JP2000162990A - 表示装置の作製方法 - Google Patents
表示装置の作製方法Info
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- JP2000162990A JP2000162990A JP33739098A JP33739098A JP2000162990A JP 2000162990 A JP2000162990 A JP 2000162990A JP 33739098 A JP33739098 A JP 33739098A JP 33739098 A JP33739098 A JP 33739098A JP 2000162990 A JP2000162990 A JP 2000162990A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 １枚の基板から、画素領域と周辺駆動回路領
域とを一体化した構成を有する表示装置を複数作製す
る、表示装置の作製方法に関して、歩留まりを向上し、
基板の有効利用を計る。 【解決手段】 基板の縁から画素領域までの距離に対し
て、基板の縁から周辺駆動回路までの距離を長くして位
置取りを行い、複数の表示装置のうち少なくとも２つあ
るいは全てが、画素領域と周辺駆動回路領域との位置関
係が同じであるようにする。これらの表示装置は基板上
で９０度の整数倍だけ位置取りの方向が異なり、同一の
フォトマスクを９０度の整数倍だけ回転させて露光する
ことによりパターニングを行う。
域とを一体化した構成を有する表示装置を複数作製す
る、表示装置の作製方法に関して、歩留まりを向上し、
基板の有効利用を計る。 【解決手段】 基板の縁から画素領域までの距離に対し
て、基板の縁から周辺駆動回路までの距離を長くして位
置取りを行い、複数の表示装置のうち少なくとも２つあ
るいは全てが、画素領域と周辺駆動回路領域との位置関
係が同じであるようにする。これらの表示装置は基板上
で９０度の整数倍だけ位置取りの方向が異なり、同一の
フォトマスクを９０度の整数倍だけ回転させて露光する
ことによりパターニングを行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、１枚の基板から、
画素領域と周辺駆動回路領域とを一体化した構成を有す
る表示装置を複数作製する、表示装置の作製方法に関す
るものである。このような、画素領域と周辺駆動回路領
域とを一体化した構成を有する表示装置としては、薄膜
トランジスタ液晶表示装置が挙げられる。特に、歩留ま
りを向上し、基板の有効利用を計ることも可能とする、
表示装置の作製方法に関するものである。
画素領域と周辺駆動回路領域とを一体化した構成を有す
る表示装置を複数作製する、表示装置の作製方法に関す
るものである。このような、画素領域と周辺駆動回路領
域とを一体化した構成を有する表示装置としては、薄膜
トランジスタ液晶表示装置が挙げられる。特に、歩留ま
りを向上し、基板の有効利用を計ることも可能とする、
表示装置の作製方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、薄膜トランジスタ液晶表示装置
は、ＰＣモニタ、ノートＰＣ、携帯情報端末、カーナビ
ゲーションシステム、フラットＴＶ、携帯ＴＶ、ビュー
ファインダー、プロジェクター等、多様・大量に使用さ
れている。最近は、低コスト化・高信頼性化等を目的と
して、多結晶シリコン薄膜トランジスタを用いて、画素
領域と周辺駆動回路領域とを一体化した構成を有する薄
膜トランジスタ液晶表示装置も、多く作製されている。
は、ＰＣモニタ、ノートＰＣ、携帯情報端末、カーナビ
ゲーションシステム、フラットＴＶ、携帯ＴＶ、ビュー
ファインダー、プロジェクター等、多様・大量に使用さ
れている。最近は、低コスト化・高信頼性化等を目的と
して、多結晶シリコン薄膜トランジスタを用いて、画素
領域と周辺駆動回路領域とを一体化した構成を有する薄
膜トランジスタ液晶表示装置も、多く作製されている。
【０００３】図１に、画素領域と周辺駆動回路領域とを
一体化した表示装置を示す。画素領域２の周囲に、走査
線駆動回路３と信号線駆動回路４とが、形成されてい
る。一般に、図１に示すような構成を有する表示装置を
作製する際には、大きな基板上に図１に示すような表示
装置５を複数組同時に形成し、その後に切断分割するこ
とにより、図１に示すような表示装置を複数同時に得て
いる。これは、図１に示すような表示装置を１つ１つ作
製するよりも、大きな基板を用いて多数個の表示装置を
同時に作製した方が、製造コストを削減できるからであ
る。
一体化した表示装置を示す。画素領域２の周囲に、走査
線駆動回路３と信号線駆動回路４とが、形成されてい
