JP4304355B2

JP4304355B2 - 流体制御器

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Publication number: JP4304355B2
Application number: JP10765499A
Authority: JP
Inventors: 毅谷川
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 1999-04-15
Filing date: 1999-04-15
Publication date: 2009-07-29
Anticipated expiration: 2019-04-15
Also published as: JP2000297872A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、流体制御器に関し、特に、高圧容器などの流体制御装置構成機器に取り付けられて窒素ガスによる流体制御装置構成機器内ガスのパージを行うことができる流体制御器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は、高圧容器に取り付けられて窒素ガスによるパージを行うための従来の流体制御装置を示すもので、同装置(41)は、ブロック状本体(42)と、本体(42)に嵌め合わされた高圧容器への接続用ナット(43)とを備えており、本体(42)内に、大径部(44a) および小径部(44b) よりなる長さ方向通路(44)と、大径部(44a) よりのびる径方向通路(45)とが設けられ、小径部(44b) の外径に等しい外径を有する窒素ガス導入管(46)が長さ方向通路(44)に挿通され、径方向通路(45)の外径に等しい外径を有する窒素ガス排出管(47)が径方向通路(45)に挿入され、窒素ガス導入管(46)途中に、窒素ガスの遮断開放を行う開閉弁(48)が配置されているものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の流体制御装置は、半導体製造装置の流体制御用としてよく使用されるが、この種の製造装置では、装置の占有スペースの減少および通路のボリュームの減少が要求されており、開閉弁と本体との間にある窒素ガス導入管部分の減少が望まれている。このためには、端面で連通する２つの流体通路が形成された通路形成部材とこれら２つの流体通路のいずれか一方に通じる流体通路が形成された通路形成部材とから構成された通路形成用の本体を得ることが課題とされ、このような本体と開閉弁や圧力センサなどの機能部材との一体化が要求されている。
【０００４】
この発明の目的は、上記事情に鑑み、開閉弁などの機能部材と通路形成用本体との一体化を可能とした流体制御器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明による流体制御器は、ガスケット収納凹所が設けられた突き合わせ端面と突き合わせ端面に直交する長さ方向通路とをそれぞれ有しかつ互いに突き合わされた２つの通路形成部材を備え、第１の通路形成部材の長さ方向通路が貫通路とされて同通路内に、通路径よりも小さい外径を有するパイプが挿入されることにより、第１の通路形成部材に、一端が突き合わせ端面の反対側に開口し他端が第２の通路形成部材の長さ方向通路に通じるパイプ内通路と、一端が突き合わせ端面の反対側に開口してパイプ内通路に通じており他端が径方向通路を介して突き合わせ端面と直交する面に開口するパイプ外通路とが形成され、パイプ先端部に、両通路形成部材の突き合わせ端面のガスケット収納凹所に嵌め入れられるガスケットが溶接されているものである。
【０００６】
上記において、径方向通路という語には、長さ方向と直交する通路だけでなく、長さ方向通路と所定角度で交差して斜め方向にのびる通路も含むものとする。
【０００７】
