JP2000163129A - 直線案内装置 - Google Patents
直線案内装置Info
- Publication number
- JP2000163129A JP2000163129A JP10339347A JP33934798A JP2000163129A JP 2000163129 A JP2000163129 A JP 2000163129A JP 10339347 A JP10339347 A JP 10339347A JP 33934798 A JP33934798 A JP 33934798A JP 2000163129 A JP2000163129 A JP 2000163129A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving stage
- ultrasonic motor
- ultrasonic
- pair
- members
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
Abstract
(57)【要約】
【課題】中央に開口部を有する移動ステージ１を備える
直線案内装置において、真直度を高精度に保った状態で
振動を生じることなく移動ステージ１を安定して制御で
きるようにする。 【解決手段】ベース基盤２上に設置された一対のガイド
部材３ａ，３ｂによって中央に開口部を有する移動ステ
ージ１を案内するとともに、上記一対のガイド部材３
ａ，３ｂの間で前記ベース基盤２上には一組の被駆動部
材７ａ，７ｂを一直線上にかつ上記ガイド部材３ａ，３
ｂと平行に設置し、各被駆動部材７ａ，７ｂに対して上
記移動ステージ６ａ，６ｂに設置する超音波モータ６
ａ，６ｂをそれぞれ同一方向から当接させてなり、制御
系を、移動ステージ１の変位を測定する位置検出手段１
１と、上記位置信号と予め設定されている位置信号との
位置偏差に基づくパラメータを基にＰＩＤ演算を行って
指令信号を出力する制御部９と、上記指令信号に基づい
て各超音波モータ６ａ，６ｂへ指令電圧を出力する駆動
用ドライバー１０ａ，１０ｂとから形成して直線案内装
置を構成する。
直線案内装置において、真直度を高精度に保った状態で
振動を生じることなく移動ステージ１を安定して制御で
きるようにする。 【解決手段】ベース基盤２上に設置された一対のガイド
部材３ａ，３ｂによって中央に開口部を有する移動ステ
ージ１を案内するとともに、上記一対のガイド部材３
ａ，３ｂの間で前記ベース基盤２上には一組の被駆動部
材７ａ，７ｂを一直線上にかつ上記ガイド部材３ａ，３
ｂと平行に設置し、各被駆動部材７ａ，７ｂに対して上
記移動ステージ６ａ，６ｂに設置する超音波モータ６
ａ，６ｂをそれぞれ同一方向から当接させてなり、制御
系を、移動ステージ１の変位を測定する位置検出手段１
１と、上記位置信号と予め設定されている位置信号との
位置偏差に基づくパラメータを基にＰＩＤ演算を行って
指令信号を出力する制御部９と、上記指令信号に基づい
て各超音波モータ６ａ，６ｂへ指令電圧を出力する駆動
用ドライバー１０ａ，１０ｂとから形成して直線案内装
置を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、中央に開口部を有
する移動ステ−ジを超音波モ−タによって移動、案内す
る直線案内装置に関するものであり、特に、超精密加工
装置や超精密測定装置、あるいは半導体装置の製造工程
における露光装置や描画装置に用いられる直線案内装置
として好適なものである。
する移動ステ−ジを超音波モ−タによって移動、案内す
る直線案内装置に関するものであり、特に、超精密加工
装置や超精密測定装置、あるいは半導体装置の製造工程
における露光装置や描画装置に用いられる直線案内装置
として好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、直線的に往復移動する移動ステ−
ジを高速でかつ高精度に案内する駆動手段として超音波
モータが提案されており、さまざまな研究がなされてい
る。
ジを高速でかつ高精度に案内する駆動手段として超音波
モータが提案されており、さまざまな研究がなされてい
る。
【０００３】超音波モ−タを用いた直線案内装置の一例
を図４（ａ）（ｂ）に説明する。
を図４（ａ）（ｂ）に説明する。
【０００４】この直線案内装置は、ベ−ス基盤３２に設
置されたクロスローラガイドの如き一対のガイド部材３
３ａ，３３ｂと、この一対のガイド部材３３ａ，３３ｂ
によって一方向に直線的に案内される中央に開口部を有
する移動ステージ３１とからなり、上記移動ステージ３
１の一方の側端部には超音波モータ３６を備え、ベース
基盤３２の一方の側端部において上記ガイド部材３３ａ
と平行に固定された被駆動部材３７に当接させてある。
また、移動ステージ３１の他方の側端部には測定ヘッド
３５を備え、ベース基盤３２の他方の側端部においてガ
イド部材３３ｂと平行に固定されたリニアスケール３４
とで位置検出手段を構成し、移動ステージ３１の変位を
測定するようになっている。
置されたクロスローラガイドの如き一対のガイド部材３
３ａ，３３ｂと、この一対のガイド部材３３ａ，３３ｂ
によって一方向に直線的に案内される中央に開口部を有
する移動ステージ３１とからなり、上記移動ステージ３
１の一方の側端部には超音波モータ３６を備え、ベース
基盤３２の一方の側端部において上記ガイド部材３３ａ
と平行に固定された被駆動部材３７に当接させてある。
また、移動ステージ３１の他方の側端部には測定ヘッド
３５を備え、ベース基盤３２の他方の側端部においてガ
イド部材３３ｂと平行に固定されたリニアスケール３４
とで位置検出手段を構成し、移動ステージ３１の変位を
測定するようになっている。
【０００５】また、この直線案内装置は、上記位置検出
手段、リニアスケールアンプ３８、制御部３９、駆動用
ドライバー４０、及び超音波モータ３６とで閉ループを
構成してあり、上記位置検出手段を構成する測定ヘッド
３５にて測定された位置信号は、リニアスケールアンプ
３８を介して制御部３９へ送られ、この制御部３９にて
測定ヘッド３５からの位置信号と予め設定されている位
置信号との位置偏差に基づくパラメータを基にＰＩＤ演
算を行って駆動用ドライバー４０へ指令信号を出力し、
駆動用ドライバー４０から指令電圧を出力して超音波モ
ータ３６を駆動させることにより、移動ステージ３１を
移動、位置決めするようになっていた。
手段、リニアスケールアンプ３８、制御部３９、駆動用
ドライバー４０、及び超音波モータ３６とで閉ループを
構成してあり、上記位置検出手段を構成する測定ヘッド