る。一般に、図１に示すような構成を有する表示装置を
作製する際には、大きな基板上に図１に示すような表示
装置５を複数組同時に形成し、その後に切断分割するこ
とにより、図１に示すような表示装置を複数同時に得て
いる。これは、図１に示すような表示装置を１つ１つ作
製するよりも、大きな基板を用いて多数個の表示装置を
同時に作製した方が、製造コストを削減できるからであ
る。
【０００４】大きな基板上への複数の表示装置の位置取
りの従来例として、特開平８−２２８００７が挙げられ
る。これは、歩留まりを向上し、基板の有効利用を計る
ことを目的とするもので、図２に示すように、パーティ
クルが多く欠陥が生じやすい基板の周辺部に、集積度が
高く、欠陥が生じると致命欠陥になりやすい、周辺駆動
回路領域を配置するのを、避けたものである。詳細は、
特開平８−２２８００７を参照されたい。
りの従来例として、特開平８−２２８００７が挙げられ
る。これは、歩留まりを向上し、基板の有効利用を計る
ことを目的とするもので、図２に示すように、パーティ
クルが多く欠陥が生じやすい基板の周辺部に、集積度が
高く、欠陥が生じると致命欠陥になりやすい、周辺駆動
回路領域を配置するのを、避けたものである。詳細は、
特開平８−２２８００７を参照されたい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】特開平８−２２８００
７に述べられているような、基板上への位置取りを行っ
た場合、画素領域と周辺駆動回路領域との位置関係が異
なる、複数の表示装置ができてしまう。特に、特開平８
−２２８００７の図３に述べられているような位置取り
を行った場合、図２中にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄと示したよう
な、画素領域と周辺駆動回路領域との位置関係が逆にな
る１組ずつ、すなわち、４種類もの異なる位置関係の、
複数のパネルができてしまう。（以降、同じ画素領域と
周辺駆動回路領域との位置関係をもつ表示装置には、
Ａ、Ｂ等同じ記号をつける。）これに応じて、この表示
装置を組込むアプリケーション側に、４種類のインター
フェイスを準備しなければならない。これは、部品点数
を増加させ、組立工程を複雑にするため、コスト高を招
く。
７に述べられているような、基板上への位置取りを行っ
た場合、画素領域と周辺駆動回路領域との位置関係が異
なる、複数の表示装置ができてしまう。特に、特開平８
−２２８００７の図３に述べられているような位置取り
を行った場合、図２中にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄと示したよう
な、画素領域と周辺駆動回路領域との位置関係が逆にな
る１組ずつ、すなわち、４種類もの異なる位置関係の、
複数のパネルができてしまう。（以降、同じ画素領域と
周辺駆動回路領域との位置関係をもつ表示装置には、
Ａ、Ｂ等同じ記号をつける。）これに応じて、この表示
装置を組込むアプリケーション側に、４種類のインター
フェイスを準備しなければならない。これは、部品点数
を増加させ、組立工程を複雑にするため、コスト高を招
く。
【０００６】そこで本発明の目的は、上に示すようなコ
スト高を招くことなく、歩留まりを向上し、基板の有効
利用を計ることも可能とする、表示装置の作製方法を提
供することである。
スト高を招くことなく、歩留まりを向上し、基板の有効
利用を計ることも可能とする、表示装置の作製方法を提
供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明
は、１枚の基板から、画素領域と周辺駆動回路領域とを
一体化した構成を有する表示装置を、複数作製する際
に、基板の縁から画素領域までの距離に対して、基板の
縁から周辺駆動回路までの距離を長くして位置取りを行
い、複数の表示装置のうち少なくとも２つは、画素領域
と周辺駆動回路領域との位置関係が同じであることを特
徴とする、表示装置の作製方法である。
は、１枚の基板から、画素領域と周辺駆動回路領域とを
一体化した構成を有する表示装置を、複数作製する際
に、基板の縁から画素領域までの距離に対して、基板の
縁から周辺駆動回路までの距離を長くして位置取りを行
い、複数の表示装置のうち少なくとも２つは、画素領域
と周辺駆動回路領域との位置関係が同じであることを特
徴とする、表示装置の作製方法である。
【０００８】本請求項によれば、この表示装置を組込む
アプリケーション側に準備しなければならないインター
フェイスの種類を削減できるので、コスト高を低減でき
る。また、パーティクルが多く欠陥が生じやすい基板の
周辺部に、集積度が高く、欠陥が生じると致命欠陥にな