この発明の流体制御器によると、突き合わせ端面の反対側で連通する２つの流体通路（パイプ内通路およびパイプ外通路）が形成された第１の通路形成部材と、これら２つの流体通路のいずれか一方に通じる流体通路が形成された第２の通路形成部材とから構成された通路形成用の本体を得ることができる。そして、第１の通路形成部材の突き合わせ端面の反対側に高圧容器などの流体制御装置構成機器を接続すれば、パイプ内通路からこの流体制御装置構成機器を経てパイプ外通路に至るパージガス通路を容易に得ることができる。
【０００８】
この流体制御器は、第１の通路形成部材の突き合わせ端面の反対側に、流体制御装置構成機器への接続部（例えば、高圧容器への接続用ナット）が、同突き合わせ端面と直交する面に、径方向通路を遮断開放する開閉弁がそれぞれ設けられ、第２の通路形成部材に、長さ方向通路を遮断開放する少なくとも１つの開閉弁が設けられている形態で、高圧容器に取り付けられる。このようにすると、従来、開閉弁と本体との間にあった窒素ガス導入管が不要となり、この流体制御器を含んだ装置の占有スペースの減少および通路のボリュームの減少が図られる。
【０００９】
流体制御器が高圧容器に取り付けられる場合で圧力センサが必要なときには、第２の通路形成部材に、長さ方向通路に連なりこれと直角の方向にのびる貫通状径方向通路が設けられ、この径方向通路の一端部側に圧力センサ取付用ナットが、同他端部側にガスケット収納凹所がそれぞれ設けられるとともに、ガスケット収納凹所が設けられた突き合わせ端面と突き合わせ端面に直交する径方向通路とを有する第３の通路形成部材が第２の通路形成部材に突き合わされ、第２の通路形成部材の径方向通路内に、通路径よりも小さい外径を有するパイプが挿入されることにより、第２の通路形成部材に、一端が突き合わせ端面の反対側に開口し他端が第３の通路形成部材の径方向通路に通じるパイプ内通路と、一端が突き合わせ端面の反対側に開口してパイプ内通路に通じており他端が第２の通路形成部材の長さ方向通路に通じているパイプ外通路とが形成され、パイプ先端部に、両通路形成部材の突き合わせ端面のガスケット収納凹所に嵌め入れられるガスケットが溶接されていることがある。
【００１０】
また、流体制御器が高圧容器に取り付けられる場合で圧力センサが必要なときには、第２の通路形成部材に、圧力センサの開口部に取り付けられた第４の通路形成部材が突き合わされており、第４の通路形成部材に、圧力センサへの入口通路および圧力センサからの出口通路が形成されるとともに、第２の通路形成部材に、第４の通路形成部材の入口通路を同部材内の長さ方向通路に連通させる連通路と、第４の通路形成部材の出口通路を第１の通路形成部材との突き合わせ端面の反対側に取り出す取出し通路とがさらに形成されていることもある。
【００１１】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００１２】
図１から図３までは、この発明の流体制御器の第１実施形態を示すもので、高圧容器に取り付けられるブロック弁として構成したものである。第１実施形態の説明において、前とは、図１の左下を、後とは、同右上をいうものとし、左右は後方に向かっていうものとする。
【００１３】
流体制御器(1) は、全体として直方体状に形成された本体(2) と、本体(2) 前面に取り付けられた高圧容器接続用ナット(3) と、本体(2) 上面に前から順に取り付けられた第１、第２および第３の開閉弁(4)(5)(6) と、本体(2) 上面の後端部に取り付けられた圧力センサ取付用ナット(7) と、本体(2) 右面に前から順に取り付けられた配管接続用の第１、第２および第３のおねじ型継手(8)(9)(10)と、本体(2) 下面の後端部に取り付けられた配管接続用の第４のおねじ型継手(11)とよりなる。
【００１４】
本体(2) は、高圧容器接続用ナット(3) 、第１開閉弁(4) および第１おねじ型継手(8) が取り付けられている前側の通路形成部材(12)と、第２開閉弁(5) 、第３開閉弁(6) 、圧力センサ取付用ナット(7) 、第２おねじ型継手(9) 、第３おねじ型継手(10)および第４おねじ型継手(11)が取り付けられている後側の通路形成部材(13)とよりなる。各開閉弁(4)(5)(6) は、上方からのねじにより本体(2) に取り付けられている。各開閉弁(4)(5)(6) は、公知のダイアフラム弁であり、その構成についての説明は省略する。