３５にて測定された位置信号は、リニアスケールアンプ
３８を介して制御部３９へ送られ、この制御部３９にて
測定ヘッド３５からの位置信号と予め設定されている位
置信号との位置偏差に基づくパラメータを基にＰＩＤ演
算を行って駆動用ドライバー４０へ指令信号を出力し、
駆動用ドライバー４０から指令電圧を出力して超音波モ
ータ３６を駆動させることにより、移動ステージ３１を
移動、位置決めするようになっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、図４（ａ）
（ｂ）に示す直線案内装置では、駆動系の超音波モ−タ
３６と測長系の位置検出手段とが移動ステージ３１の両
側端部に配置され、極端に離れていることから、移動ス
テ−ジ３１の移動に伴う姿勢変化に起因する位置測定誤
差（アッベの原理）を生じ易く、駆動系の超音波モータ
３６によって移動させようとする距離と測定系の位置検
出手段にて検出される移動距離との間に誤差が生じ、移
動ステージ３１の中央における位置を、本来の目標位置
へ正確に案内することができないといった課題があっ
た。
（ｂ）に示す直線案内装置では、駆動系の超音波モ−タ
３６と測長系の位置検出手段とが移動ステージ３１の両
側端部に配置され、極端に離れていることから、移動ス
テ−ジ３１の移動に伴う姿勢変化に起因する位置測定誤
差（アッベの原理）を生じ易く、駆動系の超音波モータ
３６によって移動させようとする距離と測定系の位置検
出手段にて検出される移動距離との間に誤差が生じ、移
動ステージ３１の中央における位置を、本来の目標位置
へ正確に案内することができないといった課題があっ
た。
【０００７】例えば、半導体装置の製造工程における露
光装置や描画装置に用いられる直線案内装置では、移動
ステージ３１を３００ｍｍ移動させるのに対し、駆動系
と測長系での誤差はサブミクロンオ−ダ−の精度に抑え
ることが要求されているのであるが、図４（ａ）（ｂ）
に示す直線案内装置ではその誤差が１０μｍオ−ダ−と
非常に悪いものであった。
光装置や描画装置に用いられる直線案内装置では、移動
ステージ３１を３００ｍｍ移動させるのに対し、駆動系
と測長系での誤差はサブミクロンオ−ダ−の精度に抑え
ることが要求されているのであるが、図４（ａ）（ｂ）
に示す直線案内装置ではその誤差が１０μｍオ−ダ−と
非常に悪いものであった。
【０００８】しかも、超音波モ−タ３６を移動ステージ
３１の側端部で駆動させると、超音波モ−タ３６の摩擦
駆動によって発生する振動によって移動ステージ３６も
振動しやすくなり、さらに振動が発生すると移動ステー
ジ３６の位置決め停止時間が長くなるといった課題もあ
った。
３１の側端部で駆動させると、超音波モ−タ３６の摩擦
駆動によって発生する振動によって移動ステージ３６も
振動しやすくなり、さらに振動が発生すると移動ステー
ジ３６の位置決め停止時間が長くなるといった課題もあ
った。
【０００９】一方、上記課題を解決するため、図５
（ａ）（ｂ）に示すように、一対のガイド部材４３ａ，
４３ｂの間で移動ステージ４１の前方（紙面では上方）
の端部に測定ヘッド４５と超音波モータ４６をそれぞれ
備え、上記測定ヘッド３５と対向するベース基盤４２上
の位置に、ガイド部材４３ａ，４３ｂと平行にリニアス
ケール４４を固定して位置検出手段を構成するととも
に、上記超音波モータ４６と対向するベース基盤４２上
の位置に、ガイド部材４３ａ，４３ｂと平行に被駆動部
材４７を固定し、この被駆動部材４７に対して上記超音
波モータ４６を当接させてあり、この超音波モータ４６
を駆動させることで移動ステージ４１を移動、位置決め
するようにした直線案内装置が提案されている。なお、
移動ステージ４１の移動、位置決めを制御する制御系は
図４と同様にリニアスケール４８、制御部４９、駆動用
ドライバー５０とから構成されている。
（ａ）（ｂ）に示すように、一対のガイド部材４３ａ，
４３ｂの間で移動ステージ４１の前方（紙面では上方）
の端部に測定ヘッド４５と超音波モータ４６をそれぞれ
備え、上記測定ヘッド３５と対向するベース基盤４２上
の位置に、ガイド部材４３ａ，４３ｂと平行にリニアス
ケール４４を固定して位置検出手段を構成するととも
に、上記超音波モータ４６と対向するベース基盤４２上
の位置に、ガイド部材４３ａ，４３ｂと平行に被駆動部
材４７を固定し、この被駆動部材４７に対して上記超音
波モータ４６を当接させてあり、この超音波モータ４６
を駆動させることで移動ステージ４１を移動、位置決め
するようにした直線案内装置が提案されている。なお、
移動ステージ４１の移動、位置決めを制御する制御系は
図４と同様にリニアスケール４８、制御部４９、駆動用
ドライバー５０とから構成されている。
【００１０】この直線案内装置では、駆動系の超音波モ
ータ４６がガイド部材４３ａ、４３ｂ間のほぼ中央に配
置され、また、測長系の位置検出手段を駆動系の超音波
モータ４６の近くに設置してあることから、アッベの原
理による位置測定誤差を小さくすることができ、位置検
出手段よって正確な位置測定ができるとともに、超音波
モ−タ４６を一対のガイド部材４３ａ，４３ｂの間に収
納することができるため、直線案内装置を小型化できる
といった利点がある。
ータ４６がガイド部材４３ａ、４３ｂ間のほぼ中央に配
置され、また、測長系の位置検出手段を駆動系の超音波
モータ４６の近くに設置してあることから、アッベの原
理による位置測定誤差を小さくすることができ、位置検
出手段よって正確な位置測定ができるとともに、超音波
モ−タ４６を一対のガイド部材４３ａ，４３ｂの間に収
納することができるため、直線案内装置を小型化できる
といった利点がある。
【００１１】しかしながら、この直線案内装置では、駆
動系の超音波モータ４６が移動ステージ４１の前方の端
部にのみ設置された構造であることから、図５（ａ）で
は超音波モータ４６によって加えられる押圧力によって
移動ステージ４１の前方がベース基盤４２に対して右側
へずれ、移動ステージ４１の後方が左へずれるというよ
うに、斜めに傾いた状態で移動することになるため、移
動ステージ４１の真直精度が悪いといった致命的な課題
があった。しかも、このように斜めに傾いた状態で移動
ステージ４１を移動させると、ガイド部材４３ａ，４３
ｂの摩耗や被駆動部材４７と当接する超音波モータ４６
の摩耗が激しく、移動ステージ４１の真直精度がさらに
悪化するとともに、移動ステージ４１に振動が発生する
などの課題があった。
動系の超音波モータ４６が移動ステージ４１の前方の端
部にのみ設置された構造であることから、図５（ａ）で
は超音波モータ４６によって加えられる押圧力によって
