JPH0516048A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
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- JPH0516048A JPH0516048A JP17225791A JP17225791A JPH0516048A JP H0516048 A JPH0516048 A JP H0516048A JP 17225791 A JP17225791 A JP 17225791A JP 17225791 A JP17225791 A JP 17225791A JP H0516048 A JPH0516048 A JP H0516048A
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- substrate
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、縦型ステ−ジ上にワ−クを精度よ
く位置決めすることができる位置決め装置を提供するこ
とを目的とする。 【構成】基板Ｗを保持する保持面２ａがほぼ垂直に形成
された縦型ステ−ジ２と、上記保持面２ａに突設されこ
の保持面２ａに供給された基板Ｗを位置決めするための
複数の固定ピン１２ａ、１２ｂと、上記保持面２ａから
加圧流体を噴出させこの流体の流れによって上記ワ−ク
を上記保持面に非接触状態で保持する供給ポンプ１１
と、この供給ポンプ１１によって上記保持面２ａに非接
触状態で保持された基板Ｗを上記固定ピン１２ａ、１２
ｂ押し付けて位置決めする可動ピン１８と、この可動ピ
ン１８によって位置決めされた基板Ｗを上記保持面２ａ
に吸着保持する真空ポンプ６とを具備したことを特徴と
する。
く位置決めすることができる位置決め装置を提供するこ
とを目的とする。 【構成】基板Ｗを保持する保持面２ａがほぼ垂直に形成
された縦型ステ−ジ２と、上記保持面２ａに突設されこ
の保持面２ａに供給された基板Ｗを位置決めするための
複数の固定ピン１２ａ、１２ｂと、上記保持面２ａから
加圧流体を噴出させこの流体の流れによって上記ワ−ク
を上記保持面に非接触状態で保持する供給ポンプ１１
と、この供給ポンプ１１によって上記保持面２ａに非接
触状態で保持された基板Ｗを上記固定ピン１２ａ、１２
ｂ押し付けて位置決めする可動ピン１８と、この可動ピ
ン１８によって位置決めされた基板Ｗを上記保持面２ａ
に吸着保持する真空ポンプ６とを具備したことを特徴と
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はワ−クを縦型ステ−ジ
に精度よく位置決めするための位置決め装置に関する。
に精度よく位置決めするための位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、クリ−ンル−ム内で行われる
半導体装置の製造においては、ワ−クとしての矩形板状
の基板を、縦型ステ−ジの保持面にミクロンオ−ダの精
度で位置決めすることが要求されることがある。
半導体装置の製造においては、ワ−クとしての矩形板状
の基板を、縦型ステ−ジの保持面にミクロンオ−ダの精
度で位置決めすることが要求されることがある。
【０００３】従来、このような位置決めを行うには、プ
リアライメント方式が採用されていた。つまり、プリア
ライメント装置は水平な保持面を有する。この保持面に
は基板が供給され、この基板は所定の精度に仮位置決め
される。仮位置決めされた基板は、搬送手段によって搬
送され、縦型ステ−ジの垂直に形成された保持面に受け
渡され、この保持面に位置決めされるようになってい
る。
リアライメント方式が採用されていた。つまり、プリア
ライメント装置は水平な保持面を有する。この保持面に
は基板が供給され、この基板は所定の精度に仮位置決め
される。仮位置決めされた基板は、搬送手段によって搬
送され、縦型ステ−ジの垂直に形成された保持面に受け
渡され、この保持面に位置決めされるようになってい
る。
【０００４】ところで、上記縦型ステ−ジの保持面にお
ける基板の位置決め精度は、プリアライメント装置の保
持面における位置決め精度に比例する。しかしながら、
プリアライメント装置で位置決めされた基板は搬送手段
を介して縦型ステ−ジに受け渡される。そのため、受け