【００１５】
図２に拡大して示すように、前側の通路形成部材(12)の前面には、円筒状の前方突出部(14)が設けられている。この前方突出部(14)は、ナット(3) が嵌め合わされたスリーブ(15)が、前側の通路形成部材(12)本体の前面に一体に設けられた環状の突出部(12a) に突き合わされて溶接されることにより形成されている。ナット(3) は、前方突出部(14)に設けられたフランジ部(14a) により、前方への移動を阻止されている。また、前側の通路形成部材(12)の上面には、開閉弁収納用凹所(12b) が設けられており、ここに第１開閉弁(4) の下端部が嵌め入れられている。
【００１６】
前側の通路形成部材(12)および後側の通路形成部材(13)は、それぞれガスケット収納凹所(16)(17)が設けられた突き合わせ端面と突き合わせ端面に直交する断面円形の長さ方向通路(18)(19)とを有している。前側の通路形成部材(12)には、さらに、長さ方向通路(18)から上向きにのび開閉弁収納用凹所(12b) の底面に開口している断面円形の径方向通路(20)が設けられており、この径方向通路(20)が第１開閉弁(4) により遮断開放されるようになされている。前側の通路形成部材(12)の長さ方向通路(18)内には、長さ方向通路(18)の径よりも小さい外径を有する断面円形のパイプ(21)が長さ方向通路(18)との間に円筒状の間隙を残すように挿入されている。パイプ(21)の前端は、前方突出部(14)の前端に一致させられている。パイプ(21)の後端部には、両通路形成部材(12)(13)の突き合わせ端面のガスケット収納凹所(16)(17)に嵌め入れられるガスケット(22)が溶接されている。ガスケット(22)は、前方にのびかつパイプ(21)と同径の小径部(22a) を有しており、この小径部(22a) の前端がパイプ(21)の後端に溶接されている。各通路形成部材(12)(13)のガスケット収納凹所(16)(17)には、それぞれガスケット押さえ用環状突起(16a)(17a)が設けられている。パイプ(21)の後端に溶接されたガスケット(22)が両通路形成部材(12)(13)の突き合わせ端面に介在させられることにより、前側の通路形成部材(12)に、前端が突き合わせ端面の反対側に開口し後端が後側の通路形成部材(13)の長さ方向通路(19)に通じるパイプ内通路(23)と、前端が突き合わせ端面の反対側に開口してパイプ内通路(23)の前端開口に通じており他端が径方向通路(20)を介して突き合わせ端面と直交する面（上面）に開口するパイプ外通路(24)とが形成されている。
【００１７】
圧力センサ取付部にも、図２と同様の構成が設けられている。すなわち、図３に示すように、後側の通路形成部材(13)は、下端部に、別部材とされた通路形成用の小ブロック(13a) を有し、上端部に、円筒状の上方突出部(25)を有している。通路形成部材(13)本体および小ブロック(13a) は、それぞれガスケット収納凹所(26)(27)が設けられた突き合わせ端面と突き合わせ端面に直交する径方向通路(28)(29)とを有している。通路形成部材(13)本体の径方向通路(28)は、その下端部近くで長さ方向通路(19)に通じている。通路形成部材(13)本体の径方向通路(28)内には、径方向通路(28)の径よりも小さい外径を有するパイプ(30)が径方向通路(28)との間に円筒状の間隙を残すように挿入されている。パイプ(30)の上端は、上方突出部(25)の上端近くに位置させられている。パイプ(30)の下端部には、通路形成部材(13)本体および小ブロック(13a) の突き合わせ端面のガスケット収納凹所(26)(27)に嵌め入れられるガスケット(31)が溶接されている。ガスケット(31)は、上方にのびかつパイプ(21)と同径の小径部(31a) を有しており、この小径部(31a) の上端がパイプ(30)の下端に溶接されている。通路形成部材(13)本体および小ブロック(13a) のガスケット収納凹所(26)(27)には、それぞれガスケット押さえ用環状突起(26a)(27a)が設けられている。
