JPH11261294A - 電子部品搭載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多数のワーク保持具を備えた小型の搭載ヘッ
ドを有する電子部品搭載装置を提供する。 【解決手段】 部品供給部の上方と実装基板の上方の間
で水平方向に移動自在の搭載ヘッド１６には、上下動プ
レート２９がねじ軸２８により上下動自在となってお
り、このねじ軸２８は電動モータにより駆動される。上
下動プレート２９には、空気圧シリンダ３５が複数個設
けられ、下端にワーク保持具２４が装着される中空シャ
フト２３が空気圧シリンダ３５により上下動自在となっ
ている。このように、それぞれのワーク保持具２４は電
動モータと空気圧シリンダ３５との合成された駆動によ
って上下動することになる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はＩＣ、ＬＳＩなどの
半導体チップやダイオード、抵抗器などの電子部品を実
装基板に搭載するための電子部品搭載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣやＬＳＩなどの半導体チップやコン
デンサ、ダイオードなどの電子部品を実装基板や検査ボ
ードなどの被搭載部材に搭載するために、マウンタやチ
ップマウンタなどと言われる電子部品搭載装置が使用さ
れる。この搭載装置は、部品供給部に収容された電子部
品を部品供給部に隣接して配置された実装基板に搬送す
るために、水平方向に移動する搭載ヘッドを有してお
り、この搭載ヘッドには上下方向に移動自在にワーク保
持具が取り付けられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ワーク保持具を上下動
するために、従来では、パルスモータなどの電動モータ
を使用したり、空気圧シリンダを使用している。空気圧
シリンダにより上下動するようにした場合には、ピスト
ンロッドを迅速に上下動させることができるとともに、
ピストンロッドの上下動端の位置を高い精度で設定する
ことができる反面、ピストンロッドを中間の位置を高精
度に停止させることができないので、ワーク保持具の下
降限位置を変更することが困難である。

【０００４】電動モータを用いてワーク保持具を上下動
する場合には、高精度で任意の位置にワーク保持具を停
止させることができるが、上下動の速度は空気圧シリン
ダに比して早くすることが困難である。特に、実装基板
に多種類の電子部品を効率的に搭載するためには、搭載
ヘッドに複数のワーク保持具を設けることが望ましい
が、それぞれのワーク保持具を電動モータにより上下動
するには、電動モータをワーク保持具の数だけ設置して
なければならず、搭載ヘッドに取り付けられるワーク保
持具相互の単位長さ当たりのピッチを縮小することに難
点があり、搭載ヘッドの小型化を達成することができな
い。

【０００５】本発明の目的は、多数のワーク保持具を備
えた小型の搭載ヘッドを有する電子部品搭載装置を提供
することにある。

【０００６】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【０００８】すなわち、本発明の電子部品搭載装置は、
部品供給部に収容された電子部品を被搭載部材に搭載す
る電子部品搭載装置であって、前記部品供給部の上方と
前記被搭載部材の上方の間で水平方向に移動自在の搭載
ヘッドと、前記搭載ヘッドに設けられ、電動モータによ
り駆動されるねじ軸により上下方向に駆動される上下動
プレートと、前記上下動プレートに複数設けられ、圧縮
流体により上下方向に駆動されるピストンロッドを有す
る空気圧シリンダと、前記それぞれのピストンロッドに
取り付けられ、下端部に前記電子部品を保持するワーク
保持具が設けられた上下動シャフトとを有し、複数の前
記ワーク保持具を前記電動モータにより同時に上下動す
るとともに、前記空気圧シリンダにより別々に上下動し
て、それぞれの前記ワーク保持具を電動モータと空気圧
シリンダとの複合駆動により上下動するようにしたこと
を特徴とする。

【０００９】本発明にあっては、ワーク保持具をそれぞ
れのワーク保持具に対応させて設けられた空気圧シリン
ダとそれぞれの空気圧シリンダが取り付けられた上下動
プレートを上下動する電動モータとの複合された駆動力
によって上下動するようにしたので、それぞれのワーク
保持具を空気圧シリンダによって迅速に所定の上下動ス
トロークだけ駆動し、ワーク保持具が電子部品に接触し
たり、被搭載部材に接触するときには電動モータの駆動
によりワーク保持具を駆動することができる。電動モー
タによる上下動ストロークを調整することにより、高さ
が相違する種々の電子部品を所定の位置で取り上げて搭
載することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１１】図１はチップマウンタとも言われる電子部
品搭載装置１０の全体を示す斜視図であり、図２は図１
における２−２線に沿う断面図であり、図３は図１にお
ける３−３線に沿う要部拡大断面図であり、図４は図３
における４−４線に沿う矢視図である。

