JP2003097752A - 流体制御装置用継手部材およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体制御装置における部材数およびシール部
を減少することが可能な継手部材およびその製造方法を
提供する。 【解決手段】 継手部材の製造方法は、左右いずれか一
方の上向き開口通路52a、連通路52bおよび補助通路52c
をブロック状本体52にあける第１工程と、補助通路52c
に閉塞部材54を挿入する第２工程と、補助通路52cに閉
塞部材54を溶接する第３工程と、他方の上向き開口通路
52dをブロック状本体52にあける第４工程とよりなる。
第２工程において、閉塞部材54を他方の上向き開口通路
52d形成用部分にかかるように挿入しておく。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
などに使用される流体制御装置において、流体制御装置
に形成されている流路同士を連通する継手部材に関す
る。

【０００２】この明細書において上下・左右は、図１の
上下・左右をいうものとするが、この上下・左右は便宜
的なものであり、上下を逆にしたり、横にしたりして使
用することもできる。

【０００３】

【従来の技術】近年、半導体製造装置における流体制御
装置では、装置の占有スペースの減少のために集積化が
要求されており、本願発明者らは、この要求に応えるも
のとして、例えば、特願平９−２７８４９５において、
図３に示すような流体制御装置を提案している。

【０００４】この流体制御装置(101) は、半導体製造装
置等において用いられるもので、マスフローコントロー
ラ(2) と、マスフローコントローラ(2) の左方に設けら
れた入口側遮断開放部(3) と、マスフローコントローラ
(2) の右方に設けられた出口側遮断開放部(4) とよりな
る。

【０００５】マスフローコントローラ(2) の下部左面に
は、下面に開口する入口通路(5a)を有する直方体状左方
張出ブロック（第１流体制御部材）(5) が設けられ、同
右面には、下面に開口する出口通路(6a)を有する直方体
状右方張出ブロック（第２流体制御部材）(6) が設けら
れている。両張出ブロック(5)(6)は、横からのねじによ
りマスフローコントローラ(2) の本体に固定されてい
る。

【０００６】入口側遮断開放部(3) は、上段に配置され
た４つの流体制御部材(7)(8)(9)(10) と、下段に配置さ
れた５つの直方体状継手(11)(12)(13)(14)(51)とよりな
る。

【０００７】入口側遮断開放部(3) の左端に配置された
第３流体制御部材(7) は、下向きの入口通路(16a) およ
び出口通路(16b) を有するブロック状本体(16)に一体的
に設けられかつこれらの通路(16a)(16b)同士の連通を遮
断開放する第１開閉弁(17)よりなる。

【０００８】入口側遮断開放部(3) の左端から２番目に
配置された第４流体制御部材(8) は、下向きの入口通路
(18a) および出口通路(18b) を有しかつ上面左部に傾斜
面が形成されている略直方体ブロック状本体(18)と、本
体(18)傾斜面に設けられかつ入口通路(18a) と出口通路
(18b) との連通部に配置されて圧力を調整するプレッシ
ャーレギュレータ(19)と、本体(18)右上面の平坦部に設
けられかつ出口通路(18b) に通じる通路を介して流体圧
を測定する圧力センサ(20)とよりなる。本体(18)の入口
通路(18a) には、フィルター(21)が設けられている。

【０００９】入口側遮断開放部(3) の左端から３番目に
配置された第５流体制御部材(9) は、１つの直方体ブロ
ック状本体(22)に一体的に設けられた第２および第３開
閉弁(23)(24)よりなる。本体(22)には、左端部に設けら
れた下向きの第１入口通路(22a) と、第１入口通路(22
a) に第２開閉弁(23)を介して連通する右向きの出口通
路(22b) と、出口通路(22b) に第３開閉弁(24)を介して
連通する下向きの第２入口通路(22c) とが設けられてい
る。

【００１０】入口側遮断開放部(3) の左端から４番目に
配置された第６流体制御部材(10)は、１つの直方体通路
ブロックよりなる。第６流体制御部材(10)には、一端が
第５流体制御部材本体(22)の出口通路(22b) に通じ、他
端が下方に開口している連通路(10a) が設けられてい
る。

