JP2000165094A - 電子部品の吸着搬送装置 - Google Patents
電子部品の吸着搬送装置Info
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- JP2000165094A JP2000165094A JP10339995A JP33999598A JP2000165094A JP 2000165094 A JP2000165094 A JP 2000165094A JP 10339995 A JP10339995 A JP 10339995A JP 33999598 A JP33999598 A JP 33999598A JP 2000165094 A JP2000165094 A JP 2000165094A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子部品を吸着して搬送するようにした吸着
搬送装置の軽量化および小型化を達成する。 【解決手段】 先端に吸着具が装着される中空のピスト
ンロッド２３が空気圧シリンダ２１に往復動自在に設け
られ、ピストンロッド２３の往復動は給気ポート５３か
らの圧縮空気を電磁弁３２の作動により切り換えて制御
される。給気ポート５３が設けられた給気ブロック５２
には、給気ポート５３からの圧縮空気により真空を発生
させる真空発生ブロック５４が取り付けられており、こ
の真空発生ブロック５４に設けられた電磁弁６１の作動
によりエジェクタの作動が制御されて、真空がピストン
ロッド２３の真空案内路２３ａを介して吸着具に供給さ
れる。真空状態となった真空案内路２３ａの真空を破壊
するために、真空破壊路６９には電磁弁６５の作動によ
って圧縮空気が供給される。
搬送装置の軽量化および小型化を達成する。 【解決手段】 先端に吸着具が装着される中空のピスト
ンロッド２３が空気圧シリンダ２１に往復動自在に設け
られ、ピストンロッド２３の往復動は給気ポート５３か
らの圧縮空気を電磁弁３２の作動により切り換えて制御
される。給気ポート５３が設けられた給気ブロック５２
には、給気ポート５３からの圧縮空気により真空を発生
させる真空発生ブロック５４が取り付けられており、こ
の真空発生ブロック５４に設けられた電磁弁６１の作動
によりエジェクタの作動が制御されて、真空がピストン
ロッド２３の真空案内路２３ａを介して吸着具に供給さ
れる。真空状態となった真空案内路２３ａの真空を破壊
するために、真空破壊路６９には電磁弁６５の作動によ
って圧縮空気が供給される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＩＣやＬＳＩなどの
電子部品を実装基板や検査ボードなどの被組立部材に対
して吸着して搬送する電子部品の吸着搬送装置に関す
る。
電子部品を実装基板や検査ボードなどの被組立部材に対
して吸着して搬送する電子部品の吸着搬送装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路が形成されたＩＣやＬＳ
Ｉなどの電子部品を検査ボードに多数搭載してそれぞれ
の電子部品が所定の機能を有するか否かを検査してい
る。その際には、それぞれトレーなどに配置された電子
部品を搬送装置によって検査ボードに搭載するようにし
ている。また、実装基板に電子部品を搭載する場合に
も、搬送装置を用いて所定の順序で複数種類の電子部品
を順次実装基板に搭載するようにしている。
Ｉなどの電子部品を検査ボードに多数搭載してそれぞれ
の電子部品が所定の機能を有するか否かを検査してい
る。その際には、それぞれトレーなどに配置された電子
部品を搬送装置によって検査ボードに搭載するようにし
ている。また、実装基板に電子部品を搭載する場合に
も、搬送装置を用いて所定の順序で複数種類の電子部品
を順次実装基板に搭載するようにしている。
【０００３】このような搬送装置としては、Ｘ方向とＹ
方向の２軸方向に水平移動自在の搬送ヘッドに上下動自
在に吸着具を設け、搬送ヘッドを部品供給ステージと検
査ボードの所定の位置に移動させ、部品供給ステージと
検査ボードの所定の位置において吸着具を上下動させる
ようにしている。
方向の２軸方向に水平移動自在の搬送ヘッドに上下動自
在に吸着具を設け、搬送ヘッドを部品供給ステージと検
査ボードの所定の位置に移動させ、部品供給ステージと
検査ボードの所定の位置において吸着具を上下動させる
ようにしている。
【０００４】搬送ヘッドには部品のサイズなどに対応さ
せて複数の吸着具が設けられ、真空つまり負圧により吸
着して搬送する部品に応じて所定の吸着具を上下動させ
るようにしている。このような搬送装置にあっては、搬
送ヘッドをいかにして迅速に移動させるようにするかが
重要な解決課題であった。搬送ヘッドを迅速に移動する
には、搬送ヘッドを軽量化することが必要となる。
せて複数の吸着具が設けられ、真空つまり負圧により吸
着して搬送する部品に応じて所定の吸着具を上下動させ
るようにしている。このような搬送装置にあっては、搬
送ヘッドをいかにして迅速に移動させるようにするかが
重要な解決課題であった。搬送ヘッドを迅速に移動する
には、搬送ヘッドを軽量化することが必要となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、搬送装置にお
ける搬送ヘッドを軽量化すべく、発明者は種々の検討を
行なった。搬送ヘッドには吸着具を上下動、つまりＺ軸
方向に移動するために空気圧シリンダが使用されてお
り、このシリンダにより上下動するピストンロッドの先
端に設けられた吸着具に真空を供給するために、真空発
生器を搬送ヘッドに取り付けるようにしている。したが
って、これらの構造をいかにして軽量化するかが搬送ヘ
ッドの軽量化に重要の要素となっている。
ける搬送ヘッドを軽量化すべく、発明者は種々の検討を
行なった。搬送ヘッドには吸着具を上下動、つまりＺ軸
方向に移動するために空気圧シリンダが使用されてお
り、このシリンダにより上下動するピストンロッドの先
端に設けられた吸着具に真空を供給するために、真空発
生器を搬送ヘッドに取り付けるようにしている。したが
って、これらの構造をいかにして軽量化するかが搬送ヘ
ッドの軽量化に重要の要素となっている。
【０００６】本発明の目的は、電子部品を吸着して搬送
するようにした吸着搬送装置の軽量化および小型化を達
成することにある。
するようにした吸着搬送装置の軽量化および小型化を達
成することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の電子部品の吸着
搬送装置は、先端に電子部品を吸着する吸着具が設けら
れ、前記吸着具に連通する真空案内路を有する中空のピ
ストンロッドを直線往復動する断面四辺形の空気圧シリ
ンダと、前記空気圧シリンダに取り付けられ、前記空気
圧シリンダに形成されたピストン前進用空気圧室とピス
トン後退用空気圧室とに、前記空気圧シリンダに形成さ
れた給気通路からの空気の供給を制御するピストンロッ
ド作動用の電磁弁と、圧縮空気源に接続されかつ前記給
気通路に接続される給気ポートを有し、前記空気圧シリ
ンダの後端部に取り付けられる給気ブロックと、前記給
気ブロックに取り付けられ、ディフューザとこれに空気
を供給するノズルとからなるエジェクタが内部に組み込
まれた真空発生ブロックと、前記真空発生ブロックに取
り付けられ、前記給気ポートから前記ノズルに連通する
エジェクタ作動用給気路を開閉して前記エジェクタの作
動を制御するエジェクタ作動用の電磁弁と、前記真空発
生ブロックに取り付けられ、前記エジェクタにより発生
