JP2015125044A - リークテスト装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】差圧方式の漏れ試験の信頼性を確保する。
【解決手段】同時期開閉機構５によって、被検室１９と基準室２９とを同時期に封止状態にする。次に、差圧測定回路２によって、被検室１９と基準室２９とを連通してこれら室１９，２９に加圧気体を導入した後、これら室１９，２９どうしを遮断して、室１９，２９どうし間の差圧を差圧センサ２ｃにて測定する。その後、同時期開閉機構５によって、被検室１９と基準室２９とを同時期に開放状態にする。
【選択図】図１

Description

本発明は、被検体（ワーク）の気密性を試験するリークテスト装置及び方法に関し、特に基準体（マスタ）を用いた差圧方式によるリークテスト装置及び方法に関する。

例えば、特許文献１等に開示されたリークテストにおいては、被検体（ワーク）を出し入れ可能な被検容器（ワークカプセル）に加えて、基準容器（マスタカプセル）を用意する。この基準容器に基準体（マスタ）を収容し、かつ基準容器を封止しておく。基準体としては、例えば、漏れが無い良品の被検体が用いられる。そして、被検容器を開けて、被検体を被検容器内に収容し、被検容器と基準容器とを差圧測定回路を介して接続する。続いて、圧縮エア（加圧気体）を被検容器及び基準容器に導入し、その後、差圧測定回路における被検容器に連なる路部分と、基準容器に連なる路部分とを遮断する。被検体にピンホール等の欠陥部があったときはそこから圧縮エアが洩れて、被検容器内の圧力と基準容器内の圧力との間に差圧が生じる。この差圧を差圧測定回路の差圧センサにて測定する。これによって、被検体からの圧力漏れひいては被検体の気密性を試験できる。

特開平０９−１２６９４０号公報

この種のリークテスト装置において、複数の被検体を順次試験する場合、個々の被検体を試験する度に、被検容器（ワークカプセル）が開放されて被検体が出し入れされる。これに対し、基準容器（マスタカプセル）は封止された状態のままである。そのため、基準容器には、圧縮エアの導入による圧縮熱が被検容器よりも蓄積されやすい。この圧縮熱によって基準体や基準容器が熱膨張を来すと、基準容器の内容積が変化するために、大きな漏れがあったと判定されるおそれがあり、漏れ試験の精度に影響が出てしまう。

上記課題を解決するため、本発明装置は、被検容器又は被検体を含む被検室画成部にて画成された被検室と、基準容器又は基準体を含む基準室画成部にて画成された基準室との差圧によって前記被検体からの漏れを試験するリークテスト装置であって、
（Ａ）前記被検室と前記基準室とを連通してこれら空間に加圧気体を導入した後、これら空間どうしを遮断して前記差圧を測定する差圧測定回路と、
（Ｂ）前記加圧気体の導入前に前記被検室と前記基準室とを同時期に封止状態にし、前記差圧の測定後に前記被検室と前記基準室とを同時期に開放状態にする同時期開閉機構と、
を備えたことを特徴とする。
また、本発明方法は、被検容器又は被検体を含む被検室画成部にて画成された被検室と、基準容器又は基準体を含む基準室画成部にて画成された基準室との差圧によって前記被検体からの漏れを試験するリークテスト方法であって、
前記被検室と前記基準室とを同時期に封止状態にし、
次に、前記被検室と前記基準室とを連通してこれら室に加圧気体を導入した後、これら室どうしを遮断して前記差圧を差圧センサにて測定し、
前記差圧の測定後に前記被検室と前記基準室とを同時期に開放状態にすることを特徴とする。
これによって、被検体の漏れ試験を繰り返した場合であっても、被検体を入れ替える度ごとに被検室と一緒に基準室を開放することで、基準室に圧縮熱が蓄積されるのを防止できる。したがって、基準室画成部の熱膨張を防止できる。要するに、基準室画成部を被検室画成部と実質同じ熱条件に維持できる。この結果、漏れ試験の信頼性を確保することができる。

ここで、同時期とは、被検室及び基準室に対して前記封止状態にしたり開放状態にしたりするタイミングが厳密に同時である場合のみならず、熱条件を実質的に同じにできる範囲内でタイミングが多少ずれている場合をも含むことを意味する。例えば、被検室と基準室との封止状態にするタイミング又は開放状態にするタイミングが、０．１秒〜１０秒程度ずれていてもよい。この程度のずれであれば、被検室と基準室の熱条件を実質的に同じにすることができる。基準室を開放又は封止するタイミングは、被検室を開放又は封止するタイミングより先でもよく後でもよい。