渡し時に位置ずれが生じ、それが位置決め精度を低下さ
せる要因となる。このような位置決め精度の低下をなく
すためには、基板をプリアライメントすることなく、直
接、縦型ステ−ジの保持面に位置決めすればよい。
ける基板の位置決め精度は、プリアライメント装置の保
持面における位置決め精度に比例する。しかしながら、
プリアライメント装置で位置決めされた基板は搬送手段
を介して縦型ステ−ジに受け渡される。そのため、受け
渡し時に位置ずれが生じ、それが位置決め精度を低下さ
せる要因となる。このような位置決め精度の低下をなく
すためには、基板をプリアライメントすることなく、直
接、縦型ステ−ジの保持面に位置決めすればよい。
【０００５】上記基板を保持面に対して非接触で保持し
て位置決めすれば、発塵や摩擦抵抗の増大を招くことが
なくなる。しかしながら、縦型ステ−ジの保持面は垂直
であるから、基板を上記保持面から落下させることな
く、保持面に非接触で保持して位置決めすることが難し
いということがある。
て位置決めすれば、発塵や摩擦抵抗の増大を招くことが
なくなる。しかしながら、縦型ステ−ジの保持面は垂直
であるから、基板を上記保持面から落下させることな
く、保持面に非接触で保持して位置決めすることが難し
いということがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は、
縦型ステ−ジの保持面にワ−クを非接触で保持して位置
決めするということが行われていなかった。
縦型ステ−ジの保持面にワ−クを非接触で保持して位置
決めするということが行われていなかった。
【０００７】この発明は上記事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、縦型ステ−ジの保持面
にワ−クを非接触状態で保持しながら位置決めすること
ができるとともに、位置決めされたワ−クを上記保持面
に位置ずれしないよう保持固定できるようにした位置決
め装置を提供することにある。
ので、その目的とするところは、縦型ステ−ジの保持面
にワ−クを非接触状態で保持しながら位置決めすること
ができるとともに、位置決めされたワ−クを上記保持面
に位置ずれしないよう保持固定できるようにした位置決
め装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、ワ−クを保持する保持面がほぼ垂直に形
成された縦型ステ−ジと、上記保持面に突設されこの保
持面に供給されたワ−クを位置決めするための複数の位
置決め部材と、上記保持面から加圧流体を噴出させこの
流体の流れによって上記ワ−クを上記保持面に非接触状
態で保持する流体供給手段と、この流体供給手段によっ
て上記保持面に非接触状態で保持されたワ−クを上記位
置決め部材に押し付けて位置決めする押圧手段と、この
押圧手段によって位置決めされたワ−クを上記保持面に
吸着保持する吸着手段とを具備したことを特徴とする。
にこの発明は、ワ−クを保持する保持面がほぼ垂直に形
成された縦型ステ−ジと、上記保持面に突設されこの保
持面に供給されたワ−クを位置決めするための複数の位
置決め部材と、上記保持面から加圧流体を噴出させこの
流体の流れによって上記ワ−クを上記保持面に非接触状
態で保持する流体供給手段と、この流体供給手段によっ
て上記保持面に非接触状態で保持されたワ−クを上記位
置決め部材に押し付けて位置決めする押圧手段と、この
押圧手段によって位置決めされたワ−クを上記保持面に
吸着保持する吸着手段とを具備したことを特徴とする。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、保持面に供給されたワ−ク
は位置決め部材によって保持面から落下するのが防止さ
れ、その状態で上記保持面から噴出される流体によって
非接触で保持して位置決めすることができ、ついでワ−
クを上記保持面に吸着保持することができる。
は位置決め部材によって保持面から落下するのが防止さ
れ、その状態で上記保持面から噴出される流体によって
非接触で保持して位置決めすることができ、ついでワ−
クを上記保持面に吸着保持することができる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。
説明する。
【００１１】図１に示す位置決め装置は中空箱型状のベ
−ス１を備えている。このベ−ス１の垂直な一側面１ａ