【００１１】入口側遮断開放部(3) の左端に配置された
第１継手(11)には、第３流体制御部材本体(16)の入口通
路(16a) に通じかつ左方に開口するＬ字状上流側連通路
(11a) と、第３流体制御部材本体(16)の出口通路(16b)
に通じかつ右方に開口するＬ字状下流側連通路(11b) と
が設けられている。第１継手(11)の左面には、上流側連
通路(11a) に通じる第１入口管接続部(25)が設けられて
いる。

【００１２】入口側遮断開放部(3) の左端から２番目に
配置された第２継手(12)には、第１継手(11)の出口通路
(11b) と第４流体制御部材本体(18)の入口通路(18a) と
を連通するＬ字状上流側連通路(12a) と、一端が第４流
体制御部材本体(18)の出口通路(18b) に通じかつ他端が
右方に開口するＬ字状下流側連通路(12b) とが設けられ
ている。

【００１３】入口側遮断開放部(3) の左端から３番目に
配置された第３継手(13)には、第２継手(12)の出口通路
(12b) と第５流体制御部材本体(22)の第１入口通路(22
a) とを連通するＬ字状連通路(13a) が設けられてい
る。

【００１４】入口側遮断開放部(3) の左端から４番目に
配置された第４継手(14)には、一端が第５流体制御部材
本体(22)の第２入口通路(22c) に通じ、他端が後方に開
口する連通路(14a) が設けられている。第４継手(14)の
後面には、連通路(14a) に通じる第２入口管接続部（図
示略）が設けられている。

【００１５】入口側遮断開放部(3) の左端から５番目に
配置された第５継手(51)は、第１および第２の直方体状
継手構成部材からなるＵ字状連通路付きの継手であり、
第１継手構成部材(52)には、一端が第６流体制御部材本
体(10)の連通路(10a) 出口に通じ、他端が右方に開口し
ているＬ字状上流側連通路(52a) が設けられ、第２継手
構成部材(53)には、一端が第１継手構成部材(52)の上流
側連通路(52a) に通じ、他端がマスフローコントローラ
(2) の左方張出ブロック(5) の入口通路(5a)に通じてい
るＬ字状下流側連通路(53a) が設けられている。第１お
よび第２継手構成部材(52)(53)が、上流側連通路(52a)
と下流側連通路(53a) とを連通するようにシール部(33)
を介して重ね合わせられることにより、第５継手(51)に
は、第６流体制御部材本体(10)の連通路(10a) とマスフ
ローコントローラ(2) の左方張出ブロック(5) の入口通
路(5a)とを連通するＵ字状連通路(51a) が形成されてい
る。

【００１６】出口側遮断開放部(4) は、上段に配置され
た第７流体制御部材(26)と、下段に配置された第６およ
び第７の直方体状継手(54)(28)とよりなる。第７流体制
御部材(26)は、下向きの入口通路(29a) および出口通路
(29b) を有するブロック状本体(29)に一体的に設けられ
かつこれらの通路(29a)(29b)同士の連通を遮断開放する
第４開閉弁(30)よりなる。出口側遮断開放部(4) の左方
に配置された第６継手(54)は、第１および第２の直方体
状継手構成部材からなるＵ字状連通路付きの継手であ
り、第１継手構成部材(55)には、一端がマスフローコン
トローラ(2) の右方張出ブロック(6) の出口通路(6a)に
通じ、他端が右方に開口しているＬ字状上流側連通路(5
5a) が設けられ、同第２継手構成部材(56)には、一端が
第１継手構成部材(55)の下流側連通路(55a) に通じ、他
端が第７流体制御部材本体(29)の入口通路(29a) に通じ
ているＬ字状下流側連通路(56a) が設けられている。第
１および第２継手構成部材(55)(56)が、上流側連通路(5
5a) と下流側連通路(56a) とを連通するようにシール部
(33)を介して重ね合わせられることにより、第６継手(5
4)には、マスフローコントローラ(2) の右方張出ブロッ
ク(6) の出口通路(6a)と第７流体制御部材本体(29)の入
口通路(29a) とを連通するＵ字状連通路(54a)が形成さ
れている。出口側遮断開放部(4) の右方に配置された第
７継手(28)には、一端が第７流体制御部材本体(29)の出
口通路(29b) に通じ、他端が後方に開口する連通路(28
a) が設けられている。第７継手(28)の後面には、連通
路(28a) に通じる出口管接続部（図示略）が設けられて
いる。