した真空を前記吸着具に供給する真空供給路に連通され
た真空破壊路を開閉する真空破壊用の電磁弁とにより吸
着搬送組立体を形成し、前記給気ポートに供給された圧
縮空気を前記空気圧シリンダと前記エジェクタの前記ノ
ズルと前記真空破壊路とに供給することを特徴とする。
搬送装置は、先端に電子部品を吸着する吸着具が設けら
れ、前記吸着具に連通する真空案内路を有する中空のピ
ストンロッドを直線往復動する断面四辺形の空気圧シリ
ンダと、前記空気圧シリンダに取り付けられ、前記空気
圧シリンダに形成されたピストン前進用空気圧室とピス
トン後退用空気圧室とに、前記空気圧シリンダに形成さ
れた給気通路からの空気の供給を制御するピストンロッ
ド作動用の電磁弁と、圧縮空気源に接続されかつ前記給
気通路に接続される給気ポートを有し、前記空気圧シリ
ンダの後端部に取り付けられる給気ブロックと、前記給
気ブロックに取り付けられ、ディフューザとこれに空気
を供給するノズルとからなるエジェクタが内部に組み込
まれた真空発生ブロックと、前記真空発生ブロックに取
り付けられ、前記給気ポートから前記ノズルに連通する
エジェクタ作動用給気路を開閉して前記エジェクタの作
動を制御するエジェクタ作動用の電磁弁と、前記真空発
生ブロックに取り付けられ、前記エジェクタにより発生
した真空を前記吸着具に供給する真空供給路に連通され
た真空破壊路を開閉する真空破壊用の電磁弁とにより吸
着搬送組立体を形成し、前記給気ポートに供給された圧
縮空気を前記空気圧シリンダと前記エジェクタの前記ノ
ズルと前記真空破壊路とに供給することを特徴とする。
【０００８】本発明の電子部品の吸着搬送装置は、先端
に電子部品を吸着する吸着具が設けられ、前記吸着具に
連通する真空案内路を有する中空のピストンロッドを直
線往復動する断面四辺形の空気圧シリンダと、前記空気
圧シリンダに取り付けられ、前記空気圧シリンダに形成
されたピストン前進用空気圧室とピストン後退用空気圧
室とに、前記空気圧シリンダに形成された給気通路から
の空気の供給を制御するピストンロッド作動用の電磁弁
と、圧縮空気源に接続されかつ前記給気通路に接続され
る給気ポートと真空ポンプに接続される真空ポートとを
有し、前記空気圧シリンダの後端部に取り付けられる給
気ブロックと、前記給気ブロックに取り付けられ、前記
真空ポートに接続される真空供給路を有する真空ブロッ
クと、前記真空ブロックに取り付けられ、前記真空供給
路を開閉する真空路開閉用の電磁弁と、前記真空ブロッ
クに取り付けられ、前記給気ポートと前記真空供給路と
を連通させて前記真空ブロックに形成された真空破壊路
を開閉する真空破壊用の電磁弁とにより吸着搬送組立体
を形成し、前記給気ポートに供給された圧縮空気を、前
記空気圧シリンダと前記真空破壊路とに供給することを
特徴とする。
に電子部品を吸着する吸着具が設けられ、前記吸着具に
連通する真空案内路を有する中空のピストンロッドを直
線往復動する断面四辺形の空気圧シリンダと、前記空気
圧シリンダに取り付けられ、前記空気圧シリンダに形成
されたピストン前進用空気圧室とピストン後退用空気圧
室とに、前記空気圧シリンダに形成された給気通路から
の空気の供給を制御するピストンロッド作動用の電磁弁
と、圧縮空気源に接続されかつ前記給気通路に接続され
る給気ポートと真空ポンプに接続される真空ポートとを
有し、前記空気圧シリンダの後端部に取り付けられる給
気ブロックと、前記給気ブロックに取り付けられ、前記
真空ポートに接続される真空供給路を有する真空ブロッ
クと、前記真空ブロックに取り付けられ、前記真空供給
路を開閉する真空路開閉用の電磁弁と、前記真空ブロッ
クに取り付けられ、前記給気ポートと前記真空供給路と
を連通させて前記真空ブロックに形成された真空破壊路
を開閉する真空破壊用の電磁弁とにより吸着搬送組立体
を形成し、前記給気ポートに供給された圧縮空気を、前
記空気圧シリンダと前記真空破壊路とに供給することを
特徴とする。
【０００９】本発明の電子部品の吸着搬送装置は、先端
に電子部品を吸着する吸着具が設けられ、前記吸着具に
連通する真空案内路を有する中空のピストンロッドを直
線往復動する断面四辺形の空気圧シリンダと、前記空気
圧シリンダに取り付けられ、前記空気圧シリンダに形成
されたピストン前進用空気圧室とピストン後退用空気圧
室とに、前記空気圧シリンダに形成された給気通路から
の空気の供給を制御するピストンロッド作動用の電磁弁
とにより吸着具駆動ユニットを形成し、圧縮空気源に接
続されかつ前記給気通路に接続される給気ポートを有
し、前記空気圧シリンダの後端部に取り付けられる給気
ブロックと、前記給気ブロックに取り付けられ、ディフ
ューザとこれに空気を供給するノズルとからなるエジェ
クタが内部に組み込まれた真空発生ブロックと、前記真
空発生ブロックに取り付けられ、前記給気ポートから前
記ノズルに連通するエジェクタ作動用給気路を開閉して
前記エジェクタの作動を制御するエジェクタ作動用の電
磁弁と、前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記エ
ジェクタにより発生した真空を前記吸着具に供給する真
空供給路に連通された真空破壊路を開閉する真空破壊用
の電磁弁とにより第１の真空制御ユニットを形成し、圧
縮空気源に接続されかつ前記給気通路に接続される給気
ポートと真空ポンプに接続される真空ポートとを有し、
前記空気圧シリンダの後端部に取り付けられる給気ブロ
ックと、前記給気ブロックに取り付けられ、前記真空ポ
ートに接続される真空供給路を有する真空ブロックと、
前記真空ブロックに取り付けられ、前記真空供給路を開
閉する真空路開閉用電磁弁と、前記真空ブロックに取り
付けられ、前記給気ポートと前記真空供給路とを連通さ
せて前記真空ブロックに形成された真空破壊路を開閉す
る真空破壊用の電磁弁とにより第２の真空制御ユニット
を形成し、前記第１の真空制御ユニットと前記第２の真
空制御ユニットのいずれかを共通の前記吸着具駆動ユニ
ットに装着して吸着搬送組立体を形成することを特徴と
する。
に電子部品を吸着する吸着具が設けられ、前記吸着具に
連通する真空案内路を有する中空のピストンロッドを直
線往復動する断面四辺形の空気圧シリンダと、前記空気
圧シリンダに取り付けられ、前記空気圧シリンダに形成
されたピストン前進用空気圧室とピストン後退用空気圧
室とに、前記空気圧シリンダに形成された給気通路から
の空気の供給を制御するピストンロッド作動用の電磁弁
とにより吸着具駆動ユニットを形成し、圧縮空気源に接
続されかつ前記給気通路に接続される給気ポートを有
し、前記空気圧シリンダの後端部に取り付けられる給気
ブロックと、前記給気ブロックに取り付けられ、ディフ
ューザとこれに空気を供給するノズルとからなるエジェ
クタが内部に組み込まれた真空発生ブロックと、前記真
空発生ブロックに取り付けられ、前記給気ポートから前
記ノズルに連通するエジェクタ作動用給気路を開閉して
前記エジェクタの作動を制御するエジェクタ作動用の電
磁弁と、前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記エ
ジェクタにより発生した真空を前記吸着具に供給する真
空供給路に連通された真空破壊路を開閉する真空破壊用
の電磁弁とにより第１の真空制御ユニットを形成し、圧
縮空気源に接続されかつ前記給気通路に接続される給気
ポートと真空ポンプに接続される真空ポートとを有し、
前記空気圧シリンダの後端部に取り付けられる給気ブロ
ックと、前記給気ブロックに取り付けられ、前記真空ポ
ートに接続される真空供給路を有する真空ブロックと、