【００１２】電子部品搭載装置１０は、上下方向に延び
る２つのコラム部１１ａ，１１ｂとこれらの上端部に連
結される水平梁部１１ｃとを備えた装置本体１１を有し
ている。コラム部１１ａ，１１ｂおよび水平梁部１１ｃ
は、それぞれ型鋼材により形成された骨格の外側にカバ
ーを取り付けることにより形成されており、装置本体１
１の中央部には貫通孔１２が形成されている。

【００１３】装置本体１１の一方側には部品支持台１３
が固定されており、この部品支持台１３には、図２に示
すように、部品供給部１４が設けられている。図１にあ
っては、部品支持台１３の一方側に設けられた部品供給
部１４が示されているが、図２に示すように、部品供給
部１４は部品支持台１３の両側に設けられている。

【００１４】部品供給部１４には、多数のパーツカセッ
トが装填されるようになっており、それぞれのパーツカ
セットには、それぞれＩＣやＬＳＩの半導体チップやコ
ンデンサ、ダイオードおよび抵抗器などの電子部品を保
持した状態でリール状に巻き付けられたテープが収容さ
れている。搭載される電子部品としては、それをパーツ
カセットに収容するようにしたもの以外に、ステック内
に収容するようにしたものやトレイに収容したものがあ
り、これらは部品支持台１３に装着されることになる。
ステックはマガジンとも言われ断面が矩形となったパイ
プ状のケースであってその中に直線状に電子部品を配置
して収容するようにしたものであり、トレイは電子部品
を平面状に配置して収容するようにしたものである。

【００１５】部品支持台１３の上方には、図２に示すよ
うに、Ｘ軸方向に延びて２本のコンベア１５が設けられ
ており、このコンベア１５によって電子部品が搭載され
る実装基板１５ａが装置本体１１の外部から搬入される
ようになっている。２本のコンベア１５は、実装基板１
５ａのサイズに応じてＹ軸方向に相互に接近離反移動し
て相互間の距離を調整し得るようになっている。ただ
し、図１にあっては、コンベア１５は省略されておい
る。

【００１６】パーツカセットに収容された電子部品を実
装基板１５ａの所定の位置に搭載するために、Ｘ軸方向
とＹ軸方向の水平２軸方向にそれぞれ移動自在に２つの
搭載ヘッド１６が装置本体１１に取り付けられている。

【００１７】水平方向に搭載ヘッド１６を移動させるた
めに、水平梁１１ｃにはＹ軸方向に延びる２本のガイド
レール１７が取り付けられ、それぞれのガイドレール１
７に沿ってＹ軸方向に摺動自在に移動梁１８が装着され
ており、移動梁１８はその基端部側に設けられた摺動ブ
ロック１７ａの部分でガイドレール１７に摺動自在に装
着されている。それぞれの移動梁１８にはＸ軸方向に延
びてガイドレール１９が２本ずつ取り付けられ、ガイド
レール１９に沿ってＸ軸方向に移動自在に搭載ヘッド１
６が装着されている。

【００１８】図２に示すように、装置本体１１にはそれ
ぞれ搭載ヘッド１６を有する移動梁１８が２つ装着され
ているが、図２においては作図の便宜上、それぞれの移
動梁１８のうち、ガイドレール１９のみが示されてい
る。ただし、移動梁１８を１つとして、１つの搭載ヘッ
ド１６を有する部品搭載装置としても良い。ガイドレー
ル１９は、図示するように、片持ち式の移動梁１８の下
部に取り付けられ、移動梁１８の先端部から水平固定梁
１１ｃの下方にまで達しており、ガイドレール１９に吊
り下げられた状態で水平方向に移動する搭載ヘッド１６
は、水平固定梁１１ｃの下方の空間をも利用してＸ軸方
向に広い移動ストロークが確保されるようになってい
る。

