタ(43)(63)
とを一体的に接合する形態を以下に示す。

【００４０】図４に示す第２実施形態のガスケットフィ
ルタ(51)は、押圧リング(55)を用いて溶接するもので、
ガスケット本体(52)の一端面には、ガスケット本体(52)
と同軸の環状の凹所(53)が設けられており、この凹所(5
3)の底面に、これより径が小さいフィルタ収納凹所(54)
が設けられている。フィルタ収納凹所(54)は、フィルタ
(43)の厚みよりも深くかつフィルタ(43)の外径にほぼ等
しい径を有しており、この底面にフィルタ(43)が載せら
れている。そして、フィルタ収納凹所(54)の径にほぼ等
しい外径を有する押圧リング(55)が、フィルタ収納凹所
(54)の周面に沿うように挿入されて、フィルタ(43)の周
縁部をフィルタ収納凹所(54)の底面に密接させている。
溶接は、ガスケット本体(52)と押圧リング(55)との間で
行われている。

【００４１】図５および図６に示す第３実施形態のガス
ケットフィルタ(61)は、フィルタ(63)をプレスでかしめ
ておいてから溶接したもので、フィルタ(63)は、図３に
示したフィルタ(43)と同一形状の多数の孔(45)付き円板
部(64)と、これの周縁から径方向に突出した２つの突出
部(65)とよりなる。ガスケット本体(62)には、フィルタ
(63)の円板部(64)を納める凹所(66)と、凹所(66)周縁部
に沿って設けられた環状突起(67)と、環状突起(67)に設
けられてフィルタ(63)の突出部(65)を納める切欠き部(6
8)とが形成されている。

【００４２】このガスケットフィルタ(61)のフィルタ(6
3)は、１枚のシートに多数枚のフィルタ(63)が配置され
た状態で製造されるものであり、フィルタ(63)の突出部
(65)がフィルタ(63)同士を連結させておくブリッジ部と
なっている。したがって、このブリッジ部を含むように
してフィルタ(63)を１枚ずつ切断した後で、フィルタ(6
3)をガスケット本体(62)に載せてプレスによりかしめる
ことにより、フィルタ(63)が容易には離れないようにガ
スケット本体(62)に取り付けられる。したがって、仮付
け溶接を省略することができ、レーザー溶接によりこの
ガスケットフィルタ(61)を得ることができる。また、図
７に示すように、１枚のシート(69)に多数枚のフィルタ
(63)が配置された状態でガスケット本体(62)に載せて、
プレスにより１枚ずつの切断とかしめとを同時に行うよ
うにしてもよい。この場合に、プレス金型(71)は、内側
の切断ポンチ(72)と、ばね(74)により切断ポンチ(72)よ
りも下方に突出させられた外側の曲げポンチ(73)とを備
えた二重構造とされる。そして、ガスケット本体(62)の
環状突起(67)の切欠き部(68)にフィルタ(63)の突出部(6
5)を合わせると、エッチング時に形成された抜き代部分
がガスケット本体(62)の環状突起(67)に合わせられ、こ
れにより、シート(69)がガスケット本体(62)に保持され
る。この状態で、プレスを作動させると、まず、切断ポ
ンチ(72)によりシート(69)からフィルタ(63)が切り離さ
れてガスケット本体(62)に受け止められ、次いで、曲げ
ポンチ(73)によりフィルタ(63)の突出部(63)がかしめら
れる。これにより、フィルタ(63)が容易には離れないよ
うにガスケット本体(62)に取り付けられ、この状態でレ
ーザー溶接することにより同様のガスケットフィルタ(6
1)が得られる。図７に示した方法によると、フィルタ(6
3)をガスケット本体(62)に１枚ずつセットする手間が省
かれ、フィルタ(63)のガスケット本体(62)に対する位置
決めも精度良く行われる。

【００４３】図８に示す第４実施形態のガスケットフィ
ルタ(81)は、溶接を不要とするもので、ガスケット本体
(82)が、同図の左方に示す環状の第１半体(83)と、同図
の右方に示す環状の第２半体(84)とよりなり、第１半体
(83)と第２半体(84)とが図３に示したフィルタ(43)の周
縁部を介して突き合わされているものである。

【００４４】第１半体(83)は、フィルタ(43)の周縁部に
接している基準突き合わせ面(83a)より径方向外側にあ
ってかつこれよりも後退した後退突き合わせ面(83b) を
有している。第２半体(84)は、フィルタ(43)の周縁部に
接している基準突き合わせ面(84a) より径方向外側にあ
ってかつこれよりも突出した突出突き合わせ面(84b)を
有している。第２半体(84)の基準突き合わせ面(84a) に
は、フィルタ押さえ用環状突起(85)が設けられている。
また、後退突き合わせ面(83b) と突出突き合わせ面(84
b) との間に、流体洩れ確認用のリークポート(86)が形
成されている。第１半体(83)と第２半体(84)との間に
は、押さえ代(87)が存在しており、ガスケットフィルタ
(81)が介在される２つの部材同士が互いに引き寄せられ
るのに伴ってこの押さえ代(87)がゼロとなり、ガスケッ
トフィルタ(81)が２つの部材間に挟持される。