前記真空ブロックに取り付けられ、前記真空供給路を開
閉する真空路開閉用電磁弁と、前記真空ブロックに取り
付けられ、前記給気ポートと前記真空供給路とを連通さ
せて前記真空ブロックに形成された真空破壊路を開閉す
る真空破壊用の電磁弁とにより第２の真空制御ユニット
を形成し、前記第１の真空制御ユニットと前記第２の真
空制御ユニットのいずれかを共通の前記吸着具駆動ユニ
ットに装着して吸着搬送組立体を形成することを特徴と
する。
【００１０】本発明にあっては、前記吸着搬送組立体の
幅寸法を前記空気圧シリンダの幅寸法にほぼ対応した幅
寸法に設定しても良く、複数の前記吸着搬送組立体をそ
れぞれの給気ポートを連通させて積層しても良く、前記
空気圧シリンダに設けられたガイドレールに沿って直線
方向に往復動するスライド部材に前記ピストンロッドを
連結しても良い。
幅寸法を前記空気圧シリンダの幅寸法にほぼ対応した幅
寸法に設定しても良く、複数の前記吸着搬送組立体をそ
れぞれの給気ポートを連通させて積層しても良く、前記
空気圧シリンダに設けられたガイドレールに沿って直線
方向に往復動するスライド部材に前記ピストンロッドを
連結しても良い。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１２】図１は本発明の一実施の形態である吸着搬
送装置を有する電子部品の検査装置を示す概略平面図で
あり、部品ステージに配置されたＩＣなどの電子部品を
検査ボードに自動的に搭載するために吸着搬送装置が使
用されている。検査ボードに搭載された所定の数の電子
部品は、この位置から自動的に搬送されて検査ステージ
にまで送られるようになっている。
送装置を有する電子部品の検査装置を示す概略平面図で
あり、部品ステージに配置されたＩＣなどの電子部品を
検査ボードに自動的に搭載するために吸着搬送装置が使
用されている。検査ボードに搭載された所定の数の電子
部品は、この位置から自動的に搬送されて検査ステージ
にまで送られるようになっている。
【００１３】この検査装置は、搭載テーブル１１を有
し、この搭載テーブル１１の所定の位置に、被搭載部材
としての検査ボード１２が、たとえば、図１の右側から
搬入され、搭載後には左側に搬出されるようになってい
る。
し、この搭載テーブル１１の所定の位置に、被搭載部材
としての検査ボード１２が、たとえば、図１の右側から
搬入され、搭載後には左側に搬出されるようになってい
る。
【００１４】搭載テーブル１１にはＸ方向に伸びるガイ
ドレール１３が２本敷設されており、それぞれのガイド
レール１３に沿って摺動自在に設けられた摺動ブロック
１４には、Ｙ方向に伸びるガイドレール１５が取り付け
られている。このガイドレール１５には搬送ヘッド１６
がＹ方向に摺動自在に取り付けられており、この搬送ヘ
ッド１６は、図示しないモータにより駆動されるボール
ねじによりＹ方向に駆動されるようになっている。ま
た、搬送ヘッド１６はそれぞれの摺動ブロック１４を図
示しないモータにより駆動されるボールねじによりＸ方
向にも駆動されるようになっている。
ドレール１３が２本敷設されており、それぞれのガイド
レール１３に沿って摺動自在に設けられた摺動ブロック
１４には、Ｙ方向に伸びるガイドレール１５が取り付け
られている。このガイドレール１５には搬送ヘッド１６
がＹ方向に摺動自在に取り付けられており、この搬送ヘ
ッド１６は、図示しないモータにより駆動されるボール
ねじによりＹ方向に駆動されるようになっている。ま
た、搬送ヘッド１６はそれぞれの摺動ブロック１４を図
示しないモータにより駆動されるボールねじによりＸ方
向にも駆動されるようになっている。
【００１５】搭載テーブル１１には、ＩＣなどの電子部
品を配置するための部品供給ステージ１７が複数個設け
られ、それぞれの部品供給ステージ１７には、同種ある
いは異種の電子部品がトレイあるいはテープに巻き付け
られた状態となって配置されるようになっている。
品を配置するための部品供給ステージ１７が複数個設け
られ、それぞれの部品供給ステージ１７には、同種ある
いは異種の電子部品がトレイあるいはテープに巻き付け
られた状態となって配置されるようになっている。
【００１６】搬送ヘッド１６には複数組の吸着搬送装置
１８が取り付けられており、その１組を拡大して示すと
図２の通りであり、この吸着搬送装置１８は４つの吸着
搬送組立体１９を有している。図３（Ａ）は図２におけ
る１つの吸着搬送組立体１９の正面図であり、図３
（Ｂ）は図３（Ａ）の側面図であり、図４は図３（Ａ）
の拡大断面図である。
１８が取り付けられており、その１組を拡大して示すと
図２の通りであり、この吸着搬送装置１８は４つの吸着
搬送組立体１９を有している。図３（Ａ）は図２におけ
る１つの吸着搬送組立体１９の正面図であり、図３
（Ｂ）は図３（Ａ）の側面図であり、図４は図３（Ａ）
の拡大断面図である。
【００１７】吸着搬送組立体１９は、断面長方形の空気
圧シリンダ２１を有し、図４に示すように、この空気圧
シリンダ２１内に軸方向に往復動自在に設けられたピス
トン２２には、中空のピストンロッド２３が取り付けら
れ、中空部は真空案内路２３ａとなっている。空気圧シ
リンダ２１にはガイドレール２４が固定され、このガイ
ドレール２４に沿って直線方向に往復動するスライド部
材２５は、ガイドレール２４に平行な本体部２５ａとこ
れに対して直角方向の連結部２５ｂとを有し、連結部２
５ｂの部分でピストンロッド２３の先端部に取り付けら
れている。したがって、ピストンロッド２３が往復動す
る際には、その移動軌跡はガイドレール２４により規制
されることになり、スライド部材２５の往復動精度が高
められて、ピストンロッド２３のぶれの発生を抑制しつ
つ高い精度で直線方向にピストンロッド２３を往復動さ
せることができる。
圧シリンダ２１を有し、図４に示すように、この空気圧
シリンダ２１内に軸方向に往復動自在に設けられたピス
トン２２には、中空のピストンロッド２３が取り付けら
れ、中空部は真空案内路２３ａとなっている。空気圧シ
リンダ２１にはガイドレール２４が固定され、このガイ
ドレール２４に沿って直線方向に往復動するスライド部
材２５は、ガイドレール２４に平行な本体部２５ａとこ
れに対して直角方向の連結部２５ｂとを有し、連結部２
５ｂの部分でピストンロッド２３の先端部に取り付けら
れている。したがって、ピストンロッド２３が往復動す
る際には、その移動軌跡はガイドレール２４により規制
されることになり、スライド部材２５の往復動精度が高
められて、ピストンロッド２３のぶれの発生を抑制しつ
つ高い精度で直線方向にピストンロッド２３を往復動さ
せることができる。
【００１８】ピストンロッド２３の先端には、図３
（Ａ）に示すように、ＩＣやＬＳＩなどの電子部品Ｗを
吸着する吸着具２６が設けられるようになっており、吸
着具２６内の中空孔には真空案内路２３ａが連通してい
る。
（Ａ）に示すように、ＩＣやＬＳＩなどの電子部品Ｗを
吸着する吸着具２６が設けられるようになっており、吸
着具２６内の中空孔には真空案内路２３ａが連通してい
る。
【００１９】空気圧シリンダ２１内には、図４に示すよ
うに、ピストン２２の両端側に位置させて前進用空気圧
室２７ａと後退用空気圧室２７ｂとが形成され、さら
に、給気通路２８が形成されている。
うに、ピストン２２の両端側に位置させて前進用空気圧
室２７ａと後退用空気圧室２７ｂとが形成され、さら
に、給気通路２８が形成されている。
【００２０】空気圧シリンダ２１の側面には、幅寸法が
空気圧シリンダ２１の幅寸法と同一となった直方体形状
の給排ブロック３１が取り付けられ、この給排ブロック