前記同時期開閉機構が、
（ａ）前記被検室を開放する第１開放位置と前記被検室を封止する第１封止位置との間で前記被検室画成部に対して変位可能な被検開閉部材と、
（ｂ）前記基準室を開放する第２開放位置と前記基準室を封止する第２封止位置との間で前記基準室画成部に対して変位可能、かつ前記被検開閉部材が前記第１開放位置のとき前記第２開放位置になり、前記被検開閉部材が前記第１封止位置のとき前記第２封止位置になる基準開閉部材と、
を含むことが好ましい。
これによって、基準室と被検室とを確実に略同時に封止したり開放したりすることができる。

前記被検室画成部と前記基準室画成部とが互いに一方向に対向し、これら画成部どうしの間には、前記被検開閉部材及び基準開閉部材が前記一方向に移動可能に介在され、かつ前記被検開閉部材が前記被検室画成部と対向するとともに前記基準開閉部材が前記基準室画成部と対向し、かつ前記被検開閉部材及び基準開閉部材どうしが、互いの間に作動圧室を形成するように嵌め合わされており、更に、前記同時期開閉機構が、前記作動圧室に流体圧を導入する作動圧導入手段を含み、前記流体圧によって前記被検開閉部材及び基準開閉部材が前記一方向の互いに反対側に押されることが好ましい。
これによって、基準室と被検室とを一層確実に略同時に封止したり開放したりすることができる。

前記被検開閉部材が、第１開放受圧面と第１封止受圧面とを有し、
前記基準開閉部材が、前記第１開放受圧面より前記被検室画成部の側に配置されて前記第１開放受圧面と対向する第２開放受圧面と、前記第１封止受圧面より前記基準室画成部の側に配置されて前記第２開放受圧面と対向する第２封止受圧面とを有し、
前記作動圧室として、前記第１、第２開放受圧面どうしの間に開放作動圧室が形成されるとともに、前記第１、第２封止受圧面どうしの間に封止作動圧室が形成されていることが好ましい。
これによって、前記開放作動圧室に流体圧を導入したときは、前記被検開閉部材が前記基準室画成部の側へ押されるとともに前記基準開閉部材が前記被検室画成部の側へ押されるようにできる。したがって、被検室及び基準室を略同時に開放できる。また、前記封止作動圧室に流体圧を導入したときは、前記被検開閉部材が前記被検室画成部の側へ押されるとともに前記基準開閉部材が前記基準室画成部の側へ押されるようにできる。したがって、被検室及び基準室を略同時に封止できる。

前記第１開放受圧面又は第２開放受圧面の面積が、前記第１封止受圧面又は第２封止受圧面の面積より小さいことが好ましい。
これによって、前記開放作動圧室の前記一方向への受圧面積が、前記封止作動圧室の前記一方向への受圧面積より小さくなる。被検室及び基準室の開放時には、被検開閉部材が少しでも被検室から離れ、基準開閉部材が少しでも基準室から離れればよいから、開放のための力はそれほど大きくなくてもよい。これに対し、被検室及び基準室の封止時には、封止力を高くして確実に封止できる。

前記被検開閉部材及び基準開閉部材の一方が、軸線を前記一方向に向けた筒部を有し、前記被検開閉部材及び基準開閉部材の他方が、前記筒部の内部に前記軸線に対し揺動可能に遊嵌された遊嵌軸部を有していることが好ましい。
これによって、被検開閉部材又は基準開閉部材を、流体圧によって姿勢矯正することで被検室画成部又は基準室画成部にぴったりと押し当てることができる。

本発明によれば、漏れ試験の信頼性を確保することができる。

図１は、本発明の第１実施形態に係るリークテスト装置の概略構成を示す回路図である。 図２は、上記リークテスト装置の容器ユニットを封止状態にて示す縦断面図である。 図３は、上記容器ユニットを開放状態にて示す縦断面図である。 図４は、上記リークテスト装置を用いたリークテスト方法における動作を示すタイムチャートである。

以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係るリークテスト装置１を示したものである。リークテスト装置１は、基準体９２を用いて被検体９１の圧力漏れを試験する装置である。被検体９１は、例えばタブレット型の高機能携帯端末であるが、これに限られず、水晶振動子やＭＥＭＳなどの小型精密品をはじめとする各種の電子部品や、車両部品その他の工業製品等であってもよい。基準体９２としては、被検体９１のうち、漏れが無いことが判明している良品が用いられている。なお、基準体９２として、被検体９１に模した疑似被検体を用いてもよい。疑似被検体は、被検体９１とは材質が異なる樹脂や金属にて構成されていてもよい。

図１に示すように、リークテスト装置１は、差圧測定回路２と、容器ユニット３を備えている。差圧測定回路２は、被検圧路２ａと、基準圧路２ｂと、差圧センサ２ｃを含む。被検圧路２ａ及び基準圧路２ｂは、エア圧源２ｅ（加圧流体供給源）から分岐して容器ユニット３へ延びている。被検圧路２ａと基準圧路２ｂとの間に差圧センサ２ｃが設けられている。