りやすい、周辺駆動回路領域を配置するのを、避けてい
るので、歩留まりを向上し、基板の有効利用を計るとい
う効果も、維持できている。
アプリケーション側に準備しなければならないインター
フェイスの種類を削減できるので、コスト高を低減でき
る。また、パーティクルが多く欠陥が生じやすい基板の
周辺部に、集積度が高く、欠陥が生じると致命欠陥にな
りやすい、周辺駆動回路領域を配置するのを、避けてい
るので、歩留まりを向上し、基板の有効利用を計るとい
う効果も、維持できている。
【０００９】請求項２記載の本発明は、請求項１に記載
の表示装置の作製方法において、複数の表示装置の全て
が、画素領域と周辺駆動回路領域との位置関係が同じで
あることを特徴とする、表示装置の作製方法である。
の表示装置の作製方法において、複数の表示装置の全て
が、画素領域と周辺駆動回路領域との位置関係が同じで
あることを特徴とする、表示装置の作製方法である。
【００１０】本請求項によれば、この表示装置を組込む
アプリケーション側に準備しなければならないインター
フェイスの種類が１種類でよいので、コスト高を招くこ
とがない。
アプリケーション側に準備しなければならないインター
フェイスの種類が１種類でよいので、コスト高を招くこ
とがない。
【００１１】請求項３記載の本発明は、請求項１または
請求項２に記載の表示装置の作製方法において、複数の
表示装置のうち画素領域と周辺駆動回路領域との位置関
係が同じものは、前記基板上で９０度の整数倍だけ位置
取りの方向が異なることを特徴とする、表示装置の作製
方法である。
請求項２に記載の表示装置の作製方法において、複数の
表示装置のうち画素領域と周辺駆動回路領域との位置関
係が同じものは、前記基板上で９０度の整数倍だけ位置
取りの方向が異なることを特徴とする、表示装置の作製
方法である。
【００１２】本請求項によれば、基板の周辺部に周辺駆
動回路領域を配置するのを避けつつ、画素領域と周辺駆
動回路領域との位置関係が同じである表示装置を効率的
に配置することを、同時に可能とする。
動回路領域を配置するのを避けつつ、画素領域と周辺駆
動回路領域との位置関係が同じである表示装置を効率的
に配置することを、同時に可能とする。
【００１３】請求項４記載の本発明は、請求項３に記載
の表示装置の作製方法において、複数の表示装置のうち
画素領域と周辺駆動回路領域との位置関係が同じで基板
上で９０度の整数倍だけ位置取りの方向が異なるもの
は、同一のフォトマスクを９０度の整数倍だけ回転させ
て露光することによりパターニングを行うことを特徴と
する、表示装置の作製方法である。
の表示装置の作製方法において、複数の表示装置のうち
画素領域と周辺駆動回路領域との位置関係が同じで基板
上で９０度の整数倍だけ位置取りの方向が異なるもの
は、同一のフォトマスクを９０度の整数倍だけ回転させ
て露光することによりパターニングを行うことを特徴と
する、表示装置の作製方法である。
【００１４】本請求項によれば、同一のフォトマスクを
使用することで、コスト高を招くことがなく、また、ス
ループットも低下することがない。
使用することで、コスト高を招くことがなく、また、ス
ループットも低下することがない。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を、図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１６】（第１の実施の形態）本発明の第１の実施
の形態に関する、表示装置の位置取りを、図３に示す。
１枚の基板１から、４つの表示装置を得ている。走査線
駆動回路３および信号線駆動回路４を基板１の中心側に
配置することで、基板の周辺部に周辺駆動回路領域を配
置するのを避け、歩留まりを向上し、基板の有効利用を
計ることが可能となる。
の形態に関する、表示装置の位置取りを、図３に示す。
１枚の基板１から、４つの表示装置を得ている。走査線
駆動回路３および信号線駆動回路４を基板１の中心側に
配置することで、基板の周辺部に周辺駆動回路領域を配
置するのを避け、歩留まりを向上し、基板の有効利用を
計ることが可能となる。
【００１７】ここでは、１枚の基板１から得られる複数
の表示装置の全てが、画素領域と周辺駆動回路領域との
位置関係が同じものとなっている。また、これらは、基
板１上で９０度の整数倍だけ位置取りの方向が異なる。
これらのパターニングは、同一のフォトマスクを９０度
の整数倍だけ回転させて露光することにより行われるこ
とが望ましい。
の表示装置の全てが、画素領域と周辺駆動回路領域との
位置関係が同じものとなっている。また、これらは、基
板１上で９０度の整数倍だけ位置取りの方向が異なる。
これらのパターニングは、同一のフォトマスクを９０度