移動ステージ４１の前方がベース基盤４２に対して右側
へずれ、移動ステージ４１の後方が左へずれるというよ
うに、斜めに傾いた状態で移動することになるため、移
動ステージ４１の真直精度が悪いといった致命的な課題
があった。しかも、このように斜めに傾いた状態で移動
ステージ４１を移動させると、ガイド部材４３ａ，４３
ｂの摩耗や被駆動部材４７と当接する超音波モータ４６
の摩耗が激しく、移動ステージ４１の真直精度がさらに
悪化するとともに、移動ステージ４１に振動が発生する
などの課題があった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記課
題に鑑み、ベース基盤上に設置された一対のガイド部材
と、該一対のガイド部材によって案内される中央に開口
部を有する移動ステージと、上記一対のガイド部材の間
で前記ベース基盤又は前記移動ステージに固定された少
なくとも一組の被駆動部材と、上記一組の被駆動部材と
当接し、前記移動ステージを案内する２つの超音波モー
タと、上記移動ステージの変位を測定する位置検出手段
と、該位置検出手段からの位置信号と予め設定されてい
る位置信号との位置偏差に基づくパラメータを基にＰＩ
Ｄ演算を行って指令信号を出力する制御部と、該制御部
からの指令信号を基に上記各超音波モータへ指令電圧を
出力する駆動用ドライバーとからなり、上記一組の被駆
動部材は一直線上にかつ上記ガイド部材と平行に設置す
るとともに、各被駆動部材には同一方向から前記超音波
モータをそれぞれ当接させて直線案内装置を構成したも
のである。
題に鑑み、ベース基盤上に設置された一対のガイド部材
と、該一対のガイド部材によって案内される中央に開口
部を有する移動ステージと、上記一対のガイド部材の間
で前記ベース基盤又は前記移動ステージに固定された少
なくとも一組の被駆動部材と、上記一組の被駆動部材と
当接し、前記移動ステージを案内する２つの超音波モー
タと、上記移動ステージの変位を測定する位置検出手段
と、該位置検出手段からの位置信号と予め設定されてい
る位置信号との位置偏差に基づくパラメータを基にＰＩ
Ｄ演算を行って指令信号を出力する制御部と、該制御部
からの指令信号を基に上記各超音波モータへ指令電圧を
出力する駆動用ドライバーとからなり、上記一組の被駆
動部材は一直線上にかつ上記ガイド部材と平行に設置す
るとともに、各被駆動部材には同一方向から前記超音波
モータをそれぞれ当接させて直線案内装置を構成したも
のである。
【００１３】また、本発明は、上記超音波モータの後方
に被駆動部材への押付力を調整するための予圧調整機構
をそれぞれ設け、この予圧調整機構によって各超音波モ
ータの被駆動部材への押圧力を調整して各超音波モータ
の駆動電圧の差を０．５％以下としたものである。
に被駆動部材への押付力を調整するための予圧調整機構
をそれぞれ設け、この予圧調整機構によって各超音波モ
ータの被駆動部材への押圧力を調整して各超音波モータ
の駆動電圧の差を０．５％以下としたものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。
説明する。
【００１５】図１（ａ）は本発明の直線案内装置の一例
を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断面図
である。
を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断面図
である。
【００１６】この直線案内装置は、ベ−ス基盤２上に平
行に設置されたクロスロ−ラガイドの如き一対のガイド
部材３ａ，３ｂと、この一対のガイド部材３ａ，３ｂに
よって一方向に案内される中央に開口部を有する移動ス
テージ１とからなり、上記一対のガイド部材３ａ，３ｂ
の間で前記ベース基盤２上には、一組の被駆動部材７
ａ，７ｂを一直線上にかつ上記ガイド部材３ａ，３ｂと
平行に間隔を開けて設置してあり、これら被駆動部材７
ａ，７ｂには、移動ステージ１の前方の端部と後方の端
部にそれぞれ設置する２つの超音波モータ６ａ，６ｂを
同一方向から当接させてある。
行に設置されたクロスロ−ラガイドの如き一対のガイド
部材３ａ，３ｂと、この一対のガイド部材３ａ，３ｂに
よって一方向に案内される中央に開口部を有する移動ス
テージ１とからなり、上記一対のガイド部材３ａ，３ｂ
の間で前記ベース基盤２上には、一組の被駆動部材７
ａ，７ｂを一直線上にかつ上記ガイド部材３ａ，３ｂと
平行に間隔を開けて設置してあり、これら被駆動部材７
ａ，７ｂには、移動ステージ１の前方の端部と後方の端
部にそれぞれ設置する２つの超音波モータ６ａ，６ｂを
同一方向から当接させてある。
【００１７】また、移動ステージ１の前方の端部には、
測定ヘッド５を設置してあり、この測定ヘッド５と対向
するベース基盤２上の位置には上記ガイド部材３ａ，３
ｂと平行にリニアスケール４を固定して位置検出手段１
１を構成してある。
測定ヘッド５を設置してあり、この測定ヘッド５と対向
するベース基盤２上の位置には上記ガイド部材３ａ，３
ｂと平行にリニアスケール４を固定して位置検出手段１
１を構成してある。
【００１８】さらに、この直線案内装置は、上記位置検
出手段１１と、この位置検出手段１１からの位置信号を
増幅するリニアスケールアンプ８と、このリニアスケー
ルアンプ８によって増幅された位置信号と予め設定して
ある移動ステージ１の移動プロファイルに基づく位置信
号との位置偏差に基づくパラメータを基にＰＩＤ演算を
行って指令信号を出力する制御部９と、この制御部９か
らそれぞれ出力される指令信号を基に各超音波モータ６
へ指令電圧を出力する２つの駆動用ドライバー１０ａ，
１０ｂとで閉ループを構成し、フィードバック制御をか
けながら移動ステージ１の移動、位置決めを行うように
なっている。なお、駆動用ドライバー１０ａ，１０ｂか
ら超音波モータ６ａ，６ｂとの間には、図示していない
が各超音波モータ６ａ，６ｂの駆動電圧を確認するため
のモニターを設置するようにしてある。
出手段１１と、この位置検出手段１１からの位置信号を
増幅するリニアスケールアンプ８と、このリニアスケー
ルアンプ８によって増幅された位置信号と予め設定して
ある移動ステージ１の移動プロファイルに基づく位置信
号との位置偏差に基づくパラメータを基にＰＩＤ演算を
行って指令信号を出力する制御部９と、この制御部９か
らそれぞれ出力される指令信号を基に各超音波モータ６
へ指令電圧を出力する２つの駆動用ドライバー１０ａ，
１０ｂとで閉ループを構成し、フィードバック制御をか
けながら移動ステージ１の移動、位置決めを行うように
なっている。なお、駆動用ドライバー１０ａ，１０ｂか
