KR102177916B1

KR102177916B1 - 유체제어장치, 이것에 사용하는 베이스 블록 및 유체제어장치의 제조 방법

Info

Publication number: KR102177916B1
Application number: KR1020197009808A
Authority: KR
Inventors: 히데히로 도야; 마사루 사토
Original assignee: 가부시키가이샤 후지킨
Priority date: 2016-09-12
Filing date: 2017-09-07
Publication date: 2020-11-12
Also published as: CN109690159A; TW201826062A; US10895329B2; US20190271402A1; TWI706240B; JPWO2018047907A1; KR20190059916A; CN109690159B; JP6938034B2; WO2018047907A1

Abstract

상류측 및 하류측 베이스 블록(10A, 10B)의 각각은, 유로구(122b)를 갖는 유로(12)를 획정하고, 길이 방향(Gl, G2)에 있어서 2개의 유로구(112b)의 사이에 형성된 나사 구멍(10hl)과 나사 구멍(10h2)을 갖고, 체결 볼트에 의해 상류측 및 하류측 베이스 블록(10A, 10B)과 유체용 기기(110)의 보디(111)가 연결되는 유체제어장치이며, 상류측 및 하류측 베이스 블록(1OA, 10B)의 단부끼리가 체결 볼트(50)에 의해 연결되어 있다.

Description

유체제어장치, 이것에 사용하는 베이스 블록 및 유체제어장치의 제조 방법

본 발명은, 유체제어 기기를 포함하는 유체용 기기가 집적화된 유체제어장치, 이것에 사용되는 베이스 블록, 및 이 베이스 블록을 사용한 유체제어장치의 제조 방법에 관한 것이다.

반도체 제조 프로세스 등의 각종 제조 프로세스에 있어서는, 정확하게 계량한 프로세스 가스를 프로세스 챔버에 공급하기 위해서, 개폐 밸브, 레귤레이터, 매스플로우 콘트롤러 등의 각종의 유체제어 기기를 집적화해서 박스에 수용한 집적화 가스 시스템(IGS(등록상표))이라고 불리는 유체제어장치가 사용되고 있다(예를 들면, 특허문헌1-3 참조). 이 IGS(등록상표)를 박스에 수용한 것이 가스 박스라고 부르고 있다.

상기와 같은 IGS(등록상표)에서는, 관 이음매 대신에, 유로를 형성한 설치 블록(이하, 베이스 블록이라고 부른다)을 베이스 플레이트의 길이 방향을 따라 배치하고, 이 베이스 블록 위에 복수의 유체제어 기기나 관 이음매가 접속되는 이음매 블록 등의 각종 유체용 기기를 설치함으로써, 집적화를 실현하고 있다.

특허문헌1: 일본 특허공개2008-298177호공보

특허문헌2: 일본 특허공개2016-050635호공보

특허문헌3: 국제공개W02008/149702

각종 제조 프로세스에 있어서의 프로세스 가스의 공급 제어에는, 보다 높은 응답성이 요청되고 있고, 그것을 위해서는 유체제어장치를 될 수 있는한 소형화, 집적화하고, 유체의 공급처인 프로세스 챔버의 보다 가까이 설치할 필요가 있다.

반도체 웨이퍼의 대구경화 등의 처리 대상물의 대형화가 진행되고 있어, 이것에 맞춰서 유체제어장치로부터 프로세스 챔버내에 공급하는 유체의 공급 유량도 증가시킬 필요가 있다.

유체제어장치를 소형화, 집적화해가면, 조립 작업이 어렵게 되고, 조립 공정수가 증대한다. 또한, 장치의 메인티넌스성도 저하한다. 특히, 유체용 기기를 설치하는 블록을 소형화하면, 블록의 지지 강성이 저하하는, 유로의 가공이 어렵게 되는, 블록을 베이스 플레이트에 볼트로 고정하기 위한 관통구멍의 형성 영역의 확보가 곤란해지는 등의 여러가지 과제가 생긴다.

본 발명의 일 목적은, 유체의 공급 유량을 감소시키지 않고, 더 한층의 소형화, 집적화된 유체제어장치를 제공하는 데에 있다.

본 발명의 다른 목적은, 조립 공정수가 대폭 삭감되어, 메인티넌스 성능도 개선한 유체제어장치를 제공하는 데에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 베이스 블록의 치수, 특히 폭치수를 협소화하면서, 이 베이스 블록의 각종 유체제어 기기를 포함하는 유체용 기기를 지지하기 위한 지지 강성을 높이는 데에 있다.

본 발명의 제1의 관점에 따른 유체제어장치는, 유체유로를 획정하는 보디를 갖고, 상기 유체유로는, 해당 보디의 저면에서 개구하는 2개의 유로구를 갖는 유체용 기기와,

소정방향을 따라서 배치되는 상류측 베이스 블록 및 하류측 베이스 블록을 갖고,

상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 각각은, 상기 유체용 기기의 보디의 일부가 설치되는 상면, 상기 상면에 대향하는 저면, 상기 상면으로부터 상기 저면측을 향해서 연장되는 측면을 획정함과 아울러, 상기 상면의 상류측 및 하류측에서 개구하는 2개의 유로구를 갖는 유체유로를 획정하고, 덧붙여, 상기 소정방향에 있어서 상기 2개의 유로구의 사이에 배치되어서 상기 상면에서 개구하고 또 상기 저면측을 향해서 연장되는 나사 구멍을 각각 갖고,

상기 유체용 기기의 보디를 관통해서 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 상기 나사 구멍에 나사 결합하는 체결 볼트의 체결력에 의해, 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 상면에 상기 유체용 기기의 보디가 고정됨과 아울러, 상기 상류측 베이스 블록의 하류측의 유로구 및 하류측 베이스 블록의 상류측의 유로구와 각각 맞대진 상기 유체용 기기의 2개의 유로구의 주위에 배치된 씰 부재가 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록과 상기 유체용 기기의 보디와의 사이에서 눌러지는 유체제어장치이며,

상기 상류측 베이스 블록의 하류측 단부와 상기 하류측 베이스 블록의 상류측 단부가, 체결 볼트에 의해 연결되어 있고,
상기 상류측 베이스 블록의 하류측 단부와 상기 하류측 베이스 블록의 상류측 단부와의 연결부에, 상기 하류측 단부와 상기 상류측 단부와의 상대 위치를 결정하는 위치결정 기구가 해당 연결부에 사용되는 체결 볼트에 대하여 상류측과 하류측에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

또, 본 명세서에서는, 「상면」, 「하면」, 「저면」, 「측면」등의 용어를 사용하고, 각 부재가 갖는 면을 특정하고 있지만, 이것들의 용어는, 각면의 상대적인 위치를 특정하기 위해서 사용되는 것이며, 절대적인 위치를 특정하기 위해서 사용되는 것은 아니다. 예를 들면, 「상면」이라고 하는 용어는, 상하의 관계를 결정하기 위해서 사용되는 것은 아니고, 특정한 면을 「상면」이라고 결정하면, 다른 「저면」, 「하면」, 「측면」등을 상대적으로 정의할 수 있으므로, 이것들의 용어를 사용하고 있다. 「상방향」이나 「하방향」 등의 용언도 마찬가지로, 상대적인 방향을 결정하기 위한 것이고, 「연직 상방향」등의 절대적인 방향을 결정하기 위해서 사용되고 있는 것은 아니다.

