JP2000162083A - 気密封止漏れ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】標準サンプルおよびマスタ用カプセルの数を少
なくして搬送系の小型化とコスト低減を図ることができ
る気密封止漏れ検査装置を提供する。 【解決手段】被測定ワークＷを収納するワーク用カプセ
ル２と、標準サンプルＳを収納するマスタ用カプセル３
と、両カプセル２，３を密閉できる着脱自在な蓋体１４
と、蓋体１４にそれぞれのエアー通路を介して接続さ
れ、エアーを供給するとともに両カプセルの差圧を測定
する差圧測定器１３とを備え、両カプセル内を一定の圧
力まで加圧した後、その圧力差を差圧測定器１３で測定
することにより、被測定ワークＷの気密封止漏れを検査
する。ワーク用カプセル２は差圧測定器１３に対して入
れ替わり搬送されるとともに、マスタ用カプセル４は差
圧測定器１３に対して固定的に配置され、被測定ワーク
Ｗと標準サンプルＳは入れ替わりペアを組むことで差圧
測定器１３により検査される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は気密封止型の被測定
ワークのパッケージの漏れ量をエアーの圧力を測定する
ことで判別する気密封止漏れ検査装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の気密封止漏れ検査装置と
して、特開平１０−６２２９６号公報に記載のものがあ
る。この検査装置は、被測定ワークを収納する収納凹部
と標準サンプルを収納する収納凹部とを有する下型を備
え、この下型を移動テーブル上に載置し、上型の下へ搬
送可能となっている。そして、下型を押し上げて上型の
下面に密着させることで両収納凹部を密閉する。この状
態で、上型に接続されたテスト圧源からエアーを供給
し、両収納凹部内を一定の圧力まで加圧する。その後、
バルブを切り替えて両収納凹部を差圧センサに接続し、
両収納凹部の圧力差を差圧センサで測定することによ
り、被測定ワークの気密封止漏れを検査している。

【０００３】上記の気密封止漏れ検査装置では、下型の
収納凹部に被測定ワークを収納した後、下型を移動テー
ブルによって上型の下へ搬送し、下型を押し上げて上型
の下面に密着させることで漏れ検査を行なう。検査の
後、下型を引き出し、検査済みのワークを取り出すとと
もに、新たなワークを下型に取り入れる。このように、
従来の検査装置の場合、検査とワークの取り入れ，取り
出しを並行して行なうことができないので、検査の期間
中、後続の被測定ワークは待機していなければならない
し、ワークの取り入れ，取り出しの期間中、検査装置は
待機していなければならない。そのため、被測定ワーク
の気密封止漏れを効率よく検査できない欠点があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そこで、図１，図２に
示すように、検査装置１の内部で被測定ワークＷおよび
標準サンプルＳを収納するカプセル２，３を循環させる
方式が考えられる。カプセル２，３には同一形状の収納
凹部２ａ，３ａが形成され、これら収納凹部２ａ，３ａ
に被測定ワークＷおよび標準サンプルＳが収納される。
検査装置１の一端側にワーク挿入部４、中央に検査部
５、他端側にワーク排出部６がそれぞれ設けられ、図１
に矢印で示すようにカプセル２，３をワーク挿入部４〜
検査部５〜ワーク排出部６へと搬送し、その後リターン
部７で一旦待機させた後、ワーク挿入部４へと戻す循環
経路１ａが設けられている。複数ペアのカプセル２，３
はシャトル８に載って搬送される。リターン部７はシャ
トル８を待機させる機能の他、カプセル２，３内の清掃
や、静電気除去などの機能を持たせることが可能であ
る。なお、リターン部７は省略可能である。

【０００５】検査装置１の側部にはコンベア９が設けら
れ、コンベア９の両端にはローダ１０とアンローダ１１
とが設けられている。ローダ１０から取り出されたパレ
ット１２上に被測定ワークＷが配列されており、ワーク
挿入部４で被測定ワークＷはパレット１２からワーク用
カプセル２に挿入される。検査部５には複数台の差圧測
定器１３が設けられ、これら差圧測定器１３の位置でカ
プセル２，３が蓋体１４で密閉され、複数ペアの被測定
ワークＷおよび標準サンプルＳが同時に検査される。な
お、図２では図示していないが、蓋体１４にはエアー通
路を介して各カプセル２，３にエアーを供給する加圧エ
アー源（テスト圧源）が接続されている。また、各カプ
セル２，３には、蓋体１４との間で密閉度を保つために
Ｏリングなどのシール材１５，１６が取り付けられてい
る。検査後の被測定ワークＷは、ワーク排出部６でカプ
セル２からパレット１２へと排出される。