には、この一側面１ａから図２にＡにて示す所定寸法突
出した縦型ステ−ジ２が設けられている。この縦型ステ
−ジ２の保持面２ａには図３に示すように、中心部から
周辺部にゆくにつれて大きくなる複数、この実施例では
４つの矩形溝３ａ〜３ｄが形成されている。
−ス１を備えている。このベ−ス１の垂直な一側面１ａ
には、この一側面１ａから図２にＡにて示す所定寸法突
出した縦型ステ−ジ２が設けられている。この縦型ステ
−ジ２の保持面２ａには図３に示すように、中心部から
周辺部にゆくにつれて大きくなる複数、この実施例では
４つの矩形溝３ａ〜３ｄが形成されている。
【００１２】上記縦型ステ−ジ２には、上記各矩形溝３
ａ〜３ｄに一端を連通させたそれぞれ一対の第１乃至第
４の吸引孔４ａ〜４ｄが保持面２ａの上下方向に対して
対称に穿設されている。第１乃至第４の吸引孔４ａ〜４
ｄは、それぞれ第１乃至第４の切換え制御弁５ａ〜５ｄ
を介して真空ポンプ６に接続されている。各切換え制御
弁５ａ〜５ｄは制御装置７によって後述するごとく開閉
制御され、また上記真空ポンプ６も上記制御装置７によ
って駆動制御されるようになっている。
ａ〜３ｄに一端を連通させたそれぞれ一対の第１乃至第
４の吸引孔４ａ〜４ｄが保持面２ａの上下方向に対して
対称に穿設されている。第１乃至第４の吸引孔４ａ〜４
ｄは、それぞれ第１乃至第４の切換え制御弁５ａ〜５ｄ
を介して真空ポンプ６に接続されている。各切換え制御
弁５ａ〜５ｄは制御装置７によって後述するごとく開閉
制御され、また上記真空ポンプ６も上記制御装置７によ
って駆動制御されるようになっている。
【００１３】上記保持面２ａの中央部分には噴出孔８が
穿設されている。この噴出孔８は開閉制御弁９を介して
圧縮空気を供給する供給ポンプ１１に接続されている。
この開閉制御弁９と上記供給ポンプ１１とは上記制御装
置７によって後述するごとく制御されるようになってい
る。
穿設されている。この噴出孔８は開閉制御弁９を介して
圧縮空気を供給する供給ポンプ１１に接続されている。
この開閉制御弁９と上記供給ポンプ１１とは上記制御装
置７によって後述するごとく制御されるようになってい
る。
【００１４】上記ベ−ス１には、上記保持面２ａの下辺
に対応する部分に一対の固定ピン１２ａが突設され、一
方の側辺に対応する部分に１つの固定ピン１２ｂが突設
されている。これら固定ピン１２ａ、１２ｂは図２に示
すようにベ−ス１の上記一側面１ａを形成した側壁１ｂ
にボ−ルブッシュ１３によって回転自在かつ軸方向にス
ライド自在に支持されている。固定ピン１２ａ、１２ｂ
のベ−ス１内に位置した一端には、各固定ピンがベ−ス
１から抜出するのを防止するナット１４が設けられ、保
持面２ａ側に突出した他端部には鍔１５が形成されてい
る。この鍔１５と上記ボ−ルブッシュ１３の端面との間
には固定ピン１２ａ、１２ｂを突出方向に付勢したばね
１６が設けられている。
に対応する部分に一対の固定ピン１２ａが突設され、一
方の側辺に対応する部分に１つの固定ピン１２ｂが突設
されている。これら固定ピン１２ａ、１２ｂは図２に示
すようにベ−ス１の上記一側面１ａを形成した側壁１ｂ
にボ−ルブッシュ１３によって回転自在かつ軸方向にス
ライド自在に支持されている。固定ピン１２ａ、１２ｂ
のベ−ス１内に位置した一端には、各固定ピンがベ−ス
１から抜出するのを防止するナット１４が設けられ、保
持面２ａ側に突出した他端部には鍔１５が形成されてい
る。この鍔１５と上記ボ−ルブッシュ１３の端面との間
には固定ピン１２ａ、１２ｂを突出方向に付勢したばね
１６が設けられている。
【００１５】上記ベ−ス１の保持面２ａの他方の側辺に
対応する部分には、ベ−ス１の水平方向に沿って細長い
ガイド孔１７が穿設されている。このガイド孔１７には
可動ピン１８がスライド自在に設けられている。この可
動ピン１８のベ−ス１内に位置する一端部には連結片１
９が固着され、この連結片１９には上記制御装置７によ
って制御される駆動シリンダ２１のロッド２２が連結さ
れている。上記可動ピン１８は、上記駆動シリンダ２１
によって上記ガイド孔１７に沿う方向に駆動されるよう
になっている。
対応する部分には、ベ−ス１の水平方向に沿って細長い
ガイド孔１７が穿設されている。このガイド孔１７には
可動ピン１８がスライド自在に設けられている。この可
動ピン１８のベ−ス１内に位置する一端部には連結片１
９が固着され、この連結片１９には上記制御装置７によ
って制御される駆動シリンダ２１のロッド２２が連結さ
れている。上記可動ピン１８は、上記駆動シリンダ２１
によって上記ガイド孔１７に沿う方向に駆動されるよう
になっている。
【００１６】つぎに、上記構成の位置決め装置によって
ワ−クである矩形状の基板Ｗを保持面２ａに位置決め固
定する動作を説明する。まず、可動ピン１８が保持面２
ａから退避する方向に駆動された状態で、図示しない搬
送装置によって基板Ｗが上記保持面２ａに供給される。
それと同時に、供給ポンプ１１および開閉制御弁９が作
動して保持面２ａの中央部に穿設された噴出孔８から圧
縮空気が噴出させられる。この圧縮空気は保持面２ａと
基板Ｗとの対向面間を通って基板Ｗの周辺部から流出す
る。それによって、上記基板Ｗの保持面２ａと対向する
一方の面側が他方の面側に比べて圧力が低下する、いわ
ゆるベルヌ−イ効果が生じるから、その圧力差によって
基板Ｗは保持面２ａに非接触状態で保持される。
ワ−クである矩形状の基板Ｗを保持面２ａに位置決め固
定する動作を説明する。まず、可動ピン１８が保持面２
ａから退避する方向に駆動された状態で、図示しない搬
送装置によって基板Ｗが上記保持面２ａに供給される。
それと同時に、供給ポンプ１１および開閉制御弁９が作
動して保持面２ａの中央部に穿設された噴出孔８から圧
縮空気が噴出させられる。この圧縮空気は保持面２ａと
基板Ｗとの対向面間を通って基板Ｗの周辺部から流出す
る。それによって、上記基板Ｗの保持面２ａと対向する
一方の面側が他方の面側に比べて圧力が低下する、いわ
ゆるベルヌ−イ効果が生じるから、その圧力差によって
基板Ｗは保持面２ａに非接触状態で保持される。
【００１７】上記保持面２ａに非接触状態で保持された
基板Ｗは自重によって落下方向にスライドしようとする
が、保持面２ａの下辺側に設けられた一対の固定ピン１
２ａによって保持面２ａからの落下が阻止される。
基板Ｗは自重によって落下方向にスライドしようとする
が、保持面２ａの下辺側に設けられた一対の固定ピン１
２ａによって保持面２ａからの落下が阻止される。
【００１８】基板Ｗを保持面２ａに非接触状態で保持し
たならば、その状態を維持しつつ駆動シリンダ２１を作
動させて可動ピン１８を基板Ｗの方向へ駆動する。可動
ピン１８は上記基板Ｗの一側辺を押圧し、この基板Ｗの
下辺および他側辺をそれぞれ固定ピン１２ａ、１２ｂに
押し付けるから、基板Ｗは保持面２ａの所定の位置に位
置決めされる。
たならば、その状態を維持しつつ駆動シリンダ２１を作
動させて可動ピン１８を基板Ｗの方向へ駆動する。可動
ピン１８は上記基板Ｗの一側辺を押圧し、この基板Ｗの
下辺および他側辺をそれぞれ固定ピン１２ａ、１２ｂに
押し付けるから、基板Ｗは保持面２ａの所定の位置に位
置決めされる。
【００１９】ついで、真空ポンプ６が作動するとともに
切換え弁５ａ〜５ｄが所定時間遅延して順次切換えられ
ることで、第１乃至第４の吸引孔４ａ〜４ｄに順次吸引
力が発生し、その吸引力が各吸引孔４ａ〜４ｄに連通し
た矩形溝３ａ〜３ｄに及ぶから、基板Ｗが保持面２ａに
吸引固定される。
切換え弁５ａ〜５ｄが所定時間遅延して順次切換えられ
ることで、第１乃至第４の吸引孔４ａ〜４ｄに順次吸引
力が発生し、その吸引力が各吸引孔４ａ〜４ｄに連通し
た矩形溝３ａ〜３ｄに及ぶから、基板Ｗが保持面２ａに
吸引固定される。
【００２０】上記可動ピン１８によって基板Ｗを位置決
めする際、基板Ｗは一対の固定ピン１２ａと接触しなが
ら移動するものの、上記固定ピン１２ａは回転自在に設
けられているから、これらの間に大きな摩擦力が発生す
ることがない。また、基板Ｗが保持面２ａに吸引される
際には、固定ピン１２ａ、１２ｂと接触しながら移動す
ることになるが、各固定ピン１２ａ、１２ｂは軸方向に
移動自在に設けられているため、基板Ｗとともに変位す
るから、その場合も基板Ｗとの間に摩擦力が発生するこ
とがない。
めする際、基板Ｗは一対の固定ピン１２ａと接触しなが
ら移動するものの、上記固定ピン１２ａは回転自在に設
けられているから、これらの間に大きな摩擦力が発生す
ることがない。また、基板Ｗが保持面２ａに吸引される
際には、固定ピン１２ａ、１２ｂと接触しながら移動す
ることになるが、各固定ピン１２ａ、１２ｂは軸方向に
移動自在に設けられているため、基板Ｗとともに変位す
るから、その場合も基板Ｗとの間に摩擦力が発生するこ
とがない。
【００２１】一方、上記各切換え弁５ａ〜５ｄは時間的
に順次遅延して作動させられる。それによって、保持面
２ａには内側の矩形溝３ａから順次外側の矩形溝３ｂ、
３ｃ、３ｄへと吸引力が発生する。それによって、基板
Ｗは、その中心部が保持面２ａに吸着されてから、順次
周辺部へと吸着力が作用するため、基板２ａに歪みを生
じさせることなく、上記保持面２ａに吸着保持すること
ができる。
に順次遅延して作動させられる。それによって、保持面
２ａには内側の矩形溝３ａから順次外側の矩形溝３ｂ、
３ｃ、３ｄへと吸引力が発生する。それによって、基板
Ｗは、その中心部が保持面２ａに吸着されてから、順次
周辺部へと吸着力が作用するため、基板２ａに歪みを生
じさせることなく、上記保持面２ａに吸着保持すること
ができる。
【００２２】なお、上記一実施例では保持面に噴出孔と
吸引孔とを別に形成したが、基板には１つの貫通孔を穿
設し、この貫通孔に真空ポンプと吸引ポンプとを切換え
弁を介して選択的に連通させることができる構成として
もよい。また、保持面には吸引孔に連通する矩形溝を形
成しなくてもよく、形成する場合には矩形以外の円形状
などの形状であってもよい。
吸引孔とを別に形成したが、基板には１つの貫通孔を穿
設し、この貫通孔に真空ポンプと吸引ポンプとを切換え
弁を介して選択的に連通させることができる構成として
もよい。また、保持面には吸引孔に連通する矩形溝を形
成しなくてもよく、形成する場合には矩形以外の円形状
などの形状であってもよい。
【００２３】また、保持面に設けられる固定ピンの数や
配置状態はなんら限定されず、また可動ピンのスライド
方向は水平方向に限られずに、斜め下方に向かってスラ
イドするようにしてもよく、要は基板を固定ピンに押し
付けて位置決めすることができればよい。
配置状態はなんら限定されず、また可動ピンのスライド
方向は水平方向に限られずに、斜め下方に向かってスラ
イドするようにしてもよく、要は基板を固定ピンに押し
付けて位置決めすることができればよい。
【００２４】また、ワ−クとして矩形状の基板をあげた
が、他の形状のワ−クであってもよく、たとえばオリフ
ラ付きのウエハなどの位置決めにもこの発明を適用する
ことができる。
が、他の形状のワ−クであってもよく、たとえばオリフ
ラ付きのウエハなどの位置決めにもこの発明を適用する
ことができる。
【００２５】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、縦型ステ
−ジに形成されたワ−クを保持するための保持面に位置
決め部材と押圧手段とを設け、ワ−クを上記保持面に非
接触で保持した状態で上記押圧手段により位置決め部材
に押圧して位置決めしてから、このワ−クを上記保持面
に真空吸着して保持固定するようにした。
−ジに形成されたワ−クを保持するための保持面に位置
決め部材と押圧手段とを設け、ワ−クを上記保持面に非
接触で保持した状態で上記押圧手段により位置決め部材
に押圧して位置決めしてから、このワ−クを上記保持面
に真空吸着して保持固定するようにした。
【００２６】そのため、ワ−クと保持面との間に摩擦力
を生じることなく上記ワ−クを位置決めできるから、塵
埃の発生や摩擦力による位置決め精度の低下などを招く
ことがない。また、ワ−クが保持面に非接触で保持され
た状態において、ワ−クは上記位置決め部材により保持
面から自重によって落下するのが阻止されるから、縦型
ステ−ジの保持面にワ−クを確実に位置決め固定するこ
とが可能となる。
を生じることなく上記ワ−クを位置決めできるから、塵
埃の発生や摩擦力による位置決め精度の低下などを招く
ことがない。また、ワ−クが保持面に非接触で保持され
た状態において、ワ−クは上記位置決め部材により保持
面から自重によって落下するのが阻止されるから、縦型
ステ−ジの保持面にワ−クを確実に位置決め固定するこ
とが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例の全体構成の斜視図。
【図２】図１のＸ−Ｘ線に沿う断面図。
【図３】縦型ステ−ジが形成されたベ−スの平面図。
【図４】保持面に正圧と負圧を選択的に発生させるため
の制御系の構成図。
の制御系の構成図。
【符号の説明】 ２…縦ステ−ジ、２ａ…保持面、４ａ〜４ｄ……吸引孔
（吸着手段）、６…真空ポンプ（吸着手段）、８…噴出
孔（流体供給手段）、１１…供給ポンプ（流体供給手