본 발명의 제2의 관점에 따른 유체제어장치는, 유체유로를 획정하는 보디를 갖고, 상기 유체유로는, 해당 보디의 저면에서 개구하는 2개의 유로구를 갖는 유체용 기기와,

상기 상류측 베이스 블록과 상기 하류측 베이스 블록은 상기 소정방향에 있어서 이격해서 배치되고,

상기 상류측 베이스 블록의 하류측 단부와 상기 하류측 베이스 블록의 상류측 단부와 각각 체결 볼트에 의해 연결되어서, 상기 상류측 베이스 블록과 상기 하류측 베이스 블록을 연결하는 연결용 베이스 블록을 더욱 갖고,
상기 상류측 베이스 블록의 하류측 단부와 상기 연결용 베이스 블록의 상류측 단부와의 연결부 및 상기 연결용 베이스 블록의 하류측 단부와 상기 하류측 베이스 블록의 상류측 단부와의 연결부 중 적어도 한쪽에, 상기 하류측 단부와 상기 상류측 단부와의 상대 위치를 결정하는 위치결정 기구가 해당 연결부에 사용되는 체결 볼트에 대하여 상류측과 하류측에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

적합하게는, 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 획정하는 유로는, 상기 2개의 유로구로부터 각각 상기 저면측을 향해서 연장되는 2개의 제1유로와, 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 내부를 길이 방향에 연장되어서 2개의 상기 제1유로와 각각 접속되는 제2유로를, 포함하는 구성을 채용할 수 있다.

더욱 적합하게는, 상기 제2유로는, 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 상면과 저면과의 사이에서 해당 저면측으로 기울어져 있는, 구성을 채용할 수 있다.

상기 구성에 있어서, 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록을 포함하는 복수의 베이스 블록으로 형성되는 베이스 블록 어셈블리의 일단부와 체결 볼트로 연결됨과 아울러, 해당 베이스 블록 어셈블리가 설치되는 베이스 플레이트에 체결 볼트로 고정가능한 고정 블록을 더욱 갖는 것도 가능하다.

본 발명의 유체제어장치용 베이스 블록은, 소정방향을 따라서 배치되는 복수의 유체용 기기를 설치하기 위한, 복수의 베이스 블록이 서로 연결된 베이스 블록 어셈블리를 형성하기 위한 유체제어장치용 베이스 블록이며,

상면, 상기 상면에 대향하는 저면, 및, 상기 상면으로부터 상기 저면측을 향해서 연장되는 측면을 획정함과 아울러, 상기 상면, 저면 및 측면의 일단부로부터 타단부를 향하는 방향에 있어서 서로 이격한 위치에서 개구하는 2개의 유로구를 갖는 유체유로를 획정하고, 덧붙여, 상기 상면, 저면 및 측면의 일단부로부터 타단부를 향하는 방향에 있어서 상기 2개의 유로구의 사이에 배치되어서 상기 상면에서 개구하고 또 상기 저면측을 향해서 연장되는 나사 구멍을 각각 갖고,

상기 상면, 저면 및 측면의 일단부 및 타단부의 적어도 한쪽에, 다른 베이스 블록 또는 부재와 체결 볼트를 사용해서 체결가능한 연결부가 형성되어 있고,
상기 일단부 또는 상기 타단부의 다른 베이스 블록 또는 부재와의 상대 위치를 결정하는 위치결정 기구가 상기 연결부의 해당 연결부에 사용되는 체결 볼트에 대하여 상류측과 하류측에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 유체제어장치의 제조 방법은, 적어도 상기의 상류측 및 하류측 베이스 블록을 포함하는 베이스 블록을 사용해서 복수의 베이스 블록의 단부끼리가 연결된 베이스 블록 어셈블리를 형성하고,

상기 하나 또는 복수의 유체용 기기를 상기 베이스 블록 어셈블리의 상면의 소정의 위치에 배치하고, 해당 하나 또는 복수의 유체용 기기의 보디를 해당 상면에 체결 볼트로 고정해서 하나 또는 복수의 유체제어 어셈블리를 형성하고,

상기의 고정 블록을 사용해서 상기 하나 또는 복수의 유체제어 어셈블리를 베이스 플레이트 위에 고정하는 것을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제품제조 방법은, 밀폐된 챔버내에 있어서 프로세스 가스에 의한 처리 공정을 필요로 하는 반도체장치, 플랫 패널 디스플레이, 솔라패널 등의 제품의 제조 프로세스에 있어서, 상기 프로세스 가스의 제어에 상기의 유체제어장치를 사용한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 상기 구성의 베이스 블록 및 베이스 블록 어셈블리를 사용하는 것에 의해, 베이스 블록의 폭을 협소화할 수 있음과 아울러, 베이스 블록을 베이스 플레이트에 고정할 필요가 없으므로 조립 공정수도 대폭 삭감할 수 있다.

본 발명에 의하면, 베이스 블록간을 체결 볼트로 연결해서 베이스 블록 어셈블리로 하는 것에 의하여, 제어밸브등의 유체제어 기기를 포함하는 유체용 기기를 지지하기 위해서 필요한 지지 강성을 높일 수 있다.

본 발명에 의하면, 베이스 블록을 상기 구성으로 함으로써, 베이스 블록을 협소화하면서 유로 단면적을 확보할 수 있으므로, 유체의 공급 유량을 감소시키지 않고, 더 한층의 소형화, 집적화가 된 유체제어장치가 얻어진다.

본 발명에 의하면, 베이스 블록간이나 유체용 기기의 보디와 베이스 블록과의 사이가 모두 체결 볼트로 결합됨과 아울러, 상방향으로부터의 체결 볼트의 체결 및 해방이 가능해서, 메인티넌스성이 개선됨과 아울러, 체결 볼트의 액세스 방향이 일정하게 한정되므로, 조립 작업의 자동화도 쉬워진다.

본 발명에 의하면, 유체제어장치를 대폭 소형화, 집적화할 수 있으므로, 유체제어장치를 처리 챔버의 근방에 가능한 한 가까이 할 수 있고, 이 결과, 유체제어의 응답성을 높일 수 있고, 각종 제조 프로세스에 있어서의 제품의 품질을 개선할 수 있다.