３１には幅寸法が給排ブロック３１よりも狭くなったピ
ストンロッド作動用の電磁弁３２が取り付けられてい
る。この電磁弁３２は、間接作動式の５ポート２位置型
の切換弁であり、それを拡大して示すと図５の通りであ
る。
空気圧シリンダ２１の幅寸法と同一となった直方体形状
の給排ブロック３１が取り付けられ、この給排ブロック
３１には幅寸法が給排ブロック３１よりも狭くなったピ
ストンロッド作動用の電磁弁３２が取り付けられてい
る。この電磁弁３２は、間接作動式の５ポート２位置型
の切換弁であり、それを拡大して示すと図５の通りであ
る。
【００２１】図５に示すように、この電磁弁３２の本体
ブロック部３３に形成された弁孔３４には、それぞれ給
排ブロック３１に形成された給気通路２８と、前進用空
気圧室２７ａに連通する給排通路３５と、後退用空気圧
室２７ｂに連通する給排通路３６とがそれぞれ連通して
おり、さらに、給排ブロック３１に形成された２つの排
気通路３７，３８が弁孔３４に連通している。弁孔３４
内に軸方向に往復動自在に装着された弁軸３９の両端部
にはピストン４１，４２が設けられ、小径のピストン４
１を収容する空気圧室４１ａには流路４３により給気通
路２８が連通している。
ブロック部３３に形成された弁孔３４には、それぞれ給
排ブロック３１に形成された給気通路２８と、前進用空
気圧室２７ａに連通する給排通路３５と、後退用空気圧
室２７ｂに連通する給排通路３６とがそれぞれ連通して
おり、さらに、給排ブロック３１に形成された２つの排
気通路３７，３８が弁孔３４に連通している。弁孔３４
内に軸方向に往復動自在に装着された弁軸３９の両端部
にはピストン４１，４２が設けられ、小径のピストン４
１を収容する空気圧室４１ａには流路４３により給気通
路２８が連通している。
【００２２】電磁弁３２のソレノイド部４４はプランジ
ャ４５を有し、このプランジャ４５の先端には、大径の
ピストン４２を収容する空気圧室４２ａと流路４３との
連通を開閉する弁体４５ａが設けられている。プランジ
ャ４５には弁体４５ａが流路４３を閉じる方向のばね力
が加えられており、コイル４６に通電すると、プランジ
ャ４５がばね力に抗して後退移動することにより、流路
４３が空気圧室４２ａに連通することになる。空気圧室
４２ａ内には複数本のロッドを介して弁体４５ａと連動
する連動弁４７が設けられ、コイル４６に通電するとこ
のロッドの周りの隙間を介して流路４３が空気圧室４２
ａと連通状態となる。このときには、連動弁４７によっ
て排出路４８が閉じられる。この排出路４８はコイル４
６への通電が解かれると連動弁４７により開かれて、空
気圧室４２ａはピストン４２の反対側の空間と連通する
ことになる。
ャ４５を有し、このプランジャ４５の先端には、大径の
ピストン４２を収容する空気圧室４２ａと流路４３との
連通を開閉する弁体４５ａが設けられている。プランジ
ャ４５には弁体４５ａが流路４３を閉じる方向のばね力
が加えられており、コイル４６に通電すると、プランジ
ャ４５がばね力に抗して後退移動することにより、流路
４３が空気圧室４２ａに連通することになる。空気圧室
４２ａ内には複数本のロッドを介して弁体４５ａと連動
する連動弁４７が設けられ、コイル４６に通電するとこ
のロッドの周りの隙間を介して流路４３が空気圧室４２
ａと連通状態となる。このときには、連動弁４７によっ
て排出路４８が閉じられる。この排出路４８はコイル４
６への通電が解かれると連動弁４７により開かれて、空
気圧室４２ａはピストン４２の反対側の空間と連通する
ことになる。
【００２３】弁軸３９には複数の弁体が設けられ、コイ
ル４６に通電すると大径のピストン４２に加えられる空
気圧により弁軸３９は図５に示す位置から右側に移動す
ることになり、給気通路２８は弁孔３４、給排通路３６
を介して後退用空気圧室２７ｂに連通する。このときに
は、給排通路３５と排気通路３７とが連通状態となり、
前進用空気圧室２７ａ内の空気は外部に排出される。一
方、通電を解くと弁軸３９は図５に示す位置に戻って、
空気圧室４２ａへの空気圧の供給が停止された状態とな
り、給気通路２８は弁孔３４、給排通路３５を介して前
進用空気圧室２７ａに連通する。このときには、給排通
路３６は排気通路３８とが連通状態となり、後退用空気
圧室２７ｂ内の空気は外部に排出される。
ル４６に通電すると大径のピストン４２に加えられる空
気圧により弁軸３９は図５に示す位置から右側に移動す
ることになり、給気通路２８は弁孔３４、給排通路３６
を介して後退用空気圧室２７ｂに連通する。このときに
は、給排通路３５と排気通路３７とが連通状態となり、
前進用空気圧室２７ａ内の空気は外部に排出される。一
方、通電を解くと弁軸３９は図５に示す位置に戻って、
空気圧室４２ａへの空気圧の供給が停止された状態とな
り、給気通路２８は弁孔３４、給排通路３５を介して前
進用空気圧室２７ａに連通する。このときには、給排通
路３６は排気通路３８とが連通状態となり、後退用空気
圧室２７ｂ内の空気は外部に排出される。
【００２４】排気通路３７，３８を流れて外部に排出さ
れる空気の量を調整してピストンロッド２３の移動速度
を調整するために、給排ブロック３１には手動操作式の
絞り弁３７ａ，３８ａが設けられている。それぞれの絞
り弁３７ａ，３８ａの調整ねじ部は、ピストンロッド２
３と平行となっている。
れる空気の量を調整してピストンロッド２３の移動速度
を調整するために、給排ブロック３１には手動操作式の
絞り弁３７ａ，３８ａが設けられている。それぞれの絞
り弁３７ａ，３８ａの調整ねじ部は、ピストンロッド２
３と平行となっている。
【００２５】このように、空気圧シリンダ２１と電磁弁
３２とにより吸着具２６を上下方向に直線往復動する吸
着具駆動ユニット４９が形成される。
３２とにより吸着具２６を上下方向に直線往復動する吸
着具駆動ユニット４９が形成される。
【００２６】空気圧シリンダ２１の後端部には、スペー
サブロック５１を介して給気ブロック５２が取り付けら
れており、これらはそれぞれ空気圧シリンダ２１の断面
形状とほぼ同一の断面形状を有している。給気ブロック
５２には図示しない空気圧源に接続される給気ポート５
３が形成され、この給気ポート５３は給気通路２８ａに
より給気通路２８に連通している。
サブロック５１を介して給気ブロック５２が取り付けら
れており、これらはそれぞれ空気圧シリンダ２１の断面
形状とほぼ同一の断面形状を有している。給気ブロック
５２には図示しない空気圧源に接続される給気ポート５
３が形成され、この給気ポート５３は給気通路２８ａに
より給気通路２８に連通している。
【００２７】給気ブロック５２には、これとほぼ同一の
幅寸法を有し直方体形状となった真空発生ブロック５４
が取り付けられ、この真空発生ブロック５４内にはディ
フューザ５５が組み込まれている。このディフューザ５
５の混合通路５５ａに空気を供給するノズル５６がディ
フューザ５５に対向して配置され、これらのディフュー
ザ５５とノズル５６とによりエジェクタ、つまり真空発
生装置が形成されている。
幅寸法を有し直方体形状となった真空発生ブロック５４
が取り付けられ、この真空発生ブロック５４内にはディ
フューザ５５が組み込まれている。このディフューザ５
５の混合通路５５ａに空気を供給するノズル５６がディ
フューザ５５に対向して配置され、これらのディフュー
ザ５５とノズル５６とによりエジェクタ、つまり真空発
生装置が形成されている。
【００２８】ノズル５６には給気ポート５３に連通する
エジェクタ作動用給気路５０を介して空気が供給される
ようになっており、ディフューザ５５に混合通路５５ａ