【０００６】上記の方式では、被測定ワークＷの気密封
止漏れを検査している間、次の被測定ワークＷをカプセ
ル２に挿入する作業や、検査後の被測定ワークＷをカプ
セル２から排出する作業を並行して行なうことができる
ので、作業効率が格段に向上する。しかし、ワーク用カ
プセル２とマスタ用カプセル３とを常にペアにして搬送
しているため、マスタ用カプセル３がワーク用カプセル
２と同数だけ必要となり、カプセルの個数が増加し、コ
スト上昇を招くという欠点がある。特に、図１のように
複数台の差圧測定器を用いて検査を行う場合、その台数
に比例してカプセル数が増加してしまう。また、搬送す
べきカプセル２，３が常にペアとなっているので大型・
大重量となり、搬送系が大型化してしまう欠点もある。

【０００７】そこで、本発明の目的は、カプセル数を少
なくしてコスト低減と搬送系の小型化とを図ることがで
きる気密封止漏れ検査装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、被測定ワークを収納する
収納凹部を有するワーク用カプセルと、上記収納凹部と
同一形状で、標準サンプルを収納する収納凹部を有する
マスタ用カプセルと、上記両収納凹部を密閉できる着脱
自在な蓋体と、蓋体にそれぞれのエアー通路を介して接
続され、上記両収納凹部にそれぞれエアーを供給する加
圧エアー源と、両収納凹部の差圧を測定する差圧測定器
とを備え、両収納凹部内を一定の圧力まで加圧した後、
両収納凹部の圧力差を差圧測定器で測定することによ
り、被測定ワークの気密封止漏れを検査する装置におい
て、上記ワーク用カプセルは差圧測定器に対して入れ替
わり搬送されるとともに、上記マスタ用カプセルは差圧
測定器に対して固定的に配置され、被測定ワークは標準
サンプルと入れ替わりペアを組むことで差圧測定器によ
り測定されることを特徴とする気密封止漏れ検査装置を
提供する。

【０００９】ワーク用カプセルに被測定ワークを収納
し、このカプセルを搬送手段によって差圧測定器の部位
まで搬送する。差圧測定器の部位では、既にマスタ用カ
プセルが待機しており、このカプセルには標準サンプル
が収納されている。差圧測定器の部位にワーク用カプセ
ルとマスタ用カプセルとが揃った段階で、蓋体がカプセ
ルに密着され、両カプセルを密閉する。次にエアー通路
を介してエアーがカプセルに導入され、カプセル内を一
定の圧力まで加圧した後、両カプセルの圧力差を差圧測
定器で測定する。被測定ワークの気密封止が良好である
場合には、カプセル内の圧力に変化がないが、被測定ワ
ークが気密不良である場合には、ワーク用カプセル内の
圧力がワーク内に侵入したエアーの分だけ低下する。ワ
ーク用カプセル内の圧力と気密漏れの少ない標準サンプ
ルを収納したマスタ用カプセル内の圧力との差を差圧測
定器で測定し、被測定ワークの良否を判定する。検査が
終了した後、蓋体がカプセルから外され、ワーク用カプ
セルのみが搬送手段によって次の場所へ運ばれる。一
方、マスタ用カプセルは差圧測定器の部位に残され、次
のワーク用カプセルの到来を待つ。

【００１０】このように、搬送するのはワーク用カプセ
ルだけで済むので、搬送系を小型化できるとともに、標
準サンプルおよびマスタ用カプセルは差圧測定器の台数
と同数で足りるので、標準サンプルおよびマスタ用カプ
セルの個数を大幅に削減できる。

【００１１】請求項２に記載のように、複数のワーク用
カプセルと、ワーク用カプセルに対して被測定ワークを
挿入するワーク挿入部と、上記差圧測定器を有し、被測
定ワークと標準サンプルとペアにして検査する検査部
と、ワーク用カプセルから被測定ワークを排出するワー
ク排出部と、上記ワーク用カプセルをワーク挿入部から
検査部、ワーク排出部、ワーク挿入部へと循環搬送する
搬送手段と、を備え、複数のワーク用カプセルを循環さ
せながら検査するのが望ましい。この場合には、ワーク
挿入部と検査部とワーク排出部とを並行して作動させる
ことで、待機時間を少なくし、極めて効率よく漏れ検査
を行なうことができる。