【００１７】流体制御部材(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) の
下面はすべて面一とされるとともに、各継手(11)(12)(1
3)(14)(51)(54)(28)の上面同士も面一とされ、継手(11)
(12)(13)(14)(51)(54)(28)が基板(31)に固定され、各流
体制御部材(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) が、上方からのね
じ(32)により継手(11)(12)(13)(14)(51)(54)(28)に固定
されている。

【００１８】こうして、第１継手(11)の第１入口管接続
部(25)および第４継手(14)の第２入口管接続部からそれ
ぞれ異なる流体が導入され、これらの流体が適宜切り換
えらてマスフローコントローラ(2) を経て第７継手(28)
の出口管接続部から排出される流体制御装置(1) が構成
されている。

【００１９】この流体制御装置(1) によると、マスフロ
ーコントローラ(2) は、左右の張出ブロック(5)(6)とと
もに上方に取り出すことができる。また、第３〜第７の
流体制御部材(7)(8)(9)(10)(26) は、流体制御部材(7)
(8)(9)(10)(26) 単位で上方に取り出すことができる。
流体制御部材同士(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) の連通部、
継手(11)(12)(13)(14)(15)同士の連通部および流体制御
部材(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) と継手(11)(12)(13)(14)
(51)(54)(28)との連通部には、それぞれシール部(33)が
設けられている。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】上記流体制御装置(1)
では、第５継手(51)および第６継手(54)は、全体として
Ｕ字状の通路を得るために、それぞれＬ字状通路(52a)
(53a)(55a)(56a)を有する２つの構成部材(52)(53)(55)
(56)がシール部(33)を介して突き合わされたものとされ
ており、部材数が増えて組立てが面倒になるだけでな
く、シール部が増加することにより、流体漏れの危険性
やそのためのメンテナンスが増加するという解決すべき
課題を有していた。

【００２１】この発明の目的は、上記事情に鑑み、特願
平９−２７８４９５で示されている流体制御装置の利点
を維持し、しかも、流体制御装置における部材数および
シール部を減少することが可能な継手部材およびその製
造方法を提供することにある。

【００２２】

【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による流体制御装置用継手部材は、左右一対の上向き
開口通路および両上向き開口通路の下端部同士を連通す
る連通路よりなるＵ字状通路と、左右いずれか一方の上
向き開口通路の下端部から連通路の延長方向にのびる成
形用補助通路とが、ブロック状本体にその表面側からあ
けられて形成されている流体制御装置用継手部材におい
て、成形用補助通路に挿入されて溶接された閉塞部材が
上向き開口通路をあける際に削り取られることにより、
成形用補助通路が、補助通路に流体が流れ込む可能性が
ないように、溶接部によって閉塞されていることを特徴
とするものである。

【００２３】この発明の流体制御装置用継手部材による
と、それぞれＬ字状通路を有する２つの構成部材がシー
ル部を介して突き合わされた継手をこの継手部材に置き
換えることができるので、構成部材数を減少するととも
に、シール部も減少することができる。したがって、流
体制御装置の組立てを簡単にするとともに、シール部に
おける流体漏れの危険性やそのためのメンテナンスも減
少することができる。しかも、成形用補助通路に挿入さ
れて溶接された閉塞部材が削り取られることにより、成
形用補助通路が、補助通路に流体が流れ込む可能性がな
いように、溶接部の残部によって閉塞されていることか
ら、補助通路に流体が溜まることがないので、半導体製
造装置のように極めて高い清浄度が要求される装置で使
用してもプロセスガスなどの純度低下の問題を引き起こ
すことがない。

【００２４】この発明による流体制御装置用継手部材の
製造方法は、左右一対の上向き開口通路および両上向き
開口通路の下端部同士を連通する連通路よりなるＵ字状
通路を備えている流体制御装置用継手部材を製造する方
法であって、左右いずれか一方の上向き開口通路、連通
路および補助通路をブロック状本体にあける第１工程
と、補助通路に閉塞部材を挿入する第２工程と、補助通
路に閉塞部材を溶接する第３工程と、他方の上向き開口
通路をブロック状本体にあける第４工程とよりなり、第
２工程において、閉塞部材を他方の上向き開口通路形成
用部分にかかるように挿入しておくことを特徴とするも
のである。