【００１９】搭載ヘッド１６は、図４に示すように、そ
れぞれのガイドレール１９に沿って摺動する摺動ブロッ
ク１９ａが固定されるホルダー２１を有しており、この
ホルダー２１は搭載ヘッド本体を構成している。図５は
搭載ヘッド１６の概略構造を示す斜視図であり、図４に
示された搭載ヘッド１６を拡大して示すと図６の通りで
ある。

【００２０】ホルダー２１は、図５に示すように、ガイ
ドレール１９に装着される２つの連結部２１ａと、それ
ぞれの連結部２１ａから上下方向に延びる２つの垂直部
２１ｂと、これらの垂直部２１ｂを連結する水平部２１
ｃとを有している。それぞれの垂直部２１ｂの下端部外
側には、軸受けブロック２２が取り付けられ、それぞれ
の軸受けブロック２２には４本ずつ中空シャフト２３が
それぞれ軸方向に摺動自在となるとともに回転自在とな
って取り付けられている。したがって、１つの搭載ヘッ
ド１６には、図５において符号２３ａ〜２３ｈで示すよ
うに、合計８本の中空シャフト２３が取り付けられてい
る。それぞれの中空シャフト２３の先端にはワーク保持
具２４が装着され、このワーク保持具２４によって電子
部品Ｅは保持される。

【００２１】ホルダー２１の連結部２１ａには支持部材
２７が固定され、この支持部材２７と水平部２１ｃとの
間には、図６に示すように、ねじ軸２８が回転自在に取
り付けられている。このねじ軸２８には上下動プレート
２９が雌ねじ部２９ａの部分でねじ結合されており、ね
じ軸２８を回転駆動することにより、上下動プレート２
９は上下方向に駆動されることになる。上下動プレート
２９を案内するために、図７に示すように、支持部材２
７に固定されたガイドロッド３０が上下動プレート２９
に形成された貫通孔に嵌合している。

【００２２】ねじ軸２８を回転するために、図７に示す
ように、ホルダー２１にモータ３１が固定され、このモ
ータ３１のシャフトに固定されたタイミングプーリ３２
と、ねじ軸２８に固定されたタイミングプーリ３３との
間には、タイミングベルト３４が掛け渡されている。し
たがって、モータ３１を駆動すると、ねじ軸２８により
上下動プレート２９が上下方向に駆動されることにな
る。

【００２３】図８に示すように、上下動プレート２９に
は、８つのワーク保持具２４に対応して８つの空気圧シ
リンダ３５が取り付けられている。それぞれの空気圧シ
リンダ３５は、図６に示すように、シリンダ外周面に形
成された雄ねじを上下動プレート２９に形成された雌ね
じにねじ結合することにより上下動プレート２９に取り
付けられており、それぞれの空気圧シリンダ３５のピス
トンロッド３６の先端部には、駆動レバー３７が固定さ
れており、それぞれの駆動レバー３７は垂直部２１ｂに
形成されたスリットを貫通して垂直部２１ｂの外側に突
出している。

【００２４】それぞれの駆動レバー３７の先端に形成さ
れた貫通孔には、中空シャフト２３が貫通しており、図
６に示すように、中空シャフト２３の大径部３８が駆動
レバー３７に当接し、この駆動レバー３７と中空シャフ
ト２３に固定されたストッパ４１との間には圧縮コイル
ばね４２が装着されている。この圧縮コイルばね４２に
よって中空シャフト２３には下方に向かうばね力が加え
られている。

【００２５】ホルダー２１の一方の垂直部２１ｂには、
図９に示すように、それぞれ圧縮空気の供給と供給停止
とを制御する４つの電磁弁４３が取り付けられており、
それぞれの電磁弁４３の給気ポートはホースを介して、
４つの中空シャフト２３ｅ〜２３ｈに対応した４つの空
気圧シリンダ３５に接続されている。他方の垂直部２１
ｂにも、同様の電磁弁４３が取り付けられ、４つの中空
シャフト２３ａ〜２３ｄに対応した４つの空気圧シリン
ダ３５にホースを介して接続されている。したがって、
空気圧シリンダ３５内に圧縮空気を供給すると、ピスト
ンロッド３６は下方に向けて前進移動し、駆動レバー３
７は下方に駆動される。