図２に示すように、容器ユニット３は、被検容器１０（被検室画成部）と、基準容器２０（基準室画成部）と、シリンダユニット３０と、これら構成要素１０〜３０を支持する支柱４とを含む。被検容器１０は、例えばアルミニウム等の金属にて構成され、四角形の厚板状になっている。被検容器１０の上面に凹部が形成されている。この上面凹部の内部空間が被検室１９を構成している。被検室１９は上方へ開口されている。被検圧路２ａの先端部が被検室１９に連なっている。

被検室１９に中子１３が着脱可能に収容されている。中子１３は、例えばアクリロニトリル／ブタジエン／スチレン（ＡＢＳ）、ポリプロチレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）などの樹脂にて構成されているが、これに限られず、樹脂以外の、金属等の材料にて構成されていてもよい。中子１３によって被検室１９の大部分が埋められ、被検室１９の内容積が縮小されている。中子１３の上面には、収容凹部１３ａが形成されている。この収容凹部１３ａに被検体９１が収容される。ひいては、被検体９１が被検室１９に収容される。

被検容器１０の左右側部には支持ローラ１５が設けられている。一方、支柱４の下側部には溝状の案内条体４ｃが設けられている。詳細な図示は省略するが、案内条体４ｃは、前後方向（図２、図３において紙面と直交する方向）へ向けられるとともに、支柱４から前方（図２、図３において紙面手前）へ延び出ている。支持ローラ１５が、案内条体４ｃに前後へ転動可能に支持されている。ひいては、被検容器１０が、支柱４に前後へ移動可能に支持されている。

基準容器２０は、被検容器１０の上方に離れて、支柱４の上端部にボルト締め等にて固定されている。したがって、基準容器２０と被検容器１０とが互いに上下（一方向）に離れて対向している。基準容器２０は、例えばアルミニウム等の金属にて構成され、四角形の厚板状になっている。基準容器２０の底面に凹部が形成されている。この底面凹部の内部空間が基準室２９を構成している。基準室２９は下方へ開口されている。基準圧路２ｂの先端部が、基準容器２０の内部を通り、基準室２９に連なっている。

基準室２９に中子２３が収容されている。中子２３は、例えばＡＢＳ、ＰＰ、ＰＥなどの樹脂にて構成されているが、これに限られず、金属等の樹脂以外の材料にて構成されていてもよい。中子２３は、基準容器２０に対して少なくとも上下に変位可能である。中子２３によって基準室２９の大部分が埋められ、基準室２９の内容積が縮小されている。中子２３の上面には、収容凹部１３ａが形成されている。この収容凹部１３ａに基準体９２が収容されている。ひいては、基準体９２が基準室２９に収容されている。

更に、リークテスト装置１は、同時期開閉機構５を備えている。同時期開閉機構５は、被検室１９と基準室２９を互いに同時期（略同時）に開放し、かつ互いに同時期（略同時）に封止する機構であり、上記シリンダユニット３０と、作動圧導入手段５０とを含む。被検容器１０と基準容器２０との間にシリンダユニット３０が介在されている。シリンダユニット３０は、被検開閉部材３１（シリンダ）と、基準開閉部材３２（ピストン）とを含む。被検開閉部材３１が、基準開閉部材３２より下側へ突出して被検容器１０と対向するとともに、基準開閉部材３２が、被検開閉部材３１より上側へ突出して基準容器２０と対向している。

被検開閉部材３１は、閉塞板３１ａと、筒部３１ｂ（シリンダ部）とを有している。閉塞板３１ａは、例えばアルミニウム等の金属にて構成され、四角形の厚板状になっている。この閉塞板３１ａが、被検容器１０及び中子１３と直接対向している。被検圧路２ａの先端部が、閉塞板３１ａの内部を通って、閉塞板３１ａの下面に達している。

閉塞板３１ａの上部に筒部３１ｂがボルト締め等にて固定されている。筒部３１ｂは、例えばアルミニウム等の金属にて構成されるとともに、軸線を上下（一方向）に向けた円筒状になっており、かつ上端部３１ｃが径方向内側に突出している。したがって、筒部３１ｂは、上段の小内径筒部３１ｃと下段の大内径筒部３１ｄとを一体に有する２段円筒形状になっている。小内径筒部３１ｃの内周面と大内径筒部３１ｄの内周面との間に、段差面３１ｆ（第１開放受圧面）が形成されている。段差面３１ｆは、下方（被検容器１０の側）を向くとともに、被検開閉部材３１の周方向に沿って環状になっている。段差面３１ｆには、断面三角形状の環状溝３２ｈが形成されている。