【００４５】図９（ｃ）に示すガスケットフィルタ(91)
(92)は、溶接を不要とするとともに、フィルタのエッチ
ング加工も不要とするものである。すなわち、図９
（ａ）に示す円板(93)の周縁部を除く部分に、上面側か
らレーザー加工により多数の有底孔(94)をあけて、同図
（ｂ）に示す有底孔(94)付き円板(93)を得た後、この円
板(93)を外形加工することにより、周縁部がガスケット
本体(95)(98)とされ、多数の孔(97)(100) があけられた
部分がフィルタ(96)(99)とされたガスケットフィルタ(9
1)(92)を形成するものである。下面側から削る際には、
(91)のガスケットのように、全面を平坦に削ってもよ
く、(92)のガスケットのように、ガスケット(92)の全厚
みに対するフィルタ(99)の孔(100) を相対的に短くする
ように、下面が凹状になるように削っても良い。なお、
(92)のガスケットは、外形加工を先にして、後から孔(1
00) を貫通状にあけるようにしてもよい。

【００４６】なお、上記第１〜第４実施形態の各ガスケ
ットフィルタは、以下のように、流体制御器に内蔵され
た状態でも使用される。

【００４７】図１０に示す流体制御器(101) は、入口通
路(103) および出口通路(104) が形成された直方体ブロ
ック状本体(102) に、出口通路(104) 内の流体の圧力を
検出する圧力センサ(105) と、圧力センサ(105) からの
信号に基づいて入口通路(103) の開閉度を制御するピア
ゾアクチュエータ(106) と、出口通路(104) 近くの温度
を検出する温度センサ(112) とが取り付けられ、本体(1
02) の入口通路(103)に通じる導入通路(108) が形成さ
れた導入通路ブロック(107) が本体(102) の入口側の面
に突き合わせられており、本体(102) の入口通路(103)
と導入通路ブロック(107) の導入通路(108) との突き合
わせ部に上記第１から第４までの実施形態のガスケット
フィルタ(41)(51)(61)(81)(91)(92)のいずれかが装着さ
れているものである。本体(102) の出口通路(104) には
オリフィス(111) が形成されており、本体(102) の出口
側の面には、出口通路(104) に通じる排出通路(110) が
形成された排出通路ブロック(109) が突き合わされてい
る。

【００４８】図１１に示す流体制御器(121) は、マスフ
ローコントローラであって、入口通路(123) および出口
通路(124) が形成された直方体ブロック状本体(122)
に、入口通路(123) 内の流体の流量を検出する流量セン
サ(125) と、流量センサ(125)からの信号に基づいて出
口通路(124) の開閉度を制御するピアゾアクチュエータ
(126) とが取り付けられ、本体(122) の入口通路(123)
に通じる導入通路(128)が形成された導入通路ブロック
(127) が本体(122) の入口側の面に突き合わせられてお
り、本体(122) の入口通路(123) と導入通路ブロック(1
27) の導入通路(128) との突き合わせ部に上記第１から
第４までの実施形態のガスケットフィルタ(41)(51)(61)
(81)(91)(92)のいずれかが装着されているものである。
本体(122)の出口通路(124) にはオリフィス(131) が形
成されており、本体(122) の出口側の面には、出口通路
(124) に通じる排出通路(130) が形成された排出通路ブ
ロック(129) が突き合わされている。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるガスケットフィルタが使用され
る流体制御装置の１例を示す図である。

【図２】この発明によるガスケットフィルタの第１実施
形態の縦断面図である。

【図３】この発明によるガスケットフィルタのフィルタ
を示す図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は孔の拡
大断面図である。

【図４】この発明によるガスケットフィルタの第２実施
形態の縦断面図である。

【図５】この発明によるガスケットフィルタの第３実施
形態の縦断面図である。

【図６】同正面図である。

【図７】第３実施形態のガスケットフィルタを製造する
装置の概略を示す縦断面図である。

【図８】この発明によるガスケットフィルタの第３実施
形態の縦断面図である。

【図９】この発明によるガスケットフィルタの第４実施
形態およびその製造過程を示す図である。

【図１０】この発明によるガスケットフィルタを使用し
た流体制御器の一例を示す図である。

【図１１】この発明によるガスケットフィルタを使用し
た流体制御器の他の例を示す図である。

【符号の説明】 (41)(51)(61)(81)(91)(92) ガスケットフィルタ (42)(52)(62)(82)(95)(98) ガスケット本体 (43)(63)(96)(99) フィルタ (44) 円板 (45)(97)(100) 孔 (54) フィルタ収納凹所 (55) 押圧リング (64) 円板部 (65) 突出部 (66) 凹所 (67) 環状突起 (68) 切欠き部 (83) 第１半体 (83a)(83b) 突き合わせ面 (84) 第２半体 (84a)(84b) 突き合わせ面 (85) フィルタ押さえ用環状突
起 (86) リークポート (101)(121) 流体制御器 (102)(122) ブロック状本体 (103)(123) 入口通路 (104)(124) 出口通路 (105)(125) センサ (106)(126) アクチュエータ (107)(127) 通路ブロック (108)(128) 導入通路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者出田英二大阪市西区立売堀２丁目３番２号株式会社フジキン内 (72)発明者池田信一大阪市西区立売堀２丁目３番２号株式会社フジキン内 (72)発明者森本明弘大阪市西区立売堀２丁目３番２号株式会社フジキン内 (72)発明者米華克典大阪市西区立売堀２丁目３番２号株式会社フジキン内Ｆターム(参考） 4D064 AA01 AA31 AA40 BA25 BA40