도 1a는 본 발명의 제1의 실시예에 따른 유체제어장치의 정면측에서 본 외관 사시도.
도 1b는 도 1a의 유체제어장치의 배면측에서 본 외관 사시도.
도 1c는 도 1a의 유체제어장치의 평면도.
도 1d는 도 1a의 유체제어장치의 정면도.
도 1e는 도 1d에 있어서 베이스 블록만을 단면으로 한, 일부에 단면을 포함하는 정면도.
도 2a는 베이스 블록 어셈블리의 분해 사시도.
도 2b는 유체제어 어셈블리를 베이스 블록 어셈블리와 각종 유체용 기기로 분해한 분해 사시도.
도 3a는 베이스 블록10A의 외관 사시도.
도 3b는 베이스 블록10A의 좌측면도.
도 3c는 베이스 블록10A의 우측면도.
도 3d는 베이스 블록10A의 길이 방향에 따른 단면도.
도 3e는 베이스 블록10A를 상면측에서 본 평면도.
도 4a는 베이스 블록10C의 외관 사시도.
도 4b는 베이스 블록10C의 좌측면도.
도 4c는 베이스 블록10C의 우측면도.
도 4d는 베이스 블록10C의 길이 방향에 따른 단면도.
도 4e는 베이스 블록10C를 상면측에서 본 평면도.
도 5a는 개폐 밸브110의 정면도.
도 5b는 도 5a의 개폐 밸브의 저면도.
도 6a는 도 1a의 유체제어장치의 조립 순서를 도시한 도면.
도 6b는 도 6a에 계속되는 조립 순서를 도시한 도면.
도 6c는 도 6b에 계속되는 조립 순서를 도시한 도면.
도 6d는 도 6c에 계속되는 조립 순서를 도시한 도면.
도 7a는 본 발명의 제2의 실시예에 따른 유체제어장치의 외관 사시도.
도 7b는 도 7a의 유체제어장치의 베이스 블록만을 단면으로 한, 일부에 단면을 포함하는 정면도.

이하, 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 본 명세서 및 도면에 있어서는, 기능이 실질적으로 같은 구성 요소에는, 같은 부호를 사용하는 것에 의해 중복된 설명을 생략한다.

도 1a∼도 5b를 참조해서 본 발명의 일 실시예에 따른 유체제어장치에 대해서 상세하게 설명한다. 도 1a, 도 1b는 본 발명의 제1의 실시예에 따른 유체제어장치의 외관을 나타내는 사시도이며, 도 1c는 도 1a의 유체제어장치의 평면도이며, 도 1d는 도 1a의 유체제어장치의 정면도이며, 도 1e는 도 1d에 있어서 베이스 블록만을 단면으로 한 일부 단면을 포함하는 정면도다. 도 2a는 베이스 블록 어셈블리BA의 분해 사시도이며, 도 2b는 유체제어 어셈블리Al을 베이스 블록 어셈블리BA와 각종 유체용 기기로 분해한 분해 사시도다. 또한, 폭방향Wl, W2의 Wl은 정면측, W2는 배면측을 나타내고, 본 발명의 소정방향으로서의 길이 방향Gl, G2의 Gl은 상류측, G2는 하류측의 방향을 나타내고 있다.

도 1a∼도 1d에 도시한 바와 같이, 유체제어장치1은, 베이스 플레이트500과, 베이스 플레이트500에 설치된 3개의 유체제어 어셈블리Al, A2, A3을 가진다. 베이스 플레이트500은, 금속제의 판금 플레이트를 굽힘 가공해서 폭방향Wl, W2의 양측부에 형성된 지지부501과, 지지부501로부터 일정한 높이에 배치되는 설치면502를 갖고, 설치면502 위에 유체제어 어셈블리Al, A2, A3은 고정되어 있다. 유체제어 어셈블리Al, A2, A3의 설치면502에의 고정 방법에 대해서는 후술한다.

유체제어 어셈블리Al은, 길이 방향Gl, G2에 연장하는 후술하는 베이스 블록 어셈블리BA와, 이 베이스 블록 어셈블리BA 위에 상류측으로부터 하류측을 향해서 순서대로 설치된, 개폐 밸브(2방향 밸브)110, 개폐 밸브(3방향 밸브)120, 매스플로우 콘트롤러130, 개폐 밸브(2방향 밸브)140을 가진다. 그리고, 베이스 블록 어셈블리BA의 개폐 밸브(2방향 밸브)110의 상류측에는, 도입 관151이 접속된 이음매 블록150이 설치되고, 베이스 블록 어셈블리BA의 개폐 밸브(2방향 밸브)140의 하류측에는, 접속 관161이 접속된 이음매 블록160이 설치되어 있다.

유체제어 어셈블리A2는, 유체제어 어셈블리Al과 완전히 같은 구성이다.

유체제어 어셈블리A3은, 베이스 블록 어셈블리BA 위에 매스플로우 콘트롤러130 대신에 연통 관136이 접속된 이음매 블록135가 설치되어 있다.

또한, 본 발명의 「유체용 기기」란, 가스나 액체로 이루어진 유체의 흐름을 제어하는 유체제어에 사용되는 유체제어 기기나 압력계등의 유체제어는 하지 않지만 유로에 설치되는 압력계, 이음매 블록 등의 각종 기기를 포함하고, 유체유로를 획정하는 보디를 구비하고, 이 보디의 저면에서 개구하는 적어도 2개의 유로구를 갖는 기기다. 구체적으로는, 유체용 기기에는, 개폐 밸브(2방향 밸브), 레귤레이터, 프레셔 게이지, 개폐 밸브(3방향 밸브), 매스플로우 콘트롤러등이 포함되지만, 이것들에 한정되는 것은 아니다.

유체제어장치1의 3개의 유체제어 어셈블리Al∼A3에는, 예를 들면, 유체제어 어셈블리Al의 도입 관151을 통해서 암모니아 가스 등의 프로세스 가스가 도입되고, 유체제어 어셈블리A2의 도입 관151을 통해서 수소 가스 등의 프로세스 가스가 도입되며, 유체제어 어셈블리A3의 도입 관151을 통해서 질소 가스 등의 퍼지 가스가 도입된다.

3개의 개폐 밸브(3방향 밸브)120은, 연통 관300에서 서로 접속되어 있어, 퍼지 가스를 프로세스 가스의 유로에 도입할 수 있게 되어 있다.

상기의 연통 관136이 접속된 이음매 블록135는, 퍼지 가스의 유로에는 매스플로우 콘트롤러130이 불필요하므로, 매스플로우 콘트롤러130 대신에 유로의 도중에 설치되어 있다.

공급관부400은, 3개의 이음매 블록160에 접속된 접속 관161을 배출 관162로 접속함과 아울러, 처리 가스를 공급할 도시되지 않는 처리 챔버에 접속되어 있다.