【００２６】駆動レバー３７と上下動プレート２９との
間には、引張コイルばね４４が装着されており、それぞ
れの上下動プレート２９には上方に向かうばね力が加え
られている。したがって、圧縮空気の供給を停止して、
空気圧シリンダ３５内と電磁弁４３の排気ポートとを連
通させると、引張コイルばね４４のばね力によって、そ
れぞれの駆動レバー３７は上下動プレート２９に対して
上昇移動することになる。

【００２７】ワーク保持具２４としては、図９に示すよ
うに、先端の開口部から空気を吸引して電子部品Ｅを真
空吸着するようにした吸着ノズル２５と、空気圧によっ
て開閉作動するフィンガーを有するグリップハンド２６
とのいずれをも中空シャフト２３の先端に装着すること
ができる。図９に示された４つの中空シャフト２３の１
つにグリップハンド２６が装着され、他の３つの中空シ
ャフト２３に吸着ノズル２５が装着された状態を示す。

【００２８】部品支持台１３に装填された電子部品Ｅを
ワーク保持具２４により保持する際には、搭載ヘッド１
６を所定の位置まで水平移動させた後に該当する中空シ
ャフト２３を下降移動させ、保持した後には中空シャフ
ト２３を上昇移動させる。そして、実装基板１５ａの所
定の位置まで搭載ヘッド１６を移動した後には、中空シ
ャフト２３を再度下降移動させることになる。したがっ
て、電子部品Ｅはワーク保持具２４に保持された状態で
上昇下降移動と水平移動とを行うことになるが、水平移
動時に他の部材と電子部品Ｅとが干渉すると、電子部品
Ｅはワーク保持具２４から落下してしまうので、ワーク
保持具２４の上下動ストロークは干渉を発生しない程度
の十分な長さに設定することが必要となる。

【００２９】実装基板１５ａに対する電子部品Ｅの搭載
能率の向上を考慮すると、短時間で迅速にワーク保持具
２４を上昇下降移動させることが望ましい。図示する電
子部品搭載装置１０にあっては、モータ３１による上下
動プレート２９の上下動と、これに取り付けられた空気
圧シリンダ３５による上下動との複合化された駆動によ
ってそれぞれの中空シャフト２３を駆動するようにして
いる。

【００３０】空気圧シリンダ３５によるピストンロッド
３６の前進限位置は、ピストンを空気圧シリンダ３５の
ロッドカバーに当接させることにより高い精度で位置決
めすることができるが、中間位置で高い精度でピストン
ロッド３６を位置決めすることは困難である。これに対
して、モータ３１の回転数は高い精度で制御することが
でき、上下動プレート２９は任意の位置で位置決め停止
することができる。そして、空気圧シリンダ３５による
ピストンロッド３６の前進移動の速度は、モータ３１に
よる上下動プレート２９の上下動速度よりも容易に高く
設定することができる。しかも、ワーク保持具２４を下
降移動させて電子部品Ｅに接触する時点での電子部品Ｅ
に加わる衝撃力は、空気圧シリンダ３５による駆動力に
比してモータ３１による駆動力の方が小さく設定するこ
とができる。したがって、図示するように、モータ３１
の駆動と空気圧シリンダ３５の駆動とを複合してワーク
保持具２４を上下動することによって、ワーク保持具２
４の迅速な上下動動作を行いながら、電子部品Ｅに衝撃
力を加えることなく搭載することができる。電子部品Ｅ
の種類によって電子部品Ｅの高さが相違する場合には、
ワーク保持具２４の下降限位置をモータ３１の回転数に
よって任意の調整することができる。

【００３１】それぞれの中空シャフト２３に装着された
ワーク保持具２４が吸着ノズル２５である場合に、吸着
ノズル２５に負圧つまり真空を供給するために、図６に
おいて左右に位置するそれぞれの軸受けブロック２２に
は、エジェクタ式真空ポンプ４５がそれぞれのワーク保
持具２４に対応して４つずつ合計８つ設けられている。
このエジェクタ式真空ポンプ４５は、圧縮空気をディフ
ューザに吹き付けてそこで真空を発生させるようにした
ポンプであり、発生した真空を吸引ポート４６と中空シ
ャフト２３の上端のジョイント部４７との間に接続する
ことにより、ワーク保持具２４の先端の吸着ノズル２５
を真空状態とすることができる。