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円環状のガスケット本体(42)(52)(62)(8
2)(95)(98)と、これに一体的に設けられたフィルタ(43)
(63)(96)(99)とを備えており、フィルタ(43)(63)(96)(9
9)が、金属製円板状体(44)(64)(93)に多数の孔(45)(94)
があけられることにより形成されているガスケットフィ
ルタ。
【請求項２】フィルター(43)(63)の孔(45)がエッチン
グにより形成されている請求項１のガスケットフィル
タ。
【請求項３】ガスケット本体(42)とフィルタ(43)とが
直接溶接されている請求項２のガスケットフィルタ。
【請求項４】ガスケット本体(52)の一端面に、フィル
タ(43)の厚みよりも深いフィルタ収納凹所(54)が設けら
れて、この底面にフィルタ(43)が載せられるとともに、
フィルタ収納凹所(54)の周面に沿うように挿入された押
圧リング(55)が、フィルタ(43)の周縁部をフィルタ収納
凹所(54)の底面に密接させており、ガスケット本体(52)
と押圧リング(55)とが溶接されている請求項２のガスケ
ットフィルタ。
【請求項５】フィルタ(63)が、円板部(64)と、これの
周縁から径方向に突出した少なくとも１つの突出部(65)
とを有しており、ガスケット本体(62)に、フィルタ(63)
の円板部(64)を納める凹所(66)と、凹所(66)周縁部に沿
って設けられた環状突起(67)と、環状突起(67)に設けら
れてフィルタ(63)の突出部(65)を納める切欠き部(68)と
が形成されている請求項２のガスケットフィルタ。
【請求項６】フィルタ(63)がガスケット本体(62)内に
プレスで圧入されることにより、フィルタ(63)の突出部
(65)がかしめられてガスケット本体(62)の切欠き部(68)
に納められており、フィルタ(63)とガスケット本体(62)
とが溶接されている請求項５のガスケットフィルタ。
【請求項７】ガスケット本体(82)が、環状の第１半体
(83)と環状の第２半体(84)とよりなり、第１半体(83)と
第２半体(84)とがフィルタ(43)の周縁部を介して突き合
わされている請求項２のガスケットフィルタ。
【請求項８】第１半体(83)および第２半体(84)の少な
くとも一方の突き合わせ面(83a)(84a)に、フィルタ押さ
え用環状突起(85)が設けられている請求項７のガスケッ
トフィルタ。
【請求項９】第１半体(83)の突き合わせ面(83b) と第
２半体(84)の突き合わせ面(84b) との間に、流体洩れ確
認用のリークポート(86)が形成されている請求項８のガ
スケットフィルタ。
【請求項１０】円板状体(93)の周縁部を除く部分にレ
ーザー加工により多数の孔(94)があけられることによ
り、周縁部がガスケット本体(95)(98)とされるととも
に、多数の孔(97)(100) があけられた部分がフィルタ(9
6)(99)とされている請求項１のガスケットフィルタ。
【請求項１１】レーザー加工による孔(94)が、円板状
体(93)の一端面側に開口した有底孔とされ、円板状体(9
3)の他端面側が削られることにより、フィルタ(96)(99)
の孔(97)(100) が他端面側にも開口させられている請求
項１０のガスケットフィルタ。
【請求項１２】表面処理が施されている請求項１〜１
１のガスケットフィルタ。
【請求項１３】入口通路(103)(123)および出口通路(1
04)(124)が形成されたブロック状本体(102)(122)に、流
体の圧力および流量のいずれかを検出するセンサ(105)
(125)と、センサ(105)(125)からの信号に基づいて流体
の通路(103)(124)の開閉度を制御するアクチュエータ(1
06)(126)とが取り付けられ、本体(102)(122)の入口通路
(103)(123)に通じる導入通路(108)(128)を有する通路ブ
ロック(107)(127)が本体(102)(122)に突き合わせられて
おり、本体(102)(122)の入口通路(103)(123)と通路ブロ
ック(107)(127)の導入通路(108)(128)との突き合わせ部
に請求項１〜１２のガスケットフィルタ(41)(51)(61)(8
1)(91)(92)が装着されている流体制御器。
【請求項１４】金属製円板状体(44)(64)に多数の孔(4
5)がエッチングによりあけられることにより形成されて
いるガスケットフィルタ用フィルタ。