被検開閉部材３１は、支柱４に対して、第１開放位置（図３）と第１封止位置（図２）との間で上下に変位可能になっている。図３に示すように、第１開放位置における被検開閉部材３１は、被検容器１０から上方へ離れて位置される。したがって、被検室２９が外部に開放される。図２に示すように、第１封止位置における被検開閉部材３１は、被検容器１０の上面に当接する。これによって、被検室１９の上面開口が塞がれ、被検室１９が封止される。被検容器１０の上面にはＯリング６１が設けられている。Ｏリング６１によって、第１封止位置の被検開閉部材３１と被検容器１０との間が気密にシールされる。なお、Ｏリング６１は、被検容器１０の上面に代えて、閉塞板３１ａの底面に設けられていてもよい。
また、被検開閉部材３１は、支柱４ひいては鉛直方向に対して若干（例えば０．１度〜０．３度程度）揺動可能になっている。

被検開閉部材３１の両側部には、被検側支持ピン３４が水平に突出するように設けられている。一方、支柱４には、支持溝４ａが形成されている。支持溝４ａは、長手方向を上下に向けた長孔状になっている。支持溝４ａに被検側支持ピン３４が上下スライド可能に嵌め込まれている。被検開閉部材３１の昇降に伴なって、支持ピン３４が支持溝４ａ内を上下に移動される。図３に示すように、被検開閉部材３１が第１開放位置（上昇位置）のときは、支持ピン３４が支持溝４ａの中間部に位置する。図２に示すように、被検開閉部材３１が第１封止位置（下降位置）のときは、支持ピン３４が支持溝４ａの下端部に当たる。
なお、被検開閉部材３１が第１封止位置のときも、支持ピン３４が支持溝４ａの下端部より上に離れていてもよい。

被検開閉部材３１と基準容器２０との間に基準開閉部材３２が設けられている。基準開閉部材３２は、閉塞板３２ａと、遊嵌軸部３２ｂ（ピストン部）とを有している。閉塞板３２ａは、アルミニウム等の金属にて構成され、厚肉の平板状になっている。この閉塞板３２ａが、基準容器２０の直下に配置され、基準容器２０と直接対向している。閉塞板３２ａの上面に中子２３が載っている。

閉塞板３２ａの下側に遊嵌軸部３２ｂがボルト締め等にて固定されている。遊嵌軸部３２ｂは、アルミニウム等の金属にて構成され、上段の小径軸部３２ｃと下段の大径軸部３２ｄとを一体に有する２段円柱形状になっている。小径軸部３２ｃの外周面と大径軸部３２ｄの外周面との間に、段差面３２ｆ（第２開放受圧面）が形成されている。段差面３２ｆは、上方（基準容器２０の側）を向くとともに、基準開閉部材３２の周方向に沿って環状になっている。

基準開閉部材３２は、第２封止位置（図２）と、第２開放位置（図３）との間で上下に変位可能になっている。図２に示すように、第２封止位置における基準開閉部材３２は、基準検容器１０の底面に当接する。これによって、基準室２９が封止される。基準容器２０の底面にはＯリング６２が設けられている。このＯリング６２によって、第２封止位置の基準開閉部材３２と基準容器２０との間が気密にシールされる。なお、Ｏリング６２は、基準容器２０の底面に代えて、閉塞板３２ａの上面に設けられていてもよい。図３に示すように、第２開放位置における基準開閉部材３２は、基準容器２０から下方へ離れて位置される。したがって、基準室２９が外部に開放される。

閉塞板３２ａの両側部には基準側支持ピン３５が水平に突出するように設けられている。一方、支柱４の上側部の側面には支持溝４ｂが形成されている。支持溝４ｂは、長手方向を上下に向けた長孔状になっている。この支持溝４ｂに支持ピン３５が上下スライド可能に嵌め込まれている。基準開閉部材３２の昇降に伴なって、支持ピン３５が支持溝４ｂ内を上下に移動される。図２に示すように、基準開閉部材３２が第２封止位置（上昇位置）のときは、支持ピン３５が支持溝４ｂの中間部に位置する。図３に示すように、基準開閉部材３２が第２開放位置（下降位置）のときは、支持ピン３５が支持溝４ｂの下端部に当たる。これによって、基準開閉部材３２ひいてはシリンダユニット３０が支柱４に支持される。

さらに、図２及び図３に示すように、被検開閉部材３１と基準開閉部材３２とは、上下（一方向）に相対変位可能に嵌め合わされている。したがって、シリンダユニット３０全体の上下方向の軸長が伸縮されるようになっている。しかも、開閉部材３１，３２どうしは、十分な遊びを持って嵌め合わされている。詳しくは、筒部３１ｂの内部に遊嵌軸部３２ｂが遊嵌されている。大内径筒部３１ｄに大径軸部３２ｄが収容され、小内径筒部３１ｃに小径軸部３２ｃが収容されている。
なお、筒部３１ｂは、円筒形状に限られず、四角筒等の角筒形状であってもよい。これに応じて、遊嵌軸部３２ｂは、四角柱等の角柱形状であってもよい。