に連通させて形成された吸引ポート５７は、真空発生ブ
ロック５４と給気ブロック５２に形成された真空供給路
５８と、ピストンロッド２３内の真空案内路２３ａとを
介して吸着具２６に連通されている。
エジェクタ作動用給気路５０を介して空気が供給される
ようになっており、ディフューザ５５に混合通路５５ａ
に連通させて形成された吸引ポート５７は、真空発生ブ
ロック５４と給気ブロック５２に形成された真空供給路
５８と、ピストンロッド２３内の真空案内路２３ａとを
介して吸着具２６に連通されている。
【００２９】したがって、給気ポート５３に供給された
空気をノズル５６からディフューザ５５の混合通路５５
ａ内に噴出すると、混合通路５５ａ内には吸引ポート５
７からの空気を吸い込む空気の流れが発生して、吸着具
２６は真空つまり負圧状態となる。ディフューザ５５か
ら排出された空気は、排気ポート５９から外部に排出さ
れることになる。なお、排気ポート５９には消音用のマ
フラー５９ａが設けられている。
空気をノズル５６からディフューザ５５の混合通路５５
ａ内に噴出すると、混合通路５５ａ内には吸引ポート５
７からの空気を吸い込む空気の流れが発生して、吸着具
２６は真空つまり負圧状態となる。ディフューザ５５か
ら排出された空気は、排気ポート５９から外部に排出さ
れることになる。なお、排気ポート５９には消音用のマ
フラー５９ａが設けられている。
【００３０】給気ポート５３に連通されたエジェクタ作
動用給気路５０を開閉してエジェクタの作動を制御する
エジェクタ作動用の電磁弁６１が真空発生ブロック５４
に取り付けられている。この電磁弁６１は本体ブロック
部６２とソレノイド部６３とを有しており、ソレノイド
部６３は電磁弁３２のソレノイド部４４と同様の構造と
なっている。本体ブロック部６２にはエジェクタ作動用
給気路５０のうち給気ポート５３に連通した上流側部分
５０ａと、ノズル５６に連通した下流側部分５０ｂとが
形成され、ソレノイド部６３に設けられたプランジャ６
４によって、これらは連通状態と遮断状態とに切り換え
られる。したがって、電磁弁６１のコイルに通電する
と、エジェクタ作動用給気路５０が開いてノズル５６に
空気が供給され、エジェクタの作動により真空が発生す
ることになり、通電が解かれると供給が停止されてエジ
ェクタは不作動となる。
動用給気路５０を開閉してエジェクタの作動を制御する
エジェクタ作動用の電磁弁６１が真空発生ブロック５４
に取り付けられている。この電磁弁６１は本体ブロック
部６２とソレノイド部６３とを有しており、ソレノイド
部６３は電磁弁３２のソレノイド部４４と同様の構造と
なっている。本体ブロック部６２にはエジェクタ作動用
給気路５０のうち給気ポート５３に連通した上流側部分
５０ａと、ノズル５６に連通した下流側部分５０ｂとが
形成され、ソレノイド部６３に設けられたプランジャ６
４によって、これらは連通状態と遮断状態とに切り換え
られる。したがって、電磁弁６１のコイルに通電する
と、エジェクタ作動用給気路５０が開いてノズル５６に
空気が供給され、エジェクタの作動により真空が発生す
ることになり、通電が解かれると供給が停止されてエジ
ェクタは不作動となる。
【００３１】真空発生ブロック５４には真空破壊用の電
磁弁６５が取り付けられており、この電磁弁６５は電磁
弁６１と同様の構造の本体ブロック部６６とソレノイド
部６７とを有している。本体ブロック部６６には給気ポ
ート５３と吸引ポート５７とを接続する真空破壊路６９
が形成され、この真空破壊路６９は吸引ポート５７を介
して真空供給路５８に接続されており、プランジャ６８
の作動により真空破壊路６９が開閉される。したがっ
て、電磁弁６５のソレノイドに通電すると、プランジャ
６８が後退移動して給気ポート５３が吸引ポート５７と
連通状態となり、真空状態の真空供給路５８は正圧状態
となって、その正圧が真空案内路２３ａを介して吸着具
２６に供給される。これにより、吸着具２６により吸着
保持されている電子部品を吸着具２６から外す場合に
は、エジェクタ作動用の電磁弁６１への通電を解き、真
空破壊用の電磁弁６５に通電することにより、吸着具２
６から電子部品Ｗは外されることになる。このときに
は、真空破壊路６９の内径を調整することによって、吸
着具２６から電子部品Ｗは吹き飛ばされることなく、ソ
フトに所定の位置に落下するように設定することができ
る。
磁弁６５が取り付けられており、この電磁弁６５は電磁
弁６１と同様の構造の本体ブロック部６６とソレノイド
部６７とを有している。本体ブロック部６６には給気ポ
ート５３と吸引ポート５７とを接続する真空破壊路６９
が形成され、この真空破壊路６９は吸引ポート５７を介
して真空供給路５８に接続されており、プランジャ６８
の作動により真空破壊路６９が開閉される。したがっ
て、電磁弁６５のソレノイドに通電すると、プランジャ
６８が後退移動して給気ポート５３が吸引ポート５７と
連通状態となり、真空状態の真空供給路５８は正圧状態
となって、その正圧が真空案内路２３ａを介して吸着具
２６に供給される。これにより、吸着具２６により吸着
保持されている電子部品を吸着具２６から外す場合に
は、エジェクタ作動用の電磁弁６１への通電を解き、真
空破壊用の電磁弁６５に通電することにより、吸着具２
６から電子部品Ｗは外されることになる。このときに
は、真空破壊路６９の内径を調整することによって、吸
着具２６から電子部品Ｗは吹き飛ばされることなく、ソ
フトに所定の位置に落下するように設定することができ
る。
【００３２】前述のように、給気ポート５３からの圧縮
空気は、吸着搬送組立体１９内に形成された流路によっ
て、ピストンロッド２３を往復動するための空気圧シリ
ンダ２１と、エジェクタ用のノズル５６と、真空破壊路
６９とに供給されることになり、外部に配管やホースを
はい回すことなく、これらに圧縮空気を供給することが
できる。しかも、ピストンロッド２３内に真空案内路２
３ａが形成されており、吸着具２６に対して真空を供給
するためのホースなどが外部にはい回すことが不要とな
る。
空気は、吸着搬送組立体１９内に形成された流路によっ
て、ピストンロッド２３を往復動するための空気圧シリ
ンダ２１と、エジェクタ用のノズル５６と、真空破壊路
６９とに供給されることになり、外部に配管やホースを
はい回すことなく、これらに圧縮空気を供給することが
できる。しかも、ピストンロッド２３内に真空案内路２
３ａが形成されており、吸着具２６に対して真空を供給
するためのホースなどが外部にはい回すことが不要とな
る。
【００３３】給気ブロック５２には真空供給路５８内の
圧力を検出するための圧力センサ取付部７０が形成され
ており、この取付部７０に圧力センサを装着することに
より真空供給路５８内に圧力を検出することができる。
圧力を検出するための圧力センサ取付部７０が形成され
ており、この取付部７０に圧力センサを装着することに
より真空供給路５８内に圧力を検出することができる。
【００３４】このように、給気ブロック５２と真空発生
ブロック５４とエジェクタ作動用の電磁弁６１と真空破
壊用の電磁弁６５とにより第１の真空制御ユニット７１
が形成される。
ブロック５４とエジェクタ作動用の電磁弁６１と真空破
壊用の電磁弁６５とにより第１の真空制御ユニット７１
が形成される。
【００３５】吸着具駆動ユニット４９と第１の真空制御
ユニット７１とにより構成される吸着搬送組立体１９を
４つ積層すると、図２に示す吸着搬送装置１８となる。
積層時には、それぞれの給気ブロック５２に貫通して形
成された給気ポート５３が連通状態となり、一方の端部
側の吸着搬送組立体１９から圧縮空気を供給することに