【００２５】こうして得られた継手部材によると、補助
通路に流体が溜まることがないので、半導体製造装置の
ように極めて高い清浄度が要求される装置で使用しても
プロセスガスなどの純度低下の問題を引き起こすことが
ない。

【００２６】この発明の流体制御装置用継手部材におい
て、補助通路は、溶接部によって閉塞されていない大径
の開口部を有しており、大径の開口部を除いた補助通路
が溶接部によって閉塞されていることが好ましく、この
ようにすることにより、この継手部材を製造する際の工
程である閉塞部材の挿入および溶接を容易に行うことが
できる。

【００２７】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、以下図
面を参照して説明する。以下の説明において、図１の紙
面表側を前、紙面裏側を後というものとする。

【００２８】図１は、この発明の継手部材を備えた流体
制御装置の１例を示している。この流体制御装置(1)
は、半導体製造装置等において用いられるもので、マス
フローコントローラ(2) と、マスフローコントローラ
(2) の左方に設けられた入口側遮断開放部(3) と、マス
フローコントローラ(2) の右方に設けられた出口側遮断
開放部(4) とよりなる。

【００２９】マスフローコントローラ(2) の下部左面に
は、下面に開口する入口通路(5a)を有する直方体状左方
張出ブロック（第１流体制御部材）(5) が設けられ、同
右面には、下面に開口する出口通路(6a)を有する直方体
状右方張出ブロック（第２流体制御部材）(6) が設けら
れている。両張出ブロック(5)(6)は、横からのねじによ
りマスフローコントローラ(2) の本体に固定されてい
る。

【００３０】入口側遮断開放部(3) は、上段に配置され
た４つの流体制御部材(7)(8)(9)(10) と、下段に配置さ
れた４つの直方体状継手(11)(12)(14)(51)とよりなる。

【００３１】入口側遮断開放部(3) の左端に配置された
第３流体制御部材(7) は、下向きの入口通路(16a) およ
び出口通路(16b) を有するブロック状本体(16)に一体的
に設けられかつこれらの通路(16a)(16b)同士の連通を遮
断開放する第１開閉弁(17)よりなる。

【００３２】入口側遮断開放部(3) の左端から２番目に
配置された第４流体制御部材(8) は、下向きの入口通路
(18a) および出口通路(18b) を有しかつ上面左部に傾斜
面が形成されている略直方体ブロック状本体(18)と、本
体(18)傾斜面に設けられかつ入口通路(18a) と出口通路
(18b) との連通部に配置されて圧力を調整するプレッシ
ャーレギュレータ(19)と、本体(18)右上面の平坦部に設
けられかつ出口通路(18b) に通じる通路を介して流体圧
を測定する圧力センサ(20)とよりなる。本体(18)の入口
通路(18a) には、フィルター(21)が設けられている。

【００３３】入口側遮断開放部(3) の左端から３番目に
配置された第５流体制御部材(9) は、１つの直方体ブロ
ック状本体(22)に一体的に設けられた第２および第３開
閉弁(23)(24)よりなる。本体(22)には、左端部に設けら
れた下向きの第１入口通路(22a) と、第１入口通路(22
a) に第２開閉弁(23)を介して連通する右向きの出口通
路(22b) と、出口通路(22b) に第３開閉弁(24)を介して
連通する下向きの第２入口通路(22c) とが設けられてい
る。

【００３４】入口側遮断開放部(3) の左端から４番目に
配置された第６流体制御部材(10)は、１つの直方体通路
ブロックよりなる。第６流体制御部材(10)には、一端が
第５流体制御部材本体(22)の出口通路(22b) に通じ、他
端が下方に開口している連通路(10a) が設けられてい
る。

【００３５】入口側遮断開放部(3) の左端に配置された
第１継手(11)には、第３流体制御部材本体(16)の入口通
路(16a) に通じかつ左方に開口するＬ字状連通路(11a)
と、第３流体制御部材本体(16)の出口通路(16b) と第４
流体制御部材本体(18)の入口通路(18a) とを連通するＵ
字状連通路(11b) とが設けられている。第１継手(11)の
左面には、連通路(11a) に通じる第１入口管接続部(25)
が設けられている。

【００３６】入口側遮断開放部(3) の左端から２番目に
配置された第２継手(12)には、第４流体制御部材本体(1
8)の出口通路(18b) と第５流体制御部材本体(22)の第１
入口通路(22a) とを連通するＵ字状連通路(12a) が設け
られている。