図２に示すように、小内径筒部３１ｃの内周と小径軸部３２ｃの外周との間には比較的大きなクリアランスｇ１が形成されている。また、大内径筒部３１ｄの内周と小内径筒部３１ｃの外周とにも比較的大きなクリアランスｇ２が形成されている。クリアランスｇ１，ｇ２の大きさは、例えばｇ１，ｇ２＝０．３ｍｍ〜０．８ｍｍ程度である。（図におけるクリアランスｇ１，ｇ２は部材３１，３２等の大きさ（厚み、直径等）に対して誇張されている。）これによって、遊嵌軸部３２ｂひいては基準開閉部材３２が、筒部３１ｂの軸線に対して例えば０．１度〜０．３度程度の範囲で揺動可能である。クリアランスｇ１，ｇ２の大きさは好ましくは互いに等大（ｇ１＝ｇ２）であるが、互いに異なっていてもよい（ｇ１≠ｇ２）。

さらに、被検開閉部材３１及び基準開閉部材３２は、互いの間に作動圧室３０ａ，３０ｂを形成するように嵌め合わされている。すなわち、段差面３１ｆ（第１開放受圧面）と段差面３２ｆ（第２開放受圧面）とが互いに上下（一方向）に対向している。基準開閉部材３２の段差面３２ｆが、被検開閉部材３１の段差面３１ｆよりも下方（被検容器１０の側）に配置されている。これら段差面３１ｆ，３２ｆどうしの間に開放作動圧室３０ａが形成されている。また、閉塞板３１ａの上面３１ｇ（第１封止受圧面）と、大径軸部３２ｄの底面３２ｇ（第２封止受圧面）とが互いに上下（一方向）に対向している。基準開閉部材３２の第２封止受圧面３２ｇは、被検開閉部材３１の第１封止受圧面３１ｇより上方（基準容器２０の側）に配置されている。これら封止受圧面３１ｇ，３２ｇどうしの間に封止作動圧室３０ｂが形成されている。各段差面３１ｆ，３２ｆすなわち開放受圧面３１ｆ，３２ｆの面積は、封止受圧面３１ｇ，３２ｇの面積より小さい。したがって、開放作動圧室３０ａの受圧面積Ｓ１は封止作動圧室３０ｂの受圧面積Ｓ２よりも小さい（Ｓ１＜Ｓ２）。

小内径筒部３１ｃの内周面と小径軸部３２ｃの外周面との間は、Ｏリング６３によって気密にシールされている。Ｏリング６３は、小内径筒部３１ｃに設置されているが、小径軸部３２ｃに設置されていてもよい。また、大内径筒部３１ｄの内周面と大径軸部３２ｄの外周面との間は、Ｏリング６４によって気密にシールされている。Ｏリング６４は、大径軸部３２ｄに設置されているが、大内径筒部３１ｄに設置されていてもよい。これらＯリング６３，６４によって、開放作動圧室３０ａが封止されている。また、Ｏリング６４によって、封止作動圧室３０ｂが封止されるとともに、開放作動圧室３０ａと封止作動圧室３０ｂとが遮断されている。

図１に示すように、同時期開閉機構５は、作動圧導入手段５０を更に含む。作動圧導入手段５０は、開放作動圧路５１と、封止作動圧路５２とを有している。エア圧源５９（流体圧源）から、作動圧路５１，５２が分岐して容器ユニット３へ延びている。開放作動圧路５１の先端部は、筒部３１ｂの内部を通り、開放作動圧室３０ａに連なっている。封止作動圧路５２の先端部は、基準開閉部材３２の内部を通り、該部材３２の下面３２ｇに達して、封止作動圧室３０ｂに連なっている。

開放作動圧路５１には開放路三方弁５３が設けられている。開放路三方弁５３は、大気解放位置５３ａと作動圧導入位置５３ｂとを有している。開放路三方弁５３が大気解放位置５３ａのとき、該三方弁５３よりも容器ユニット３側の路５１を介して開放作動圧室３０ａが大気解放される。開放路三方弁５３が作動圧導入位置５３ｂのとき、エア圧源５９のエア圧（流体圧）が開放作動圧路５１から開放作動圧室３０ａに導入される。このエア圧によって、開閉部材１０，２０どうしが互いに反対側に押される。詳しくは、図３に示すように、被検開閉部材３１が上方（基準容器２０側）へ押されるとともに基準開閉部材３２が下方（被検容器１０側）へ押される。これによって、シリンダユニット３０全体の軸長が短くなる。

図１に示すように、封止作動圧路５２には封止路三方弁５４が設けられている。封止路三方弁５４は、大気解放位置５４ａと作動圧導入位置５４ｂとを有している。封止路三方弁５４が大気解放位置５４ａのとき、該三方弁５４より容器ユニット３側の路５２を介して封止作動圧室３０ｂが大気解放される。封止路三方弁５４が作動圧導入位置５４ｂのとき、エア圧源５９のエア圧（流体圧）が封止作動圧路５２から封止作動圧室３０ｂに導入される。このエア圧によって、開閉部材１０，２０どうしが互いに反対側に押される。詳しくは、図２に示すように、被検開閉部材３１が下方（被検容器１０側）へ押されるとともに基準開閉部材３２が上方（基準容器２０側）へ押される。これによって、シリンダユニット３０全体の軸長が伸長される。

上記構成のリークテスト装置１によって被検体９１の漏れ試験を行なう方法を、図４のタイムチャートにしたがって説明する。
いま、図３に示すように、開閉部材３１，３２が開放位置にあり、被検室１９及び基準室２９が開放されているものとする。また、漏れ試験すべき被検体９１が収容凹部１３ａひいては被検室１９に収容され、かつ被検容器１０がシリンダユニット３０の直下にセットされているものとする。
基準体９２は継続的に収容凹部１３ａに収容しておく。

＜封止工程＞
上記被検体９１の漏れ試験に際し、後記測定工程におけるエア圧源２ｅからの圧縮エア導入に先立って封止工程を行なう。すなわち、開放路三方弁５３を大気解放位置５３ａにすることによって開放作動圧室３０ａを大気解放するとともに、封止路三方弁５４を作動圧導入位置５４ｂにすることによって、エア圧源５９のエア圧（流体圧）を封止作動圧路５２から封止作動圧室３０ｂに導入する。開放作動圧室３０ａが大気解放されることによって、被検開閉部材３１が自重で下降してＯリング６１に接するとともに、被検容器１０及び中子１３の上面に近接又はほぼ当接する。また、封止作動圧室３０ｂへのエア圧によって、図２に示すように、被検開閉部材３１が押し下げられて第１封止位置になる。すなわち、被検開閉部材３１が、Ｏリング６１を圧し潰しながら被検容器１０の上面に押し付けられることで、被検室１９の上面開口を塞ぐ。これによって、被検室１９が封止（外部と遮断）される。これと同期して、基準開閉部材３２が中子２３と一緒に押し上げられて第２封止位置になる。すなわち、基準開閉部材３２が、Ｏリング６２を圧し潰しながら基準開閉部材３２の上面に押し付けられることで、基準室２９を封止する。したがって、被検室１９と基準室２９とを同時期（略同時）に封止できる。被検開閉部材３１と被検容器１０との当たりを反力にして、基準開閉部材３２が基準容器２０に押し付けられ、かつ基準閉部材３２と基準容器２０との当たりを反力にして、被検開閉部材３１が被検容器１０に押し付けられるため、被検室１９と基準室２９とを確実に同時期（略同時）に封止できる。

ここで、開閉部材３１，３２が上下に駆動される時に鉛直に対して傾いた姿勢になったとしても、これら開閉部材３１，３２どうしの間に比較的大きなクリアランスｇ１，ｇ２があり、かつ各開閉部材３１，３２と支柱４との間にも比較的大きなクリアランスがあるために、各開閉部材３１，３２の姿勢を矯正できる。すなわち、封止作動圧室３０ｂ内の圧力によって、各開閉部材３１，３２を、傾いた側とは反対側に揺動させて水平姿勢に戻すことができる。これによって、閉塞板３１ａの下面が被検容器１０の上面に水平にぴったりと当たるようにできるとともに、閉塞板３２ａの上面が基準容器２０の底面に水平にぴったりと当たるようにできる。
また、封止作動圧室３０ｂの受圧面積Ｓ２を開放作動圧室３０ａの受圧面積Ｓ１よりも十分大きくすることで（Ｓ２＞Ｓ１）、封止力を十分に高くでき、被検室１９及び基準室２９を確実に封止することができる。

＜測定工程＞
次に、エア圧源２ｅの圧縮エア（加圧気体）をエア圧路２ａ，２ｂを介して被検室１９及び基準室２９に導入する。この時、被検室１９及び基準室２９に圧縮熱が発生する。被検室１９の圧縮熱は、被検容器１０、中子１３、被検体９１、Ｏリング６１、被検開被絵部材３１等に与えられる。また、基準室２９の圧縮熱は、基準容器２０、中子２３、基準体９２、Ｏリング６２等に与えられる。

上記圧縮エアの導入後、被検圧路２ａと基準圧路２ｂを遮断する。そして、差圧センサ２ｃによってこれら圧力路２ａ，２ｂ間の差圧ひいては被検室１９と基準室２９との間の差圧を測定する。被検体９１が良品であれば差圧は殆ど現れない。一方、被検体９１にピンホール等の欠陥部があったときはそこからエアが洩れるために、被検室１９と基準室２９との間に差圧が生じ、この差圧が差圧センサ２ｃにて検出される。この検出差圧が所定の閾値以下であれば被検体９１を良品と判定し、差圧センサ２ｃの検出差圧が上記閾値を超えていれば被検体９１を不良と判定する。これによって、被検体９１の良否判定を行なうことができる。
なお、圧縮エアに代えて、真空圧を被検室１９及び基準室２９に導入することによって差圧測定を行なってもよい。