よって、全ての吸着搬送組立体１９に対して圧縮空気を
供給することができる。他方の端部側の吸着搬送組立体
の給気ポート５３の開口部はキャップ部材などにより閉
塞される。積層される吸着搬送組立体の数は、８つなど
の任意の数に設定することができる。
ユニット７１とにより構成される吸着搬送組立体１９を
４つ積層すると、図２に示す吸着搬送装置１８となる。
積層時には、それぞれの給気ブロック５２に貫通して形
成された給気ポート５３が連通状態となり、一方の端部
側の吸着搬送組立体１９から圧縮空気を供給することに
よって、全ての吸着搬送組立体１９に対して圧縮空気を
供給することができる。他方の端部側の吸着搬送組立体
の給気ポート５３の開口部はキャップ部材などにより閉
塞される。積層される吸着搬送組立体の数は、８つなど
の任意の数に設定することができる。
【００３６】このような構造の吸着搬送装置を用いて図
１に示す部品供給ステージ１７に配置された電子部品を
検査ボード１２に搭載する場合には、搬送ヘッド１６が
まず特定の部品供給ステージ１７の位置に搬送される。
このときには、空気圧シリンダ２１内の後退用空気圧室
２７ｂに給気ポート５３からの圧縮空気が供給されてピ
ストンロッド２３は図４に示すように、後退した状態と
なっている。
１に示す部品供給ステージ１７に配置された電子部品を
検査ボード１２に搭載する場合には、搬送ヘッド１６が
まず特定の部品供給ステージ１７の位置に搬送される。
このときには、空気圧シリンダ２１内の後退用空気圧室
２７ｂに給気ポート５３からの圧縮空気が供給されてピ
ストンロッド２３は図４に示すように、後退した状態と
なっている。
【００３７】次いで、前進用空気圧室２７ａに圧縮空気
を供給すると、ピストンロッド２３は下方に向けて前進
移動する。そして、ノズル５６に圧縮空気を供給する
と、エジェクタの作動によってピストンロッド２３内の
真空案内路２３ａは負圧状態つまり真空状態となる。ピ
ストンロッド２３の前進移動によって、ピストンロッド
２３に装着された吸着具２６が電子部品Ｗに接触する
と、電子部品Ｗは吸着具２６に吸着されることになり、
ピストンロッド２３を後退移動させることにより、電子
部品Ｗは持ち上げられる。
を供給すると、ピストンロッド２３は下方に向けて前進
移動する。そして、ノズル５６に圧縮空気を供給する
と、エジェクタの作動によってピストンロッド２３内の
真空案内路２３ａは負圧状態つまり真空状態となる。ピ
ストンロッド２３の前進移動によって、ピストンロッド
２３に装着された吸着具２６が電子部品Ｗに接触する
と、電子部品Ｗは吸着具２６に吸着されることになり、
ピストンロッド２３を後退移動させることにより、電子
部品Ｗは持ち上げられる。
【００３８】持ち上げながら、搬送ヘッド１６を水平移
動することによって、検査ボード１２の所定の位置の真
上に電子部品Ｗを搬送した後に、ピストンロッド２３を
前進移動させることによって、電子部品Ｗは検査ボード
１２に搭載される。この搭載時には、真空供給路５８は
閉じられるが、迅速かつ確実に電子部品Ｗを吸着具２６
から分離させるために、電磁弁６５を作動させることに
よって真空破壊路６９が開かれて、真空供給路５８には
給気ポート５３からの圧縮空気が真空破壊路６９を介し
て真空供給路５８に供給されることになる。
動することによって、検査ボード１２の所定の位置の真
上に電子部品Ｗを搬送した後に、ピストンロッド２３を
前進移動させることによって、電子部品Ｗは検査ボード
１２に搭載される。この搭載時には、真空供給路５８は
閉じられるが、迅速かつ確実に電子部品Ｗを吸着具２６
から分離させるために、電磁弁６５を作動させることに
よって真空破壊路６９が開かれて、真空供給路５８には
給気ポート５３からの圧縮空気が真空破壊路６９を介し
て真空供給路５８に供給されることになる。
【００３９】図６および図７は、本発明の他の実施の形
態である吸着搬送装置１８を構成する１つの吸着搬送組
立体１９を示す斜視図であり、この吸着搬送組立体１９
を４つ積層すると図２のような吸着搬送装置となる。図
６および図７にあっては前述した図２〜図５の実施の形
態における部材と共通する部材には同一の符号が付され
ている。
態である吸着搬送装置１８を構成する１つの吸着搬送組
立体１９を示す斜視図であり、この吸着搬送組立体１９
を４つ積層すると図２のような吸着搬送装置となる。図
６および図７にあっては前述した図２〜図５の実施の形
態における部材と共通する部材には同一の符号が付され
ている。
【００４０】この吸着搬送組立体１９は、空気圧シリン
ダ２１と電磁弁３２とにより形成される吸着具駆動ユニ
ット４９の構造が図２〜図５に示したものとほぼ同様と
なっている。ただし、図６に示す場合には、給排ブロッ
ク３１は前述したタイプよりも長くなっており、その両
端部に取り付けられる絞り弁３７ａ，３８ａは、ピスト
ンロッド２３に対して直角方向を向いている。図６に示
す場合にも、前述したタイプの給排ブロック３１を用い
ることができ、前述したタイプにも図６に示した給排ブ
ロック３１を用いることができる。
ダ２１と電磁弁３２とにより形成される吸着具駆動ユニ
ット４９の構造が図２〜図５に示したものとほぼ同様と
なっている。ただし、図６に示す場合には、給排ブロッ
ク３１は前述したタイプよりも長くなっており、その両
端部に取り付けられる絞り弁３７ａ，３８ａは、ピスト
ンロッド２３に対して直角方向を向いている。図６に示
す場合にも、前述したタイプの給排ブロック３１を用い
ることができ、前述したタイプにも図６に示した給排ブ
ロック３１を用いることができる。
【００４１】図７に示すように、空気圧シリンダ２１の
後端部にスペーサブロック５１を介して取り付けられる
給気ブロック５２には、圧縮空気源に接続されて給気通
路２８に連通される給気ポート５３に加えて、真空ポン
プに接続される真空ポート７３が形成されている。
後端部にスペーサブロック５１を介して取り付けられる
給気ブロック５２には、圧縮空気源に接続されて給気通
路２８に連通される給気ポート５３に加えて、真空ポン
プに接続される真空ポート７３が形成されている。
【００４２】給気ブロック５２には真空ブロック７４が
取り付けられており、この真空ブロック７４には給気ブ
ロック５２に形成された真空供給路５８と真空ポート７
３とを連通させる真空供給路７５が形成されている。こ
の真空供給路７５を開閉させるために、真空ブロック７
４には真空路開閉用の電磁弁７６が取り付けられ、この
電磁弁７６のプランジャ７７の先端に設けられた弁体７
７ａによって真空供給路７５が開閉されるようになって
おり、電磁弁７６のコイルに通電すると、弁体７７ａが
開かれて、真空ポート７３と吸着具２６とが真空供給路
５８および真空案内路２３ａを介して連通状態となり、
弁体７７ａが閉じられると真空の供給は停止される。
取り付けられており、この真空ブロック７４には給気ブ
ロック５２に形成された真空供給路５８と真空ポート７
３とを連通させる真空供給路７５が形成されている。こ
の真空供給路７５を開閉させるために、真空ブロック７
４には真空路開閉用の電磁弁７６が取り付けられ、この
電磁弁７６のプランジャ７７の先端に設けられた弁体７
７ａによって真空供給路７５が開閉されるようになって
おり、電磁弁７６のコイルに通電すると、弁体７７ａが
開かれて、真空ポート７３と吸着具２６とが真空供給路
５８および真空案内路２３ａを介して連通状態となり、
弁体７７ａが閉じられると真空の供給は停止される。
【００４３】真空ブロック７４には、それぞれ給気ブロ
ック５２に形成された給気ポート５３と真空供給路５８