【００３７】入口側遮断開放部(3) の左端から３番目に
配置された第３継手(14)には、一端が第５流体制御部材
本体(22)の第２入口通路(22c) に通じ、他端が後方に開
口する連通路(14a) が設けられている。第４継手(14)の
後面には、連通路(14a) に通じる第２入口管接続部（図
示略）が設けられている。

【００３８】入口側遮断開放部(3) の左端から４番目に
配置された第４継手(51)には、第６流体制御部材(10)の
連通路(10a) とマスフローコントローラ(2) の左方張出
ブロック(5) の入口通路(5a)とを連通するＵ字状連通路
(51a) が設けられている。

【００３９】出口側遮断開放部(4) は、上段に配置され
た第７流体制御部材(26)と、下段に配置された第５およ
び第６の直方体状継手(54)(28)とよりなる。第７流体制
御部材(26)は、下向きの入口通路(29a) および出口通路
(29b) を有するブロック状本体(29)に一体的に設けられ
かつこれらの通路(29a)(29b)同士の連通を遮断開放する
第４開閉弁(30)よりなる。出口側遮断開放部(4) の左方
に配置された第５継手(54)には、マスフローコントロー
ラ(2) の右方張出ブロック(6) の出口通路(6a)と第７流
体制御部材本体(29)の入口通路(29a) とを連通するＵ字
状連通路(54a)が設けられている。出口側遮断開放部(4)
の右方に配置された第６継手(28)には、一端が第７流
体制御部材本体(29)の出口通路(29b) に通じ、他端が後
方に開口する連通路(28a) が設けられている。第６継手
(28)の後面には、連通路(28a) に通じる出口管接続部
（図示略）が設けられている。

【００４０】流体制御部材(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) の
下面はすべて面一とされるとともに、各継手(11)(12)(1
4)(51)(54)(28)の上面同士も面一とされ、継手(11)(12)
(14)(51)(54)(28)が基板(31)に固定され、各流体制御部
材(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26)が、上方からのねじ(32)に
より継手(11)(12)(14)(51)(54)(28)に固定されている。

【００４１】こうして、第１継手(11)の第１入口管接続
部(25)および第３継手(14)の第２入口管接続部からそれ
ぞれ異なる流体が導入され、これらの流体が適宜切り換
えらてマスフローコントローラ(2) を経て第６継手(28)
の出口管接続部から排出される流体制御装置(1) が構成
されている。

【００４２】この流体制御装置(1) によると、マスフロ
ーコントローラ(2) は、左右の張出ブロック(5)(6)とと
もに上方に取り出すことができる。また、第３〜第７の
流体制御部材(7)(8)(9)(10)(26) は、流体制御部材(7)
(8)(9)(10)(26) 単位で上方に取り出すことができる。
流体制御部材同士(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) の連通部お
よびこれらと継手(11)(12)(14)(51)(54)(28)との連通部
には、それぞれシール部(33)が設けられている。

【００４３】そして、この発明による流体制御装置(1)
と図３に示した従来の流体制御装置(101) とを比較する
と、上段の流体制御部材(7)(8)(9)(10)(26) は、同一構
成で同一機能を有しており、下段の継手を構成する部材
の数が、従来は、(11)(12)(13)(14)(52)(53)(55)(56)(2
8)の９つであったのが、この発明のものでは、(11)(12)
(14)(51)(54)(28)の６つに減少しており、また、従来の
下段の継手部材(11)(12)(13)(52)(53)(55)(56)同士の連
通部に配されていた４つのシール部(33)が、この発明の
ものでは、不要とされている。

【００４４】次いで、Ｕ字状通路(12a)(51a)(54a) を有
する継手部材(12)(51)(54)の好ましい製造方法につい
て、第３継手(51)を例に取って以下に説明する。

【００４５】図２（ａ）および（ｂ）に示すように、第
１工程では、ブロック状本体(52)の上面側から左方の上
向き開口通路(52a) をあけるとともに、同本体の右側面
から補助通路(52c) および連通路(52b) を上向き開口通
路(52a) の下端部に連通するようにあける。本体(52)の
右側面には、次の工程を容易に行うための大径の開口部
(53)があけられる。このさい、上向き開口通路(52a) と
補助通路(52c) および連通路(52b) とをあける順序につ
いては、どちらが先でもてもよい。第２工程では、補助
通路(52c) に薄円板状の閉塞部材(54)を挿入する。ここ
で、閉塞部材(54)は、右方の上向き開口通路(52d) を形
成するさいに削り取られるように上向き開口通路(52d)
の形成用部分にかかるように挿入しておく。第３工程で
は、補助通路(52c) に閉塞部材(54)を溶接する。この溶
接は、同図（ｃ）に示すように、閉塞部材(54)が削り取
られたとしても、補助通路(52c) に流体が流れ込む可能
性がないように、大径の開口部(53)を除いた補助通路(5
2c) を完全に閉塞するように実施される。そして、第４
工程では、同図（ｄ）に示すように、右方の上向き開口
通路(52d) をブロック状本体(52)にあける。これによ
り、閉塞部材(54)および溶接部(W) の一部が削り取られ
て、溶接部の残部(W1)によって補助通路(52c)が閉塞さ
れた継手部材(51)が形成される。こうして、この継手部
材(51)には、互いに平行な左右一対の直線状上向き開口
通路(52a)(52d)および両上向き開口通路(52a)(52d)の下
端部同士を連通する直線状連通路(52b) よりなるＵ字状
通路(51a) が形成される。このようにして製造された継
手(51)によると、補助通路(52c)に流体が溜まることは
ないので、半導体製造装置のように極めて高い清浄度が
要求される装置で使用してもプロセスガスなどの純度低
下の問題を引き起こすことがない。

【００４６】なお、図示省略したが、図２において、ブ
ロック状本体(52)を左方に延長して、ここに、直線状上
向き開口通路およびこの下端部に連なる直線状横向き開
口通路よりなるＬ字状通路(11a) をさらに形成すること
により、第１継手(11)を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による継手部材を使用した流体制御装
置の１例を示す図である。

【図２】この発明による継手部材の製造方法を示す図で
ある。

【図３】従来の継手部材を使用した流体制御装置の１例
を示す図である。

【符号の説明】

(11)(12)(51)(54) 継手部材 (11a) Ｌ字状通路 (11b)(12a)(51a)(54a) Ｕ字状通路 (52) ブロック状本体 (52a) 左方の上向き開口通路 (52b) 連通路 (52c) 補助通路 (52d) 右方の上向き開口通路 (53) 大径の開口部 (54) 閉塞部材 (W) 溶接部 (W1) 溶接部の残部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横山 光祐 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 吉田 忠信 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 唐士 裕司 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 Ｆターム(参考） 3H019 BA32 BD03 3H051 BB01 BB10 CC15 CC16 EE01 EE03 EE06 FF09 FF15

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 左右一対の上向き開口通路および両上向
   き開口通路の下端部同士を連通する連通路よりなるＵ字
   状通路と、左右いずれか一方の上向き開口通路の下端部
   から連通路の延長方向にのびる成形用補助通路とが、ブ
   ロック状本体にその表面側からあけられて形成されてい
   る流体制御装置用継手部材において、成形用補助通路に
   挿入されて溶接された閉塞部材が上向き開口通路をあけ
   る際に削り取られることにより、成形用補助通路が、補
   助通路に流体が流れ込む可能性がないように、溶接部に
   よって閉塞されていることを特徴とする流体制御装置用
   継手部材。
2. 【請求項２】 左右一対の上向き開口通路および両上向
   き開口通路の下端部同士を連通する連通路よりなるＵ字
   状通路を備えている流体制御装置用継手部材を製造する
   方法であって、左右いずれか一方の上向き開口通路(52
   a) 、連通路(52b) および補助通路(52c) をブロック状
   本体(52)にあける第１工程と、補助通路(52c) に閉塞部
   材(54)を挿入する第２工程と、補助通路(52c) に閉塞部
   材(54)を溶接する第３工程と、他方の上向き開口通路(5
   2d) をブロック状本体(52)にあける第４工程とよりな
   り、第２工程において、閉塞部材(54)を他方の上向き開
   口通路(52d) 形成用部分にかかるように挿入しておくこ
   とを特徴とする流体制御装置用継手部材の製造方法。
3. 【請求項３】 補助通路は、溶接部によって閉塞されて
   いない大径の開口部を有しており、大径の開口部を除い
   た補助通路が溶接部によって閉塞されている請求項１の
   流体制御装置用継手部材。