도 1a∼도 2b로부터 알 수 있듯이, 베이스 블록 어셈블리BA는, 상류측으로부터 하류측을 향해서 배열된, 고정 블록30, 베이스 블록10A, 10B, 10C, 연결용 베이스 블록20, 베이스 블록10D, 베이스 블록10E 및 고정 블록30을 포함하고, 이것들은, 체결 볼트50에 의해 서로 연결되어 있다. 베이스 블록 어셈블리BA의 치수는, 폭이 10mm 및 높이가 20mm정도이며, 전체 길이가 300mm정도이지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 또한, 체결 볼트50에는, 머리 부분을 가진 M5의 볼트를 사용할 수 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.

베이스 블록10A∼10E는, 상기한 각종 유체용 기기110∼140을 지지함과 아울러, 각종 유체용 기기110∼140 중 인접하는 2개의 유체용 기기의 보디에 형성된 유로끼리를 연통하는 유로를 제공하는 역할을 담당한다. 또한, 베이스 블록10A∼10E 중, 인접하는 베이스 블록은, 각 유체용 기기를 협동해서 지지한다. 다시 말해, 2개의 인접하는 베이스 블록에서, 한개의 유체용 기기를 지지한다.

베이스 블록10A∼10E의 기본적인 구조는 근사하고 있고, 구체적으로는, 상면으로부터 저면을 향해서 형성되는 나사 구멍의 수가 3개의 타입인 베이스 블록10A, 10E와, 상면으로부터 저면을 향해서 형성되는 나사 구멍의 수가 2개의 타입인 베이스 블록10B, 10C, 10D로 대별된다. 베이스 블록10A는, 길이 방향(상류측)Gl의 단부에 배치되고, 베이스 블록10E는, 길이 방향(하류측)G2의 단부에 배치된다. 베이스 블록10B, 10C, 10D는, 베이스 블록10A, 10E의 사이에 배치된다. 본 명세서에서는, 2개의 타입을 각각 대표하는 베이스 블록10A 및 베이스 블록10C의 상세구조가, 도 3a∼도 4e를 참조해서 설명되고, 다른 베이스 블록의 구조는 도 2a등에 의해 도해된다.

도 3a∼도 3e는, 베이스 블록10A의 구조를 나타내고 있고, 도 3a는 외관 사시도, 도 3b는 좌측면도, 도 3c는 우측면도, 도 3d는 길이 방향을 따라서 절단한 단면도, 도 3e는 평면도다.

베이스 블록10A는, 스테인레스 합금등의 금속제의 부재이며, 서로 대향하는 평면으로 이루어진 상면10a 및 평면으로 이루어진 저면10b, 상면10a 및 저면10b에 대하여 각각 직교하는 2개의 측면10c, 10d, 저면10b에 직교하는 길이 방향의 한 방향측의 단면10el, 상면10a에 직교하는 길이 방향의 다른 방향측의 단면10e2를 가진다. 또한, 단면10el로부터 길이 방향에 연결부15가 돌출해서 형성되고, 단면10e2로부터 길이 방향에 연결부16이 돌출해서 형성되어 있다. 또한, 베이스 블록10A는 기본형상이 직방체형상인 경우를 예로 들었지만 다른 형상을 채용할 수도 있다.

연결부15는, 베이스 블록10A의 상면10a, 양쪽의 측면10c, 10d의 일부를 획정함과 아울러, 베이스 블록10A의 단면10el에 있어서의 상면10a와 저면10b와의 중간위치부터 이것들 상면10a, 저면1Ob에 평행하게 연장되는 평면으로 이루어진 하면15b와, 상면10a, 양쪽의 측면10c, 10d 및 하면15b에 각각 직교하는 단면15e를 획정한다. 연결부15에는, 상면10a와 하면15b에 수직하게 연장되는 관통구멍15h가 형성되고, 관통구멍15h의 상면10a측에는, 스폿페이싱부15z가 형성되어 있다. 스폿페이싱부15z는, 연결부15를 다른 부재와 체결 볼트50을 사용해서 연결할 때에, 체결 볼트50의 머리 부분을 상면10a의 아래쪽으로 매몰시키기 위해서 형성되어 있다. 연결부15의 하면15b에서 개구하여 하면15b에 대하여 수직하게 연장되는 2개의 위치결정 핀 구멍hl이, 관통구멍15h에 대하여 상류측과 하류측에 형성되어 있다.

연결부16은, 베이스 블록10A의 저면10b, 양쪽의 측면10c, 10d의 일부를 획정함과 아울러, 베이스 블록10A의 단면10e2에 있어서의 상면10a와 저면10b와의 중간위치부터 이것들 상면10a, 저면10b에 평행하게 연장되는 평면으로 이루어진 상면16a와, 상면10a, 양쪽의 측면10c, 10d 및 하면10b에 각각 직교하는 단면16e를 획정한다. 연결부16에는, 상면16a로부터 수직하게 연장되어서 저면10b에서 개구하는 나사 구멍16h가 형성되어 있다. 연결부16의 상면16a에서 개구하여 하면10b에 대하여 수직하게 연장되는 2개의 위치결정 핀 구멍hl이, 나사 구멍16h에 대하여 상류측과 하류측에 형성되어 있다.

베이스 블록10A의 내부에는, 유로12이 형성되어 있고, 유로12의 일단은 상면10a의 연결부15측 근처의 위치에서 개구하는 유로구12a를 갖고, 유로12의 타단은 상면10a의 연결부16측 근처의 위치에서 개구하는 유로구12b를 가진다. 유로구12a, 12b의 주위에는, 후술하는 가스켓GK를 보유하기 위한 보유부13이 형성되고, 이 보유부13의 저면에는, 가스켓GK의 일부를 변형시키기 위해서 가스켓GK의 형성 재료보다도 경도를 충분히 높게 하는 경화 처리를 한 원환형의 돌기부14가 유로구12a, 12b와 동심형으로 형성되어 있다.

유로12는, 유로구12a, 12b로부터 각각 저면10b측을 향해서 연장되는 제1유로12c, 12e와, 베이스 블록10A의 내부를 길이 방향에 연장되어서 2개의 제1유로12c, 12e와 각각 접속되는 제2유로12d를 포함한다. 도 3d로부터 알 수 있듯이, 제2유로12d는, 상면10a와 저면10b와의 사이에서 저면10b측으로 기울어져 있다. 이것은, 후술하는 나사 구멍10hl, 10h2의 나사 구멍 깊이를 확보하기 위해서이지만, 이 위치에 한정되는 것은 아니다.

나사 구멍10hl, 10h2는, 길이 방향에 있어서 이격한 위치이며, 2개의 유로구12a, 12b의 사이에 형성되고, 상면10a에서 개구하고 또 저면10b측을 향해서 연장되어 있어, 제2유로12d의 윗쪽에서 폐색하고 있다.

도 3e로부터 알 수 있듯이, 나사 구멍10hl, 10h2는, 베이스 블록을 상면10a측으로부터 본 상면시에 있어서, 제2유로12d와 중복하도록 배치되어 있다. 이러한 배치를 채용하는 것에 의해, 베이스 블록10A를, 예를 들면 10mm이라고 말한 대단히 좁은 폭으로 형성하는 것이 가능해진다.