とを連通させる真空破壊路６９が形成されており、この
真空破壊路６９を開閉するための真空破壊用の電磁弁６
５が真空ブロック７４に取り付けられている。真空破壊
路６９は、電磁弁６５のプランジャ７８の先端に設けら
れた弁体７８ａによって開閉されるようになっており、
電磁弁６５のコイルに通電すると、弁体７８ａが開かれ
て給気ポート５３の圧縮空気は真空供給路５８に供給さ
れて、真空が破壊されることになる。この真空破壊路６
９も前述した場合と同様に、真空破壊路６９の内径を調
整することによって、吸着具２６から電子部品Ｗは吹き
飛ばされることなく、ソフトに所定の位置に落下するよ
うに設定することができる。
ック５２に形成された給気ポート５３と真空供給路５８
とを連通させる真空破壊路６９が形成されており、この
真空破壊路６９を開閉するための真空破壊用の電磁弁６
５が真空ブロック７４に取り付けられている。真空破壊
路６９は、電磁弁６５のプランジャ７８の先端に設けら
れた弁体７８ａによって開閉されるようになっており、
電磁弁６５のコイルに通電すると、弁体７８ａが開かれ
て給気ポート５３の圧縮空気は真空供給路５８に供給さ
れて、真空が破壊されることになる。この真空破壊路６
９も前述した場合と同様に、真空破壊路６９の内径を調
整することによって、吸着具２６から電子部品Ｗは吹き
飛ばされることなく、ソフトに所定の位置に落下するよ
うに設定することができる。
【００４４】このように、給気ブロック５２と真空ブロ
ック７４と真空路開閉用の電磁弁７６と真空破壊用の電
磁弁６５とによって、第２の真空制御ユニット７２が形
成される。
ック７４と真空路開閉用の電磁弁７６と真空破壊用の電
磁弁６５とによって、第２の真空制御ユニット７２が形
成される。
【００４５】第１の真空制御ユニット７１を構成する給
気ブロック５２と真空発生ブロックは、吸着具駆動ユニ
ット４９を構成する空気圧シリンダ２１と同様の幅寸法
を有する長方形の断面形状となっており、第２の真空制
御ユニット７２を構成する給気ブロック５２と真空ブロ
ック７４も空気圧シリンダ２１と同様の幅寸法を有する
長方形の断面形状となっている。したがって、共通の吸
着具駆動ユニット４９に対して、第１の真空制御ユニッ
ト７１と第２の真空制御ユニット７２とのいずれかを装
着することにより、吸着具駆動ユニット４９を共通とし
て、エジェクタを有するタイプの吸着搬送装置と、有し
ないタイプの吸着搬送装置との２種類を組み立てること
ができる。これにより、部品点数を少なくして２種類の
装置を製造することができる。
気ブロック５２と真空発生ブロックは、吸着具駆動ユニ
ット４９を構成する空気圧シリンダ２１と同様の幅寸法
を有する長方形の断面形状となっており、第２の真空制
御ユニット７２を構成する給気ブロック５２と真空ブロ
ック７４も空気圧シリンダ２１と同様の幅寸法を有する
長方形の断面形状となっている。したがって、共通の吸
着具駆動ユニット４９に対して、第１の真空制御ユニッ
ト７１と第２の真空制御ユニット７２とのいずれかを装
着することにより、吸着具駆動ユニット４９を共通とし
て、エジェクタを有するタイプの吸着搬送装置と、有し
ないタイプの吸着搬送装置との２種類を組み立てること
ができる。これにより、部品点数を少なくして２種類の
装置を製造することができる。
【００４６】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。
【００４７】たとえば、図１は本発明の吸着搬送装置が
電子部品の検査装置に使用された場合を示すが、電子部
品を実装基板に搭載するためのチップマウンタなどにも
本発明の吸着搬送装置を適用することができる。また、
吸着搬送装置を１つの吸着搬送組立体によって構成する
ようにしても良く、図４に示すように、４つ以外の任意
の数の吸着搬送組立体によって吸着搬送装置を構成する
ようにしても良い。
電子部品の検査装置に使用された場合を示すが、電子部
品を実装基板に搭載するためのチップマウンタなどにも
本発明の吸着搬送装置を適用することができる。また、
吸着搬送装置を１つの吸着搬送組立体によって構成する
ようにしても良く、図４に示すように、４つ以外の任意
の数の吸着搬送組立体によって吸着搬送装置を構成する
ようにしても良い。
【００４８】
【発明の効果】吸着具を往復動するための空気圧シリン
ダに対して、これに取り付けられた給気ブロックの給気
ポートから中空のピストンロッドを介して真空を供給す
るとともに、この真空を破壊するための空気を供給する
ようにしたので、装置全体を小型化して軽量な装置が得
られた。
ダに対して、これに取り付けられた給気ブロックの給気
ポートから中空のピストンロッドを介して真空を供給す
るとともに、この真空を破壊するための空気を供給する
ようにしたので、装置全体を小型化して軽量な装置が得
られた。
【００４９】装置の外部には圧縮空気を供給するための
ホースや真空を供給するためのホースがはい回されるこ
とがなく、装置全体を移動させる場合に円滑に装置を移
動させることができる。
ホースや真空を供給するためのホースがはい回されるこ
とがなく、装置全体を移動させる場合に円滑に装置を移
動させることができる。
【００５０】任意の数の吸着搬送組立体を積層させるこ
とにより、共通の給気ポートから全ての組立体に対して
圧縮空気を供給することができる。
とにより、共通の給気ポートから全ての組立体に対して
圧縮空気を供給することができる。
【００５１】エジェクタを有するタイプの真空制御ユニ
ットと有しないタイプの真空制御ユニットとを共通の空
気圧シリンダに取り付けることができ、少ない部品点数
によって２種類の装置を組み立てることができる。
ットと有しないタイプの真空制御ユニットとを共通の空
気圧シリンダに取り付けることができ、少ない部品点数
によって２種類の装置を組み立てることができる。
【００５２】先端に吸着具が装着されるピストンロッド
はガイドレールに案内されるので、吸着具を高精度で所
定の位置に位置決めすることができる。
はガイドレールに案内されるので、吸着具を高精度で所
定の位置に位置決めすることができる。
【図１】本発明の一実施の形態である吸着搬送装置を有
する電子部品の検査装置を示す概略平面図である。
する電子部品の検査装置を示す概略平面図である。
【図２】４つの吸着搬送組立体からなる吸着搬送装置を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】（Ａ）は図２の正面図であり、（Ｂ）は同図
（Ａ）の未語側面図である。
（Ａ）の未語側面図である。
【図４】図３（Ａ）の拡大断面図である。
【図５】図５は図４に示されたピストンロッド作動用の
電磁弁を示す断面図である。
電磁弁を示す断面図である。
【図６】他の実施の形態である吸着搬送装置を構成する
吸着搬送組立体を示す斜視図である。
吸着搬送組立体を示す斜視図である。
【図７】図６に示された吸着搬送組立体の一部を拡大し
て示す断面図である。
て示す断面図である。
１８ 吸着搬送装置 １９ 吸着搬送組立体 ２１ 空気圧シリンダ ２３ ピストンロッド ２３ａ 真空案内路 ２４ ガイドレール ２５ スライド部材 ２６ 吸着具 ２７ａ 前進用空気圧室 ２７ｂ 後退用空気圧室 ２８ 給気通路 ３２ 電磁弁（ピストンロッド作動用の電磁弁） ３７ａ，３８ａ 絞り弁 ４１ａ，４２ａ 空気圧室 ４９ 吸着具駆動ユニット ５０ エジェクタ作動用給気路 ５１ スペーサブロック ５２ 給気ブロック ５３ 給気ポート ５４ 真空発生ブロック ５５ ディフューザ ５６ ノズル ５７ 吸引ポート ５８ 真空供給路 ６１ 電磁弁（エジェクタ作動用の電磁弁） ６２ 電磁弁（真空破壊用の電磁弁） ６９ 真空破壊路 ７１ 第１の真空制御ユニット ７２ 第２の真空制御ユニット ７３ 真空ポート ７４ 真空ブロック ７５ 真空供給路 ７６ 電磁弁（真空路開閉用の電磁弁） Ｗ 電子部品