ら超音波モータ６ａ，６ｂとの間には、図示していない
が各超音波モータ６ａ，６ｂの駆動電圧を確認するため
のモニターを設置するようにしてある。
【００１９】次に、超音波モータ６ａ，６ｂの移動ステ
ージ１への設置構造を図２を用いて説明する。なお、２
つの超音波モータ６ａ，６ｂは、同様の設置構造を用い
ているため、移動ステージ１の前方に設置する超音波モ
ータ６ａについて説明する。超音波モータ６ａは、移動
ステージ１の前方の端部裏面に回転可能に固定されたケ
ース１４内にスライド可能に内装されてなり、ケース１
４の壁面に開口する孔内に遊嵌されたピン１５の押圧板
１５ａと上記ケース１４の壁面との間にコイル１３を介
在させ、このコイル１３の弾性力によって超音波モータ
６ａを被駆動部材７ａに対して一定の押圧力でもって押
圧する予圧調整機構１６を構成してある。なお、１２は
ロードセルで、超音波モータ６ａの被駆動部材７ａへの
押圧力を検出するようになっている。
ージ１への設置構造を図２を用いて説明する。なお、２
つの超音波モータ６ａ，６ｂは、同様の設置構造を用い
ているため、移動ステージ１の前方に設置する超音波モ
ータ６ａについて説明する。超音波モータ６ａは、移動
ステージ１の前方の端部裏面に回転可能に固定されたケ
ース１４内にスライド可能に内装されてなり、ケース１
４の壁面に開口する孔内に遊嵌されたピン１５の押圧板
１５ａと上記ケース１４の壁面との間にコイル１３を介
在させ、このコイル１３の弾性力によって超音波モータ
６ａを被駆動部材７ａに対して一定の押圧力でもって押
圧する予圧調整機構１６を構成してある。なお、１２は
ロードセルで、超音波モータ６ａの被駆動部材７ａへの
押圧力を検出するようになっている。
【００２０】次に、本発明の直線案内装置の制御方法に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００２１】まず、２つの超音波モ−タ６ａ，６ｂへ制
御部９より不感帯幅より大きな指令信号を出力し、駆動
用ドライバ−１０ａ、１０ｂによって例えば周波数１０
〜４０ｋＨｚ、電圧０〜５００Ｖの指令電圧を通電して
各超音波モ−タ６ａ，６ｂをそれぞれ駆動させる。ここ
で理論的には制御部９より同じ指令信号を各駆動用ドラ
イバ−１０ａ，１０ｂへそれぞれ出力すると、２つの超
音波モ−タ６ａ，６ｂは同一振幅で振動をするはずであ
るが、実際には超音波モ−タ６ａ，６ｂの設置状態、例
えば、超音波モータ６ａ，６ｂと被駆動部材７ａ，７ｂ
の当接状態や超音波モータ６ａ，６ｂの被駆動部材７
ａ，７ｂへの押圧力等にばらつきがあるため、超音波モ
ータ６ａの駆動電圧と超音波モータ６ｂの駆動電圧との
間には電圧差が発生する。その為、２つの超音波モータ
６ａ，６ｂを同一振幅では振動させることができず、超
音波モ−タ６ａ，６ｂと被駆動部材７ａ，７ｂとの間で
滑りを生じて超音波モータ６ａ，６ｂが激しく摩耗した
り、制御電圧が不安定となって移動ステージ１に振動が
発生するなどの悪影響を与え、高精度な制御ができなく
なる。
御部９より不感帯幅より大きな指令信号を出力し、駆動
用ドライバ−１０ａ、１０ｂによって例えば周波数１０
〜４０ｋＨｚ、電圧０〜５００Ｖの指令電圧を通電して
各超音波モ−タ６ａ，６ｂをそれぞれ駆動させる。ここ
で理論的には制御部９より同じ指令信号を各駆動用ドラ
イバ−１０ａ，１０ｂへそれぞれ出力すると、２つの超
音波モ−タ６ａ，６ｂは同一振幅で振動をするはずであ
るが、実際には超音波モ−タ６ａ，６ｂの設置状態、例
えば、超音波モータ６ａ，６ｂと被駆動部材７ａ，７ｂ
の当接状態や超音波モータ６ａ，６ｂの被駆動部材７
ａ，７ｂへの押圧力等にばらつきがあるため、超音波モ
ータ６ａの駆動電圧と超音波モータ６ｂの駆動電圧との
間には電圧差が発生する。その為、２つの超音波モータ
６ａ，６ｂを同一振幅では振動させることができず、超
音波モ−タ６ａ，６ｂと被駆動部材７ａ，７ｂとの間で
滑りを生じて超音波モータ６ａ，６ｂが激しく摩耗した
り、制御電圧が不安定となって移動ステージ１に振動が
発生するなどの悪影響を与え、高精度な制御ができなく
なる。
【００２２】これに対し、本発明の直線案内装置は、超
音波モータ６ａ，６ｂの後方にそれぞれ備える予圧調整
機構１６ａ，１６ｂによって各超音波モータ６ａ，６ｂ
の駆動電圧の差が０．５％以下となるように調整するよ
うにしてあることから、２つの超音波モータ６ａ，６ｂ
をほぼ同一振幅で振動させることができ、以て、移動ス
テージ１に振動を発生させることなく、安定した制御を
行うことができる。
音波モータ６ａ，６ｂの後方にそれぞれ備える予圧調整
機構１６ａ，１６ｂによって各超音波モータ６ａ，６ｂ
の駆動電圧の差が０．５％以下となるように調整するよ
うにしてあることから、２つの超音波モータ６ａ，６ｂ
をほぼ同一振幅で振動させることができ、以て、移動ス
テージ１に振動を発生させることなく、安定した制御を
行うことができる。
【００２３】即ち、超音波モ−タ６ａ，６ｂの押付力と
移動ステージ１の速度との間には図３に示すような比例
関係があるため、超音波モータ６ａ，６ｂの被駆動部材
７ａ，７ｂへの押圧力を調整することによって移動ステ
ージ１の速度を制御することができ、この速度は超音波
モータ６ａ，６ｂの駆動電圧と比例することから、結果
として超音波モータ６ａ，６ｂの押圧力を調整すること
で超音波モータ６ａ，６ｂの駆動電圧を制御できるので
ある。
移動ステージ１の速度との間には図３に示すような比例
関係があるため、超音波モータ６ａ，６ｂの被駆動部材
７ａ，７ｂへの押圧力を調整することによって移動ステ
ージ１の速度を制御することができ、この速度は超音波
モータ６ａ，６ｂの駆動電圧と比例することから、結果
として超音波モータ６ａ，６ｂの押圧力を調整すること
で超音波モータ６ａ，６ｂの駆動電圧を制御できるので
ある。
【００２４】そして、本件発明者はトライ・アンド・エ
ラーを繰り返し、試行錯誤しながら研究を重ねた結果、
予圧調整機構 １６ａ，１６ｂによって各超音波モータ
６ａ，６ｂの駆動電圧の差を０．５％以とすることで、
２つの超音波モータ６ａ，６ｂをほぼ同一振幅で振動さ
せることができ、移動ステージ１に振動を発生させるこ
となく、安定した制御ができることを見出したのであ
る。
ラーを繰り返し、試行錯誤しながら研究を重ねた結果、
予圧調整機構 １６ａ，１６ｂによって各超音波モータ
６ａ，６ｂの駆動電圧の差を０．５％以とすることで、
２つの超音波モータ６ａ，６ｂをほぼ同一振幅で振動さ
せることができ、移動ステージ１に振動を発生させるこ
となく、安定した制御ができることを見出したのであ
る。