【００１８】
パイプ(30)の下端に溶接されたガスケット(31)が通路形成部材(13)本体および小ブロック(13a) の突き合わせ端面に介在させられることにより、通路形成部材(13)本体に、上端が突き合わせ端面の反対側に開口し下端が小ブロック(13a) の径方向通路(29)に通じるパイプ内通路(32)と、上端が突き合わせ端面の反対側に開口してパイプ内通路(32)に通じており下端が長さ方向通路(19)に通じているパイプ外通路(33)とが形成されている。
【００１９】
この流体制御器(1) は接続用ナット(3) を用いて高圧容器のバルブに接続され、パージが必要になった際には、第１開閉弁(4) を開放して、第１おねじ型継手(8) に接続されたパージガス導入ラインから窒素ガスを導入することにより、窒素ガスは、第１開閉弁(4) を介して前側の通路形成部材(12)の径方向通路(20)に流入し、ここからパイプ外通路(24)を経て高圧容器のバルブ内に入り、高圧容器のバルブ内部のガスをパージした後、前側の通路形成部材(12)のパイプ内通路(23)から後側の通路形成部材(13)の長さ方向通路(19)に至り、さらに、後側の通路形成部材(13)のパイプ外通路(33)を経て圧力センサ内に入り、圧力センサ内部のガスをパージした後、後側の通路形成部材(13)のパイプ内通路(32)から小ブロック(13a) の径方向通路(29)に至り、第４おねじ型継手(11)に接続されたパージガス排出ラインから排出される。上記のように構成された流体制御器(1) は、デッドスペースが非常に小さくなっており、効率の良いパージが行える。また、圧力センサ部はデッドスペースになることが多いが、この部分についても効率の良いパージが行える。
【００２０】
なお、上記の図２および図３において、パージガスを流す方向は、矢印に示す向きと全く逆向きにしてもよい。また、図３に示した圧力センサ取付部分は必ずしも必要なものではないし、開閉弁の数も３つに限られるものではなく、この発明の流体制御器が取り付けられる流体制御装置構成機器の特性に応じた種々の変更が可能である。
【００２１】
図４および図５は、この発明の流体制御器の第２実施形態を示すもので、第１実施形態のものと同様に高圧容器に取り付けられるブロック弁として構成したものである。第２実施形態の説明において、前とは、図４の左を、後とは、同右をいうものとし、左右は後方に向かっていうものとする。
【００２２】
流体制御器(41)は、全体として直方体状に形成された本体(42)と、本体(42)前面に取り付けられた高圧容器接続用ナット(43)と、本体(42)上面に前から順に取り付けられた第１、第２および第３の開閉弁(44)(45)(46)と、本体(42)右面の中央部に取り付けられた圧力センサ(47)と、本体(42)左面に前から順に取り付けられた第１、第２および第３配管接続用ナット(48)(49)(50)とよりなる。
【００２３】
本体(42)は、高圧容器接続用ナット(43)、第１開閉弁(44)および第１配管接続用ナット(48)が取り付けられている前側通路形成部材(51)と、第２開閉弁(45)、圧力センサ(47)および第２配管接続用ナット(49)が取り付けられている中央通路形成部材(52)と、第３開閉弁(46)および第３配管接続用ナット(50)が取り付けられている後側通路形成部材(53)とよりなる。各開閉弁(44)(45)(46)は、上方からのねじにより本体(42)に取り付けられている。各開閉弁(44)(45)(46)は、公知のダイアフラム弁であり、その構成についての説明は省略する。
【００２４】