の整数倍だけ回転させて露光することにより行われるこ
とが望ましい。
【００１８】（第２の実施の形態）本発明の第２の実施
の形態に関する、表示装置の位置取りを、図４に示す。
第１の実施の形態とは、位置取りが若干異なっている。
この相違により、走査線駆動回路３は基板１の端に近づ
き、信号線駆動回路４は基板１の端から遠ざかってい
る。走査線駆動回路３よりも信号線駆動回路４の歩留ま
りをより向上させたいときは、こちらの配置がより効果
的である。また、全体として、基板１の周辺部分に余裕
ができており、走査線駆動回路３と信号線駆動回路４
の、総合的な歩留まりを向上させたいときにも、こちら
の配置が有効であろう。
の形態に関する、表示装置の位置取りを、図４に示す。
第１の実施の形態とは、位置取りが若干異なっている。
この相違により、走査線駆動回路３は基板１の端に近づ
き、信号線駆動回路４は基板１の端から遠ざかってい
る。走査線駆動回路３よりも信号線駆動回路４の歩留ま
りをより向上させたいときは、こちらの配置がより効果
的である。また、全体として、基板１の周辺部分に余裕
ができており、走査線駆動回路３と信号線駆動回路４
の、総合的な歩留まりを向上させたいときにも、こちら
の配置が有効であろう。
【００１９】（第３の実施の形態）本発明の第３の実施
の形態に関する、表示装置の位置取りを、図５に示す。
の形態に関する、表示装置の位置取りを、図５に示す。
【００２０】ここでは、図５中にＡ、Ｂと示されるよう
に、１枚の基板１から得られる２つずつの表示装置が、
画素領域と周辺駆動回路領域との位置関係が同じものと
なっている。また、これらは、基板上で９０度の整数倍
だけ位置取りの方向が異なる。これらのパターニング
は、同一のフォトマスクを９０度の整数倍だけ回転させ
て露光することにより行われることが望ましい。
に、１枚の基板１から得られる２つずつの表示装置が、
画素領域と周辺駆動回路領域との位置関係が同じものと
なっている。また、これらは、基板上で９０度の整数倍
だけ位置取りの方向が異なる。これらのパターニング
は、同一のフォトマスクを９０度の整数倍だけ回転させ
て露光することにより行われることが望ましい。
【００２１】（第４の実施の形態）本発明の第４の実施
の形態に関する、表示装置の位置取りを、図６に示す。
１枚の基板１から、２つの表示装置を得ている。信号線
駆動回路４を基板１の中心側に配置することで、基板の
周辺部に周辺駆動回路領域を配置するのを避け、歩留ま
りを向上し、基板の有効利用を計ることが可能となる。
の形態に関する、表示装置の位置取りを、図６に示す。
１枚の基板１から、２つの表示装置を得ている。信号線
駆動回路４を基板１の中心側に配置することで、基板の
周辺部に周辺駆動回路領域を配置するのを避け、歩留ま
りを向上し、基板の有効利用を計ることが可能となる。
【００２２】ここでは、１枚の基板１から得られる２つ
の表示装置が、画素領域と周辺駆動回路領域との位置関
係が同じものとなっている。また、これらは、基板１上
で９０度の整数倍だけ位置取りの方向が異なる。これら
のパターニングは、同一のフォトマスクを９０度の整数
倍だけ回転させて露光することにより行われることが望
ましい。
の表示装置が、画素領域と周辺駆動回路領域との位置関
係が同じものとなっている。また、これらは、基板１上
で９０度の整数倍だけ位置取りの方向が異なる。これら
のパターニングは、同一のフォトマスクを９０度の整数
倍だけ回転させて露光することにより行われることが望
ましい。
【００２３】（第５の実施の形態）本発明の第５の実施
の形態に関する、表示装置の位置取りを、図７に示す。
第４の実施の形態とは、位置取りが若干異なっている。
走査線駆動回路３と信号線駆動回路４のどちらの歩留ま
りをより向上させたいか、基板１の周辺の欠陥の発生状
況などにより、総合的な歩留まりを向上させるのにこち
らの配置が有効であるときには、こちらの配置を用いれ
ばよい。
の形態に関する、表示装置の位置取りを、図７に示す。
第４の実施の形態とは、位置取りが若干異なっている。
走査線駆動回路３と信号線駆動回路４のどちらの歩留ま
りをより向上させたいか、基板１の周辺の欠陥の発生状
況などにより、総合的な歩留まりを向上させるのにこち
らの配置が有効であるときには、こちらの配置を用いれ
ばよい。
【図１】画素領域と周辺駆動回路領域とを一体化した表
示装置を示す図。
示装置を示す図。
【図２】従来の、基板上への表示装置の位置取りを示す
図。
図。
【図３】第１の実施の形態に関する、基板上への表示装
置の位置取りを示す図。
置の位置取りを示す図。
【図４】第２の実施の形態に関する、基板上への表示装
置の位置取りを示す図。
置の位置取りを示す図。
【図５】第３の実施の形態に関する、基板上への表示装
置の位置取りを示す図。
置の位置取りを示す図。
【図６】第４の実施の形態に関する、基板上への表示装
置の位置取りを示す図。
置の位置取りを示す図。
【図７】第５の実施の形態に関する、基板上への表示装
置の位置取りを示す図。
置の位置取りを示す図。
１ 基板 ２ 画素領域 ３ 走査線駆動回路 ４ 信号線駆動回路 ５ 表示装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H092 GA59 JA24 MA12 MA37 NA27 NA29 PA01 5C094 AA42 AA43 AA44 AA46 AA48 BA03 BA43 DA01 DA09 FA01 FA03 GB10 JA09
Claims (4)
- 【請求項１】 １枚の基板から、画素領域と周辺駆動回
路領域とを一体化した構成を有する表示装置を、複数作
製する際に、前記基板の縁から前記画素領域までの距離
に対して、前記基板の縁から前記周辺駆動回路までの距
離を長くして位置取りを行い、複数の前記表示装置のう
ち少なくとも２つは、前記画素領域と前記周辺駆動回路
領域との位置関係が同じであることを特徴とする、表示
装置の作製方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の表示装置の作製方法に
おいて、複数の前記表示装置の全てが、前記画素領域と
前記周辺駆動回路領域との位置関係が同じであることを
特徴とする、表示装置の作製方法。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の表示装
置の作製方法において、複数の前記表示装置のうち前記
画素領域と前記周辺駆動回路領域との位置関係が同じも
のは、前記基板上で９０度の整数倍だけ位置取りの方向
が異なることを特徴とする、表示装置の作製方法。 - 【請求項４】 請求項３に記載の表示装置の作製方法に
おいて、複数の前記表示装置のうち前記画素領域と前記
周辺駆動回路領域との位置関係が同じで前記基板上で９
０度の整数倍だけ位置取りの方向が異なるものは、同一
のフォトマスクを９０度の整数倍だけ回転させて露光す
ることによりパターニングを行うことを特徴とする、表
示装置の作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33739098A JP2000162990A (ja) | 1998-11-27 | 1998-11-27 | 表示装置の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33739098A JP2000162990A (ja) | 1998-11-27 | 1998-11-27 | 表示装置の作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000162990A true JP2000162990A (ja) | 2000-06-16 |
Family
ID=18308191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33739098A Withdrawn JP2000162990A (ja) | 1998-11-27 | 1998-11-27 | 表示装置の作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000162990A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7273403B2 (en) | 2001-12-27 | 2007-09-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing flat display panels of different sizes from a common base substrate |
-
1998
- 1998-11-27 JP JP33739098A patent/JP2000162990A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7273403B2 (en) | 2001-12-27 | 2007-09-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing flat display panels of different sizes from a common base substrate |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060207 |