＜開放工程＞
上記測定工程の終了後、封止路三方弁５４を大気解放位置５４ａにして、封止作動圧室３０ｂを大気解放するとともに、開放路三方弁５３を作動圧導入位置５３ｂにして、エア圧源５９のエア圧（流体圧）を開放作動圧路５１から開放作動圧室３０ａに導入する。封止作動圧室３０ｂが大気解放されることによって、基準開閉部材３２が自重で下降して第２開放位置になる。そして、支持ピン３５が支持溝４ｂの下端部に引っ掛かることによって、基準開閉部材３２が支柱４に支持される。この基準開閉部材３２と一緒に中子２３も下降する。したがって、基準室２９が開放される。また、被検開閉部材３１のクランプ力が解除されるために、被検室１９の封止状態が少し解除される。さらに、開放作動圧室３０ａへのエア圧によって、図３に示すように、筒部３１ｂの上端部が閉塞板３２ａの底面に当たる位置まで、被検開閉部材３１が押し上げられて第１開放位置になる。これによって、被検開閉部材３１が被検容器１０から上方へ離れ、被検室１９が開放される。ひいては、被検室１９と基準室２９とを同時期（略同時）に開放できる。これによって、被検容器１０から上記圧縮熱を放出できるだけでなく、基準容器２０からも上記圧縮熱を放出できる。
開放作動圧室３０ａの受圧面積Ｓ１が封止作動圧室３０ｂの受圧面積Ｓ２よりも小さいから（Ｓ１＜Ｓ２）、エア圧源５９から作動圧室３０ａ，３０ｂへのエア圧が互いに等しいとの条件下では、開閉部材３１，３２に作用する開放方向の作動力（エア力）は、封止方向の作動力よりも小さくなるが、開閉部材３１，３２が封止位置から少しでも開放方向に変位すれば、被検室１９及び基準室２９を開放することができる。
さらに、環状溝３１ｈを形成しておくことによって、段差面３１ｆ，３２ｆどうしをスムーズに引き離すことができ、ひいては、被検室１９と基準室２９とを簡単に開放できる。
なお、段差面３２ｆに環状溝を形成してもよい。

＜被検体出し入れ工程＞
その後、被検容器１０を前方へスライドさせて、漏れ試験済みの被検体９１を取り出すとともに、新たに漏れ試験査すべき被検体９１を収容凹部１３ａに収容する。次いで、被検容器１０をシリンダユニット３０の直下の所定位置に戻す。そして、上述した封止工程、測定工程、開放工程を反復する。開放工程の度に被検容器１０と同時期（略同時）に基準容器２０をも開放することで、基準容器２０に圧縮熱が蓄積されるのを回避できる。したがって、基準容器２０、中子２３、基準体９２、Ｏリング６２等の部材が熱変形するのを防止できる。よって、基準室２９の容積変化が起きるのを防止でき、大漏れと判定されるおそれを回避できる。このように、本発明装置によれば、基準体９２を被検体９１と常に略同一条件に置くことができ、リークテストの信頼性を高めることができる。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨に反しない範囲内において種々の改変をなすことができる。
例えば、被検体９１の内部空間が被検室１９を構成していてもよく、被検体９１が被検室画成部を構成していてもよい。そして、被検開閉部材３１が、第１封止位置のとき、被検体９１の上記内部空間を塞ぐようにしてもよい。同様に、基準体９２の内部空間が基準室２９を構成していてもよく、基準体９２が基準室画成部を構成していてもよい。そして、基準開閉部材３２が、第２封止位置のとき、基準体９２の上記内部空間を塞ぐようにしてもよい。
被検開閉部材３１が位置固定され、これに対して被検室画成部が移動することで、被検室１９が開閉されるようになっていてもよい。同時期開閉機構５が、被検開閉部材としての固定蓋と、被検室画成部を上記固定蓋に対して変位させる駆動部とを有していてもよい。同様に、基準開閉部材３２が位置固定され、これに対して基準室画成部が移動することで、基準室２９が開閉されるようになっていてもよい。同時期開閉機構５が、基準開閉部材としての固定蓋と、基準室画成部を上記固定蓋に対して変位させる駆動部とを有していてもよい。
被検室画成部が上側に配置され、基準室画成部が下側に配置されていてもよい。
被検室画成部と基準室画成部との対向方向は、上下に限られず、水平方向であってもよく、鉛直又は水平に対し傾斜した方向であってもよい。
基準開閉部材３２が筒部（シリンダ部）を有し、被検開閉部材３１が上記筒部内に軸方向移動可能に収容される軸部（ピストン部）を有していてもよい。
開閉部材３１，３２を駆動する流体圧として、圧縮エアや圧縮不活性ガス等の気体圧に代えて、油圧等の液体圧を用いてもよい。開閉部材３１，３２を、流体圧に代えて、カム等の機械機構によって変位させるようにしてもよく、電磁気力にて変位させるようにしてもよい。
被検開閉部材３１と基準開閉部材３２とが殆どクリアランス無く嵌め合わされていてもよく、殆ど揺動しないようにしてもよい。