Claims (6)
- 【請求項１】 先端に電子部品を吸着する吸着具が設け
られ、前記吸着具に連通する真空案内路を有する中空の
ピストンロッドを直線往復動する断面四辺形の空気圧シ
リンダと、 前記空気圧シリンダに取り付けられ、前記空気圧シリン
ダに形成されたピストン前進用空気圧室とピストン後退
用空気圧室とに、前記空気圧シリンダに形成された給気
通路からの空気の供給を制御するピストンロッド作動用
の電磁弁と、 圧縮空気源に接続されかつ前記給気通路に接続される給
気ポートを有し、前記空気圧シリンダの後端部に取り付
けられる給気ブロックと、 前記給気ブロックに取り付けられ、ディフューザとこれ
に空気を供給するノズルとからなるエジェクタが内部に
組み込まれた真空発生ブロックと、 前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記給気ポート
から前記ノズルに連通するエジェクタ作動用給気路を開
閉して前記エジェクタの作動を制御するエジェクタ作動
用の電磁弁と、 前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記エジェクタ
により発生した真空を前記吸着具に供給する真空供給路
に連通された真空破壊路を開閉する真空破壊用の電磁弁
とにより吸着搬送組立体を形成し、 前記給気ポートに供給された圧縮空気を前記空気圧シリ
ンダと前記エジェクタの前記ノズルと前記真空破壊路と
に供給することを特徴とする電子部品の吸着搬送装置。 - 【請求項２】 先端に電子部品を吸着する吸着具が設け
られ、前記吸着具に連通する真空案内路を有する中空の
ピストンロッドを直線往復動する断面四辺形の空気圧シ
リンダと、 前記空気圧シリンダに取り付けられ、前記空気圧シリン
ダに形成されたピストン前進用空気圧室とピストン後退
用空気圧室とに、前記空気圧シリンダに形成された給気
通路からの空気の供給を制御するピストンロッド作動用
の電磁弁と、 圧縮空気源に接続されかつ前記給気通路に接続される給
気ポートと真空ポンプに接続される真空ポートとを有
し、前記空気圧シリンダの後端部に取り付けられる給気
ブロックと、 前記給気ブロックに取り付けられ、前記真空ポートに接
続される真空供給路を有する真空ブロックと、 前記真空ブロックに取り付けられ、前記真空供給路を開
閉する真空路開閉用の電磁弁と、 前記真空ブロックに取り付けられ、前記給気ポートと前
記真空供給路とを連通させて前記真空ブロックに形成さ
れた真空破壊路を開閉する真空破壊用の電磁弁とにより
吸着搬送組立体を形成し、 前記給気ポートに供給された圧縮空気を、前記空気圧シ
リンダと前記真空破壊路とに供給することを特徴とする
電子部品の吸着搬送装置。 - 【請求項３】 先端に電子部品を吸着する吸着具が設け
られ、前記吸着具に連通する真空案内路を有する中空の
ピストンロッドを直線往復動する断面四辺形の空気圧シ
リンダと、前記空気圧シリンダに取り付けられ、前記空
気圧シリンダに形成されたピストン前進用空気圧室とピ
ストン後退用空気圧室とに、前記空気圧シリンダに形成
された給気通路からの空気の供給を制御するピストンロ
ッド作動用の電磁弁とにより吸着具駆動ユニットを形成
し、 圧縮空気源に接続されかつ前記給気通路に接続される給
気ポートを有し、前記空気圧シリンダの後端部に取り付
けられる給気ブロックと、前記給気ブロックに取り付け
られ、ディフューザとこれに空気を供給するノズルとか
らなるエジェクタが内部に組み込まれた真空発生ブロッ
クと、前記真空発生ブロックに取り付けられ、前記給気
ポートから前記ノズルに連通するエジェクタ作動用給気
路を開閉して前記エジェクタの作動を制御するエジェク
タ作動用の電磁弁と、前記真空発生ブロックに取り付け
られ、前記エジェクタにより発生した真空を前記吸着具
に供給する真空供給路に連通された真空破壊路を開閉す
る真空破壊用の電磁弁とにより第１の真空制御ユニット
を形成し、 圧縮空気源に接続されかつ前記給気通路に接続される給
気ポートと真空ポンプに接続される真空ポートとを有
し、前記空気圧シリンダの後端部に取り付けられる給気
ブロックと、前記給気ブロックに取り付けられ、前記真
空ポートに接続される真空供給路を有する真空ブロック
と、前記真空ブロックに取り付けられ、前記真空供給路
を開閉する真空路開閉用電磁弁と、前記真空ブロックに
取り付けられ、前記給気ポートと前記真空供給路とを連
通させて前記真空ブロックに形成された真空破壊路を開
閉する真空破壊用の電磁弁とにより第２の真空制御ユニ
ットを形成し、 前記第１の真空制御ユニットと前記第２の真空制御ユニ
ットのいずれかを共通の前記吸着具駆動ユニットに装着
して吸着搬送組立体を形成することを特徴とする電子部
品の吸着搬送装置。 - 【請求項４】 請求項１，２または３のいずれか１項の
電子部品の吸着搬送装置において、前記吸着搬送組立体
の幅寸法を前記空気圧シリンダの幅寸法にほぼ対応した
幅寸法に設定することを特徴とする電子部品の吸着搬送
装置。 - 【請求項５】 請求項１，２，３または４のいずれか１
項の電子部品の吸着搬送装置において、複数の前記吸着
搬送組立体を、それぞれの給気ポートを連通させて積層
することを特徴とする電子部品の吸着搬送装置。 - 【請求項６】 請求項１，２，３，４または５のいずれ
か１項の電子部品の吸着搬送装置において、前記空気圧
シリンダに設けられたガイドレールに沿って直線方向に
往復動するスライド部材に前記ピストンロッドを連結す
ることを特徴とする電子部品の吸着搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10339995A JP2000165094A (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 電子部品の吸着搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10339995A JP2000165094A (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 電子部品の吸着搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000165094A true JP2000165094A (ja) | 2000-06-16 |
Family
ID=18332748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10339995A Pending JP2000165094A (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 電子部品の吸着搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000165094A (ja) |
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1998
- 1998-11-30 JP JP10339995A patent/JP2000165094A/ja active Pending
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