나사 구멍10h3은, 길이 방향에 있어서 관통구멍15h와 유로구12a와의 사이에 배치되고, 상면10a에서 개구하고 또 저면10b측을 향해서 연장되어 있다.

나사 구멍10hl은, 개폐 밸브(2방향 밸브)110의 보디111과의 연결용으로 설치되어 있고, 나사 구멍10h2, 10h3는, 이음매 블록150을 고정하기 위해서 설치되어 있다.

제2유로12d의 제1유로12c측의 단부는, 제2유로12d의 지름보다도 확경된 보유부h2와 연통하고, 보유부h2는 단면10el에서 개구하는 나사 구멍h3과 연통하고 있다. 보유부h2의 제2유로12d와의 접속부에는, 금속 또는 수지제의 원반상의 가스켓GKl이 설치되고, 이 가스켓GKl의 배후에는 가스켓의 회전을 막기 위한 누름부재PS가 설치되어 있다. 나사 구멍h3에는, 수컷 나사 부재SC이 비틀어 박아져, 수컷 나사 부재SC의 반구형의 선단면이 누름부재PS를 가스켓GKl을 향해서 누르는 것에 의해, 제2유로12d의 단부는 폐색된다.

도 4a∼도 4e는, 베이스 블록10C의 구조를 나타내고 있고, 도 4a는 외관 사시도, 도 4b는 좌측면도, 도 4c는 우측면도, 도 4d는 길이 방향을 따라서 절단한 단면도, 도 4e는 평면도다. 도 4a∼도 4e에 있어서, 도 3a∼도 3e에 사용된 부호와 같은 부호는, 마찬가지의 또는 유사한 기능을 갖는 것이므로, 중복 설명은 생략하고, 다른 구성 부분에 대해서만 설명한다.

베이스 블록10C는, 길이 방향에 있어서 관통구멍15h와 유로구12a와의 사이에 나사 구멍10h3는 배치되지 않고 있다.

베이스 블록10C의 제2유로12d의 제1유로12c측의 단부는, 보유부h2 및 보유부h2보다도 확경된 폐색판 보유부h4와 연통하고 있고, 보유부h2에 보유된 가스켓GKl은, 금속제의 폐색판CP에 의해 유로12d측으로 눌림으로써 유로12d의 단부를 씰 하고 있다. 단면10el측의 폐색판CP와 폐색판 보유부h4와의 사이는 용접 재료가 고착되고, 폐색판CP과 폐색판 보유부h4와의 사이도 씰 됨과 아울러, 폐색판CP가 폐색판 보유부h4에 고정되어 있다.

여기서, 상기한 베이스 블록10A, 10C의 유로12의 가공 방법에 대해서 설명한다.

제1유로12c, 12e는, 예를 들면, 베이스 블록10A, 10C의 상면10a에 수직한 방향으로 드릴로 구멍을 뚫고, 블라인드 홀을 형성하면 좋다. 제2유로12d는, 베이스 블록10A, 10C의 단면10el에 수직한 방향으로 드릴로 구멍을 뚫고, 블라인드 홀을 형성하면 좋다. 이때, 제1유로12c, 12e의 선단부와 접속되는 높이에 제2유로12d를 가공한다. 이러한 가공 방법을 채용하면, 폭이 협소화된 베이스 블록10A, 10C에 유로12를 비교적 용이하게 형성할 수 있다. 상면10a에 대하여 경사지는 소위 V형 유로를 가공하는 것도 가능하지만, 가공이 어렵고, 또한, 나사 구멍10hl, 10h2의 형성 영역을 충분히 확보하는 것이 어렵게 된다.

도 2a, 2b에 도시한 바와 같이, 베이스 블록10A, 10B, 베이스 블록10B, 10C, 베이스 블록10C, 10D 및 베이스 블록10D, 10E는, 서로 연결부15, 16에서 체결 볼트50에 의해 연결된다. 이것들의 베이스 블록의 페어는, 본 발명의 상류측 베이스 블록과 하류측 베이스 블록의 관계에 있다.

베이스 블록10C, 10D는, 연결용 베이스 블록20에 의해 서로 연결되어 있다.

연결용 베이스 블록20은, 스테인레스 합금등의 금속제의 부재이며, 도 2a에 도시한 바와 같이, 좌우 대칭한 형상을 갖고, 서로 대향하는 평면으로 이루어진 상면20a 및 평면으로 이루어진 저면20b, 상면20a 및 저면20b에 대하여 각각 직교하는 2개의 측면20c, 20d, 저면20b에 직교하는 길이 방향의 단면20e, 20e를 가진다.

또한, 각 단면20e로부터 길이 방향으로 연결부21이 각각 돌출해서 형성되어 있다. 또한, 연결용 베이스 블록20의 기본형상이 직방체 형상인 경우를 예로 들었지만 다른 형상을 채용할 수도 있다.

연결부21은, 연결용 베이스 블록20의 상면20a, 양쪽의 측면20c, 20d의 일부를 획정함과 아울러, 연결용 베이스 블록20의 단면20e의 상면20a와 저면20b와의 중간위치부터 이것들 상면20a, 저면20b에 평행하게 연장되는 평면으로 이루어진 하면21b와, 상면20a, 양쪽의 측면20c, 20d 및 하면21b에 각각 직교하는 단면21e를 획정한다.

연결부21에는, 상면20a와 하면21b에 수직하게 연장되는 관통구멍21h가 형성되고, 관통구멍21h의 상면20a측에는, 스폿페이싱부21z가 형성되어 있다. 스폿페이싱부21z는, 연결부21을 다른 부재와 체결 볼트50을 사용해서 연결할 때에, 체결 볼트50의 머리 부분을 상면20a의 아래쪽으로 매몰시키기 위해서 형성되어 있다. 도시하지 않지만, 연결부21에는, 베이스 블록10A의 연결부와 마찬가지로, 위치결정 핀 구멍이, 관통구멍21h에 대하여 상류측과 하류측에 형성되어 있다.

고정 블록30은, 스테인레스 합금등의 금속제의 부재이며, 도 2a에 도시한 바와 같이, 직방체 형상, 상면30a, 저면30b, 양쪽의 측면30c, 30d, 길이 방향의 양쪽의 단면30el, 30e2를 획정하고 있다.

상면30a의 길이 방향의 한 방향측에는, 관통구멍31이 저면30b에 수직하게 형성되어 있다. 이 관통구멍31은, 체결 볼트60이 삽통되어, 해당 체결 볼트60이 베이스 플레이트500의 설치면502에 형성된 나사 구멍503에 나사 결합하는 것에 의해, 고정 블록30이 설치면502에 고정된다. 체결 볼트60은, 예를 들면, M4의 볼트가 사용되지만, 사이즈는 이것에 한정되는 것은 아니지만, 베이스 블록간을 연결할 때에 필요한 대단히 큰 체결력을 필요로 하지 않으므로, 비교적 작은 치수의 볼트를 사용할 수 있다.