【００１２】請求項３のように、蓋体に、ワーク用カプ
セルおよびマスタ用カプセルに対して密着してその間を
シールするシール材を取り付けるのが望ましい。例え
ば、シール材をワーク用カプセルおよびマスタ用カプセ
ルに取り付けた場合には、シール材がカプセル数に相当
する数だけ必要となり、しかも、シール材は気密封止漏
れ検査のときのみ使用されるので、搬送中は不要であ
る。そこで、請求項３ではシール材を蓋体に設けること
で、シール材の個数を削減している。シール材として
は、例えばＯリングを用いることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】図３，図４は本発明にかかる気密
封止漏れ検査装置の一例を示す。図において、図１，図
２と同一部品には同一符号を付して重複説明を省略す
る。

【００１４】この検査装置では、循環経路１ａを搬送さ
れるシャトル８には、被測定ワークＷを収容するワーク
用カプセル２のみが載っている。ワーク挿入部４で、シ
ャトル８上に載ったワーク用カプセル２の収納凹部２ａ
に対して、パレット１２から被測定ワークＷが挿入され
る。ワーク用カプセル２はシャトル８に載って検査部５
である差圧測定器１３の部位まで搬送される。一方、標
準サンプルＳを収容したマスタ用カプセル３は、１台の
差圧測定器１３に対して１個ずつ固定的に配置されてい
る。例えば、蓋体１４に対してマスタ用カプセル３を常
に密着した状態のまま保持してもよいし、ワーク用カプ
セル２が差圧測定器１３の下方へ搬送されてきた時にマ
スタ用カプセル３を一旦シャトル８上に載置し、その
後、両方のカプセル２，３に対して蓋体１４を同時に密
着させてもよい。

【００１５】このようにして、マスタ用カプセル３内の
標準サンプルＳはワーク用カプセル２内の被測定ワーク
Ｗと入れ替わりペアを組むことで差圧測定器１３により
検査される。検査が終了した後、ワーク用カプセル２は
シャトル８上に戻され、シャトル８はワーク排出部６へ
と搬送される。このとき、マスタ用カプセル３はシャト
ル８には戻されず、差圧測定器１３の近傍部位に残さ
れ、次の検査を待つ。

【００１６】上記のように、ワーク挿入部４、検査部
５、ワーク排出部６、リターン部７が独立して設けら
れ、これら各部をシャトル８が循環することでワーク用
カプセル２を搬送するようにしたので、ワーク挿入動作
と検査動作とワーク排出動作とを並行して実行できる。
つまり、検査の期間中、後続の被測定ワークの挿入作業
を停止する必要がなく、またワークの排出期間中、検査
作業を停止する必要もないので、被測定ワークＷの気密
封止漏れを効率よく検査できる。しかも、シャトル８に
はワーク用カプセル２のみを載置すればよいので、搬送
系を小型化できるとともに、より多くのカプセルを搬送
することも可能となる。

【００１７】また、標準サンプルＳおよびマスタ用カプ
セル３は１台の差圧測定器１３に対して１個ずつ設ける
だけでよいので、図１に比べて標準サンプルＳおよびマ
スタ用カプセル３の数を格段に少なくできる。特に、量
産性を高めるため複数台の差圧測定器１３を用いて同時
に検査を行なう場合には、標準サンプルＳおよびマスタ
用カプセル３の削減効果は一層大きくなる。

【００１８】例えば、図１，図３のように１０台の差圧
測定器１３を用いた検査装置の場合、従来では１個のシ
ャトルに対して１０個のマスタ用カプセルと１０個のワ
ーク用カプセルとが搭載され、各ポジションに１個ずつ
シャトルが必要であるから、合計 （１０＋１０）×４＝８０個 のカプセルが必要であった。これに対し、本発明ではマ
スタ用カプセルは差圧測定器の台数と同数でよいので、
合計 １０＋１０×４＝５０個 のカプセルで足りる。