段）、１２ａ、１２ｂ…固定ピン（位置決め部材）、１
８…可動ピン（押圧手段）、Ｗ…ワ−ク。
（吸着手段）、６…真空ポンプ（吸着手段）、８…噴出
孔（流体供給手段）、１１…供給ポンプ（流体供給手
段）、１２ａ、１２ｂ…固定ピン（位置決め部材）、１
８…可動ピン（押圧手段）、Ｗ…ワ−ク。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 ワ−クを保持する保持面がほぼ垂直に形
成された縦型ステ−ジと、上記保持面に突設されこの保
持面に供給されたワ−クを位置決めするための複数の位
置決め部材と、上記保持面から加圧流体を噴出させこの
流体の流れによって上記ワ−クを上記保持面に非接触状
態で保持する流体供給手段と、この流体供給手段によっ
て上記保持面に非接触状態で保持されたワ−クを上記位
置決め部材に押し付けて位置決めする押圧手段と、この
押圧手段によって位置決めされたワ−クを上記保持面に
吸着保持する吸着手段とを具備したことを特徴とする位
置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03172257A JP3078041B2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03172257A JP3078041B2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0516048A true JPH0516048A (ja) | 1993-01-26 |
| JP3078041B2 JP3078041B2 (ja) | 2000-08-21 |
Family
ID=15938543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03172257A Expired - Fee Related JP3078041B2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3078041B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9259877B2 (en) | 2013-02-22 | 2016-02-16 | Nike, Inc. | System and method for applying heat and pressure to three-dimensional articles |
| US9351540B2 (en) | 2013-02-14 | 2016-05-31 | Nike, Inc. | Last with retractable pins |
| US9713361B2 (en) | 2013-02-22 | 2017-07-25 | Nike, Inc. | Bottom-down last for 3D forming |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102690999B1 (ko) * | 2022-04-28 | 2024-08-05 | 융진기업 주식회사 | 결합 플레이트 고정 장치 |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP03172257A patent/JP3078041B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9351540B2 (en) | 2013-02-14 | 2016-05-31 | Nike, Inc. | Last with retractable pins |
| US9961964B2 (en) | 2013-02-14 | 2018-05-08 | Nike, Inc. | Method of making an article of footwear with a last having retractable pins |
| US10010140B2 (en) | 2013-02-14 | 2018-07-03 | Nike, Inc. | Last with retractable pins |
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