상면30a의 길이 방향의 다른 방향측에는, 나사 구멍32가 형성되고, 이 나사 구멍32에는 베이스 블록10A 또는 10E와의 연결을 위한 체결 볼트50이 나사 결합한다.

도 2a에 도시한 바와 같이, 고정 블록30, 베이스 블록10A, 10B, 10C, 연결용 베이스 블록20, 베이스 블록10D, 베이스 블록10E 및 고정 블록30을 각각 위치결정 핀DP를 통해 체결 볼트50의 체결력에 의해 연결하면, 도 2b에 도시한 바와 같이, 길이 방향Gl, G2에 긴 베이스 블록 어셈블리BA가 형성된다. 베이스 블록 어셈블리BA는, 상면, 저면 및 양측면이 실질적으로 면으로 되어 있고, 마치 긴 1자루의 베이스 블록과 같은 형태를 가진다. 이렇게 복수의 블록을 체결 볼트50의 체결력을 사용해서 연결 함으로써, 베이스 블록 어셈블리BA의 각종 유체용 기기를 지지하기 위한 지지 강성은, 단체의 베이스 블록을 베이스 플레이트 위에 분산 고정했을 경우와 비교하여, 대단히 높아진다. 특히, 각 연결부15, 16, 21은, 체결 볼트50의 강력한 체결력에 의해 상하면15b, 16a, 21b가 서로 누르게 되어서 접촉하므로, 베이스 블록끼리가 일체화 한다.

도 5a 및 도 5b는, 유체용 기기로서의 개폐 밸브(2방향 밸브)110을 도시한 도면이며, 도 5a는 정면도, 도 5bsms 저면도다.

개폐 밸브(2방향 밸브)110은, 보디111을 갖고, 이 보디111의 폭은, 베이스 블록 어셈블리BA의 폭으로 조정하고 있어(도 1a∼도 1c 참조), 예를 들면, 10mm정도이지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.

보디111은, 유로112, 113을 획정한다. 이 유로112, 113은, 개폐 밸브(2방향 밸브)110의 내부에서 연통하고 있고, 내장된 도시하지 않은 제어 밸브에 의해 개폐되도록 되어 있다.

보디111의 길이 방향의 양측부에는, 플랜지부111f가 각각 형성되고, 플랜지부111f에는, 체결 볼트50을 위한 관통구멍111h가 형성되어 있다.

유로112, 113은, 저면111b에서 개구하는 유로구112a, 113a를 각각 갖고, 유로구112a, 113a의 주위에는 가스켓GK를 보유하기 위한 보유부114가 형성되어 있다. 보유부114의 저면에는, 베이스 블록10A에 형성된 원환형의 돌기부14와 같은 돌기부115가 형성되어 있다.

또한, 개폐 밸브(2방향 밸브)110의 보디111을 예시했지만, 다른 유체용 기기인, 개폐 밸브(3방향 밸브)120의 보디121, 매스플로우 콘트롤러130의 보디131, 개폐 밸브(2방향 밸브)140의 보디141도, 베이스 블록 어셈블리BA의 폭으로 조정하고 있다. 그리고, 이것들의 보디121, 131, 141은, 저면에 2개의 유로구를 갖고, 체결 볼트50을 위한 관통구멍이 형성된 플랜지를 구비하고, 가스켓GK를 보유하기 위한 보유부 및 원환형의 돌기를 구비하고 있다. 이것들의 유체용 기기의 상세설명은 생략한다.

도 2b에 도시한 바와 같이, 베이스 블록 어셈블리BA의 상면과, 각 보디111∼141의 저면과의 사이에는, 맞대어지는 유로구의 주위에 가스켓GK가 배치되어, 각 체결 볼트50의 체결력에 의해 눌려진다. 이 가스켓GK로서는, 금속제 또는 수지제등의 가스켓을 들 수 있다.

가스켓으로서는, 연질 가스켓, 세미메탈 가스켓, 메탈 가스켓등을 들 수 있다. 구체적으로는, 이하의 것이 적합하게 사용된다.

(1) 연질 가스켓

·고무 0링

·고무 시트(전체면 자리용)

·조인트 시트

·팽창 흑연 시트

·PTFE 시트

·PTFE 재킷형

(2) 세미메탈 가스켓

·스파이럴형 가스켓(Spiral-wound gaskets)

·메탈 패킷 가스켓

(3) 금속 가스켓

·금속평형 가스켓

·메탈 중공 0링

·링 조인트

유체제어 어셈블리Al∼A3은, 예를 들면, 도 2b에 도시한 바와 같이, 베이스 블록 어셈블리BA를 형성한 후, 체결 볼트50을 사용해서 유체용 기기의 각 보디111∼141을 베이스 블록 어셈블리BA에 고정 함으로써 형성할 수 있다. 각 보디111∼141의 저면은, 베이스 블록 어셈블리BA의 상면에 의해 전면적으로 지지되므로, 각종 유체용 기기110∼140은 보다 안정적으로 지지된다.

이렇게 하여 형성된 유체제어 어셈블리Al을, 도 6a에 도시한 바와 같이, 베이스 플레이트500의 설치면502의 원하는 위치에 체결 볼트60을 나사 구멍503에 비틀어 박아서 고정한다.

다음에, 도 6b에 도시한 바와 같이, 유체제어 어셈블리A2를 유체제어 어셈블리Al에 병렬시켜, 설치면502의 원하는 위치에 체결 볼트60을 나사 구멍503에 비틀어 박아서 고정한다.

다음에, 도 6c에 도시한 바와 같이, 유체제어 어셈블리A3을 유체제어 어셈블리A2에 병렬시켜, 설치면502의 원하는 위치에 체결 볼트60을 나사 구멍503에 비틀어 박아서 고정한다.

최후에, 도 6d에 도시한 바와 같이, 유체제어 어셈블리Al∼A3의 각 베이스 블록10A에 이음매 블록150을 설치하고, 3개의 개폐 밸브(3방향 밸브)120에 연통 관300을 설치하고, 유체제어 어셈블리Al∼A3의 각 베이스 블록10E에 공급관부400을 설치한다. 이에 따라, 유체제어장치1이 형성된다.

이때, 상기 실시예에서는, 3본의 유체제어 어셈블리Al∼A3을 베이스 플레이트500의 설치면502 위에 간격을 두어서 배치했을 경우를 예시했지만, 본 실시예의 베이스 플레이트500은 최대로 5본의 유체제어 어셈블리를 설치하는 것이 가능하다. 다시 말해, 유체제어 어셈블리Al과 유체제어 어셈블리A2와의 사이, 및 유체제어 어셈블리A2와 유체제어 어셈블리A3과의 사이에도 유체제어 어셈블리를 설치가능하다.

도 7a 및 도 7b는, 본 발명의 제2의 실시예에 따른 유체제어장치1A를 도시한 도면이며, 도 7a는 외관 사시도이며, 도 7b는, 도 7a의 유체제어장치1A의 베이스 블록만을 단면으로 한, 일부에 단면을 포함하는 정면도다.

본 실시예와 상기 제1실시예와의 사이에서 다른 점은, 본 실시예에서는, 연결용 베이스 블록20을 사용하지 않고 있는 점이다. 따라서, 1자루의 베이스 블록 어셈블리BA는 형성되지 않는다. 고정 블록30, 베이스 블록10A, 베이스 블록10B 및 베이스 블록10C가 서로 연결되고, 베이스 블록10D, 베이스 블록10E 및 고정 블록30이 서로 연결된다.

베이스 블록10C와 베이스 블록10D와의 사이를 연결용 베이스 블록20으로 연결하지 않더라도, 매스플로우 콘트롤러130의 보디131의 길이 방향의 양단부는, 베이스 블록10C 및 베이스 블록10D의 상면10a에 지지, 고정되어 있다. 이 때문에, 이러한 구성을 채용하는 것도 가능하다.

상기한 각 실시예에서는, 베이스 블록의 양단부에 연결부15, 16을 형성했지만, 예를 들면, 베이스 블록의 일단부에만 연결부를 형성하는 구성도 채용할 수 있다. 다시 말해, 2개의 베이스 블록의 사이만 연결하는 구성도 채용가능하다.

상기 실시예에서는, 유체용 기기의 보디에는 2개의 유로구를 획정하는 경우를 예시했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 저면에 3개의 유로구(도시하지 않음)가 형성된 보디를 포함하는 유체용 기기도 본 발명의 대상이다.

1, 1A 유체제어장치
10A, 10B, 10C, 10D, 10E 베이스 블록
10a 상면
10b 저면
10c, 10d 측면
10el, 10e2 단면
10hl, 10h2, 10h3 나사 구멍
12 유로
12a, 12b 유로구
12c, 12e 제1유로
12d 제2유로
13 보유부
14 돌기부
15 연결부
15b 하면
15e 단면
15h 관통구멍
15z 스폿페이싱부
16 연결부
16a 상면
16e 단면
16h 나사 구멍
20 연결용 베이스 블록
20a 상면
20b 저면
20c, 20d 측면
20e 단면
21 연결부
21b 하면
21e 단면
21h 관통구멍
21z 스폿페이싱부
30 고정 블록
30a 상면
30b 저면
30c, 30d 측면
30el, 30e2 단면
31 관통구멍
32 나사 구멍
50, 60 체결 볼트
110 개폐 밸브(2방향 밸브)
111 보디
111b 저면
lllf 플랜지부
lllh 관통구멍
l12, 113 유로
112a, 113a 유로구
114 보유부
115 돌기부
120 개폐 밸브(3방향 밸브)
121 보디
130 매스플로우 콘트롤러
131 보디
135 이음매 블록
136 연통관
140 개폐 밸브(2방향 밸브)
141 보디
150 이음매 블록
151 도입관
160 이음매 블록
161 접속관
162 배출관
300 연통관
400 공급관부
500 베이스 플레이트
501 지지부
502 설치면
503 나사 구멍
Al, A2, A3 유체제어 어셈블리
BA 베이스 블록 어셈블리
h1 위치결정 핀 구멍
h2 보유부
h3 나사 구멍
h4 폐색판 보유부
CP 폐색판
PS 누름부재
DP 위치결정 핀
G1 길이 방향(상류측)
G2 길이 방향(하류측)
GK, GKl 가스켓
SC 수컷 나사 부재
Wl 폭방향(정면측)
W2 폭방향(배면측)