前側の通路形成部材(51)の前面には、円筒状の前方突出部(54)が設けられている。この前方突出部(54)は、高圧容器接続用ナット(43)が嵌め合わされたスリーブ(55)が、前側の通路形成部材(51)本体の前面に一体に設けられた環状の突出部(51a) に突き合わされて溶接されることにより形成されている。高圧容器接続用ナット(43)は、前方突出部(54)に設けられたフランジ部(54a) により、前方への移動を阻止されている。また、前側の通路形成部材(51)の上面には、開閉弁収納用凹所(51b) が設けられており、ここに第１開閉弁(44)の下端部が嵌め入れられている。
【００２５】
前側の通路形成部材(51)および中央の通路形成部材(52)は、それぞれガスケット収納凹所(56)(57)が設けられた突き合わせ端面と突き合わせ端面に直交する断面円形の長さ方向通路(58)(59)とを有している。前側の通路形成部材(51)には、さらに、長さ方向通路(58)から斜め上向きにのび開閉弁収納用凹所(51b) の底面に開口している断面円形の径方向通路(60)が設けられており、この径方向通路(60)が第１開閉弁(44)により遮断開放されるようになされている。前側の通路形成部材(51)の長さ方向通路(58)内には、長さ方向通路(58)の径よりも小さい外径を有する断面円形のパイプ(61)が長さ方向通路(58)との間に円筒状の間隙を残すように挿入されている。パイプ(61)の前端は、前方突出部(54)の前端に一致させられている。パイプ(61)の後端部には、前側および中央通路形成部材(51)(52)の突き合わせ端面のガスケット収納凹所(56)(57)に嵌め入れられるガスケット(62)が溶接されている。前側および中央の通路形成部材(51)(52)のガスケット収納凹所(56)(57)には、それぞれガスケット押さえ用環状突起が設けられている。パイプ(61)の後端に溶接されたガスケット(62)が前側および中央通路形成部材(51)(52)の突き合わせ端面に介在させられることにより、前側の通路形成部材(51)に、前端が突き合わせ端面の反対側に開口し後端が中央の通路形成部材(52)の長さ方向通路(59)に通じるパイプ内通路(63)と、前端が突き合わせ端面の反対側に開口してパイプ内通路(63)の前端開口に通じており他端が径方向通路(60)を介して突き合わせ端面と直交する面（上面）に開口するパイプ外通路(64)とが形成されている。
【００２６】
圧力センサ(47)の開口部には、方形板状の通路形成部材(65)が取り付けられており、この通路形成部材(65)の左面が中央の通路形成部材(52)の右面に突き合わされてねじで接合されている。
【００２７】
図４に示すように、中央の通路形成部材(52)の上記長さ方向通路(59)は、上向きにのびる径方向通路を介して、第２開閉弁(45)が収納されている凹所の底面に通じている。また、中央の通路形成部材(52)には、さらに、この長さ方向通路(59)より短い後端部長さ方向通路(66)がその後面近くから後面までのびている。そして、後側の通路形成部材(53)には、この後端部長さ方向通路(66)と第３開閉弁(46)から下向きにのびる径方向通路とを連通する長さ方向通路(67)が形成されている。
【００２８】
中央通路形成部材(52)の後端部長さ方向通路(66)と後側通路形成部材(53)の長さ方向通路(67)との突き合わせ端面には、シール部(68)が介在させられている。なお、前側の通路形成部材(51)の後面には、凹所が設けられ、中央の通路形成部材(52)の前面には、これに嵌め入れられる凸部が設けられており、前側の通路形成部材(51)と中央の通路形成部材(52)とは、凹凸嵌合によりその接合の強化が図られている。
【００２９】
図５に示すように、圧力センサ(47)の開口部に設けられた板状通路形成部材(65)には、中央の通路形成部材(52)の長さ方向通路(59)から右向きにのびる前側連通路(69)と圧力センサ(47)の入口とを連通する入口通路(71)と、圧力センサ(47)の出口と中央の通路形成部材(52)の後端部長さ方向通路(66)から右向きにのびる後側連通路(70)とを連通する出口通路(72)とが形成されている。中央通路形成部材(52)の前側連通路(69)と板状通路形成部材(65)の入口通路(71)との突き合わせ端面および中央通路形成部材(52)の後側連通路(70)と板状通路形成部材(65)の出口通路(72)との突き合わせ端面には、それぞれシール部(68)が介在させられている。