本発明は、例えばタブレット型高機能携帯端末の密封性の良否判定をするのに適用可能である。

１ リークテスト装置
２ 差圧測定回路
２ａ 被検圧路
２ｂ 基準圧路
２ｃ 差圧センサ
５ 同時期開閉機構
１０ 被検容器（被検室画成部）
１９ 被検室
２０ 基準容器（基準室画成部）
２９ 基準室
３０ａ 開放作動圧室（作動圧室）
３０ｂ 封止作動圧室（作動圧室）
３１ 被検開閉部材
３１ｂ 筒部
３１ｆ 段差面（第１開放受圧面）
３１ｇ 第１封止受圧面
３２ 基準開閉部材
３２ｂ 遊嵌軸部
３２ｆ 段差面（第２開放受圧面）
３２ｇ 第２封止受圧面
５０ 作動圧導入手段
９１ 被検体
９２ 基準体

Claims (7)

1. 被検容器又は被検体を含む被検室画成部にて画成された被検室と、基準容器又は基準体を含む基準室画成部にて画成された基準室との差圧によって前記被検体からの漏れを試験するリークテスト装置であって、
   （Ａ）前記被検室と前記基準室とを連通してこれら室に加圧気体を導入した後、これら室どうしを遮断して前記差圧を測定する差圧測定回路と、
   （Ｂ）前記加圧気体の導入前に前記被検室と前記基準室とを同時期に封止状態にし、前記差圧の測定後に前記被検室と前記基準室とを同時期に開放状態にする同時期開閉機構と、
   を備えたことを特徴とするリークテスト装置。
2. 前記同時期開閉機構が、
   （ａ）前記被検室を開放する第１開放位置と前記被検室を封止する第１封止位置との間で前記被検室画成部に対して変位可能な被検開閉部材と、
   （ｂ）前記基準室を開放する第２開放位置と前記基準室を封止する第２封止位置との間で前記基準室画成部に対して変位可能、かつ前記被検開閉部材が前記第１開放位置のとき前記第２開放位置になり、前記被検開閉部材が前記第１封止位置のとき前記第２封止位置になる基準開閉部材と、
   を含むことを特徴とする請求項１に記載のリークテスト装置。
3. 前記被検室画成部と前記基準室画成部とが互いに一方向に対向し、
   これら画成部どうしの間には、前記被検開閉部材及び基準開閉部材が前記一方向に移動可能に介在され、
   かつ前記被検開閉部材が前記被検室画成部と対向するとともに前記基準開閉部材が前記基準室画成部と対向し、
   かつ前記被検開閉部材及び基準開閉部材どうしが、互いの間に作動圧室を形成するように嵌め合わされており、
   更に、前記同時期開閉機構が、前記作動圧室に流体圧を導入する作動圧導入手段を含み、前記流体圧によって前記被検開閉部材及び基準開閉部材が前記一方向の互いに反対側に押されることを特徴とする請求項２に記載のリークテスト装置。
4. 前記被検開閉部材が、第１開放受圧面と第１封止受圧面とを有し、
   前記基準開閉部材が、前記第１開放受圧面より前記被検室画成部の側に配置されて前記第１開放受圧面と対向する第２開放受圧面と、前記第１封止受圧面より前記基準室画成部の側に配置されて前記第２開放受圧面と対向する第２封止受圧面とを有し、
   前記作動圧室として、前記第１、第２開放受圧面どうしの間に開放作動圧室が形成されるとともに、前記第１、第２封止受圧面どうしの間に封止作動圧室が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のリークテスト装置。
5. 前記第１開放受圧面又は第２開放受圧面の面積が、前記第１封止受圧面又は第２封止受圧面の面積より小さいことを特徴とする請求項４に記載のリークテスト装置。
6. 前記被検開閉部材及び基準開閉部材の一方が、軸線を前記一方向に向けた筒部を有し、前記被検開閉部材及び基準開閉部材の他方が、前記筒部の内部に前記軸線に対し揺動可能に遊嵌された遊嵌軸部を有していることを特徴とする請求項３〜５の何れか１項に記載のリークテスト装置。
7. 被検容器又は被検体を含む被検室画成部にて画成された被検室と、基準容器又は基準体を含む基準室画成部にて画成された基準室との差圧によって前記被検体からの漏れを試験するリークテスト方法であって、
   前記被検室と前記基準室とを同時期に封止状態にし、
   次に、前記被検室と前記基準室とを連通してこれら室に加圧気体を導入した後、これら室どうしを遮断して前記差圧を差圧センサにて測定し、
   前記差圧の測定後に前記被検室と前記基準室とを同時期に開放状態にすることを特徴とするリークテスト方法。

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