【００１９】図５は本発明の他の実施例を示す。この実
施例は、カプセル２，３と蓋体１４との間をシールする
シール材１５，１６を蓋体１４側に取り付けたものであ
る。図２，図４の例では、シール材１５，１６がカプセ
ル２，３側に取り付けられているので、カプセルの数だ
けシール材１５，１６が必要になる。シール材１５，１
６は繰り返し使用によって劣化するので、随時取り替え
る必要があるが、図２，図４のように各カプセルにシー
ル材を設けると、シール材の本数が多くなり費用が嵩む
だけでなく、特定のカプセルのシール材のみが劣化した
時に、シール材の劣化による測定誤差かそれとも他の原
因による測定誤差かを判別しにくい。これに対し、蓋体
１４側にシール材１５，１６を設けると、シール材の本
数を減らせるとともに、蓋体１４に連結された差圧測定
器１３が誤った測定値を出力することで、容易にシール
材１５，１６の劣化を判別できる。

【００２０】本発明は上記実施例に限定されるものでは
ない。図４，図５の実施例ではシャトル８がペアとなる
カプセル２，３を同時に載置できる大きさとしたが、ワ
ーク用カプセル２のみを載置できる大きさとしてもよ
い。また、上記実施例ではカプセル２をシャトル８に載
せて搬送するようにしたが、これに限るものではなく、
カプセル２自身を直接搬送するようにしてもよい。搬送
手段としては、ベルトコンベアやその他の公知の手段を
用いることができる。さらに、１枚の蓋体１４がワーク
用カプセル２とマスタ用カプセル３を共に密閉する例を
示したが、各カプセル２，３を個別に密閉する蓋体を設
けてもよいことは勿論である。

【００２１】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、ワーク用カプセルを差圧測定器に対して入れ替
わり搬送するとともに、マスタ用カプセルを差圧測定器
に対して固定的に配置し、被測定ワークと標準サンプル
とを入れ替わりペアを組むことで差圧測定器により検査
するようにしたので、１台の差圧測定器に対して標準サ
ンプルおよびマスタ用カプセルを１個ずつ配置すればよ
く、標準サンプルおよびマスタ用カプセルの数を削減で
きる。その結果、設備費を削減できるとともに、ワーク
用カプセルのみを搬送すればよくなり、搬送系の小型化
を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の前提となる気密封止検査装置の一例の
概略構造図である。

【図２】図１のカプセルの配置方法を示す図である。

【図３】本発明にかかる気密封止検査装置の一例の概略
構造図である。

【図４】図３の検査装置におけるカプセルの配置方法を
示す図である。

【図５】カプセルのシール材の配置方法の他の例を示す
図である。

【符号の説明】

１ 検査装置 ２ ワーク用カプセル ３ マスタ用カプセル ４ ワーク挿入部 ５ 検査部 ６ ワーク排出部 ７ リターン部 １３ 差圧測定器 １４ 蓋体 １５，１６ シール材

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被測定ワークを収納する収納凹部を有する
   ワーク用カプセルと、上記収納凹部と同一形状で、標準
   サンプルを収納する収納凹部を有するマスタ用カプセル
   と、上記両収納凹部を密閉できる着脱自在な蓋体と、蓋
   体にそれぞれのエアー通路を介して接続され、上記両収
   納凹部にそれぞれエアーを供給する加圧エアー源と、両
   収納凹部の差圧を測定する差圧測定器とを備え、両収納
   凹部内を一定の圧力まで加圧した後、両収納凹部の圧力
   差を差圧測定器で測定することにより、被測定ワークの
   気密封止漏れを検査する装置において、上記ワーク用カ
   プセルは差圧測定器に対して入れ替わり搬送されるとと
   もに、上記マスタ用カプセルは差圧測定器に対して固定
   的に配置され、被測定ワークは標準サンプルと入れ替わ
   りペアを組むことで差圧測定器により測定されることを
   特徴とする気密封止漏れ検査装置。
2. 【請求項２】複数のワーク用カプセルと、ワーク用カプ
   セルに対して被測定ワークを挿入するワーク挿入部と、
   上記差圧測定器を有し、被測定ワークと標準サンプルと
   をペアにして検査する検査部と、ワーク用カプセルから
   被測定ワークを排出するワーク排出部と、上記ワーク用
   カプセルをワーク挿入部から検査部、ワーク排出部、ワ
   ーク挿入部へと循環搬送する搬送手段と、を備えたこと
   を特徴とする請求項１に記載の気密封止漏れ検査装置。
3. 【請求項３】上記蓋体には、上記ワーク用カプセルおよ
   びマスタ用カプセルに対して密着してその間をシールす
   るシール材が取り付けられていることを特徴とする請求
   項１または２に記載の気密封止漏れ検査装置。