【００２５】ところで、各超音波モータ６ａ，６ｂの駆
動電圧の差を０．５％以下とするには、まず、一方の超
音波モ−タ６ｂを外した状態で、他方の超音波モ−タ６
ａのみによりフィードバック制御にて移動ステージ１を
移動させ、定速移動時における超音波モータ６ａの駆動
電圧を測定する。次に、超音波モ−タ６ａを外すととも
に、外していた超音波モ−タ６ｂをもとの位置にセット
し、前述と同様にして移動テージ１を定速移動させた時
の超音波モータ６ｂの駆動電圧を測定し、両者の駆動電
圧を比較する。次いで例えば、超音波モータ６ａの駆動
電圧を基準とすると、他方の超音波モータ６ｂの後方に
設置する予圧調整機構１６を調整して駆動電圧の差が
０．５％以下となるようにすれば良い。
動電圧の差を０．５％以下とするには、まず、一方の超
音波モ−タ６ｂを外した状態で、他方の超音波モ−タ６
ａのみによりフィードバック制御にて移動ステージ１を
移動させ、定速移動時における超音波モータ６ａの駆動
電圧を測定する。次に、超音波モ−タ６ａを外すととも
に、外していた超音波モ−タ６ｂをもとの位置にセット
し、前述と同様にして移動テージ１を定速移動させた時
の超音波モータ６ｂの駆動電圧を測定し、両者の駆動電
圧を比較する。次いで例えば、超音波モータ６ａの駆動
電圧を基準とすると、他方の超音波モータ６ｂの後方に
設置する予圧調整機構１６を調整して駆動電圧の差が
０．５％以下となるようにすれば良い。
【００２６】このように、本発明によれば、中央に開口
部を有する移動ステージ１を移動させるにあたって、駆
動系の超音波モータ６ａ，６ｂを一対のガイド部材３
ａ，３ｂの間に配置するとともに、測長系の位置検出手
段１１を超音波モ−タ６ａの近傍に設置するようにした
ことから、アッベの原理に起因する駆動系と測定系の位
置測定誤差を小さくし、位置検出手段１１によって移動
ステージ１の正確な位置を把握することができる。
部を有する移動ステージ１を移動させるにあたって、駆
動系の超音波モータ６ａ，６ｂを一対のガイド部材３
ａ，３ｂの間に配置するとともに、測長系の位置検出手
段１１を超音波モ−タ６ａの近傍に設置するようにした
ことから、アッベの原理に起因する駆動系と測定系の位
置測定誤差を小さくし、位置検出手段１１によって移動
ステージ１の正確な位置を把握することができる。
【００２７】また、一対のガイド部材３ａ，３ｂの間に
は、一組の被駆動部材７ａ，７ｂを設けるとともに、こ
れらの被駆動部材７ａ，７ｂを一直線上にかつ各ガイド
部材３ａ，３ｂと平行に間隔を開けて設置し、これらの
被駆動部材７ａ，７ｂに対してそれぞれ同一方向から超
音波モータ６ａ，６ｂを当接されるようにしてあること
から、超音波モータ６ａ，６ｂの押圧力に伴う負荷を一
方のガイド部材３ｂに対してほぼ均一に加えることがで
きるため、移動ステージ１を傾かせることがなく、真直
度を高精度に保つことができるとともに、移動ステージ
１が傾いた状態で移動することがないため、ガイド部材
３ａ，３ｂや超音波モータ６ａ，６ｂの早期摩耗を抑
え、移動ステージ１に振動が発生することを防ぐととも
に、長寿命の直線案内装置とすることができる。
は、一組の被駆動部材７ａ，７ｂを設けるとともに、こ
れらの被駆動部材７ａ，７ｂを一直線上にかつ各ガイド
部材３ａ，３ｂと平行に間隔を開けて設置し、これらの
被駆動部材７ａ，７ｂに対してそれぞれ同一方向から超
音波モータ６ａ，６ｂを当接されるようにしてあること
から、超音波モータ６ａ，６ｂの押圧力に伴う負荷を一
方のガイド部材３ｂに対してほぼ均一に加えることがで
きるため、移動ステージ１を傾かせることがなく、真直
度を高精度に保つことができるとともに、移動ステージ
１が傾いた状態で移動することがないため、ガイド部材
３ａ，３ｂや超音波モータ６ａ，６ｂの早期摩耗を抑
え、移動ステージ１に振動が発生することを防ぐととも
に、長寿命の直線案内装置とすることができる。
【００２８】その上、移動ステージ１は２つの超音波モ
ータ６ａ，６ｂによって移動することから、駆動力を向
上させることができ、より重い荷重が加わっても移動さ
せることが可能となる。
ータ６ａ，６ｂによって移動することから、駆動力を向
上させることができ、より重い荷重が加わっても移動さ
せることが可能となる。
【００２９】なお、本発明の実施形態では、予圧調整機
構１６として、図２に示すようなバネ１３とピン１５か
らなるものを示したが、この機構のみに限定されるもの
ではなく、例えば、圧電アクチュエータを予圧調整機構
として用いることもできる。
構１６として、図２に示すようなバネ１３とピン１５か
らなるものを示したが、この機構のみに限定されるもの
ではなく、例えば、圧電アクチュエータを予圧調整機構
として用いることもできる。
【００３０】また、図１に示す直線案内装置では、ガイ
ド部材３ａ，３ｂとしてクロスローラガイドを示した
が、ころ式やベアリング車輪方式等の他の転がり方式を
用いたものあるいは静圧流体軸受を用いることができ
る。
ド部材３ａ，３ｂとしてクロスローラガイドを示した
が、ころ式やベアリング車輪方式等の他の転がり方式を
用いたものあるいは静圧流体軸受を用いることができ
る。
【００３１】さらに、図１では、一組の被駆動部材７
ａ，７ｂを設けた例を示しが、２組以上設け、これらに
それぞれ当接させた超音波モータを駆動させることで、
移動ステージ１の駆動力をより一層向上させることもで
きる。
ａ，７ｂを設けた例を示しが、２組以上設け、これらに
それぞれ当接させた超音波モータを駆動させることで、
移動ステージ１の駆動力をより一層向上させることもで
きる。
【００３２】
【実施例】ここで、図１（ａ）（ｂ）に示す本発明の直
線案内装置と、図４（ａ）（ｂ）及び図５（ａ）（ｂ）
に示す従来の直線案内装置とを用意して各々の特性を調
べる実験を行った。
線案内装置と、図４（ａ）（ｂ）及び図５（ａ）（ｂ）
に示す従来の直線案内装置とを用意して各々の特性を調
べる実験を行った。
【００３３】本試験ではいずれも移動ステージ１，３
１，４１及び被駆動部材７ａ，７ｂ，３７，４７を、純
度９９．５％のアルミナセラミックスにより形成し、移
動ステージ１，３１，４１を案内するガイド部材３ａ，
３ｂ，３３ａ，３３ｂ，４３ａ，４３ｂとしてクロスロ
−ラガイドを用い、そのガイドレ−ルに超硬合金製のも
のを用いた。また、移動ステージ１，３１，４１はその
外径寸法が３００ｍｍ×３００ｍｍ×２０ｍｍで、中央
に２００ｍｍ×２００ｍｍの開口部を有する板状体と
し、ガイド部材３ａ，３ｂ，３３ａ，３３ｂ，４３ａ，
４３ｂの長さいずれも３００ｍｍとした。ただし、本発
明の直線案内装置については、２つの超音波モータ６