Claims

유체유로를 획정하는 보디를 갖고, 상기 유체유로는 해당 보디의 저면에서 개구하는 2개의 유로구를 갖는 유체용 기기와,
소정방향을 따라서 배치되는 상류측 베이스 블록 및 하류측 베이스 블록을 갖고,
상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 각각은, 상기 유체용 기기의 보디의 일부가 설치되는 상면, 상기 상면에 대향하는 저면, 상기 상면으로부터 상기 저면측을 향해서 연장되는 측면을 획정함과 아울러, 상기 상면의 상류측 및 하류측에서 개구하는 2개의 유로구를 갖는 유체유로를 획정하고, 덧붙여, 상기 소정방향에 있어서 상기 2개의 유로구의 사이에 배치되어서 상기 상면에서 개구하고 또 상기 저면측을 향해서 연장되는 나사 구멍을 각각 갖고,
상기 유체용 기기의 보디를 관통해서 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 상기 나사 구멍에 나사 결합하는 체결 볼트의 체결력에 의해, 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록과 상기 유체용 기기의 보디가 연결됨과 아울러, 상기 상류측 베이스 블록의 하류측의 유로구 및 하류측 베이스 블록의 상류측의 유로구와 각각 맞대진 상기 유체용 기기의 2개의 유로구의 주위에 배치된 씰 부재가 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록과 상기 유체용 기기의 보디와의 사이에서 눌려지고,
상기 상류측 베이스 블록의 하류측 단부와 상기 하류측 베이스 블록의 상류측 단부가, 체결 볼트에 의해 연결되어 있고,
상기 상류측 베이스 블록의 하류측 단부와 상기 하류측 베이스 블록의 상류측 단부와의 연결부에, 상기 하류측 단부와 상기 상류측 단부와의 상대 위치를 결정하는 위치결정 기구가 해당 연결부에 사용되는 체결 볼트에 대하여 상류측과 하류측에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.
유체유로를 획정하는 보디를 갖고, 상기 유체유로는 해당 보디의 저면에서 개구하는 2개의 유로구를 갖는 유체용 기기와,
소정방향을 따라서 배치되는 상류측 베이스 블록 및 하류측 베이스 블록을 갖고,
상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 각각은, 상기 유체용 기기의 보디의 일부가 설치되는 상면, 상기 상면에 대향하는 저면, 상기 상면으로부터 상기 저면측을 향해서 연장되는 측면을 획정함과 아울러, 상기 상면의 상류측 및 하류측에서 개구하는 2개의 유로구를 갖는 유체유로를 획정하고, 덧붙여, 상기 소정방향에 있어서 상기 2개의 유로구의 사이에 배치되어서 상기 상면에서 개구하고 또 상기 저면측을 향해서 연장되는 나사 구멍을 각각 갖고,
상기 유체용 기기의 보디를 관통해서 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 상기 나사 구멍에 나사 결합하는 체결 볼트의 체결력에 의해, 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록과 상기 유체용 기기의 보디가 연결됨과 아울러, 상기 상류측 베이스 블록의 하류측의 유로구 및 하류측 베이스 블록의 상류측의 유로구와 각각 맞대진 상기 유체용 기기의 2개의 유로구의 주위에 배치된 씰 부재가 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록과 상기 유체용 기기의 보디와의 사이에서 눌려지고,
상기 상류측 베이스 블록과 상기 하류측 베이스 블록은 상기 소정방향에 있어서 이격해서 배치되고,
상기 상류측 베이스 블록의 하류측 단부와 상기 하류측 베이스 블록의 상류측 단부와 각각 체결 볼트에 의해 연결되어서, 상기 상류측 베이스 블록과 상기 하류측 베이스 블록을 연결하는 연결용 베이스 블록을 더욱 갖고,
상기 상류측 베이스 블록의 하류측 단부와 상기 연결용 베이스 블록의 상류측 단부와의 연결부 및 상기 연결용 베이스 블록의 하류측 단부와 상기 하류측 베이스 블록의 상류측 단부와의 연결부 중 적어도 한쪽에, 상기 하류측 단부와 상기 상류측 단부와의 상대 위치를 결정하는 위치결정 기구가 해당 연결부에 사용되는 체결 볼트에 대하여 상류측과 하류측에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 획정하는 유로는, 상기 2개의 유로구로부터 각각 상기 저면측을 향해서 연장되는 2개의 제1유로와, 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 내부를 상기 소정방향으로 연장되어서 2개의 상기 제1유로와 각각 접속되는 제2유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.
제 3 항에 있어서,
상기 제2유로는, 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 상면과 저면과의 사이에서 해당 저면측으로 기울어져 있는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.
제 3 항에 있어서,
상기 나사 구멍은, 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록을 상면측에서 본 상면시에 있어서, 해당 나사 구멍의 적어도 일부가 상기 제2유로와 중복하도록 배치되어 있음과 아울러, 상기 제2유로의 윗쪽에서 폐색하고 있는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.
제 3 항에 있어서,
상기 제2유로는, 상기 상류측 및 하류측 베이스 블록의 상기 소정방향의 일단면에서 개구하고 있고,
상기 개구를 폐색하는 폐색 부재를 더욱 가지는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.
제 6 항에 있어서,
상기 폐색 부재는, 상기 일단면에 있어서의 개구부에 용접에 의해 고정되어 있고, 또는, 상기 제2유로에 통하는 개구부에 나사 결합하는 수나사 부재에 의해 눌림으로써 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.
제 3 항에 있어서,
상기 소정방향에 있어서 상기 2개의 제1유로의 사이에 형성된 상기 나사 구멍은, 상기 유체용 기기의 보디를 상기 상류측 또는 하류측 베이스 블록의 상면에 고정하기 위한 제1의 나사 구멍과, 다른 유체용 기기의 보디 또는 이음매 블록을 상기 상류측 또는 하류측 베이스 블록의 상면에 고정하기 위한 제2의 나사 구멍을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 연결부는, 상기 상면에 직교하는 상방향으로부터 액세스가능한, 체결 볼트가 관통가능한 관통구멍 또는 체결 볼트가 나사 결합하는 나사 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.
제 1 항에 있어서,
상기 상류측 및 하류측 베이스 블록을 포함하는 복수의 베이스 블록으로 형성되는 베이스 블록 어셈블리의 일단부와 체결 볼트로 연결됨과 아울러, 해당 베이스 블록 어셈블리가 설치되는 베이스 플레이트에 체결 볼트로 고정가능한 고정 블록을 더욱 갖는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.
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소정방향을 따라서 배치되는 복수의 유체용 기기를 설치하기 위한, 복수의 베이스 블록이 서로 연결된 베이스 블록 어셈블리를 형성하기 위한 유체제어장치용 베이스 블록이며,
상면, 상기 상면에 대향하는 저면, 및 상기 상면으로부터 상기 저면측을 향해서 연장되는 측면을 획정함과 아울러, 상기 상면, 저면 및 측면의 일단부로부터 타단부를 향하는 방향에 있어서 서로 이격한 위치에서 개구하는 2개의 유로구를 갖는 유체유로를 획정하고, 덧붙여, 상기 상면, 저면 및 측면의 일단부으로부터 타단부를 향하는 방향에 있어서 상기 2개의 유로구의 사이에 배치되어서 상기 상면에서 개구하고 또 상기 저면측을 향해서 연장되는 나사 구멍을 각각 갖고,
상기 상면, 저면 및 측면의 일단부 및 타단부의 적어도 한 방향에, 다른 베이스 블록 또는 부재와 체결 볼트를 사용해서 체결가능한 연결부가 형성되어 있고,
상기 일단부 또는 상기 타단부의 다른 베이스 블록 또는 부재와의 상대 위치를 결정하는 위치결정 기구가 상기 연결부의 해당 연결부에 사용되는 체결 볼트에 대하여 상류측과 하류측에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체제어장치용 베이스 블록.
제 12 항에 있어서,
상기 상면, 저면 및 측면의 양단부에 다른 베이스 블록 또는 부재와 체결 볼트를 사용해서 연결가능한 제1 및 제2의 연결부가 형성되어 있고,
상기 제1 및 제2의 연결부는, 상하 방향에 있어서 서로 다른 위치에 형성되고, 또한, 한 방향의 연결부에는 체결 볼트를 받아 들이는 관통구멍이 형성되고, 다른 방향의 연결부에는 체결 볼트가 나사 결합하는 나사 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체제어장치용 베이스 블록.
적어도 청구항 1 또는 2에 기재된 상류측 및 하류측 베이스 블록을 포함하는 베이스 블록을 사용해서 복수의 베이스 블록의 단부끼리가 연결된 베이스 블록 어셈블리를 형성하고,
하나 또는 복수의 유체용 기기를 상기 베이스 블록 어셈블리의 상면의 소정의 위치에 배치하고, 해당 하나 또는 복수의 유체용 기기의 보디를 해당 상면에 체결 볼트로 고정해서 하나 또는 복수의 유체제어 어셈블리를 형성하고,
청구항 10에 기재된 고정 블록을 사용해서 상기 하나 또는 복수의 유체제어 어셈블리를 베이스 플레이트 위에 고정하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체제어장치의 제조 방법.
밀폐된 챔버내에 있어서 프로세스 가스에 의한 처리 공정을 필요로 하는 반도체장치, 플랫 패널 디스플레이, 솔라 패널 등의 제품의 제조 프로세스에 있어서, 상기 프로세스 가스의 제어에 청구항 1 또는 2에 기재된 유체제어장치를 사용한 것을 특징으로 하는 제품제조 방법.
제 2 항에 있어서,
상기 상류측 및 하류측 베이스 블록을 포함하는 복수의 베이스 블록으로 형성되는 베이스 블록 어셈블리의 일단부와 체결 볼트로 연결됨과 아울러, 해당 베이스 블록 어셈블리가 설치되는 베이스 플레이트에 체결 볼트로 고정가능한 고정 블록을 더욱 갖는 것을 특징으로 하는 유체제어장치.