【００３０】
図５を参照して、この流体制御器(41)におけるパージ作用を説明する。
【００３１】
第１、第２および第３の開閉弁(44)(45)(46)を開とし、第１配管接続用ナット(48)に接続されたパージガス導入ラインから窒素ガスを導入することにより、窒素ガスは、前側通路形成部材(51)の左面開口通路(73)および第１開閉弁(44)を介して同部材(51)の径方向通路(60)に流入し、ここからパイプ外通路(64)を経て高圧容器のバルブ内に入り、高圧容器のバルブ内部のガスをパージした後、同部材(51)のパイプ内通路(63)から中央通路形成部材(52)の長さ方向通路(59)に至り、ここで分岐して、その一部が、中央通路形成部材(52)の前側連通路(69)および板状通路形成部材(65)の入口通路(71)を経て圧力センサ(47)内に入り、圧力センサ(47)内部のガスをパージした後、板状通路形成部材(65)の出口通路(72)および中央通路形成部材(52)の後側連通路(70)を経て中央通路形成部材(52)の後端部長さ方向通路(66)に至り、さらに、後側通路形成部材(53)内を流れて排出される。中央通路形成部材(52)の後側連通路(70)および後端部長さ方向通路(66)によって、板状通路形成部材(65)の出口通路(72)を後側通路形成部材(53)の長さ方向通路(67)に通じさせるための取出し通路が形成されている。そして、中央通路形成部材(52)の長さ方向通路(59)で分岐した残部の窒素ガスは、中央通路形成部材(52)の左面開口通路(74)を経て外部に排出される。
【００３２】
上記において、第１配管接続用ナット(48)に代えて第３配管接続用ナット(50)にパージガス導入ラインを接続することにより、後側通路形成部材(53)の左面開口通路(75)から窒素ガスを導入し、前側通路形成部材(51)および中央通路形成部材(52)の各左面開口通路(73)を経て外部に排出することによってもパージを行うことができる。
【００３３】
上記のように構成された流体制御器(41)は、デッドスペースが非常に小さくなっており、効率の良いパージが行える。また、圧力センサ(47)部はデッドスペースになることが多いが、この部分についても効率の良いパージが行える。しかも、前側、中央、後側の通路形成部材(51)(52)(53)および板状通路形成部材(65)がそれぞれ別個に分離できるので、例えば、圧力センサ(47)に代えて他の機能部材を設けたり、後側の通路形成部材(53)だけを変更したりすることにより、上記とは異なる機能を有する本体を種々形成することができ、この発明の流体制御器が取り付けられる流体制御装置構成機器の特性に応じた種々の変更を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による流体制御器の第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１のII-II 線に沿う断面図である。
【図３】図１のIII-III 線に沿う断面図である。
【図４】この発明による流体制御器の第２実施形態を示す縦断面図である。
【図５】同平面図である。
【図６】従来の流体制御器を示す縦断面図である。
【符号の説明】
(1) 流体制御器
(3) 高圧容器への接続用ナット（流体制御装置構成機器への接続部）
(4)(5)(6) 開閉弁
(7) 圧力センサ取付用ナット
(12) 前側通路形成部材（第１の通路形成部材）
(13) 後側通路形成部材（第２の通路形成部材）
(13a) 小ブロック（第３の通路形成部材）
(16)(17) ガスケット収納凹所
(18)(19) 長さ方向通路
(21) パイプ
(22) ガスケット
(23) パイプ内通路
(24) パイプ外通路
(26)(27) ガスケット収納凹所
(28)(29) 径方向通路
(30) パイプ
(31) ガスケット
(32) パイプ内通路
(33) パイプ外通路
(41) 流体制御器
(43) 高圧容器への接続用ナット（流体制御装置構成機器への接続部）
(44)(45)(46)開閉弁
(47) 圧力センサ取付用ナット
(51) 前側通路形成部材（第１の通路形成部材）
(52) 中央通路形成部材（第２の通路形成部材）
(56)(57) ガスケット収納凹所
(58)(59) 長さ方向通路
(61) パイプ
(62) ガスケット
(63) パイプ内通路
(64) パイプ外通路
(65) 板状通路形成部材（第３の通路形成部材）
(66)(67) ガスケット収納凹所
(68)(69) 径方向通路

Claims

ガスケット収納凹所(16)(17)(56)(57)が設けられた突き合わせ端面と突き合わせ端面に直交する長さ方向通路(18)(19)(58)(59)とをそれぞれ有しかつ互いに突き合わされた２つの通路形成部材(12)(13)(51)(52)を備え、第１の通路形成部材(12)(51)の長さ方向通路(18)(58)が貫通路とされて同通路(18)(58)内に、通路径よりも小さい外径を有するパイプ(21)(61)が挿入されることにより、第１の通路形成部材(12)(51)に、一端が突き合わせ端面の反対側に開口し他端が第２の通路形成部材(13)(52)の長さ方向通路(19)(59)に通じるパイプ内通路(23)(63)と、一端が突き合わせ端面の反対側に開口してパイプ内通路(23)(63)に通じており他端が径方向通路(20)(60)を介して突き合わせ端面と直交する面に開口するパイプ外通路(24)(64)とが形成され、パイプ(21)(61)先端部に、両通路形成部材(12)(13)(51)(52)の突き合わせ端面のガスケット収納凹所(16)(17)(56)(57)に嵌め入れられるガスケット(22)(62)が溶接されている流体制御器。
第１の通路形成部材(12)(51)の突き合わせ端面の反対側に、流体制御装置構成機器への接続部(3)(43) が、同突き合わせ端面と直交する面に、径方向通路(20)(60)を遮断開放する開閉弁(4)(44) がそれぞれ設けられ、第２の通路形成部材(13)(52)に、長さ方向通路(19)(59)を遮断開放する少なくとも１つの開閉弁(5)(6)(45)が設けられている請求項１の流体制御器。
第２の通路形成部材(13)に、長さ方向通路(19)に連なりこれと直角の方向にのびる貫通状径方向通路(28)が設けられ、この径方向通路(28)の一端部側に圧力センサ取付用ナット(7) が、同他端部側にガスケット収納凹所(26)がそれぞれ設けられるとともに、ガスケット収納凹所(27)が設けられた突き合わせ端面と突き合わせ端面に直交する径方向通路(29)とを有する第３の通路形成部材(13a) が第２の通路形成部材(13)に突き合わされ、第２の通路形成部材(13)の径方向通路(28)内に、通路径よりも小さい外径を有するパイプ(30)が挿入されることにより、第２の通路形成部材(13)に、一端が突き合わせ端面の反対側に開口し他端が第３の通路形成部材(13a) の径方向通路(29)に通じるパイプ内通路(32)と、一端が突き合わせ端面の反対側に開口してパイプ内通路(32)に通じており他端が第２の通路形成部材(13)の長さ方向通路(19)に通じているパイプ外通路(33)とが形成され、パイプ(30)先端部に、両通路形成部材(13)(13a) の突き合わせ端面のガスケット収納凹所(26)(27)に嵌め入れられるガスケット(31)が溶接されている請求項２の流体制御器。
第２の通路形成部材(13)に、圧力センサ(47)の開口部に取り付けられた第４の通路形成部材(65)が突き合わされており、第４の通路形成部材(65)に、圧力センサ(47)への入口通路(71)および圧力センサ(47)からの出口通路(72)が形成されるとともに、第２の通路形成部材(52)に、第４の通路形成部材(65)の入口通路(71)を同部材(52)内の長さ方向通路(59)に連通させる連通路(69)と、第４の通路形成部材(65)の出口通路(72)を第１の通路形成部材(51)との突き合わせ端面の反対側に取り出す取出し通路(66)(70)とがさらに形成されている請求項２の流体制御器。