ａ，６ｂの駆動電圧の差が０．５％以下となるように予
め予圧調整機構１６にて調整した。
１，４１及び被駆動部材７ａ，７ｂ，３７，４７を、純
度９９．５％のアルミナセラミックスにより形成し、移
動ステージ１，３１，４１を案内するガイド部材３ａ，
３ｂ，３３ａ，３３ｂ，４３ａ，４３ｂとしてクロスロ
−ラガイドを用い、そのガイドレ−ルに超硬合金製のも
のを用いた。また、移動ステージ１，３１，４１はその
外径寸法が３００ｍｍ×３００ｍｍ×２０ｍｍで、中央
に２００ｍｍ×２００ｍｍの開口部を有する板状体と
し、ガイド部材３ａ，３ｂ，３３ａ，３３ｂ，４３ａ，
４３ｂの長さいずれも３００ｍｍとした。ただし、本発
明の直線案内装置については、２つの超音波モータ６
ａ，６ｂの駆動電圧の差が０．５％以下となるように予
め予圧調整機構１６にて調整した。
【００３４】そして、各直線案内装置とも移動ステージ
１，３１，４１のストロ−ク距離を２００ｍｍ、移動速
度を５０ｍｍ／ｓｅｃとして移動させた時の絶対位置決
め誤差、最高加速度、移動ステージ１，３１，４１に発
生する振動の大きさ、超音波モータ６ａ，６ｂ，３６，
４６の発熱量、直線案内装置の寿命、移動ステージ１，
３１，４１の真直度についてそれぞれ調べた。
１，３１，４１のストロ−ク距離を２００ｍｍ、移動速
度を５０ｍｍ／ｓｅｃとして移動させた時の絶対位置決
め誤差、最高加速度、移動ステージ１，３１，４１に発
生する振動の大きさ、超音波モータ６ａ，６ｂ，３６，
４６の発熱量、直線案内装置の寿命、移動ステージ１，
３１，４１の真直度についてそれぞれ調べた。
【００３５】なお、絶対位置決め誤差は、移動ステージ
１，３１，４１の後方の端部中央にレーザー干渉計のミ
ラーを設置し、レーザー干渉計にて測定した移動ステー
ジ１，３１，４１の絶対移動値と、位置検出手段を構成
する測定ヘッド５，３５，４５にて測定した絶対移動量
との差として求め、最高加速度は、超音波モータ６ａ，
６ｂ，３６，４６に最大駆動電圧をかけた時の移動ステ
ージ１，３１，４１の加速度を加速度センサーにて求
め、移動ステージ１，３１，４１の振動の大きさは、定
速移動時の上下方向及び左右方向の振動を加速度センサ
ーにて求めた。
１，３１，４１の後方の端部中央にレーザー干渉計のミ
ラーを設置し、レーザー干渉計にて測定した移動ステー
ジ１，３１，４１の絶対移動値と、位置検出手段を構成
する測定ヘッド５，３５，４５にて測定した絶対移動量
との差として求め、最高加速度は、超音波モータ６ａ，
６ｂ，３６，４６に最大駆動電圧をかけた時の移動ステ
ージ１，３１，４１の加速度を加速度センサーにて求
め、移動ステージ１，３１，４１の振動の大きさは、定
速移動時の上下方向及び左右方向の振動を加速度センサ
ーにて求めた。
【００３６】また、超音波モータ６ａ，６ｂ，３６，４
６の発熱量は、移動ステージ１，３１，４１を１００ｍ
ｍ／ｓｅｃにて連続駆動させた後の温度を測定し、移動
ステージ１，３１，４１の真直度は、ガラスミラーを移
動ステージ１，３１，４１上に設置し、変位計にてその
変位量を測定することにより求めた。
６の発熱量は、移動ステージ１，３１，４１を１００ｍ
ｍ／ｓｅｃにて連続駆動させた後の温度を測定し、移動
ステージ１，３１，４１の真直度は、ガラスミラーを移
動ステージ１，３１，４１上に設置し、変位計にてその
変位量を測定することにより求めた。
【００３７】さらに、直線案内装置の寿命は、移動ステ
ージ１，３１，４１の位置決めを繰り返し行った時の位
置ズレ量が初期の値より１０％以上となった時を寿命と
し、時間で表示した。
ージ１，３１，４１の位置決めを繰り返し行った時の位
置ズレ量が初期の値より１０％以上となった時を寿命と
し、時間で表示した。
【００３８】それぞれの結果は表１に示す通りである。
【００３９】
【表１】
【００４０】この結果、本発明の直線案内装置は、駆動
系と測長系との距離が短いため、移動ステージ１の絶対
位置決め誤差を極めて小さくすることができるととも
に、駆動系を一対のガイド部材３の間に配置してあるこ
とから移動ステージ１の振動も小さくできる。しかも、
駆動源として２つの超音波モータ６ａ，６ｂを用いてい
ることから最高加速度を従来例に比べて２倍以上速くす
ることができ、また、超音波モータ６ａ，６ｂの発熱量
を従来例の半分以下に抑えることができた。その上、寿
命を大幅に向上させることができた。
系と測長系との距離が短いため、移動ステージ１の絶対
位置決め誤差を極めて小さくすることができるととも
に、駆動系を一対のガイド部材３の間に配置してあるこ
とから移動ステージ１の振動も小さくできる。しかも、
駆動源として２つの超音波モータ６ａ，６ｂを用いてい
ることから最高加速度を従来例に比べて２倍以上速くす
ることができ、また、超音波モータ６ａ，６ｂの発熱量
を従来例の半分以下に抑えることができた。その上、寿
命を大幅に向上させることができた。
【００４１】
【発明の効果】以上のように、本発明の直線案内装置に
よれば、ベース基盤上に設置された一対のガイド部材
と、該一対のガイド部材によって案内される中央に開口
部を有する移動ステージと、上記一対のガイド部材の間
で前記ベース基盤又は前記移動ステージに固定された少
なくとも一組の被駆動部材と、上記一組の被駆動部材と
当接し、前記移動ステージを案内する２つの超音波モー
タと、上記移動ステージの変位を測定する位置検出手段
と、該位置検出手段からの位置信号と予め設定されてい
る位置信号との位置偏差に基づくパラメータを基にＰＩ
Ｄ演算を行って指令信号を出力する制御部と、該制御部
からの指令信号を基に上記各超音波モータへ指令電圧を
出力する駆動用ドライバーとからなり、上記一組の被駆
動部材は一直線上にかつ上記ガイド部材と平行に設置
し、各被駆動部材には同一方向から前記超音波モータを
それぞれ当接させるとともに、上記位置検出手段、制御
部、駆動用ドライバー、及び超音波モータとで閉ループ
を構成し、各超音波モータに後方に設置する予圧調整機
構によって各超音波モータの駆動電圧の差を０．５％以
下としたことから、移動ステージが移動時に傾くことを
防ぎ、移動ステージの真直度を高精度に保つことができ
るとともに、各超音波モータをほぼ同一振幅で振動させ
ることができるため、移動ステージに振動を発生させる
ことなく、安定した制御を行うことができる。
よれば、ベース基盤上に設置された一対のガイド部材
と、該一対のガイド部材によって案内される中央に開口
部を有する移動ステージと、上記一対のガイド部材の間
で前記ベース基盤又は前記移動ステージに固定された少
なくとも一組の被駆動部材と、上記一組の被駆動部材と
当接し、前記移動ステージを案内する２つの超音波モー