【００３２】一方、ワーク保持具２４としてグリップハ
ンド２６が中空シャフト２３の先端に装着された場合に
は、エジェクタ式真空ポンプ４５に組み込まれた電磁弁
を作動させて中空シャフト２３に圧縮空気を供給して、
フィンガを開閉動作させることになる。

【００３３】搭載ヘッド１６を移動する際におけるその
位置を検出するために、ホルダー２１にはカメラ４８が
取り付けられており、保持された電子部品Ｅを実装基板
１５ａの所定の位置に搭載する際には、カメラ４８によ
り基準位置が検出されることになる。吸着された電子部
品Ｅがワーク保持具２４に所定の姿勢となって保持され
ることなく、回転した姿勢で保持されることがある。

【００３４】そこで、ワーク保持具２４に保持された電
子部品Ｅの姿勢を検出し、姿勢が所定の姿勢に対して回
転していた場合には、それを所定の位置まで調整する必
要がある。そのため、図９および図１０に示すように、
ホルダー２１にはモータ５１が取り付けられている。一
方、図６に示すように、軸受けブロック２２内には中空
のスプライン軸５２が回転自在に組み込まれており、中
空シャフト２３はスプライン軸５２とともに回転し、こ
のスプライン軸５２に対して上下方向に摺動自在となっ
ている。それぞれの中空シャフト２３に対応したスプラ
イン軸５２には、図９および図１０に示すように、タイ
ミングプーリ５３が固定されており、モータ５１のシャ
フトに固定されたタイミングプーリ５４と合計８つのタ
イミングプーリ５３とには、連続的にタイミングベルト
５５が掛け渡されている。したがって、モータ５１を駆
動すると、それぞれのワーク保持具２４が回転され、ワ
ーク保持具２４に吸着保持された電子部品Ｅの回転方向
の姿勢を変更することができる。なお、図１０において
符号５６はアイドルプーリを示す。

【００３５】図１１は、図６に示すように、ホルダー２
１の２つの垂直部２１ｂの外側にそれぞれ４つずつ設け
られたエジェクタ式真空ポンプ４５の内部構造を示す空
気圧回路図である。図示するように、圧縮空気が供給さ
れる給気ポート６１と吸引ポート４６との間には、真空
発生用電磁弁６２と真空破壊用電磁弁６３とが設けられ
ており、真空発生用電磁弁６２がオンさせると、ディフ
ューザを有するエジェクタ部６４に圧縮空気が吹き付け
られて、エジェクタ部６４に真空が発生する。これによ
り、吸引ポート４６の空気はフィルタ６５および逆止弁
を介してエジェクタ部６４に流入することになり、吸着
ノズル２５の先端に電子部品Ｅが吸着されると、吸引ポ
ート４６は真空状態つまり負圧状態となる。吸引ポート
４６の圧力を圧力センサ６６により検出することによっ
て、電子部品Ｅが吸着ノズル２５に保持されたか否かを
検出することができる。

【００３６】吸着ノズル２５に吸着された電子部品Ｅを
外す際には、真空破壊用電磁弁６３をオンさせて、給気
ポート６１からの圧縮空気を吸引ポート４６に案内す
る。真空破壊用電磁弁６３に供給される圧縮空気の量は
可変絞り弁６７によって制御されるようになっている。
なお、エジェクタ部６４から排出される空気はマフラ６
８で消音された後に外部に排出される。

【００３７】ワーク保持具２４として吸着ノズル２５を
使用した場合には、吸引ポート４６を真空状態として電
子部品Ｅを真空吸着して保持することになる。一方、ワ
ーク保持具２４としてグリップハンド２６を使用する場
合には、図１１に示す真空発生用電磁弁６２を作動させ
ることなく、真空破壊用電磁弁６２をオンオフしてグリ
ップハンド２６に圧縮空気を供給することにより、グリ
ップハンド２６に設けられたフィンガーを開閉させて電
子部品Ｅを保持することになる。

【００３８】次に、前述した電子部品搭載装置１０を用
いて実装基板１５ａに電子部品Ｅを搭載する手順につい
て説明する。

【００３９】１つの電子部品搭載装置１０に設けられた
２つの搭載ヘッド１６は、それぞれガイドレール１７に
沿って移動梁１８をＹ軸方向に移動させるとともに、移
動梁１８に設けられたガイドレール１９に沿って搭載ヘ
ッド１６をＸ軸方向に移動させることにより、水平方向
に移動することになる。図示するように、２つの搭載ヘ
ッド１６が設けられた場合には、搭載ヘッド１６が相互
に干渉しないように、それぞれの水平方向の移動を制御
する。

【００４０】それぞれの搭載ヘッド１６は、まず、部品
供給部１４の所定の位置に移動され、搭載ヘッド１６に
設けられた８つのワーク保持具２４のいずれかを所定の
電子部品Ｅの上端に位置決めする。その状態で、そのワ
ーク保持具２４に対応する空気圧シリンダ３５を作動さ
せて、駆動レバー３７を介して中空シャフト２３を下降
移動させる。そして、モータ３１を駆動して上下動プレ
ート２９を下降移動させる。エジェクタ式真空ポンプ４
５内における所定の真空発生用電磁弁６２には所定のタ
イミングで制御信号が送られ、エジェクタ部６４には圧
縮空気が供給されて、吸引ポート４６は負圧状態となっ
ている。

【００４１】空気圧シリンダ３５により中空シャフト２
３を下降移動させた後に、モータ３１により中空シャフ
ト２３を下降移動させることによって、吸着ノズル２５
の先端が電子部品Ｅに接触するときには、吸着ノズル２
５をゆっくりと接触させることができ、吸着ノズル２５
が電子部品Ｅに衝撃力を加えることを防止することがで
きる。吸着ノズル２５の先端の停止位置と電子部品Ｅの
表面との間における誤差は、中空シャフト２３がばね４
２のばね力に抗して上昇することにより吸収される。吸
着ノズル２５が電子部品Ｅの表面に接触すると、この先
端から内部に流入する空気によって電子部品Ｅは吸着ノ
ズル２５の先端に真空吸着される。

【００４２】次いで、モータ３１を逆転させて上下動プ
レート２９を上昇移動させるとともに、空気圧シリンダ
３５内の圧縮空気を外部に排出することにより、引っ張
りコイルばね４４のばね力により駆動レバー３７を上昇
移動させて、中空シャフト２３を上昇移動させる。この
上昇移動時には上下動プレート２９の駆動と、空気圧シ
リンダ３５の作動とを同時に行うようにしても良い。こ
のようにして、ワーク保持具２４を上昇移動させなが
ら、あるいは上昇移動が完了した後に、搭載ヘッド１６
を水平方向に移動させて、実装基板１５ａの所定の位置
で搭載ヘッド１６を停止させる。

【００４３】この状態で、電子部品Ｅが保持された中空
シャフト２３を上述した場合と同様にして、下降移動さ
せることにより、電子部品Ｅを実装基板１５ａに配置す
ることができる。吸着ノズル２５に吸着保持された電子
部品Ｅは、図１１に示す真空破壊用電磁弁６３をオンさ
せることにより、吸着ノズル２５から外れて実装基板１
５ａに載置される。

【００４４】ワーク保持具２４としてグリップハンド２
６が使用される場合には、所定のタイミングで真空破壊
用電磁弁６３をオンオフして、グリップハンド２６に圧
縮空気を供給することにより、電子部品Ｅを掴んで保持
することができる。グリップハンド２６を作動させる場
合と真空破壊を行う場合とで、吸引ポート４６に供給す
る圧縮空気の量を変化させる場合には、絞り弁６７を調
整する。

【００４５】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４６】たとえば、本発明の電子部品搭載装置は、
図示する場合には、複数種類の電子部品Ｅを実装基板１
５ａに搭載するために適用されているが、テストボード
を被搭載部材としてこれに特定の電子部品を搭載する場
合にも本発明を適用するようにしても良い。また、１つ
の搭載ヘッド１６に８つの中空シャフト２３を設けるよ
うにしているが、８つに限られず任意の数に設定するこ
とが可能である。また、図示する場合にはワーク保持具
２４を上下動シャフトとしての中空シャフト２３の下端
部に取り付けるようにして中空シャフト２３内の孔を利
用してワーク保持具２４を作動させる流体を案内するよ
うにしたが、シャフトを中空とすることなく、その下端
部に取り付けられたワーク保持具２４に対してホースな
どにより直接流体を供給するようにしても良い。

【００４７】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００４８】(1).多数のワーク保持具をそれぞれ上下動
プレートに取り付けられた空気圧シリンダで上下動する
とともに、電動モータにより上下動プレートを同時に上
下動するようにしたので、ワーク保持具は空気圧シリン
ダとモータとの複合化された駆動力により上下動するこ
とになり、迅速にワーク保持具を上下動しつつ任意の位
置で高精度に位置決めすることができる。

【００４９】(2).ワーク保持具を下降移動させて電子部
品に接触させるときおよび実装基板に接触させるときに
は、まず、ワーク保持具を空気圧シリンダにより下降移
動させた後に、ワーク保持具が下降限位置に接近した
ら、電動モータの駆動によりワーク保持具を下降移動さ
せるようにしたので、空気圧シリンダによる下降速度よ
りもモータによって遅く下降させることができ、ワーク
保持具により電子部品に衝撃力が加わることを防止する
ことができる。

【００５０】(3).多数のワーク保持具を有する搭載ヘッ
ドを小型化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】電子部品搭載装置の全体を示す斜視図である。

【図２】図１における２−２線に沿う断面図である。

【図３】図１における３−３線に沿う断面図である。

【図４】図３における４−４線に沿う断面図である。

【図５】図３および図４に示された搭載ヘッドを示す斜
視図である。

【図６】図４における要部拡大断面図である。

【図７】図６における７−７線に沿う断面図である。

【図８】図６における８−８線に沿う断面図である。

【図９】図６における９−９線に沿う断面図である。

【図１０】図９における１０−１０線に沿う断面図であ
る。

【図１１】エジェクタ式真空ポンプの内部構造を示す空
気圧回路図である。

【符号の説明】

１０ 電子部品搭載装置 １１ 装置本体 １２ 貫通孔 １３ 部品支持台 １４ 部品供給装部 １５ コンベア １５ａ 実装基板（被搭載部材） １６ 搭載ヘッド １７ ガイドレール １７ａ 摺動ブロック １８ 移動梁 １９ ガイドレール １９ａ 摺動ブロック ２１ ホルダー ２２ 軸受けブロック ２３ 中空シャフト（上下動シャフト） ２４ ワーク保持具 ２５ 吸着ノズル ２６ グリップハンド ２７ 支持部材 ２８ ねじ軸 ２９ 上下動プレート ３０ ガイドロッド ３１ モータ ３２，３３ タイミングプーリ ３４ タイミングベルト ３５ 空気圧シリンダ ３６ ピストン ３７ 駆動レバー ３８ 大径部 ４１ ストッパ ４２ 圧縮コイルばね ４３ 電磁弁 ４４ 引っ張りコイルばね ４５ エジェクタ式真空ポンプ ４６ 吸引ポート ４７ ジョイント部 ４８ カメラ ５１ モータ ５２ スプライン軸 ５３，５４ タイミングプーリ ５５ タイミングベルト ５６ アイドルプーリ ６１ 電動モータ ６２ 真空発生用電磁弁 ６３ 真空破壊用電磁弁 ６４ エジェクタ部 ６５ フィルタ ６６ 圧力センサ ６７ 可変絞り弁 ６８ マフラ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 部品供給部に収容された電子部品を被搭
   載部材に搭載する電子部品搭載装置であって、 前記部品供給部の上方と前記被搭載部材の上方の間で水
   平方向に移動自在の搭載ヘッドと、 前記搭載ヘッドに設けられ、電動モータにより駆動され
   るねじ軸により上下方向に駆動される上下動プレート
   と、 前記上下動プレートに複数設けられ、圧縮流体により上
   下方向に駆動されるピストンロッドを有する空気圧シリ
   ンダと、 前記それぞれのピストンロッドに取り付けられ、下端部
   に前記電子部品を保持するワーク保持具が設けられた上
   下動シャフトとを有し、 複数の前記ワーク保持具を前記電動モータにより同時に
   上下動するとともに、前記空気圧シリンダにより別々に
   上下動して、それぞれの前記ワーク保持具を電動モータ
   と空気圧シリンダとの複合駆動により上下動するように
   したことを特徴とする電子部品搭載装置。