タと、上記移動ステージの変位を測定する位置検出手段
と、該位置検出手段からの位置信号と予め設定されてい
る位置信号との位置偏差に基づくパラメータを基にＰＩ
Ｄ演算を行って指令信号を出力する制御部と、該制御部
からの指令信号を基に上記各超音波モータへ指令電圧を
出力する駆動用ドライバーとからなり、上記一組の被駆
動部材は一直線上にかつ上記ガイド部材と平行に設置
し、各被駆動部材には同一方向から前記超音波モータを
それぞれ当接させるとともに、上記位置検出手段、制御
部、駆動用ドライバー、及び超音波モータとで閉ループ
を構成し、各超音波モータに後方に設置する予圧調整機
構によって各超音波モータの駆動電圧の差を０．５％以
下としたことから、移動ステージが移動時に傾くことを
防ぎ、移動ステージの真直度を高精度に保つことができ
るとともに、各超音波モータをほぼ同一振幅で振動させ
ることができるため、移動ステージに振動を発生させる
ことなく、安定した制御を行うことができる。
【図１】（ａ）は本発明に係る直線案内装置の一例を示
す平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。
す平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。
【図２】図１の直線案内装置における超音波モ−タの固
定構造を示す図で、（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面
図である。
定構造を示す図で、（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面
図である。
【図３】超音波モータの押圧力と移動ステージの速度と
の関係を示すグラフである。
の関係を示すグラフである。
【図４】（ａ）は従来の直線案内装置の一例を示す平面
図、（ｂ）はその正面図である。
図、（ｂ）はその正面図である。
【図５】（ａ）は従来の直線案内装置の他の例を示す平
面図、（ｂ）はその正面図である。
面図、（ｂ）はその正面図である。
１，３１，４１・・・移動ステージ ２，３２，４２・
・・ベース基盤 ３ａ，３ｂ，３３ａ，３３ｂ，４３ａ，４３ｂ・・・一
対のガイド部材 ４，３４，４４・・・リニアガイド ５，３５，４５・
・・測定ヘッド ６ａ，６ｂ，３６，４６・・・超音波モータ ７ａ，７ｂ，３７，４７・・・被駆動部材 ８，３８，４８・・・リニアスケールアンプ ９，３９，４９・・・制御部 １０ａ，１０ｂ，４０，５０・・・駆動ドライバー １１・・・位置検出手段 １２・・・ロードセル １３
・・・ピン １４・・・ケース １５・・・ピン １５ａ・・・押圧
板 １６・・・予圧調整機構
・・ベース基盤 ３ａ，３ｂ，３３ａ，３３ｂ，４３ａ，４３ｂ・・・一
対のガイド部材 ４，３４，４４・・・リニアガイド ５，３５，４５・
・・測定ヘッド ６ａ，６ｂ，３６，４６・・・超音波モータ ７ａ，７ｂ，３７，４７・・・被駆動部材 ８，３８，４８・・・リニアスケールアンプ ９，３９，４９・・・制御部 １０ａ，１０ｂ，４０，５０・・・駆動ドライバー １１・・・位置検出手段 １２・・・ロードセル １３
・・・ピン １４・・・ケース １５・・・ピン １５ａ・・・押圧
板 １６・・・予圧調整機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０２Ｎ 2/00 Ｃ Ｈ０２Ｎ 2/00 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０３Ａ Ｆターム(参考） 3J104 AA44 AA65 AA69 AA73 AA76 AA79 BA80 DA02 DA13 EA01 EA02 5F046 CC01 CC02 CC03 CC17 DB03 DB04 5H303 AA01 AA06 BB01 BB07 BB11 CC01 DD04 DD14 EE03 EE08 GG13 HH02 JJ04 JJ05 KK02 KK03 KK04 LL02 5H680 AA18 BB01 BC10 EE01 EE11 EE22 FF24 FF30
Claims (2)
- 【請求項１】ベース基盤上に設置された一対のガイド部
材と、該一対のガイド部材によって案内される中央に開
口部を有する移動ステージと、上記一対のガイド部材の
間で前記ベース基盤又は前記移動ステージに固定された
少なくとも一組の被駆動部材と、上記一組の被駆動部材
とそれぞれ当接し、前記移動ステージを案内する超音波
モータと、上記移動ステージの変位を測定する位置検出
手段と、該位置検出手段からの位置信号と予め設定され
ている位置信号との位置偏差に基づくパラメータを基に
ＰＩＤ演算を行って指令信号を出力する制御部と、該制
御部からの指令信号を基に上記各超音波モータへ指令電
圧を出力する駆動用ドライバーとからなり、上記一組の
被駆動部材は一直線上にかつ上記ガイド部材と平行に設
置するとともに、各被駆動部材には同一方向から前記超
音波モータをそれぞれ当接させ、該超音波モータでもっ
て前記移動ステージを移動させるようにしてなる直線案
内装置。 - 【請求項２】上記超音波モータの後方に被駆動部材への
押付力を調整するための予圧調整機構をそれぞれ設け、
各予圧調整機構によって各超音波モータの被駆動部材へ
の押圧力を調整して各超音波モータの駆動電圧の差を
０．５％以下としてなる請求項１に記載の直線案内装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33934798A JP3523510B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 直線案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33934798A JP3523510B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 直線案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000163129A true JP2000163129A (ja) | 2000-06-16 |
| JP3523510B2 JP3523510B2 (ja) | 2004-04-26 |
Family
ID=18326601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33934798A Expired - Fee Related JP3523510B2 (ja) | 1998-11-30 | 1998-11-30 | 直線案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3523510B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008014913A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Olympus Corp | 電動テーブル装置及び顕微鏡ステージ |
| US7962300B2 (en) | 2005-12-14 | 2011-06-14 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | Battery state judging method, and battery state judging apparatus |
| CN104308628A (zh) * | 2014-10-29 | 2015-01-28 | 苏州华冲精密机械有限公司 | 一种多功能超声振动切削机构 |
-
1998
- 1998-11-30 JP JP33934798A patent/JP3523510B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7962300B2 (en) | 2005-12-14 | 2011-06-14 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | Battery state judging method, and battery state judging apparatus |
| JP2008014913A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Olympus Corp | 電動テーブル装置及び顕微鏡ステージ |
| CN104308628A (zh) * | 2014-10-29 | 2015-01-28 | 苏州华冲精密机械有限公司 | 一种多功能超声振动切削机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3523510B2 (ja) | 2004-04-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1857775B1 (en) | Method and device for controlling the measuring operation of a contour measuring instrument | |
| US7685733B2 (en) | Micro force measurement device, micro force measurement method, and micro surface shape measurement probe | |
| JP2000074616A (ja) | 表面追従型測定機 | |
| JP2002062124A (ja) | 測尺装置 | |
| JP3523510B2 (ja) | 直線案内装置 | |
| JP4402078B2 (ja) | ステージ装置 | |
| JP2001116867A (ja) | Ｘｙステージ | |
| US7246513B2 (en) | Lateral calibration device and method | |
| JP4294451B2 (ja) | 半導体接合装置 | |
| JP4344850B2 (ja) | マイクロ材料試験装置 | |
| US7959873B1 (en) | Biological detection based on differentially coupled nanomechanical systems using self-sensing cantilevers with attonewton force resolution | |
| JP4126453B2 (ja) | 案内装置の駆動方法 | |
| JP3602434B2 (ja) | 高精度移動機構 | |
| JP3826977B2 (ja) | 流体静圧軸受けの特性測定装置、流体静圧軸受けの特性測定方法、及び位置決め装置の動特性を求める方法 | |
| JP2001242937A (ja) | ステージ装置 | |
| JP4500156B2 (ja) | 材料特性評価装置 | |
| JP4493318B2 (ja) | 精密駆動装置および精密駆動装置のエージング駆動方法 | |
| JP2000028767A (ja) | 直線案内装置 | |
| JP2001069773A (ja) | 超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置 | |
| JP2003343561A (ja) | 直線案内装置 | |
| JP2003339175A (ja) | 超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置 | |
| JP2001186783A (ja) | 超音波モ−タを可動体の駆動源とする案内装置 | |
| JP2001236621A (ja) | 磁気ヘッド用研磨装置および方法 | |
| TW201202881A (en) | Control device and method for parallel slider device, and measuring device | |
| JPH10307001A (ja) | 微細表面形状測定方法およびその装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040127 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040203 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040206 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090220 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100220 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110220 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |